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7/25/2019 Corrosao I
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7/25/2019 Corrosao I
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Processos em micro-fabricao: ciclo tpico
deposiode filmes finos(semicondutor metal diel!tricoetc."
litografia (fotorresiste # $rava%&ocom lu' U ou fei)es deel!trons"
etching(corroso" - tratamento(modifica%&o" e remo%&o domaterial n&o co*erto +orfotorresiste
remoode fotorresiste
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Corros&o, +rinci+ais reuerimentos
Anisotropia
taxade ataue
seletividade(Si#Si/#fotorresiste"
defeitos (el!tricosestruturais contamina%&o"
uniformidade( l0minas deSi, /11 mm 211 mm"
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Corros&o,
3end4ncia +rinci+al da
microeletr5nica,
diminui%&o de tamanhocaracter6stico de
estruturas +ara escala
sub-micron - nano
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Corros&o 7mida ,Caracter6stica $eral
Vantagens: sim+licidade
r8+ida (ta)a de ataue
9m m#min"
seletividade - alta
Problemas:
isotr:+ica ($eralmente" 2 m" em muitos +rocessos, tem+eratura desu*strato elevada(;1-/11 C"
uniformidade
im+ure'as
rea$entes, caros t:)icos
recicla$em- dif6cil
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Corros&o seca, uma solu%&o do +ro*lema deanisotro+ia em escala su*-micron
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3end4ncias *8sicas
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Plasma de descar$a el!trica,um sistema com+le)o com +ar0metros
interde+endentes
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Processos em +lasmas reativos ,
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Corros&o seca, intera%&o +lasma-su+erf6cie
inergia de intera%&o
6ons ener$!ticosa*rica%&o de spacers
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?om*ardeamento i:nico, efeitos so*re +erfil
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