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ABT-55 manual in Japanese
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AC>T
AS丁目55
目次
1.真空系の操作1-1 始動
1-2 鏡体への空気導入及び排気
1-3 停止
1-4 停電した時
1-5 断水した時
2.試料の交換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4
3.試料装置の取り扱い方 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 6
3-1 仕様
3-2 試料の移動
3-3 試料電流の測定
3-4 試料への電圧印加(オプション)
3-5 試料ステージクランプの使い方
3-6 試料室外観
3-7 試料の移動できる範囲
4.電子銃カー ト リ ッジの交換 ….....・ H ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 17
5.画像の出し方 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ p ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 19
5-1 装置の初期状態
5-2 電子ビームの出し方
6.画像の調整 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 23
6-1 ピント合わせ
6-2 倍率の選択
6-3 観察する視野の移動
6-4 スポットサイズの選択
6-5 加速電圧の選択
6-6 非点収差の補正について
6-7 画像の明るさ、コントラストの調整
6-8 可動絞りの使い方
6-9 固定絞りの使い方
7.写真による画像の記録 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 29
7-1 フォトスタート
7-2 撮影時の露出
7-3 ACB の設定
7-4 手動で露出を合わせて写真を撮る時
汽 7-5 データプリントについて
8.DYNAMICFOCUS の使い方
9.反射電子像の観察 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 33
10. SIGNAL 及び SCAN MODE の切換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 34
11. フィ ラメ ン トの交換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 36
12. アノード、スリーブ、スリット類の交換.....・ H・...・ H ・....・ H ・-・;・ H ・ H ・..…....・ H ・.. 37
13. 可動絞りの交換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 39
14. 電子銃カートリッジ、アノードのクリーニング
15. Iシンチレータ (SE 検出器〉 の交換 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 42
16. DUALMAGNIFICATIONの使い方〈オプション) ……………...・H ・..… 44
16-1 異なる倍率での同時表示
16-2 異種像の同時表示
17. 半導体反射電子検出器の使い方〈オプション) ……...・ H ・-……・…………… 4517-1 反射電子像の観察
17-2 エレクトロン・チャネリングパターンの観察
18. GAMMACONTRO しの使い方〈オプション)
19.SIGNALPROCESSING の使い方〈オプション) ・……… H ・ H ・..………… 50
20. Y-MODULATION の使い方(オプション〉 …………...・ H ・..……………… 51
21.SCANROTATION/TILTCORRECTION の使い方〈オプション)… 52
21-1 SCANROTATION 機能
21-2 TILTCORRECTION 機能
22. キャラクター表示装置の使い方〈オプション〉
23. 防振バネの調整 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 56
24.主な規格 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 57
25.標準付属品 .…・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 60
操作部パネル外観
シグナノレフ。ロセシング 'yーモジュレイション
オプション用パネル外観
反射電子像観察装置
デュアノレ・マグ
ABT-55 外観
g~)1I間関聞開閉民滅蕊
鏡体部外観
-・
1.真窒菜の操作
1 ・1. 始動
-冷却水の水道栓を開け、水を毎分2£ 程度〈水温20°C ±5°C) 流します。
・電源配電盤ACI00Vのスイッチを投入、鏡体部前パネルのPOWERスイッチ①を
押します。 POWERスイッチ①が緑色に点灯し、 START UPのLED (オレンジ色)
③が点灯します。
・規定のシーケンスに従い、油拡散ポンプの加熱、鏡体内の排気等を経て、約20分後
に、操作パネル上のLEDメータ③がオレンジ色の領域まで点灯し、更にl分経っと、
HVスイッチ⑫の上半分(緑色〉が点灯します。この時には、 START UPLED
③は消えています。
(注)始動直後、油拡散ポンプ加熱開始前に、一旦鏡体内を油田転ポンプにより排
気しますが、この時一定時間内に、真空度が規定通り上がらない場合には、
鏡体に真空漏れがあるか、油回転ポンプが動作していないとみなし次のよう
な警報を発します。
・鏡体部前パネルの START UPLED ③が点滅し、 AIR スイッチ②が点灯
して鏡体内に空気が導入されます。
・操作部コンソール内のブザーが約 0.5秒周期で断続的に鳴ります。
ただし、装置の設置直後や、長期間装置を稼動させなかった後に、始動さ
せた場合、油回転ポンプによる排気に時間がかかり、この警報が発せられる
場合があります。必要な処置を行なった後、 AIR スイッチ②を LEDが消え
るまで押すと、警報が止み、通常のシーケンスに戻ります。くりかえし警報
が発せられるようであれば、 POWER スイッチ①を押し、装置を停止させ、
サービスコールして下さい。
·HV スイッチ⑫の上半分が点灯した状態から同スイッチを押すと、その下半分(オ
レンジ色)が点灯し、ブラウン管に画像が表示されます。このとき LED メータ③
は真空度の表示から、ビームエミッションの表示に切り換わります。又、メータの
機能を示す LED もVACUUM ①から EMISSION ⑪に切り換わります。
1 ・2. 鏡体への空気導入及び排気
-鏡体部前パネルの AIR スイッチ②を同スイッチの LED (オレンジ色)が点灯する
まで押します。(このとき、ブラウン管に画像が表示されていても画像を消す必要
はありません〉
・約 10秒後に、鏡体内への空気導入が始まり、その後約 40秒で鏡体内は大気圧になり
ます。
・必要な作業を行ってください。
・作業が終わったら、 AIR スイッチ②を同スイッチの LEDが消えるまで押します。
規定のシーケンスに従って鏡体内の排気が始まります。
・約3分後に、操作パネル上の LED メーター③がオレンジ色の領域まで点灯し、更に
1分経っと、 HVスイッチ⑫の上半分が点灯します。この時 HVスイッチ⑫の下半分
ト3. 停比
1 ・4. 停電した時
ト5. 断水した時
唖
が点灯したままの状態であった場合は、上半分が点灯すると、自動的にブラウン管
に画像が表示されます。
(注)排気シーケンスの各段階が規定時間内に進まない場合、又は一旦排気が完了
した後、真空度が異常に悪くなった場合には次の警報が発せられます。
・鏡体部前パネルのAIRスイッチ②が点滅します。
・操作部コンソール内のブザーが約0.5秒周期で断続的に鳴ります。
この場合には、 AIRスイッチ②を、点滅から点灯に切り換わるまで押し、
鏡体内に空気を導入します。異常箇所(真空漏れ等)が見つかり、補修が出来
たら2-4の操作を行い、鏡体内を排気します。直らない場合は、 POWER
スイッチ①を押してSHUT DOWNにし、サービスコールをして下さい。
• SHUTDO \iVN のLED (オレンジ色)⑤が点灯するまで PO\VER スイッチ①を押
します。このとき PO \tVER スイッチ①は緑色に点灯したままであり、規定のシー
ケンスに従って装置全体が、自動的に停止すると消えます。
(注) SHUTDOWN のLED ⑧が点灯してから装置全体が停止するまでの時間は、
装置始動後数分以内なら数十秒です。メインポンプ(標準仕様は油拡散ポン
プ)の起動後に SHUT DOWN にした場合は約 15分で装置全体が停止します 0
.冷却水を止めます。
・配電盤のスイッチを切ります。
停電時の処置は特に必要ありません。停電により機械が停止したら再び AC100V が
通電するのを待ち、通電を確認したら PO \tVER スイッチ①を押します。この後の取
扱いは通常の始動の方法と同じです。
(注)瞬時停電の場合は、その度合によって、装置が完全に停止する場合と、完全に
は停止せず、 START UP状態にもどる場合とがあります。
断水により油拡散ポンプが過熱すると、同ポンフ。への電源が切れ、次のような警報
を発します。(注)
・鏡体部前ノミネルの START UPLED ③及び AIR スイッチ②が点滅します 0
.操作部コンソール内のブザーが約 0.5秒周期で断続的に鳴ります。
この場合、冷却水が再び流れ出し、油拡散ポンプの温度が正常にもどってから、
AIR スイッチ②を LEDの点滅が止むまで押すと、同ポンプに電源が入り、約 16分後
-2-
に画像観察が可能となります。復旧に時間がかかる場合はPO\VERスイッチ①を押
してSHUT DOWNにします。
(注)この警報は、油拡散ポンプの過熱だけでなく、同ポンプ電源ヒューズの溶断又
はヒータの断線の場合も発せられます。
ヒューズ溶断の場合は、操作部テーブル下のパネルをはずし、 F3(IDA) を
交換します。
-3-
2. 試料の変旗
2-1 r真空系の操作」の項を参照して鏡体内に空気を入れます。
2-2 試料装置のステージクランプつまみを時計方向にまわして UNCLAMP にします。更に T (傾斜〉つまみを
まわして零度にします。
2-3 試料室本体左側についているパチン錠をはずい試料室扉を手前に引くと試料ステージ全体が見えます。
注意:試料室内部を長時間、大気にさらさないで下さい。
6 棚ゆ
M3試料ホル夕、.止ネジ
J試料台
6 TTl1TL¢ 穴
----ウォームホイーノレ
図2-1
試料
ノ試料ホルダ
M2
試料止ネジ
2-5 試料台を止めている 2本の試料止めネジを緩め、
