Upload
colby-james
View
50
Download
0
Embed Size (px)
DESCRIPTION
26 октября 2005 года. Растровая электронная микроскопия и элементный анализ. Батурин А.С. Процессы на границе раздела среда-вакуум. Термоэлектронная эмиссия Автоэлектронная и автоионная эмиссия Фотоэлектронная эмиссия Вторичная эмиссии (под действием ) - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
Растровая электронная микроскопия и элементный
анализ
Батурин А.С.
26 октября 2005 года
Процессы на границе раздела среда-вакуум
Термоэлектронная эмиссия Автоэлектронная и автоионная эмиссия Фотоэлектронная эмиссия Вторичная эмиссии (под действием )
– Вторичные электроны, упруго-отраженные электроны и оже-электроны
– Вторично-ионная эмиссия Рассеяние частиц
Устройство растрового микроскопа
JEOL JSM-840
Электронная пушка
1
2
3
4
Источник накала нити
Rсм Uсм
Ускоряющее напряжение
(–Ue)
2 kc
a
kTd f
eV
i = 100 мкА, f = 5 мм, Va = 20 кВ, Tk = 2700 К,
dc = 2050 мкм
Электронно-оптическая система
1
3
4
5
2
a
b
1 2 2
1 1a b a b
Df f f
a = 200 мм, b = 300 мм, f1 = 25 мм, f2 = 20 мм
уменьшение D = 88Диаметр электронного зонда около 0.5 мкм
31α
2s sd C
Сs — коэффициент сферической аберрации
линзы, обычно равный 2–3 фокусным расстояниям Диафрагмирование пучка
Спектр вторичных электронов
Электронная лавина в твердом теле
Упруго-отраженные электроны(элементный контраст)
Образец Cu-CrЭлементный контраст
Упруго-отраженные электроны(топографический контраст)
Схема детектора упруго-отраженных электронов
Истинно вторичные электроны
Cu-CrУглеродные нанотрубки
Стереопары
Xл
h
X пр
Способы получения изображения в РЭМ
Вторичные электроны Упруго-отраженные электроны
– Элементный контраст– Топографический контраст
Катодолюминесценция Наведенный ток
Спектр вторичных электронов
Оже-спектроскопия
Характеристический рентген
Способы детектирования характеристического рентгеновского излучения
Волновой спектрометр Энерго-дисперсионный спектрометр
Волновой спектрометр
Операционный усилитель
Глаз мухи
Яичная скорлупа и крыло бабочки
Спасибо за внимание!