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DC Probe Station DC Probe Station 基本操作教學基本操作教學
講員:陳永昌(DC組長)聯絡:陳永昌(鄭裕庭實驗室)工程四館636室,分機54223
羅毅人(郭治群實驗室)工程四館635室,分機54187
Outline• Introduction
• DC Probe Station
• Keithley 708A Switch
• Agilent 8110A
• HP 4156B
• Agilent 4284A
Introduction(1/2)
門
鐵櫃
鐵架
電腦桌DC Probe
Station
桌子
電腦桌
鐵櫃
電腦桌 ProbeStation
儀器架
儀器架
RF-1 Probe Station
活動式鐵架
移動櫃子 桌子
桌子
儀器架
桌子
Introduction(2/2)
載台抽氣PUMP開關 載台加熱器
顯微鏡燈源
儀器架
DC下針平台
進來的門
DC Probe Station (1/4)CCD:以前有外接到螢幕可以觀看,現在無作用
顯微鏡上下移動旋鈕:粗細調聚焦用
顯微鏡前後左右移動旋鈕:移動觀看位置,以前發生過皮帶斷裂,故非
必要,禁止使用顯微鏡物鏡:切換倍率時,務必先抬高顯微鏡以免撞針
針座:下針用
載台前後左右移動旋鈕:先移出放試片在移入,抽氣孔在正中間
抽氣開關:切換抽氣用
DC Probe Station (2/4)
Probe 1
Probe 2 Probe 3
Probe 4
Probe 1~4對應接到Switch的腳位,之後可設定對應儀器,故請勿動牆上線轉接頭位置在不移動顯微鏡的前提下,一開始先將四根針尖移至顯微鏡看得到的位置
下針時,顯微鏡先聚焦至元件表面,慢慢移動下針時,會看到針漸漸清晰,碰到pad時
針在往下會看到針略往前推,此時下針完成
DC Probe Station (3/4)探針(左) 探針(右)
順時鐘抬針逆時鐘下針
針座左右移動
針座前後移動
當針座移動不穩定時,除了考量後端
線拉到外,針座亦可能用久鬆掉,可
用六角板手鎖緊(三個移動方向皆有)
彈簧可內推抽換
針,針由下而上裝
避免弄歪針尖,針
請盡量自備
先粗略調整下針
高度並鎖緊,避
免針太高下不到
或太低撞到
注意下針到底時別
頂到平台
DC Probe Station (4/4)
顯微鏡燈源:功率請以六七成為主,勿轉
至最大避免影響使用壽命,
使用完畢轉至最左邊加熱器:有需要者使用,按
調整游
標位置並按
設定溫度,
設定完成後按SET套用,加
熱時扳On
Instruments
半導體參數分析儀:HP4156B
脈衝產生器:Agilent 8110A 150 MHz Pulse Generator
多通道開關控制器及切換卡:Keithley 708A
元件阻抗分析儀:Agilent 4284A
Keithley 708A Switch對應DC Probe 1~4
打開電源,以觸控筆靠近按開關點
選,設定,之後請按面板COPY鍵確
定
1. Switch(正面)
2. Switch(背面)
A~D 對應至HP4156B SMU 1~4
3. HP4156B(背面)
4. Switch(背面)(右側)欲使用阻抗分析儀
前,先將DUT兩側接
線接至Switch下排未
用到的部分,如E、
F,再行設定對應,
使用完畢再拆下來。
Agilent 8110A
*一或二個頻道的脈波/碼型產生器*1.00 Hz至150 MHz,從50歐姆到50歐姆時為10V*150 Mb/s,RZ/NRZ*4 kb的資料及可變的脈波參數*BNC輸出
Agilent 8110A
1. 打開電源2. 用方向鍵b控制游標a位址,按SHIFT去設定3. 用轉盤b去修改參數選單4. 用這些按鈕去修改參數,按SHIFT+MORE或按同一個鍵兩次
切換文字/圖顯示5. 用DATA ENTRY的按鍵去輸入值6. 用記憶卡去存取儀器設定或更新韌體7. EXT INPUT,最大外部±15V8. STROBE OUT,最大外部-2V/+7V,Pulses模式不可用9. TRIGGER OUT,最大外部-2V/+7V10. OUTPUT 1/2,最大外部±25V 詳細功能請參考Agilent 8110A manual
HP 4156B
移動游標
輸入面板
切換輸入文字
修改量測時間
量測切換設定畫面
切換設定畫面
MODE:I電流,V電壓FCTN:CONST由輸入決定,VAR變數可設定限制輸出正負20V,1W
編輯輸入文字
HP 4156B
以VNAM及INAME之代號定義新
的名稱顯示,例如:
定義 R 單位 Ω 運算式 (V2-V3)/I1
則可以在Graphics/List顯示
• USER FCTN
START:輸入量測起始值
STEP:量測間距
NO OF STEP:給定量測點數
Compliance:最大給定電流或電壓,超過會被限
制住TIMING:HOLD TIME:每個Step持續時間DELAY TIME:每個Step間隔時間
HP 4156B• USER VAR
設定顯示在GRAPHICS的量
測圖XY軸變數及顯示範圍,
或是設定顯示在LIST的數據
表格
HP 4156B• DISPLAY SETUP - GRAPHICS
MARKER On 可透過轉盤移
動看值,SCALING可調整顯
示範圍,按GRAPHICS/LIST
可切換圖/表格
HP 4156B• GRAPHICS/LIST
Agilent 4284A
Agilent 4284A
移動游標 輸入面板
切換設定畫面
切換設定畫面
• DISPLAY FORMAT
Agilent 4284A
FUNC:設定量測等效阻抗模型
FREQ:待測頻率
LEVEL:訊號電壓
INTEG:量測時間
AVG:設定量測次數來平均顯示
ALC:定電壓或定電流
• MEAS SETUP
Agilent 4284A• MEAS SETUP - CORRECTION
先設定FUNC阻抗模型,量測前可先依校正方式做OPEN開路、SHORT短路、LOAD
負載(略過)校正,也可針對特定頻率移動移標至下方進行設定與校正
因為無校正片,若有要要請自行準備與DUT電極相同距離之開路短路Pad進行校正
Agilent 4284A• MEAS SETUP - LIST SETUP
可設定欲掃描的參數,比方FREQ,LEVEL,Vm等等
Agilent 4284A• DISPLAY FORMAT - LIST SWEEP
回到顯示畫面,則會自動進行量測,無存檔功能,請自行記錄拍照
注意事項
‧ 儀器皆以停產,原廠不提供維修服務,請愛惜使用
‧ 請勿任意改變接線或搬運量測儀器
‧ 使用完畢,儀器電源、燈源及牆上抽氣開關請務必關閉
‧ 儀器存檔功能已壞無法修理,請自行記錄或拍照
‧ 顯微鏡座請勿移動前後左右轉軸避免皮帶損壞
‧ 變換物鏡時請先抬高顯微鏡以免撞針
‧ 使用前後務必填寫紀錄簿(待實施)
DC Probe Station 基本操作教學OutlineIntroduction(1/2)Introduction(2/2)DC Probe Station (1/4)DC Probe Station (2/4)DC Probe Station (3/4)DC Probe Station (4/4)InstrumentsKeithley 708A SwitchAgilent 8110A Agilent 8110A HP 4156BHP 4156BHP 4156BHP 4156BHP 4156BAgilent 4284AAgilent 4284AAgilent 4284AAgilent 4284AAgilent 4284AAgilent 4284A注意事項
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