試料ホルダより試料台を取り出します。(右図参照)
2-6 あらかじめ試料を固定しである試料台を試料ホル
ダに固定します。
ホルダへの固定は 2本の試料止めネジで締めつけま
す。
ネジが緩んでいると振動の原因になるので注意して
下さい。
注意 1 :Z(ワーキングディスタンス)つまみを
3mmにして使用する時は試料が試料ホル
ダ上面より飛び出ていると試料傾斜、試
料移動により試料が試料室内で〆ぶつかり
試料を損傷することがあります。試料上
面は試料ホルダ上面より飛び出さないよ
うに試料台を試料ホルダに固定して下さ
2-4 試料ホルダ止めネジを緩めて試料ホルダを上ヘ引
き抜きます。(図 1参照)
ネジの向きが悪くドライバが入りにくい時は R (回
転)つまみを回して位置を調整します。
注意 2 :試料を試料台に固定するには、それぞれ
の試料に従って工夫が必要です。瞬間接
着剤とか、両面テープとか、電導性塗料
(銀ぺーストなど)などを用いて下さい。
但し、電導性の悪い試料を試料台にとり
つけたときは、カーボンを蒸着し、その
上に金を蒸着するとか,あるいは単に金
を蒸着して下さい。そして、試料でない
部分であれば電導性塗料(銀ぺーストな
ど)をぬる必要があります。
-4-
2-7 試料が固定された試料ホルダを試料ホルダ取付台の穴に押し込み、試料ホルダ止めネジを締めつけ、固定し
ます。
ネジが緩んでいると振動の原因になるので注意して下さい。
その他の試料ホルダ、についても同じ要領で行ってください。
2-8 試料室扉を閉め、パンチ錠を閉じます。
注意:試料室と扉との真空シール用パッキングにゴミがついていたり、外れかかっていないか確認して下さ
2-9 r真空系の操作」の項を参照して鏡体内を排気します。
注意:真空排気速度の遅い場合があります。これは試料からの放出ガスが多いか、試料室扉の真空パッキン
グに繊維等のゴミが付着していることが考えられます。
-5-
8. 試料装置の取り扱い方
3・1. 仕様
(図3-1参照)
-試料の大きさ
最大 150mm1>
・試料ホルダの大きさ (7 種)
(1) 15mm ゆ x 15mmt
(2) 32mmφx 25mmt
(3) 76.5mm1>x25mmt
(4) 100mm ゆ x25mmt
(5) 100mm1>x1mmt
(6) 125mm1>xlmmt
(7) 150mmφx 1mmt
.試料移動範囲
(1) X方向
80mm(ディジタルカウンタにて 675-000-0(5)
(2) 'lO 方向
60mm(ディジタルカウンタにて 675-000-075)
(3) R (回転) (回転つまみを回して動かします〉
360'0エンドレス(ディジタルカウンタ表示にて O~gg)
3.6ー/ 1division
(4) T (傾斜)傾斜つまみを回して動かします
~ l00~gOo
(5) Z(ワーキングディスタンス)ワーキングディスタンスつまみを回して動かし
ます。
3mm~60mm
・設置されているコネクタ
(1)試料電流測定用コネクタ 1本(同軸コネクタ)
(2) 試料に電圧を印加する為のコネクタ(端子は 50 本) オプション
・検出器取付けポート
4個所: 2次電子検出用 1 、 EDX 検出器取付用 l 、外 2ケは予備
3・2. 話料の移動
試料の移動範囲は試料の大きさにより異なります。
それぞれの試料ホルダの大きさに対して Y.T.Z を変数にしてその移動範囲をグラフに
しています。そのグラフを参照して必ずその移動範囲内で使用して下さい。
・試料を回転させたい時は Rつまみを回します。時計方向に回すとブラウン管上の映
像は反時計方向に回転します。
厳守:試料室扉を開閉する時はつまみの位置をそれぞれ
X…・・・……・・・ 000
-6-
Y ……………000
T…………… 0 。
付近に移動してから試料室扉を開閉して下さい。移動しないで試料室扉を開閉
しますと試料ステージと試料室がぶつかる事があります。
・試料の凸凹側面を観察したい時は、試料を傾斜させます。この場合は T (傾斜)つ
まみを回すと試料は傾斜します。
希望の角度にしたい時はステージ前面右横の目盛に角度を合わせます。
厳守:ステージクランプつまみを CLA l\'IP にした状態で T (傾斜)つまみを回さ
ないで下さい 0
・大きな試料ホルダーを使用する場合、或いは低倍率で焦点、深度を深くして映像を観
察したい場合にはワーキングディスタンス (\V.D.) を長くする必要があります。
この場合には z( ワーキングディスタンス)つまみを回す事により、ワーキングディ
スタンスを 3.0nim から 60mm迄変える事が出来ます。
厳守 :zつまみは 3.0mm から 60mmの範囲を越えて回さないで下さい。
Zつまみを回す時はステージクランプつまみを必ず UNCLA lV1P にしてか
ら行って下さい。
3-3. 話料電流の測定
-試料電流測定用コネクターは試料室扉前面の右下に設置されています。通常、試料
電流の測定を行わない時は必ず試料電流接地用のコネクタープラグを差し込んで下
さい。
・試料電流を測定する場合は、付属のプラグ (BNC-P-55U) にコード、をつけて使
用します。コードの先端は市販のマイクロアンペア計の入力に接続して用います。
3-4. 試料への電圧印加〈オプション〉
このコネクターは半導体等にバイアスを加えた状態で観察をする時に使用します。
端子は全部で50本あり、試料室扉前面左下に設置されます。
この端子を使用しない時はダストキャップをかぶせておいて下さい。使用する場合は、
付属のプラグ・ (DB-25S、 2個)にコードを付けて信号を加えたり、信号を取り出し
たりします。
電気的規格はつぎの通りです。
定格電流 lA
耐電圧 DC300V
絶縁抵抗 5000]¥1Q以上
-7-
3・5. 話料ステージクランプの使い方
高倍率での像観察のとき、振動が問題になったら、試料ステージクランフ。つまみで
CLAMPにして下さい。
操作つまみは試料室右側面にあり(ステージクランプつまみ)、時計方向に回すと
UNCLAMP、反時計方向に回すとCLAMPになります。クランプ、アンクランプ操
作はつまみを軽く最後まで回します。回転が止まったらそれ以上無理に力を加えない
で下さい。又、クランプ、アンクランプされる瞬間、像が移動しますが問題はありま
せん。
厳守 1 :クランプした状態でT (傾斜)つまみ、 z (ワーキングディスタンス)つ
まみを回さないで下さい。 x方向移動、 Y方向移動、 R (回転)つまみに
関しては、この限りではありません。
厳守 2 :クランプした状態で試料室扉を開閉しないで下さい。
-8-
3-6. 話料室外観
真空引口
パチン錠
ワーキングディスタンスつまみ
X 方向移動モータ
回転つまみ
回転位置カウンター
X位置カウンター
t 1
ストキャップ ム~(オプション〉
-9-
ステージクランプつまみ
試料室前扉
傾斜つまみ
Y方向移動モータ
Y位置カウンター
電圧印加用コネクタ(オプション〉
試料電流測定用コネクタ
試料電流接地用コネクタ
図3-1
(SS)20ヶド021〉
o-00
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一-L-(昌信)zo-←02iLP
O
-
c
c
-
3・7. 話料の移動できる範囲
寸-←斗一一-t-+ 1
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一一
(SS)zo-
•02iLP
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十
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IL--ou
-15-
-16-
4. 電芋銃カートリッジの蚕襖
図4-1
電子銃
カートリッジ取付座
電子銃カートリッジ
押さえリング
電子銃カートリッジ
電子銃碍子
「真空系の操作」の項を参照して鏡体内に空気を入れます。
・電子銃室の左側に取り付けてある蝶番を境に割るように電子銃を左側に倒します。
(図4-2参照)この時、直ちにアース棒を電子銃カートリッジに接触させて下さい。
※次の作業中は、電子銃室内、鏡筒内にゴミを落とさないように注意して下さい0
・電子銃カートリッジ押さえリング
を反時計方向に回して外します。
次に電子銃カートリッジを電子銃
カートリッジ取付け座より引き抜
きます。(図4-1参照)
注意:画像観察後、直ちにこの
作業を行いますと、電子
銃カートリッジは高温(2
00度C以上)になってい
ますので、冷えるまで
待って下さい。
・新しい電子銃カートリッジを電子
銃カートリッジ取付座へ差し込み
ます。(電子銃カートリッジの向
きはどちらでもよい)
次に電子銃カートリッジ押さえリ
ングを取付座にねじ込みます。
・電子銃を右側に倒します。この時
アース棒が電子銃室にぶつからない様に注意して下さい。
「真空系の操作」の項を参照して鏡体内を排気します。
注意:真空排気速度が遅い場合、電子銃室の真空パッキングに繊維等のゴミが付
着していることが考えられます。
民偽帆
-17-
電子銃碍子
アース棒
電子銃ハウジング
蝶番
電子銃カートリッジ
押さえリング
電子銃カートリッジ
電子銃カートリッジ取付箆
アノード受孔
電子銃室
鏡筒
図4-2
-18-
5. 画像の塑し方
5・1. 操置の初期状態
装置起動後、操作部メインパネル上のスイッチは一部下記状態に初期設定されます。
スイッチ さ員さ又丸会 定
SPECIMEN MOVEMENT ③ スピード 5 (S盲 D)
SCAN SPEED ⑬ VI
GUN ALIGNMENT AUTO ⑫ ONLED表示パネル上のLED
(“AL IGNMENT" ⑧ が点灯)
HIGH VOLTAGE UP/DO\VN ③ KV
9(LED表示パネル上のHIGH VOLTAGE)表示⑤が“ 10 KV" を表示
HIGH VOLTAGE ⑫ OFF〈スイッチの下半分が点灯していない〉
FOCUS AUTO ⑪ OFF及び (LED表示パネル上の LED “ F OCUS")
STIGlVIATOR AUTO ⑬ (“ ST IGMATOR" ⑮ が消灯
SCAN SPEED PHOTO ⑬ OFF
メインパネル上のつまみ及び左右のサブパネル内のスイッチ、ツマミ類は初期設定
されないので、画像を出す前に、次表に従って確認したほうが良い場合があります。
-19-
番号香月a員又
~
疋ツマミ、スイッチ
③一⑤⑤⑦一③⑨
チみツ土品
イみみみみつ
ス土品、官民土品土小
つつつつ
M
T
O
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ム
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土品一
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一
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O
一
斗
&
一
長C
一
と
一
杯
な一向向向一向
い
一
方
方
方
一
向
方
て一時時時一方計
