非接触、高分解能、広範囲。 機械加工品をはじめ、 …...Opt-scope R...

Opt-scopeは垂直分解能…0.01…nm…と…垂直走査範囲…20…mmを両立。ワーク表面の微細な表面粗さから、傷・摩耗の解析、砥石や超硬チップの刃先の形状評価まで、幅広い用途での非接触測定・評価が可能です。

非接触、高分解能、広範囲。機械加工品をはじめ、様々なワークを3D評価

表面粗さ・輪郭形状測定機 非接触三次元表面粗さ・形状測定機

専用カタログを準備しています。

Opt-scope R※画像の電動 XYステージはオプションです

ISO25178-2 に対応

連続測定機能・スティッチング機能

2012年に制定された三次元粗さに関するパラメータ規格ISO25178-2に対応。Sa、Szなど、ISO規格に準拠した三次元粗さパラメータでの解析を行うことができます。

電動XYステージ（オプション、次ページ参照）を利用することで、連続測定や複数枚画像のスティッチングが可能となります。●…連続測定機能　　……“任意の場所”を“任意の順番”で、複数ヶ所を連続的に測定します。●…スティッチング機能　　……指定した任意の位置に、ステージを自動かつ連続で移動させて測定。　　　…複数枚の画像をつなぎ合わせることで、干渉対物レンズの視野に収まらない　　　…広範囲を測定できます。スティッチング後のデータは、1ショットで測定した　　　…データと同様に様々な解析が可能です。

独自の干渉縞ピーク検出手法 DEAP*独自の包絡線/絶対位相検出アルゴリズム…DEAP*は、高分解能かつ広い測定範囲で、高感度に包絡線を算出します。従来では上手く測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能です。　*DEAP（ディープ）…Algorithm…for…Detection…of…Envelope…and…Absolute…Phase

ISO 4287振幅ﾊﾟﾗﾒｰﾀ - 粗さﾌﾟﾛﾌｧｲﾙ

Rz 10.5 µm ｶﾞｳｼｱﾝﾌｨﾙﾀ, 0.8 mmRa 3.20 µm ｶﾞｳｼｱﾝﾌｨﾙﾀ, 0.8 mm

9 箇所を測定 自動でスティッチング

表面欠陥（傷・摩耗・欠損） 微細輪郭形状

2D・3D表面粗さ

ウェーハ欠損評価例 超硬チップ形状評価例

ベアリング粗さ評価例

機械加工面の三次元粗さ解析例

従来

58

外観図 寸法表

Opt-scope ROpt-scope S+

項 目 仕 様

モデル Opt-scope…R（複式レンズシステム）

Opt-scope…S+（単式レンズシステム）

計測方式 垂直走査型低コヒーレンス干渉法干渉縞ピーク検出方法 DEAPアルゴリズム光源 白色LED垂直方向走査範囲 (Z) 20…mm垂直分解能 0.01…nmZ 軸指示精度 * ±（0.1…+…|H/1000|）…μm…（H：測定高さ…μm）CCD 画素数 2048…x…2048測定範囲 (X/Y) x10 レンズ使用時 1.7…x…1.7…mm横方向分解能 (X/Y) x10 レンズ使用時 1.12…μmX 軸指示精度 4…μm以下Y 軸指示精度 4…μm以下最大測定高さ 159…mm 200…mmコラム Z 電動

ステージ

XY 手動もしくは電動（いずれもオプション）チルト 手動傾斜範囲 ±1°テーブル径 φ…148…mmテーブル積載質量 20…kg

走査速度 1 〜 12…μm/sec

測定部外形寸法幅 620…mm奥行き 800…mm高さ 1532…mm

本体質量 175…kg

電源 電圧 単相AC100 ／ 110…±10%…（50/60…Hz）消費電力 1005…W 885…W

空気源 供給圧力 0.35…−…0.7…MPa

精度保証環境条件 環境温度 18…〜…30℃温度変化 ±0.5…℃ /hour

名 称 型 式 外 観 仕 様対物レンズ X5（観察用） CF IC EPI Plan 5XA Opt-scope…R…専用オプション干渉対物レンズ X5 CF IC EPI PLAN TI 5XA 測定範囲：3.4…mm角、分解能：2.58…μm、ワーキングディスタンス：9.3…mm干渉対物レンズ X5 用カバー ― Opt-sope…S+…専用オプション。干渉対物レンズ5倍の利用時に必須

干渉対物レンズ X10 CF IC EPI Plan DI 10XA 測定範囲：1.7…mm角、分解能：1.12…μm、ワーキングディスタンス：7.4…mm…（標準付属品）

干渉対物レンズ X20 CF IC EPI Plan DI 20XA 測定範囲：0.75…mm角、分解能：0.84…μm、ワーキングディスタンス：4.7…mm干渉対物レンズ X50 CF IC EPI Plan DI 50XA 測定範囲：0.30…mm角、分解能：0.61…μm、ワーキングディスタンス：3.4…mm干渉対物レンズ X100 CF IC EPI Plan DI 100XA 測定範囲：0.13…mm角、分解能：0.48…μm、ワーキングディスタンス：2.2…mm

電動XY ステージ MM99001-S001

テーブルサイズ…:…220…x…180…mm移動範囲…:…±12.5…mm水平耐荷重…:…14…kg手動回転ステージ付き

※…移動範囲±25.0…mmの電動ステージもご用意しています。……………詳細についてはお問い合わせください。

仕様

オプション* 形状測定時（Z 軸）

59

表面粗さ

・輪郭形

状統合測

定機