22
Растровая электронная микроскопия и элементный анализ Батурин А.С. 26 октября 2005 года

Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Embed Size (px)

DESCRIPTION

26 октября 2005 года. Растровая электронная микроскопия и элементный анализ. Батурин А.С. Процессы на границе раздела среда-вакуум. Термоэлектронная эмиссия Автоэлектронная и автоионная эмиссия Фотоэлектронная эмиссия Вторичная эмиссии (под действием ) - PowerPoint PPT Presentation

Citation preview

Page 1: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Растровая электронная микроскопия и элементный

анализ

Батурин А.С.

26 октября 2005 года

Page 2: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Процессы на границе раздела среда-вакуум

Термоэлектронная эмиссия Автоэлектронная и автоионная эмиссия Фотоэлектронная эмиссия Вторичная эмиссии (под действием )

– Вторичные электроны, упруго-отраженные электроны и оже-электроны

– Вторично-ионная эмиссия Рассеяние частиц

Page 3: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Устройство растрового микроскопа

JEOL JSM-840

Page 4: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Электронная пушка

1

2

3

4

Источник накала нити

Rсм Uсм

Ускоряющее напряжение

(–Ue)

2 kc

a

kTd f

eV

i = 100 мкА, f = 5 мм, Va = 20 кВ, Tk = 2700 К,

dc = 2050 мкм

Page 5: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Электронно-оптическая система

1

3

4

5

2

a

b

1 2 2

1 1a b a b

Df f f

a = 200 мм, b = 300 мм, f1 = 25 мм, f2 = 20 мм

уменьшение D = 88Диаметр электронного зонда около 0.5 мкм

31α

2s sd C

Сs — коэффициент сферической аберрации

линзы, обычно равный 2–3 фокусным расстояниям Диафрагмирование пучка

Page 6: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Спектр вторичных электронов

Page 7: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Электронная лавина в твердом теле

Page 8: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Упруго-отраженные электроны(элементный контраст)

Образец Cu-CrЭлементный контраст

Page 9: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Упруго-отраженные электроны(топографический контраст)

Page 10: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Схема детектора упруго-отраженных электронов

Page 11: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Истинно вторичные электроны

Cu-CrУглеродные нанотрубки

Page 12: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Стереопары

h

X пр

Page 13: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Способы получения изображения в РЭМ

Вторичные электроны Упруго-отраженные электроны

– Элементный контраст– Топографический контраст

Катодолюминесценция Наведенный ток

Page 14: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Спектр вторичных электронов

Page 15: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Оже-спектроскопия

Page 16: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Характеристический рентген

Page 17: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Способы детектирования характеристического рентгеновского излучения

Волновой спектрометр Энерго-дисперсионный спектрометр

Page 18: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Волновой спектрометр

Page 19: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Операционный усилитель

Page 20: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Глаз мухи

Page 21: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Яичная скорлупа и крыло бабочки

Page 22: Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

Спасибо за внимание!