し一
222
一時時
押一
till
一9
反
ノて
任意
任意⑬⑫一⑬⑬一⑬⑪一⑫⑫
FOCUS FINE つまみ
ネ iFOCUS MEDIUM つまみ
ル /STIGMATOR X つまみ
STIGMATOR Y つまみ
IMAGE SHIFT X つまみ
IMAGE SHIFT Y つまみ
DYNAMIC FOCUS つまみ
左 IFOCUS COARSE つまみ
昭…昭…
参参恥一
参一
てて一
すせ一
つつまわ一
』にせ合一
正正わト一
補補合ン一
N
のの)りピ一
O
差差一点点向よの一を
収収一中中一方に像一⑧
点点一のの一時さ画一
非非一転転一
2高l
一C
66
回回一
1
の一一
i
一一
OO
〈料
6
一P
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試「一“
⑧~⑧
⑧⑩
gi
サ iSCAN MODE スイッチ
SIGNAL CH1/CH2 スイッチ
ブ ISIGNAL SIG1/XRAYl スイッチSIGNAL SIG2/XRAY2 スイッチDET HV スイッチ
〉択択
択選選
選をを
を""
"唱
iηι
iGG
HIi
pしQUQU
FFF
FFFN
0000ノて
SCAN MODEPOSITION X つまみ
ネ l POSITION Y つまみ
SPOT SIZE FREE つまみ
ル iCH2 BRIGHTNESS つまみ
ECP スイッチ
ECP FOCUS つまみ
PHOTO SPEED スイッチ
PHOTO ACB ON/OFF スイッチ
PHOTO ACB ADJ スイッチ
PHOTO ACB CONT トリマ
右 IPHOTO ACB BRT トリマPHOTO DATA OFF スイッチ
サ IPHOTO FILM No PRESETスイッチPHOTO FILM No 設定 スイッチ
⑧⑧一⑧⑧
12 時方向
12 時方向
12 時方向12H寺方向
( I OFF⑧ 12B寺方向
( I OFF(NORMAL)安 I ON安 I OFF
遺 I} r7-3ACB による露出の設定」参照
⑬ r7- 5 データプリントについて」参照gl 押していないときはOFF になっています。
.フ
みリ
7A1741の
ふま・
4ま土ふ中ま
つつつつ
XYXY
TT
FFTT
TATiTUTμ
HHii
SSTT
TTTTT
NNNNN
EEEEE
MMMMM
NNNNN
GGGGG
T・-μTLT-UT-UT--U
AAAAA
NNNNN
UUUUU
GGGGG
パ、不
⑫⑬⑩@一⑪⑫@@
参方!)。
ん出ん
せのせ
まム土ふ
れソ一れソ
あビあ
は杯子は
に向向一電向に
様方方一向
2方様
仕時時一方一時仕
準
22
一計52
準
標
11
一時「
1
標
Jレ
チ
みマみツ
まリまイ
つトつス
QUAR
υ
NNN
OGOE
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SSSA
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EEEF
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リノユ
さン下ヨて
、ンIν、ノ
プに。
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F
く
、F除
に0
を
トを合
ツチ場
ロッの
スイト
用スツ
ン
Fニ
ヨFユ
シ
O
ン
プ/ヨ
オ
N
シ
ヲ匂ハU々ノ
あのレ
に上コ
段ルト
上ネル
のパチ
ルの/
ネトン
パツヨ
一ボニシ
表ユ一
D各テ
E
L
L合口
、
場ン
ルるヤ
ネい
キ
パ
て
ス
ブ
れ、
サさし
の
備だ
右装
た
左が(
注
-20-
5-2. 電子ビームの出し方
-通常の操作でビームを出すとき
装置始動後、鏡体の排気が終り、 HVスイッチ⑧の上半分が緑色に点灯してから、
同スイッチを押して、下半分をオレンジ色に点灯させると電子ビームが出ます。画
像観察、試料交換をくりかえし行う場合には、 HVスイッチ⑫には手を触れずに、
AIRスイッチ②を操作するだけで、排気が完了すると、自動的に電子ビームが出
ます。
装置から離れるときは、 HVスイッチ⑫を押して電子ビームを切って下さい。
(注) HVスイッチ⑫の上半分と下半分が両方点灯しているときのみ電子ビームが
出るようになっています。
・ビームが出ても画像が見えないとき
フィラメントを交換し、カートリッジを電子銃に装着した後、最初に電子ビーム
を出す時には、電子銃光軸がずれて、電子ビームが出ているのに画像が見えない場
合があります。このような場合には、つぎの手順で電子銃の光軸を機械的に合わせ
直さなくてはなりません。(通常の操作で同じように画像が出る時は必要有りませ
んo )
(1)一旦HVスイッチ⑫を切ります。(同スイッチの下半分が消えます。)
(2) GUNALIGNl¥IIENTAUTO スイッチ⑫を押します。 (LED 表示パネルの
ALIGN l\tlENT ③が消えます。)
(3) 再び H\1 スイッチ③を押します。(同スイッチの上半分と下半分が共に点灯
します。)
(4) GUNALIGNl¥lIENTTILTX、 Yつまみをどちらも 12 時方向に合わせます。
(5) フィラメント交換時に、可動絞りも併せて交換したのであれば、絞り穴をビー
ムが通過しない場合が多いので、可動絞りを一番手前にヲ i し 1 た位置 (FREE)
にしておいて下さい。(詳しくは 16 -8可動絞りの使い方」参照)。可動絞り
を動かさなかったら、そのままにしておいて下さい。固定絞りを使用している
場合は、考慮する必要はありません。
(6) ErvlISSION つまみ⑧を初期設定通り、時計方向一杯の位置にしておき、
BIAS つまみ⑧を 12 時方向にします。このとき、 LED メーター③は 100 付近を
示します。
(7) 鏡筒上部の 2個の電子銃軸合わせつまみを回して、画面の明るさが最大にな
るように調整します。
(注 1 )画面の明るさが最大になったことを確認するには、 SCAN SPEED
スイッチ⑬の \VF l\tlを押して、画面に現れる波形の高さを見ます。
(注 2 )画面が暗過ぎる時(又は vVF lVlの波形の振幅が小さ過ぎる時)は、
CONTRAST つまみ⑤か、 SPOT SIZE つまみ⑦を時計方向にまわし
ます。画面が明る過ぎるときは逆に反時計方向にまわします。
(注 3) E lVIISSION のつまみ⑧及びトリマ②は特別な理由がない限り、回さ
ないで下さい。特にトリマ②は工場出荷時に、フィラメントに流す最
大電流を設定していますので、これを時計方向にまわし過ぎると、フィ
-21-
ラメントの寿命を縮めたり、溶断してしまう事があります。
(8) (5) において、可動絞りを手前に引き抜いた位置にしていた場合は、元通りセッ
トし調節します c (詳しくは r6 -8 稼動絞りの使い方」参照)
-22-
B. 画像の調整
6・1. ピント合わせ
• LED表示ノミネルのALIGN1\lENT ③が点灯したまま、電子ビームが出始めると、
約3秒後にオートガンアライメントが動作し、つづいてオートフォーカスが働いて
ピントの合った画像がでて来ます。
(注)各オート機能の動作時間は
オートガンアライメント 約0.5秒
オートフォーカス 約4秒
であり、動作中、画像は消えています。
・電子ビームが出て一度オート機能が働いた後は、各AUTOスイッチ⑪、⑬を押す
毎に、それぞれの機能が再度動作します。
(注 1 )電子ビームが出る前 (HVスイッチ⑫の上半分か下半分又は両方共が点灯
していないとき) GUNALIGNl¥-IENTAUTO スイッチ②を押して LED
③を消しておくと、電子ビームが出てから、オート機能は自動的にスター
トしません。そしてオートガンアライメントは AUTO スイッチ⑫を押し
でも全く動作しませんが、オートフォーカスは AUTO スイッチ⑪を押す
事により動作します。
(注 2) FOCUSAUTO スイッチ⑬を 2秒以上続けて押していると、オートフォカ
スが解除され (AUTO FOCUSLED ⑦が消える)ピント合わせは、
FOCUSFINE つまみ⑮と FOCUS lVIEDIUM つまみ⑫によるマニュアル
操作となります。
・試料を移動させたり、倍率を上げたりして、ピントのボケが目についたら、スイッ
チ⑪を再度押すか、つまみ⑬、⑫による手動調整でピントを合わせなおします。
(注)オートフォーカスが働いた時 (LED ⑦が点灯している時)には、つまみ⑬、
⑫を回した時の効き具合はオートフォーカスが解除された時の約 10分の l に
なっています。
・試料のワーキングディスタンスを大きく変える時は FOCUS COARSE つまみ②を
動かさないと、ピントが合わせられない場合があります。つまみ②は S---L まで 4 ス
テップあり、各ステップでピントの合わせられるワーキングディスタンスは次の表
のようになっています。
FOCUS COARSEワーキングディスタンス 可能な最低倍率
つまみ ⑫
S 2 -- 4mm 約 115--85 倍. 3 -- 9mm 約 100--55 倍-. 6 --23mm 約 70--30 倍
L 15 '‘、d 65mm 約 40--10 倍..
(注)オートフォーカスを動作させる時も、 FOCUS COARSE つまみ⑫を上表に
したがって合わせておいて下さい。
-23-
6・2. 倍率の選択
倍率を選ぶには、1t1AGNIFICATIONつまみ⑧をまわします。これにより倍率が
変化します。各ステップの中間倍率は、 ZOOrvlつまみ⑨をまわして調節します。両
つまみ共右へまわす程倍率が高くなります。その時の倍率は、 LED表示パネルのM
AGNIFICATION ②に表示されます。
(注〉表示される倍率は、 4X5インチサイズの写真上で全視野となるような画面の倍
率です。観察中の画面の倍率は表示値の約1.8倍です。
6・3. 観察する視野の移動
観察する視野を移動させるには通常SPECIMEN MOVErvlENTスイッチ④を用い
ます。スイッチ④の4つのボタンに印された矢印の方向は、試料が試料ステージ上で
移動する方向を示しています。これは、 CRT上の画像の移動する方向とは必ずしも
一致しません。これが一致するのはワーキングディスタンスが3mm付近の時ですo (た
だし、オプションのスキャンローテーションを使用している場合は回転角。。の時)
試料の移動スピードは、 SPECIlVIEN rvIOVElVIENTSPEED スイッチ③を操作して
切り換えます。スイッチ③の AUTO を押して同スイッチを点灯させておくと、 MAG
NIFICATION つまみ③のステップに応じて、自動的にスピードが切り換わります。
各スピードでの移動量は概略下記の通りです。
SPEED 試料の移動量
置 O.5mm/ 秒
園 o. 25mm/ 秒
目 O.03mm/ 秒
Eヨ O.004mm/ 秒
Eヨ O.002mm/ 秒
なお、 1万倍以上の高倍率で視野を移動させる場合は、 IMAGE SHIFTX ,Yつま
