Поверхностная лазерная обработка

  • Upload
    zak86

  • View
    169

  • Download
    14

Embed Size (px)

Citation preview

-31 .. 2007 . . , . - , ( ) - , , , , . , , , (), . (, .), , . , , , , , , .. - . I. . . . "" Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation, : . , , . 1917 ., . . . . , 1939 . . , . . , . , . . 1951 . . , " " : " (, , ), , , , , ". , . 1952 . . . . . . " ". . . 1954 . , , . - . . . "" "" "" ( Microwave - ) "L" ( Light - ). , , , . . . . , . , . 1955 . . . . . . 1957 . . . ; . . . . . . 1958 . . . . ; , . , , . , 50- . . . 1960 . , . " " - . : (1x1x1 ), , ( ), , . . 1960 . . , . , . . , . . . . , 1957 . 1961 ., ( ) . , . 1962-1963 . . , . E1, E2 . . . , , . . . , 108 , , , . , , . , 103 . . , . . . . 1916 . , , . . . . , . , , , , , . , , . , , , -. . . 1 . 1. (a) , (b) (c) . , E1 E2 > E1. = E / h. , . , . n1 n2 < n1. , . 1. , (a) (c) . n2 < n1 , . . . , , . , , n2 > n1, . . . . . . 1940 . 1954 . . . . . = 1,27 . 1964 . , , . . , , . , , , . . . , , . . . ( ) , . . 2 . 2. . : 1. ( 10-5 ). 2. . , , . . 3. . ( 10-13 ) 1017 /2 , ( ). , , . . , , , , . . 1.10 . . . : - (HeNe) (543 , 632,8 , 1,15 , 3,39 ) (458 , 488 514,5 ) (9,6 10,6 ) , 100 . , 500 , . () . F2 (157 ), ArF (193 ), KrCl (222 ), KrF (248 ), XeCl (308 ), XeF (351 ) (694 ), (755 ), (810 ), Nd:YAG (1064 ), Ho:YAG (2090 ), Er:YAG (2940 ). . - (Nd:YAG) , , , Yb:YAG, Yb:KGW, Yb:KYW, Yb:SYS, Yb:BOYS, Yb:CaF2, ; 10201050 ; ; Yb:YAG-. ( ) - , 1645 - , 2015 - , 2096 , -, 1 . . - . , , . . , : , , (CD/DVD). . (External-cavity lasers), . 350 850 ( ). - , ( .. ), . , YAG - KGW - YLF -2. , , . , . , .2.1. (. 1), . , . . -, , , , 24 (). , , , () . , , , . . . , . . , . , , , (). , . . (, , ). , . 1 1 2 , 103-104104-1050,2-0,5 () () 102-103 104-105 104-106 104-106 106-108 104-106105-106 104-106 104-106 104106 104-1060.05-0,1 1,2- .0 0,2-2,0 0,02-3,0 0,01-0,05 0,02-0,2 () , . ( ). , , , () . , , . ( ), , , . . . , , . , - . . . , , , . .2.2. . D. () v=L nDK 0 = = DK 0 f t t, D ; t - ; - ; K0 ; f . s s' . () , . (. 2). , Kn =4F nD 2 F' . = D 2 K u f /4 , . , D = 4 , 0,74 (. . 4, 3) f =1 550 2/. ( , , ), (), . , , , , . . , q - ( D), . q, () . 2 1 =1 =0,78 s=s'=D2 =0,7 =0,46 s=s'=0,7D3 =0,74 s=0,8D s'=0,74D4 =0,8 =0,78 s=s'=0,8D {X 1,06 ). , , , . ( ) . 30 60% , . , . , . . . . . , , . . 13000 . , , . , . , . , , . , (8000 10000 ). A . A : = Av . . (, , ), , , , . , . : , , , , , , . k= hu/ho , hu ho, , : 3 r 0,6 Cd 2,0 3.0 ZnO 4.5 Zn3(PO4)2 5,1 Si02 Al2O3 6.5 FeO4 6.7 . , , , , . , , . ( ) , , , 50005500 , . . , , . , 0,6>Ku>0,8 ( , , q = 50-100 /2). , . , c.2.3. . . v v , : = vB- , . , L ( s) . , ; . . 3 s . 2050 . , , . . , . . , , . . , 6.0 / 400 . , q =50 /2, . Rz =10-20 . . (Rz=20 ), v ( v=8 / Rz=5-8 ). , . , To.o.t T:, y Oz (, z, t) = , z=h= P0 8ar Ln v 4rT 1 + vr / 8a y = d0 =( 8ar / v + r ) La 4rT P0 1 + vr / 8a , a = / cv , ; v ; r ; v ; Ln ; = , ; . , . . II . . v. t . h = (W E ) H = (W E ) , h H , . We q . du t v . ( . 4) . 4. 2.4. , , , , , . . , . . W, Mo, NiCr, Co. V. . , , . , , , (), . () : * ; * ; * ( ); * ; * ; * ; * ; * ; * ; * ; * . , . . , , . , 0,30,7 , O2- 3 . , . , , A 25 , : ,. Mn 2180 Xi 2200 Fe . . 3500 1000 850 2 K 2 = K 1V1 /(V2 + V1 ) K1 ; V1 ; V2 . , () . 0,4 . 2.5. . , , , , ( 2 ). 35 . , , , , 0,2 . B, 0.2 1,3 . () , 65 7080 , , . 25 , , , 1,54 . , . . , . . 10 . , , . . . - , 63 ( 9X7). , - . . () 7080 . 4 9X7 30 . 9x7 3 . - . t = 1 0.2 c . , , . . , , ec . . . . , 2 2 () . I 20 . 50 , 1. . . , .. 5 , . (, ). , 2, 3 4 (. 5). . , , , , . , , , , , . : , . , . . . , . , . . E=35 , t=:0,1 , q=3,51010 /2 189 0,3 , 40 1,5 , 16 1,8 . : . IBM Deutschland () . 20 1 . , , . . . . , Siemens 100 Silamatik . Holobeam Teradyne . , , . , . , , . , , . 2-, . . , , . 68 , . , . , , - . . , (. 6, ). . 6. . q . , q = 7*104 /2 75% (. 6, ). L . L . =~ 1,2 3 , v= / L=8 . - 2 . , 3 , . 2.6. , , . 34 , , . , . . 2 . . . . . 23 . , : , , , . . , , , , , , , . - . (. 12). , ( ) . III. , -, , , . , , , 30-40% . - , , , . , , . ..6 555. : 2,8 1,8/ 11.7 . 3...4 1...1,5 5 15. 1, ..8 . . .. .. 9 .. 10 . . 10% - H2SO4 - 24 10% - HCL - 24 =3000 . , , , , . .11 , () 10 . ( ) , . .12 , -, . : , , , , , , , , , , . . , 10-15 , - 0,3 . , , , , "" . , , , . - (), , , . , . , . : , , , , -, , , , , , , . . 13 , , : , , - , , . . , , , , - , . , , , . : * , , ; * ; * , , . * : , , ; * , -. . . . : , , (, , ), (, ), , , . , 0,2 ) E38 ) . , , . , 50 , 10^13 , . . . , . , , , , , , . , . .. . 1985. -208 .. . 1989. -301. .. , .. 1988. -191. .. . 1975. -296. 1990. . http://referat.ru/