み⑬、⑫を併用すると、観察位置の微調整が容易です。
6-4. スポットサイズの選択
SPOTSIZE つまみ⑦をまわすと、ピントを合わせたときの電子ビームの太さが変
わり、同時に画像の明るさが変わります。つまみ⑦を MIN (反時計方向一杯)にす
ると、電子ビームが最も細くなり、分解能も最高になるが、画像は暗くなってゆき、
つまみ⑦を時計方向へまわしてゆくにつれて、電子ビームが太くなり、分解能が低下
するが、画像は明るく観察しやすくなります。
従って観察している倍率で必要な分解能を満たす程度以上に電子ビームを絞り過ぎ
ないように、スポットサイズを調節する事が効率の良い使い方です。
観察倍率と、 SPOT SIZE つまみ⑦の位置の大まかな目安は、次の通りです。
-24-
倍 率 SPOT SIZE つまみ⑦
一-
5000 倍以下 #10--#47 (]\,1AX.)5000--20000倍 #5--#10
10000--50000 倍 #3--#550000 倍以上 (MIN.) #1--#3
(注) X線分析等の時は、 SPOT SIZE つまみ⑦を FREE (時計方向一杯〉の位置に
すると、左サブ、パネルの SPOT SIZEFREE つまみ⑧で連続可変する事がで
きます。
6-5. 加速電圧の選択
電子ビームの加速電圧は、 HIGH ¥TOLTAEUP/DO \tVN スイッチ③により行いま
す。スイッチ③のレバーを奥側に倒すと、加速電圧が上がり、手前側に倒すと下がり
ます。その時の加速電圧は、 LED 表示ノミネルの HIGH VOLTAGE ⑤に表示されま
す。
加速電圧の可変範囲は O. 5-..,30kVで、 O. 5-"'3.Ok\l の聞は O.lkV 間隔、 3kV -.., 30kV
の間は、 1kV間隔で、全部で51段階です。
6-6. 非点収差の補正!こついて
FOCUSつまみ⑬、⑫をまわしても、画像のピントが良く合わないような時は、非
点収差が生じ、電子ビームの断面が楕円形に歪んでいる場合です。非点収差は鏡体内
の絞り等が長時間の使用で、徐々に汚れてきて発生したり、観察している試料が磁性
を帯びているか、帯電したような場合にも発生します。つまり、非点収差は長時間で
変化するのが普通であり、頻繁に補正する必要はありません。急に発生するとしたら、
試料そのものの事情か、絞りの穴のそばにホコリのようなものが付着したためです。
ただし、可動絞りを使用している場合には、それが正しい位置からずれた時、非点収
差が発生します。( r6-8可動絞りの使い方J 参照)
観察する倍率が数1000倍以下では、非点収差が正確に補正されていなくてもほとん
ど識別できません。非点収差が発生しているかどうかを確認するには、倍率を10000
倍程度にし、ピントが最も合った点(正焦点)の前後にFOCUS MEDIlJ:NIつまみ⑫
を少し動かしてみます。もし発生しているなら、正焦点の前後に画像がある方向に流
れて見えるところがあるはずです。又、流れる方向は互いに直交しています。
このようなときには、 STIGI\-1ATOR AUTOスイッチ⑬を押すと、画像が約8秒間
消えた後、補正された画像が現れます。またスイッチ⑬を押すとLED表示パネルの
AUTOSTIGMATORLED ⑫と FOCUS LED ⑦が同時に点灯します。以後スイッ
チ⑬を押す毎に、オートスティグ機能が働きます。この機能はスイッチ⑬を 2秒以上
-25-
続けて押すと解除され、 LED ⑫、⑦は消えます。
非点収差を手動で補正する場合には、オートスティグ機能を解除しておき、ピンド
の最も合った点に合わせ、 STIGMATOR X、 Yつまみ⑬、⑬をそれぞれ少しずつ動
かし、更にピントが合うように調整します。このときも、倍率は10000倍前後か、そ
れ以上で行ないます。
(注)通常のピント合わせのときには、つまみ⑬、⑬を不必要にまわさないでください。
6・7. 画像の明るさ、コントラストの調整
画像の明るさやコントラストを観察しやすく調節するには、 CONTRASTつまみ
⑤と BRIGHTNESSつまみ⑥をまわします。 r6 -4 スポットサイズ、の選択」を参考
に、 SPOT SIZEつまみ⑦を設定した後、画像が暗くなったらつまみ⑤を時計方向へ、
逆に明るくなったら反時計方向へまわします。このとき、画像のコントラストが強過
ぎたら、つまみ⑤を反時計方向に少しまわし、暗くなった分だけ、つまみ⑥を時計方
向にまわして見易い明るさに合わせます。逆にコントラストが弱し、場合には、つまみ
⑤を時計方向にまわし、明るくなった分だけつまみ⑤を反時計方向にまわして見易い
明るさに合わせます。
6・8. 可動絞りの使い方
-可動絞りの調整
FOCUSl\IIEDIU 1\t lつまみ⑫を左右にまわした時、像が動くことがあります。こ
の現象は、電子線が対物レンズの中心を通っていない時に起こります。(レンズセ
ンタが合っていないと云う)この時、非点収差が非常に大きく発生します。
このような状態ではシャープな像が得られません。特に高倍率では、わずかのレ
ンズセンタのズレが装置の分解能に影響するので、レンズセンタ合わせは数万倍の
像で行う必要があります。又、一度合わせたら、不必要に動かさないで下さい。
a)SCANSPEED スイッチを RED にします。 SCAN MODEPOSITIONX,Yつまみ⑧、⑧及びIlVIAGE SHIFTX ,Y ⑬⑫は 12 時の位置にします。
b)FOCUSlVIEDIUM つまみ⑫を左右にまわしながら、可動絞り装置の X微動つ
まみ、 Y微動つまみを静かにまわして CRT 上の像が動かないようにします。
c) 像が CRT 上で左右に動く時は、 X微動つまみを回わして像が動かないように
調整します。
d) 像が CRT 上で上下に動く時は、 Y微動つまみを回わして像が動かないように
調整します。
e) 像が CRT 上で斜めに動く時は、 X微動つまみ、 Y微動つまみで、像が動かない
ようにします。
備考:レンズセンタ合わせを行う時は、まず 5000 倍位で行い、それから倍率を徐々
に上げて、その都度、調整してください。
-26-
鏡筒
Y微動つまみ
交換つまみ
(注)電子ビームの加速電圧を大幅に変化させた時 (HIGH VOLTAGEスイッチ
③の操作による)は可動絞りを調節し直した方がよい場合があります。
・可動絞りを交換した後の調整
可動絞りを交換した後(可動絞り装置の微動つまみを誤って、大きく動かしてし
まったような場合を含む)や可動絞りの穴径を変更する場合は、次のように行いま
す。
可動絞り装置を操作して希望の対物レンズしぼりセットします。
絞り装置の目盛線と絞りの大きさとの関係、は一番手前 (FREE) から次の目盛線
へ200μ 併、 100μ 砂、 50μ 妙、 30μ ゆとなっています。
備考:対物レンズ絞りの使い分け
・標準的な倍率(10 , 000倍以下)での使用の際は、 50μ ゅの絞りを使います0
・ 10 , 000倍以上の高倍率での像観察、撮影の際は30μ ゅの絞りを使います。
但し5k\r以下の加速電圧では50μ ゅの絞りが最適です。
・低倍率での像観察、撮影でも焦点深度の深い像が得たい時は30μ ゅの絞
りを使います。
・プローブ電流を大きくとりたい時、あるいはWDを長くして像観察する
時は、 100μ ゆ、 200μ ゅの絞りを使います。
可動絞りのセットは絞り交換つまみを時計方向へ少しまわします。すると、つま
み軸が鏡筒側へ引き込まれ、一番目の目盛線 (200μ の位置)のところで止まりま
す。更につまみを時計方向へ少しまわすと二番目の目盛線 (100μ の位置)のとこ
ろで止まります。三番目、四番目の目盛線での停止も同様に行い、又この逆の場合
は、つまみを手前に少し引し 1て、次の目盛線のところで反時計方向へ少しまわすと
止まります。
-27-
6・9. 固定絞りの使い方
-固定絞りの組立と取り付け
(1) 下図を参照して、絞りを絞りホルダーに組み込みます。
(2) 絞りを組み込んだ絞りホルダーを対物レンズに挿入します。
〈注)組み込む時、非点収差の原因になる小さなゴミ、ホコリが付着しない様注意
してください。
a
l
m
川
⑥l
l
-28-
対物レンズ
絞リ押え
絞りホ jレダ
フ.写真による画像の記録
7・1. PHOTOスイッチを押します
画像の視野とピントを合わせたら、 PHOTOスイッチ⑮を押すと、同スイッチがオ
レンジ色に点灯し、写真撮影モードになり、カメラにセットされたフィルムに画像が
記録されます。
写真撮影の時間には 2 種類あり、右サブパネルのPHOTO SPEEDスイッチ⑧で
NORMAL とSLOWを切り換えます。通常はNORMAL (OFF債のにしておきます。
NORMAL及びSLOWの撮影時間は電源周波数により異なり,つぎの通りです。
PHOTO SPEED 撮 影 日寺 間
スイッチ ⑧ 50Hz 地域 60Hz 地域-ー
NORMAL 82 秒 68 秒
SLOW 164- 秒 136 秒
7・2. 媛影時の露出
ACBAUTO スイッチ⑩が ON になっていると、 PHOTO スイッチ⑬を押した時、
自動的にオートコントラスト/ブライトネス機能が動作してあらかじめ設定しておい
た適正露出で写真撮影されます。スイッチ⑩が ONになっているときは LED 表示パネ
ルの ACB スイッチ⑪が緑色に点灯し、写真撮影中は点滅します。
7-3.ACB の設定
ACB によってセットされる適正露出を調節し直すときは、
(}) PHOTO と TV を除く、通常のスキャンスピードでピントの合った画像を観察
します。
(2) SCANSPEED スイッチ⑬の WFM を押してオレンジ色に点灯させます。
(3) ACBAUTO スイッチ⑩を ONのまま、 ACB ADJ スイッチ⑪を押して ON に
します。このとき ACB LED ⑪は点滅を始めます。
(4) 画面に現れた波形を、その両端にある 2つの異なるレベルにある基準線③、⑤
に対して、振幅を ACB CONT トリマ⑫で、高さを ACB BRT トリマ⑬で調整し
ます。
@円刀
Eι
コントラスト
@暗
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波形の振幅を大きくすると、コントラストが高くなり、波形を上へずらすと、
全体的に明るくなります。
(5) .ACBADJ 、スイッチ⑪を押して OFF にします。このとき、 ACB LED@ は
点滅をやめ点灯状態となります c
7-4. 手動で露出を合わせて写真を撮る時
写真撮影時の露出を手動で合わせるときは、 PHOTO スイッチ⑮を押す前に、 ACB
AUTO スイッチ⑩を押して OFF にします。このとき、 j\.CB LED ⑪は消え、オート
コントラスト/ブライトネス機能は動作しなくなります c
手動で露出を合わせる方法は、前項 7-3 にあるように、 WF l\ 1の波形を見ながら
CONTRAST つまみ⑤と、 BRIGHTNESS つまみ⑤をまわして、波形を基準線③、
⑤の間にだいたいおさまるように合わせます。それから PHOTO スイッチ⑮を押しま
す。
(注) Y- l\10DULATION 像(オプション)の写真を撮る場合、 vVFM の波形は直線
になるので、この直線を'O;{ l\IODULATION ユニットの上の BRIGHTNESS
つまみで vVF l\ 1の基準線の高い方へ合わせます。
7-5. データプリント!こついて
撮影された写真の下部には、次の図のようなデータが焼き付けられます。
加速電圧 倍率 スケール長さスケールフィルム番号
倍率表示の rKXJ は 1 , 000 倍が単位であることを示します。スケールの長さの値は、
スケールの長さが写真上で、どれだけかを示します。単位 μ のとき、ミクロン (10-6
ハU
つ
リ
m) 、単位 n のときナノメーター (lO-9m ) を表わします。
フィルム番号は、 LED表示ノミネルのFILM No.表示。により、次に撮影する写真
に焼き込まれる番号が表示されています。なお、フィルム番号は、 4 ケタ共FILM
No.設定スイッチ⑬により自由に決められ、 PRESETスイッチ⑬を押すと、 FILM
No.表示。が書き換わります。
DATAOFF スイッチ⑬のどれかを押して、任意に上記のデータが焼き込まれない
ようにすることもできます。どれかひとつでもデータが焼き込まれない状態になって
いるときは、 LED 表示パネルの DATA OFFLED ③がオレンジ色に点灯します。
-31-
8.DYNAMICFOCUS の使い方
試料の側面を観察したいとか、凸凹の状態を観察したいとか低倍率ではよくあります。このような場合、試料を
傾斜させ画面の中央にピントを合わせると焦点深度の不足により画面の上下ではぼけた像になります。
これを補正するために DYNAMIC FOCUS が使われます。
・「試料装置の取り扱い方」の項に従って試料傾斜角度を読みます。
そして、 DYNAMIC FOCUS つまみ⑫をこの角度に合わせます。つまみ⑫が 0以外の位置に合わせてあるとき
は、 LED 表示パネルの D.FOCUS LED ⑤がオレンジ色に点灯します。
・甑面像の中央に FOCUS つまみ⑫を回してピントを合わせます。
すると画像全体が一様にピントの合った像になります。
試料傾斜の角度を読んで DYNAMIC FOCUS つまみ⑫をその角度に合わせるのが一般的なやり方ですが、試
料そのものが平坦でない場合は、{象を観察しながら画面全体が一様にピントが合うように DYNAMIC FOCUS
つまみ⑫の位置を選定します。
場合によっては、画面像の上下にピントずれがある方が立体感が出るので DYNAMIC FOCUS つまみ⑫を必
ず使用しなければならないとは限りません。この場合は、つまみを零度にしておきます。
-32-
8. 反射電子像の観察
反射電子は、入射電子(試料に照射する一次電子で数kV-'"数 10k\Tのエネルギーを
もっている。)の後方散乱された電子で一次電子と同程度のエネルギーをもっていま
す。後方散乱の様子は試料の表面の状態により決まり、二次電子(入射電子により、
試料から二次的に発生した電子で数e\Tのエネルギーをもっ)で画かれた像とは像質
の異なったものとなります。画像の出し方J r画像の調整J の項に従って二次電子
像を出し、 DET H\Tスイッチ③を押してOFFにします。このときLED表示パネルの
DETH¥TOFFLED ②がオレンジ色に点灯します。
そして、 SPOT SIZE つまみを時計方向に回してくると反射電子像が見えてきます。
この場合も、 「画像の調整 J の項を参照してピント合わせを再度行う必要があります。
場合によっては、非点収差の補正を行うこともあります。
再び二次電子像を得るには必らず SPOT SIZE つまみを反時計方向に回して、元の
位置に戻してから DET H\T スイッチ②を再び押して OFF にします。このとき、 DET
HVOFFLED ②は消えます。
-33-
10.SIGNAL 及び SCANMODE の切携
左サブパネルの SIG~i-\L 及び SCAN lV IODE の切換えは、主として二次電子検出
器以外の検出器や、 X線分析装置を使用する時に用います。
SIGNAL と SCAN rvl0DE の切換は、各入力信号を下図の流れに従って切り換えま
SIGNAL の切換
LP ⑧ i ラインプロファイル
画面表示
{通常の画像ドットマップ像
SCANMODE選択
SIGI/XRAYI ⑧
SIG2!XRAY2@
SIG1/XRAY1(②
SIG2/XRAY2 ⑨
す。
コネクター
XRAYlJELlS
XRAY2JELI6
SIGIJEI
SIG2JE2
LPIJEL17
LP2JEL18
《一類》コネクター名
この他 SCAN lV10DE の切換の中の LINE スイッチ②、 SPOT スイッチ⑧を押すと
CRT 上にライン又は、スポットが表示さます。この場合は、画面上のどこにビーム
が当っているかを示しているだけで、検出器からの信号は表示されません。
LINE スイッチ③が押しであるとき、 POSITION '1.""つまみ⑧をまわすと、ライン
が上下に動きます。これによりラインプロファイルを表示する試料上の場所を指定し
ます。
SPOT スイッチ⑧が押しであるときは、 POSITION X ,Yつまみ③、⑫をまわすと、
スポットが上下左右に動きます。これにより点分析を行う場所を指定します。
(注) I. コネクタ JEI 、 2、 JEL15~18 は、操作部背面パネルを取りはずすと、内
部に見えるマザーボード上にあります。
2.ラインプロファイルとは、入力信号の強度を高さとしてグラフ表示するも
ので、ウェーブフォームモニタ (WFM) と同じよなものです。
3.その時表示されている信号が何であるかはLED表示パネル上のLED ⑧、
②、⑮、⑧を見ればわかります。
4. 標準仕様では二次電子検出器は、コネクターJEI'こ接続されているので、
CHI側で観察します。
5. JELl5(XRAYI) と JELl6 (XRAY2) への入力信号は 5Vp-p のパル
-34-
スです。
6.JEL17(LPl) と JEL18 (LP2) への入力信号の外部機器側の出力条件は、
出力インピーダンス lOOQ 以下
出力電圧 O~ -lOY
となります。
7. SIG2 から入力した信号の BRIGHTNESS 調節は、左サブパネルの CH2
BRIGHTNESS つまみ⑧で行います。
8.ラインプロファイルの写真撮影には露出調整の必要はありません。 ドット
マップ像の写真撮影はブライトネスつまみ⑥または⑧をまわし、 SCAN
SPEEDスイッチ⑬のWFMを押して、波形を基準に合わせるか、通常通り
ACBを動作させて行ないます。
-35-
11. フィラメントの亥梅
11-1 グリッドキャップ回転止めネジを緩め、グリッドキャップを
反時計方向に回し、フィラメントホルダからはずします。
次に 4本のフィラメントセンタリング調節ネジを緩め、フィラメ
ントホルダよりフィラメントを取り出します。(図 11 ~ 1参照)
11-2 グリッドキャッフ、フィラメントホルダのクリーニング
は「電子銃カートリッジ、アノードのクリーニング」の項を参
照して下さい。
特にグリッドキャップの先端の孔の外側面及び内面は念入りに
クリーニンク守する必要があります。汚れていると放電を起こす
原因になります。
図11-1
グリッドキャッフ。
/グリッドキャップ
フィラメントホノレ夕、.
フィラメント
センタリング
調節ネジ
フィラメント
センタリング
調節ネジ
フィラメントベース
図11-2
回転部
フィラメント
セッティング
治異
11-3 新しいフィラメントをセットするには図
11-2を参照しながら次の様に行います。
フィラメントセッティング治具(付属品)
に新しいフィラメントを差し込みます。
(フィラメントの向きはどちらでもよい)
フィラメントベースの上にフィラメントホ
ルダを乗せ、次にグリッドキャップをフィ
ラメントホルダに静かにねじ込みます。そ
の時フィラメントの先端がグリッドキャッ
プの先端孔に入ってくるように上から覗き
ながらフィラメントホルダを動かします。
そしてグリッドキャップの先端とフィラメ
ントの先端の高さが同じになる様にグリッドキャップを回転して合わせます。
11-4 次に 4 本のフィラメントセンタリング調節ネジを回してフィラメント先端をグリッドキャップ先端孔の中心
にもって来ます。
この中心合わせはフィラメントセッテイング治具の回転部を回しながら上から覗くとフィラメントが孔の中心
に来ているかどうかわかります。中心合わせが出来たら 4本のフィラメントセンタリング調節ネジを少しづっ
静かにネジ込んでゆき最後に 4本全てのネジを締めつけます。
5倍から 10 倍のアイピースで確認して下さい。
11-5.4 項の作業後グリッドキャップをまわしてグリッドキャップ先端子しの上面とフィラメント先端とが同一面上
にくるように合わせます。次にグリッドキャップを反時計方向に 1回転まわします。そしてグリッドキャップ
回転止めネジを静かに締めます。余り強く締めるとグリッドキャップが傾きフィラメントの先端が孔の中心か
らずれるので注意する必要があります。
-36-
交換の必要なし
3ヶ月おき(交換あるし 1 はクリーニング)
6ヶ月おき(交換)
l年おき(交換)
12. アノード、スリーブ、スリット類の交晦
12-1 r真空系の操作」の項を参照して鏡体内に空気を入れます。
12-2 電子銃室の左側に取りつけてある蝶番を境に割るように電子銃を左側に倒します。この時直ちにアース棒を
電子銃カートリッジに接触させます。
12-3 アノードをつかんで上方へ引き上げるとアノードと一緒にスリーブ、スリット類一式が鏡筒から取り出せま
す。
12-4 アノーにスリーブ、スリット等一式の取り出しが完了したら、電子銃室、鏡筒内にゴミが入らない様にす
ばやく電子銃を右側に倒し元の位置にもどします。
この時アース棒が電子銃室にぶつからないように注意して下さい。
12-5 アノーにスリーブ、スリット等、必要に応じてクリーニング又は交換し、再び図 12 -1 を参考にして接続
し鏡筒の中へ入れます。
12-6 r真空系の操作J の項を参照して鏡体内を排気します。
(注意)真空排気速度が遅い場合、電子銃室の真空ノミッキングに繊維等のゴミが付着している事が考えられま
す。
備考:図l中スリット 1. 2. 3. 4. 5. 6. はモリブデン製なのでクリーニングは真空内で焼けば、再度使用
出来ますが一般には使い捨てにします。アノーにスリーブ、スリット類の交換あるし、はクリーニン
グの頻度は下記の通りです。
1. アノード
2. スリット 1
3. スリット 2. 3.4.5.6
4. スリーブ1. 2.3
スリットホルダ(A)(D)(E)
スリット固定金具
-37-
アノード
(N109A058)
図12-1
の.NG
スリット 1 (.「J1)(N401A092-3)
スリット固定金只
スリット 2 (「J1)
スリット 3 (φ1 )一一-@
スリット固定金具
スリット 4 (「J1)
スリット 5 (「J1)
スリーブ 3
eN1091¥046-1)
スリットホノレダ (E)
(N109A045)
スリットホノレダ (A)
(NI04A039)
スリーブ 2
(N109A046-2)
/スリットホルダ(_A.)
(NI04A039)
スリーブ 1
(N109A046-3)
スリット 6 (φ1 )
~スリ ツ トホホ恥ω;t)v9'ル砂げJルげげレげげ夕ダダ、o、
(NI04A042)
の
む
つd
13. 可動絞りの変襖
対物絞りの交換頻度はSTIGMATORつまみがし、っぱいになって補正が困難になったら交換するのは勿論ですが、
目安として3ヶ月に l度の割合で交換して下さい。
絞りをクリーニングして再び使用する時は、絞りの材質がモリブデンなので真空内で焼く必要があります。
一般には使い捨てにします。
13-1 r真空系の操作J-を参照して鏡体内に空気を入れます。
注意:試料装置のステージクランプつまみを時計方向り回して UNCLAMP にします。
13-2 可動絞り装置の鏡筒への締付けリングを左方向に回し、絞り装置全体を手前に引き抜きます。(図13 -1参
13-3 図 13 -2 を参照して絞り押さえネジを緩めます。絞り押さえ板を外し、絞りを新しいものと交換します。
13-4 新しい絞りをホルダーに乗せ、その上に絞り押さえ板を乗せます。絞り押さえネジで、絞り、絞り押さえ板
をホルダーに締めつけます。
13-5 可動絞り装置を鏡筒へ静かに差し込みます。この時、鏡筒側に付いている位置決めピンが絞り装置の位置決
め穴に差し込まれるようにします。
そして、締付けリングを右方向に回し、しっかりと締めつけます。
13-6 r真空系の操作J を参照して鏡体内を排気します。
13-7 電子ビームを出して r6 -8 可動絞りの使い方」に従って調整します。
-39-
微動つまみ
X微動つまみ
締付けリング
決置
gill
忽
え/ゑり
j
押ぺ
11111111
絞/
図13-1
真空パッキング
ホjレタL
図13-2
-40ー
絞り
絞り押さえ板
14. 電子銃カートリッジ、アノードのクリーニング
電子銃カートリッジ、アノードのクリーニング
14-1 これらが汚れると電子銃室内で放電を起こすことがあります。特に、グリッドキャップの先端孔の外面、内
側面が汚れると微小放電を起こし、像の観察に支障を来たすことがあるので念入りにクリーニングすることが
必要です。
14-2 クリーニングは、柳棒、竹串等にガーゼ又は綿を巻きつけたものに真総磨き用ぺーストを付けて磨きます。
黒い汚れがとれたら、ベンゼン、アセトン、エーテル、リグロイン等で洗澱します。超音波洗線機があれば使
うと便利です。
注意 1 :各部品を磨いた後、真鍛磨き用ぺーストが付着していないように薬品でよく洗縦します。
注意 2 :ゴミや汚れを取り除いた部品は 10 倍程度のアイピースで観察し、清浄になった事を確認します。
薬品で洗糠した後でもゴミが取れていない事があるから注意を要します。
-41-
]5. シンプレータ(SE議出器)の受損
本装置の最高性能を維持するためには、シンチレータを定期的に交換する必要があります。
シンチレータは長時間の使用による劣化によって像質の低下や、アルミニウム蒸着面の汚れやキズなどによって
画面上に輝点や輝線が発生します。およその経験的目安としてSPOT SIZEつまみを平常時の位置で使用している
にもかかわらず更に時計方向に回さないとSErvl像として通常の明るさが取れなくなった場合に新しいシンチレー
タと交換して下さい。特にSPOT SIZEつまみを時計方向いっぱい近くで長時間使用しているとシンチレータの劣
化は早まるので注意が必要である。
「真空系の操作J の項を参照して鏡体内に空気を人れます。
注意:試料装置のステージクランプつまみを時計方向に回してUNCLAl\lPにしておきます。
-プリアンプケースの付根に付いている遮光ゴムをホトマルケース側へ引き寄せます。プリアンプケース取付けネ
ジが見えます。この2本のネジを緩めます。
そして静かにプリアンプケースをホトマルケースより引き出します。
プリアンプとホトマルが一体となって外れます。(図15 -1参照〉
-ホトマルケースを掴んで反時計方向へ静かに回して、ホトマルケースを外します。
-検出器座を止めている4本のネジを緩め、検出器を取り外します。
-ライトガイドに固定しである検出器キャップを取り外し、キャップを止めているネジを緩め、ライトガイドから
外すとシンチレータがはずせます。こときシンチレータキャップ、ライトガイドなどに手の油やゴミが付着しな
いように注意して下さい。(図15-2参照)
-新しいシンチレータをアルミ蒸着面を上にしてライトガイド面に乗せ、シンチレータキャップを静かに挿入し、
シンチレータを押さえます。シンチレータとシンチレータキャップの接触部の1ケ所に銀ペースを1滴塗り導通を
良くします。次にライトガイドに検出器キャップを固定します。
-検出器座を4本のネジで止めます。
注意 1 :一連の作業中常に各部分にゴミや油などの異物が付着しないようにして下さい。
注意 2 :検出器座に付いている真空用パッキングに繊維等のゴミが付着していると鏡体内が排気されません。注
意して下さい。
-ホトマルケースをケース座へ静かにねじ込んで取り付けます。
-ホトマルが付いているプリアンプを静かにホトマルケース内へ最後迄差し込み、プリアンプケース取付けネジを
締めます。
遮光ゴムをホトマルケースより引き寄せプリアンプケースの付根へ押し込みます。
「真空系の操作」の項を参照して鏡体内を排気します。
n/U
Aq
検出穏キャッヌ。
キャップ止めネジ¥
シンチレータ
取付ネジ
シンチレータキャ y フ。
ホトマルケー『
遮光ゴ.ム
検出器座
ベーク座
シンチレータ高圧ケーブノレ
図15-2
倹出器産
プリアンフサース
-43-
図15-1
16.DUALMAGNIFICATION の使い方(オプシヨン)
16-1. 異なる倍率での同時表示
i本のブラウン管の左半面に低倍率像を、右半面に高倍率像を同時に観察すること
が出来る低・高倍率像同時表示機構です。左半面の低倍率像内に四角い枠が表示され、
その枠内の像が右半面に拡大されて画かれます。
• SCANSPEED スイッチ⑬を VI にします。次に DUAL MAG. スイッチを x2、×
5あるいは x 10 にして、 DUAL MAG.ON のスイッチを押します。
ブラウン管の左半面に低倍率像、右半面に高倍率像が観察されます。低倍率と高倍
率の比は、 x2 にすると 2倍に、 x5 にすると 5倍、 X 10 にすると 10倍になります。そ
して高倍像は低倍像に表示される四角い枠内の像が表示されます。
又、四角い枠は POSITION X ,Yのつまみ③、⑧を回すことにより低倍率像のどの
部分にも移動することが出来、観察したい部分を自由に選んでブラウン管の右半面
に拡大することが出来ます。
・ f7. 写真による画像の記録 J を参照して写真をとります。
(注)写真上の倍率データは低倍率側のものとなります。
16 ・2. 異種像の同時表示
ブラウン管の左半面に CHI の像を、右半面に CH2 の像を画かせることが出来ます。
標準では、 CHI に二次電子主信号が入るようになっています。
右半面、左半面は、それぞれ独立しているので異種の像を一つのブラウン管に出すこ
とにより、同時に観察出来ます。又異種像として同じチャンネルの画像の処理したも
のと、しないものを同時表示することができます。 (GAMMA CONTROL, SIGュ
NALPRCCESSING, Y-MODULATION)
注意 I :X-RAY像を出すにはX線分析装置が必要です。
又、異種のX-RAY像を同時観察するためには、 X線分析装置が2台必要
です。
注意 2 :標準仕様の二次電子検出器以外の検出器はオプションです0
・検出信号の接続は、 flO.SIGNAL 及び SCAN MODE の切換 J 参照。
• SCANSPEED スイッチ⑬を VI にします。次に DUAL MAG. スイッチを Xl にし
て、 DUAL MAG.ON のスイッチを押します。左半面の像の選択は、 SIGI/XRAY
1 スイッチ⑨により行い、右半面の像の選択は、 SIG2/XRAY2 スイッチ⑧により
行し、ます 0
・異種像の写真撮影で ACB を動作させるときは、あらかじめ左右の画面の明るさを
目で見た範囲内でそろえておく必要があります。このとき、左画面の明るさは BRI
GHTNESS つまみ⑤で、右画面の明るさは CH2 BRIGHTNESS つまみ⑨でそれぞ
れ調整します。手動で露出を合わせる場合もつまみ⑤とつまみ⑧で WFM の波形が
左右同じになるように合わせます。
ただし Y-MODULATION 像の場合 WF l\tIの波形は直線になるので、この直線を
基準線の上のレベルに Y-MODULATIONユニットのBRIGHTNESSつまみで合
わせます。
-44-
17. 半導体反射電子検出器の使い方(オプション)
17・1. 反射電子像の観察
-通常の本体側の操作により 2次電子像を出します。
・左サブパネルのCHI/CH2スイッチ⑫をCH2(ON側)にし、 CH2 BRIGHTNESS
つまみ⑧を 12 時方向にしておきます。
• BACKSCATTEREDELECTRON ユニットの上 ON/OFF スイッチを ON にする
と、反射電子像が表示されます。
・画像の明るさとコントラストは同ノミネル上の BRT 、及び CaNT つまみで合わせま
す。
・同ノミネル上の ON/OFF スイッチの左側 4つのスイッチの機能はつぎの通りです。
スイッチ 機能
Tapa/COMPO OFF のとき
INV ON のとき
DIFF ON のとき
FLT ON のとき
組成像表示、 ON のとき凸凹像表示
画像の明暗が反転。
画像に微分処理が施される。
画像信号の高周波成分を切り、ノイズを除
去する 0
・その他詳しくは、本オプションユニット付属の取扱説明書参照。
17-2. エレクトロンチャネリンク‘パターンの観察
-エレクトロンチャネリングパターン (ECP) はSEM のもつ分析機能のうち、試料
の構造を分析する手段として最も簡単な方法のひとつです。
・動作原理
ECP の目的は電子ビームを試料上のある領域で角度走査する事により結晶性試
料から結晶方位の情報を得る事です。このうち電子ビームの入射点を試料上のほぼ
一点に固定し、入射角度だけを変える方法を制限視野エレクトロンチャネリングパ
ターン (SAECP) といいます。
通常の SEM 像の観察では図の右に示されるように CL2 の像(点、 A) は第一走査
コイル (SCI) の上部にあり、このクロスオーバ像を対物レンズ (OL) で縮小し
て試料面上にフォーカスしています。
一方、走査コイノレは SCI と SC2 とも励磁されており、入射ビームはこの 2つの走
査コイルで 2段に偏向され試料面上を走査します。
SAECP モードの時は図の左に示されるように CL2 のクロスオーバ像は対物レンズ
(OL) の前方焦点(点、 B) にフォーカスされます。
従って OL を通過したビームは平行になり試料に到達します。
走査コイルの状態は SCI 面を試料面上に結像しているので試料入射ビームは試料面
上の一点に対して角度走査するようになります。
-45-
ロッキング領i或
SAECPモード
電子銃
CLl
SCI
SC2
o L
試料
SEM像
-主な仕様はつぎの通りです。
電子ビーム径 2μmφ
ロッキング角 ア5X10-2rad.(約 ±5.7 度)
ロッキング領域 5μmφ
• ECP像を観察する時は、固定絞りを使用する事はできないので、必ず可動絞りを
使用します。絞り径が200μ になるように可動絞り装置をセットします。( f6-8
可動絞りの使い方J 参照)
・試料ステージ傾斜 (T) は0。にし、ワーキングディスタンス (Z) は8mmにします。
加速電圧は30KVにセットします。
r17-1 反射電子像の観察」に従い、試料の反射電子像を観察します。
• CH2のBRIGHTNESSつまみ⑨を反時計方向一杯にしECPスイッチ③をONにし
ます。このときLED表示パネルのECP LED⑤がオレンジ色に点灯します。
以後画像の明るさ BACK seATTEREDELECTRON 操作パネルの BRT つま
み、コントラストは同パネルの CONT 、つまみと、メインパネルの SPOT SIZE つ
まみ⑦で調節します。又、ロッキング領域を FOCUS MEDIUM で調節し、チャネ
リンク。パターンのピントを ECP FOCUS つまみ⑧で合わせます。
(注)このときオートフォーカス、オートスティグメータの各オート機能は解除し
ます。
-46-
-ロッキング角は、l\1AGNIFICATIONつまみ③を切換える事により変化します。
MAGNIFICATIONつまみ ロッキングアングルの減少率
反 時 計 方 向 一 杯
時計方向へ 1 ステップ O. 67
/I 2 II O. 5
II 3 /I 0.キ33
II 4 II O. 2
II 5 II O. 14
(注) ECP モードにおいて、 LED 表示パネルの MAGNIFICATION ⑤に表示さ
れる値は意味を持ちません。又、写真上には倍率とスケールは焼き込まれません。
-47-
18.GAMMACONTROL の使い方(オプション)
一般に画像信号の増巾器としてリニア増巾器を使用するのでブラウン管の動作領域の関係上ブラウン管の明るさ
を大信号に合わせると小信号領域はカットされます。
そこで大信号領域も小信号領域もブラウン管上に画像として出すために画像信号の高輝度領域を減少させ、低輝度
領域を強調するためにガンマコントロールが用いられます。
この強調の度合によって 4種のガンマ曲線が設けられています。
なお、 FINE は高周波領域の信号を強調するためにあり、つまみを反時計方向いっぱし、から時計方向いっぱいに
まわすと高周波領域の微細信号がコントロール出来ます。
18 ・1. GAMMACONTROL 操作パネルの ON/OFF スイッチを ONI こします。
上限
下限過多
画像の明暗(コントラスト)の度合によりガンマ曲線切換えスイッチを 1'-"4 の適当
な位置を選びます。この場合、 CONTRAST つまみ⑤及び BRIGHTNESS つまみ⑤
又は⑧は一般の場合と同じように操作して下さい。
そして高輝度領域が圧縮され、そこでの微細構造の映像が損われるようなときは
FINE つまみを時計方向へ回して微細構造の現われるところで止めます。
備考:ガンマ曲線切換えスイッチの選択及び FINE の調節は次の様に行って下さい。
SCANSPEED スイッチを VI にします。
ガンマをかけたい部分を見て、 SCAN MODE 切換の LINE スイッチ⑫を
ON にします。
像の残光を利用して POSITION Yつまみ⑧を回してガンマをかけたい部
分に輝線をもってきます。 SCAN SPEED スイッチ⑬の WFM をON にし
ます。
ガンマ曲線切換えスイッチを 1 .-., 4 と切換えてガンマが適当にかかるところ
で止めます。(図参照。波形の上限、下限は通常画像により決めておいて
下さい。)
特に FINE つまみを回してゆくと、プロファイルの上に細かいプロファイ
ルが現われて来ます。これは微細構造信号が強調されたことを示します。
一般に、ガンマコントロールをかけるとプロファイルの山の部分が圧縮さ
れるのでその部分での微細信号が損われる傾向があります。
このような時に FINE つまみを反時計方向いっぱし、から徐々 に時計方向
へ回してゆくと山のところで上記のような細かいプロファイルが現われる
ところがあります。そこでつまみを止めます。
そして、 SCAN SPEED スイッチ ガンマ
⑬の WFM を再度押して OFF にしま不戸
す。 SCAN MODE 切換の PIC スイッ トー
チ⑧を押します。
ガンマコントロールのかかった映像が
観察されます。
-48-
18・2. 写真撮影
(1)写真撮影は、 r7. 写真による画像の記録J を参照して下さい。
(2) 異種像同時観察のとき、 2つの異種の像にガンマコントロールが働くが、この時
の写真撮影は 116 -2異種像の同時表示J を参照して行って下さい。
-49-
!19.SIGNALPROCESSING の使い方(オプション)
19 ・1. 反転像の使い方
POSITI\TE/NEGATI\!E 切換えスイッチを NEGATI'lE にすると画像の明暗が逆
転します。
POSITI\TE 自然像の暗部を調べたい時などに使用します。
この機能は、このユニットの ON/OFF スイッチに関係なく動作します。
19 ・2. DERIVATIVE の使い方
画像の稜を強調するために検出器よりの信号を微分して稜に筋を付けます。多面体
の稜とかコントラストのはっきりしないものなどを観察するときに使用します。
・ユニットの ON/OFF スイッチを ON にします。前もって非点収差が大きく出ていな
いことを確認しておいて下さい。( f6-6. 非点収差の補正について」参照)
• DERI¥'ATI\7E スイッチを#1 にすると像信号は i回微分処理され各稜で明、暗1本
の筋がつきます。
• DERIVATIVEスイッチを#2にすると像信号は l回微分処理され、更にその信号を
同極性にそろえます。像の各稜は、明、暗1本の筋がつき、各稜の輪郭は更に強調
されます。
• DERI¥!i¥TIVE スイッチを将にすると像信号は 2回微分され、一つの稜が明、暗あ
るいは暗明 2本の筋がつき稜の輪郭は更に強調されます。
・微分処理した信号を画像にのせるにはlV IIXING つまみを反時計方向一杯から時計
方向へ回します。 MIXING とは微分処理された信号と処理されない生の信号を加
えることをいいます。微分処理した信号の大きさは、:N IIXING つまみを調節する
ことにより変えられます。像の立体感を損わずにコントラストをつけることが出来
ます。
備考: l\ lIXING つまみ反時計方向一杯……生の信号 100%
l\I IIXING つまみ 12 時の位置…………生の信号 50% 、微分信号 50%
l\lIXI 1'J Gつまみ時計方向一杯………微分信号 100%
• DUAL1t1AG. 装置で観察するときは DU J-\L 1VIAG. スイッチを Xl にします。ブラ
ウン管右半面に普通の像が現われ、左半面に右半面の像の反転像あるいは微分像が
現われます。そしてこの左半面の像の輝度は SIGNALPROCESSING装置につい
ているBRIGHTNESSつまみによって調節します。もちろん右半面の像の輝度は
本体についているCHiあるいはCH2のBRIGHTNESSつまみにて調節します。
19-3. 写真撮影は, r7.写真!こよる画像の記録Jを参照して行って下さい。
異種像同時観察のときの写真撮影は、 f16~ 2異種像の同時表示」を参照して下
さい。
-50-
20.Y・MODULATION の使い方(オプション)
検出器よりの信号をブラウン管の垂直偏向走査に重畳させて、信号の強弱のプロファイルにより二次元像を画か
せる機構です。
一般には、信号の強弱はブラウン管の輝度変調として置換され、像は明暗として画かれます。
そして明暗の差がコントラストとして観察されます。
しかし信号の強弱の差が小さい場合、つまりコントラストが余りつかない場合には、試料上の構造が判断しかねる
時があります。
このような時に信号をブラウン管の垂直偏向走査に重畳させる Y-MODULATION を使用すると判断しやすくな
ります。
20-1Y-MODULATION スイッチを ON にします。ブラウン管には、垂直方向に検出器からの信号によって変
調されたパターンが観察されます。
信号の大きさは、条件により異なるので観察しながら適当なノぐターンを形成するよう AMPLITUDE つまみを
回して加減します。
このパターンの輝度は、 Y-MOD ユニットの BRIGHTNESS つまみで調節します。
注意: Y-MODULATION のパターンの粗密はブラウン管の走査本数によって変わります。 SCAN·SPEED
がVI では粗く、 PI P2 では密になるので注意して下さい。
20-2DUALMAG. 装置で観察するときは DUAL MAG. スイッチを Xl にします。するとブラウン管右半面に普
通の像(輝度変調された〉が現われ、左半面に同一視野の Y変調されたパターンが現われます。そしてこの Y
変調ノミターンの輝度は、 Y-l\!IODULATION ユニットの BRIGHTNESS つまみで調節します。又右半面の輝
度変調された普通の像の輝度は、 BRIGHTNESS つまみ⑤又⑨で調節します。
20-3 写真撮影は f7. 写真による像の記録 J 参照。又、異種像同時表示の場合の撮影は f16-2. 異種像の同時表
示」を参照して下さい。
-51-
21.SCANROTATIONIliLtl; U円円t:.Li IIUI~
の使い方(オプション)
21 ・1. SCANROTATION 機能
一般に画像を回転するには「試料装置の取り扱い方」の項に従って試料ステージを
回転します。しかし、試料そのものを回転するとその回転中心がブラウン管の中心に
くることはなく非常にやりにくいものです。
〈試料ステージの回転中心と電子線の走査面中心とが合った時のみブラウン管の中心
に回転中心が来ます。)
このような場合、電子線の走査そのものを回転してやればどのような試料位置でもブ
ラウン管の中央が回転中心となります。
又、電子線がレンズ系を通って来ると回転が行われるので試料位置を縦方向に移動す
ると即ち、 z (ワーキングディスタンス〉を変えると映像は回転します。これを補正
するために SCAN ROTATION を利用します。
注意: SCANROTATION は試料ステージを回転しているのとは違って、試料そ
のものは動いていないので検出器との関係は一定です。この為に画像の明暗
はSCAN を回転させても変わりません。
画像の明暗を変えたい時は、試料ステージを回転する必要があります。
SCANSPEED スイッチを V2' こします。
SCANROTATION ユニットのスイッチ回又は臼を押すと矢印方向ヘ画像が回転し
ます。
0度は、 SCAN ROTATION をかけない時と同じ向きの画像です。
21 ・2. TILTCORRECTION 機能
「試料装置の取り扱い方 J の項に従って試料を傾斜させると、画像の垂直方向が詰
まって見えるようになります。
つまり、垂直方向の倍率が小さくなったようになります。像の詰まり異合は試料の傾
斜をかければかける程大きくなり、垂直方向の倍率がどんどん小さくなったように見
えます。
これは、試料面を上方から見て、試料面を傾けると傾けた方向が詰まって見えますが
これと全く同じです。
一般には、このように見えるのが自然であるので TILT CORRECTION つまみは零
度にしておきます。
しかし、傾斜方向の像が詰まるとその方向の微細構造を観察出来ない場合が生じます。
そこで傾斜方向の像を引き延ばし、その方向の微細構造を観察するためにTILT
CORRECTION を使用します。
「試料装置の取り扱い方 J の項を参照して試料傾斜角度を読みます。その値と
TILTCORRECTION つまみの目盛を合わせます。目盛は 5度おきになっています。
これで試料面の像倍率は、水平方向、垂直方向とも同倍率になります。試料表面の凸
凹が大きい場合はこの限りではないので垂直方向の拡大率は大凡の目安として使用し
て下さい。
-52-
注意 1 :試料傾斜角度がマイナスの場合もその度数だけを読み取りプラス角度と同
じようにTILT CORRECTIONの目盛値に合わせて下さい。
注意 2 :TILTCORRECTION をかけると垂直方向の像が拡大されるのでそれを
かけない時の上下の像が画面外に飛び出すので注意して下さい。
-53-
22. キャラクター表示装置の使い方(オプション)
この装置は画像を写真撮影する場合、その画像に関する諸条件、例えば試料名、日付……等を写真に記録する為
のもので、アルファベット、数字、記号等を一行に対して32文字16行を記録する事が出来ます。(次ページ図参照)
22・1 操作
• SCANSPEED スイッチを VI' こします。
・キ -POAGE を押す。この時、キー上部にあるパイロットランプが点灯します。こ
のパイロットランプが点灯している時は文字を観察用 CRT に打込む事が出来ます 0
・記録したい文字を順次打込むと画面の左上から文字は順次打込まれます。打込まれ
る場所は CRT 上に- (キャリッジ〉印で表示されます。
・表示されている文字全てを消却したい時は、キ -BREAK を押します。
22 ・2. 特殊キーの機能
PAGE …………………表示 OK 。
BREAK·.. ……………表示されている文字を全て消します。
ALTlVIODE..· ………使用しません。
CTRL …………………使用しません。
LINEFEED·.. ………キャリッジを次行の左端に移動させます O
RETURN··· …………キャリッジを同じ行の左端に移動させます。
RUBOUT..· …………キャリッジを i字分後退させます。
SHIFT..· ……………上、下段に文字が表示されているキーを用いて上段の文字を
表示する時に使用します。その時は SHIFT を押しながらキー
を押します。 SHIFT を押さないでキーを押すと下段の文字
が表示されます。
SPACE..· …………… i字消去してキャリッジを l字分前進させます。
備考:希望の場所に文字を打込みたい時は、 LINE FEED キーと SPACE キーで
キャリッジをその場所に移動します。そして、記録したい文字を打込みます。
同じ行での前進、後退は、 SPACE キーと RUB OUT キーでキャリッジを移
動させます。
前行へもどす時は、 RETURN キーを打込み、次に RUB OUT キ一、 RET
URN キーと!順次打込むとキャリッジは前行の左端に移動します。
-54-
キャラクター表示装置キーボードCLEAR
DISPLAY
PILO'f LM1P OF DISPLAY
SPACE CARRIAGERETURN
UNUSEDDELETE
UNUSED
phd
phu
23. 防振パネの調整
本装置の防振機構はエアバネを使用しているので、長い間使用していると少しずつ空気が漏れ、 SEM本体のバ
ランスがくずれ、傾いたりパネ作用がなくなったりすることがあります。
バネ作用がなくなると設置床から試料ステージへの振動の減衰率が小さくなり、振動により画像がゆらぐようにな
ります。
このような状態になった時は、以下の方法でエアパネに空気をいれて下さい。
1)SEM 本体架台の前後左右パネルを外します。
2)架台の前フレームに2個、後ろフレームに2個、計4個の空気出し入れ口が付いています。これらのキャップの
ネジを緩め外します。
虫ピンが見えるのでこれに空気入れをくわえ、空気入れによってエアパネに空気を入れます。
3) 架台の左右部各2ケ所(計4ケ所)のエアバネのレベル指示があります。
lAIR 釘~INGLEVEL I の指示が、回と目の中聞に来るようにエアバネの空気の量を調節します。
.AIRSPRINGLEVEL
。
空気出し入れ口
空気を抜きたい時は空気出し入れ口の虫ピンを指で押すと抜けます。
-56-
24. 主な規格
24-1. 性能
24・2. 電子光学系
24-3. 話料装置
-分解能
-倍率
-加速電圧
銃子電
-電子銃軸合せ
-レンズ系
-絞り装置
・非点補正装置
-焦点、合せ
-電磁式視野移動
-試料ステージ
・試料の大きさ
.試料移動
-試料の傾斜
4.5nrn
(加速電圧 30kV 、作動距離 3mm 、二次電子像)
x15----x200, 000 (21 段切換〉
ズーム (XI----X3) 付
デジタル自動倍率表示(作動距離倍率自動補正機構)
0.5---3kV(lOOV ステップ)
3~30kV (lkV ステップ)
デジタル高圧値表示
プリセンタード・カートリッジ交換方式
タングステンヘアビン形フィラメント
バイアス可変可能、オートエミッション付
LaB6 電子銃組込み可能(オプション)
機械式および電磁式軸合せ
CPU オートガンアライメント組込み
3段縮小系
(集束レンズ 2段、対物レンズ l段)
高分解能コニカル対物レンズ
オートビームシステム組込み
4穴可動絞りまたは固定絞り
8極電磁式
CPU オートスティグまたはマニュアル
CPU オートフォーカスまたはマニュアル
ダイナミックフォーカス組込み (-10---- 十 70° )
X.Y20μrn (WD:18mmの時) •
TXYRZユ一セントリックステージ
最大150mm 「xlmmt
X:80mm、 Y :60mm
(押しボタン操作モータ駆動方式、スピードセレクタ 5段、
スピードは倍率にリンクして自動設定、マニュアルセット可
能)
T:-10ー----+90° 連続
-57-
-試料の回転 R:360。連続
・試料の上下 Z:3~60mm連続
・試料電流測定端子 測定用コネクター (BNC) 付
・フィードスルー端子 50 ピン(オプション)
24-4. 信号検出モード
24-5. 表示系
ドhE
モ査走
-データ表示,
-ブラウン管
24-6. 画像撮影系
-画像調整
-走査モード復帰
・データレコード
-カメラ
24・7. 排気系
-方式
2次電子、反射電子
全面走査 6秒、 0.2秒/フレーム
制限視野走査 0.13秒/フレーム(制限視野移動付)
TV走査 (CCTV方式)
撮影走査 80秒、 160秒/フレーム
分析モード (SPOT , LINE , LP , X-RAY ,ECP)
ウエーブフォームモニターモード
集中データ表示
倍率 加速電圧、フィルムNo、各オート機能および機能ス
イッチ等の設定状況を中央パネルに集中表示
観察用 12インチCRTポジショニングフリー方式
撮影用8インチ非残光性高分解能CRT
オートコントラスト/ブライトネス組込、フォトモードに連
動して自動作動
適正露出モニタ(ウェーブフォーム表示)
ワンショットオートリターン方式
加速電圧、フィルムNo、倍率、マイクロン値、マイクロン
ノく一、各オートプリントアウト
フィルムNo. は4桁任意設定、自動加算方式
各データはそれぞれ分離消去可能
オプション
全自動排気方式
スタートアップシーケンス、シャットダウンシーケンス来五るみ
nopD
24-8. 安全装置
24-9. その他
24-10. 所要設備
24・11. 寸法重量
24・12. 標準構成
-真空ボンプ
-電流
・接地
・冷却水
-室温
・湿度
・浮遊磁場
.床振動
-鏡体ユニット
・観察ユニット
.油回転ポンプ
オートシーケンス・オペレーションに連携
油拡散ポンプ 400R/秒(水冷ノくッフル、リザーパタンク付)
油回転ポンプ 160R/分
停電、断水、真空に関する保護機構付
鏡体ユニット、観察ユニット分離方式、移動用キャスタ付
エアバック方式防振機構組込、テーブル下部トレイ付
AC100¥l (95 ,-..., 110\7) 、 50//60HZ 、 2KVA
第三種接地
流量・水温: 2R/ 分以上、 15°C'-""25°C
水圧: 1.5,-...,3kg/Cnf
給71<.口:外径 11mm「排水口:内径 20mm¢以上
20°C 土 5°C
60% 以下
交流 0.3μT (3mG) 以下
O.15gal 以下 (5Hz 以下は 3μmp-p 以下とする)
605(W) X780(D) X1305(H)mm 170kg
1005(W)x800(D) x1150(H)mm 150kg
440(W) x260(D) x330(H)mm 27kg
-鏡体ユニット 1式
・観察ユニット l式
・油回転ポンプ 1式
・取扱説明書 l式
・標準付属品 l式
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25. 標準付属届
1.カートリッジ\
2. フィラメント(ケース入り〉子いか持
3. 絞り 1 mmφ穴仏fがえ
4. 絞り Jmμ工リ穴、 150μm ゆ穴
5. 可動絞り (30. 50. 100. 200μm ゆ穴)タ {J
6. ァノードムV', R-
7.スリーブ( 3 ゲ) $
8. スリットホルダ (4 ケ〉
9. 絞り固定金具 立ぷかいパ芝、
.II"10. 試料ホルダ (15φ)
11. II (32</サ
12. n (3° φ)
13. II (4"</サ
14. n (4° ウエハー)
ペー15. n (門エハー)~ 16. n (6° ウエハー)
K17 // (ウエハー固定ピン)\18. 試料電流測定用コネクタ
19. II アース用コネクタ
20. フィラメント取付異
21. スリット抜出し工具
22. 0 リング JISW1516-G7
23. n II -G12
24. ピンセット
25. 時計ドライバ (No.l---- No.6)
26. 付属品入れ箱
27. ビニールホース 内径 9 mm ゆ外径 16mm 「
28. ホースバンド 16mm¢用
29. 高圧絶縁油 (3. 5R.入)
30. ピカール
31. 真空グリース
32. 試料台 15mm</>xlOmmt
33. II 32mmφx 10mmt
34. ブラインド板(可動絞り、高圧タンク、検出器)
35. 空気入れ frjfザ , 十 1
36. 対物絞り押え t<peftuU!. e[rG"~
37. 対物絞りホルダ
38. レベリングボルト受
39. レベリングボルト受ゴム板
但し、本体使用中のものも員数に含む。
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