If you can't read please download the document
Технологические задачи микроэлектроники
Uploadzubin
View
Download
Embed Size (px)
344 x 292
429 x 357
514 x 422
599 x 487
DESCRIPTION
«Нанотехнологии - это на сегодняшний день самая прорывная отрасль, это технологии XXI века. И страна, обладающая в полном объеме нанотехнологиями, будет лидером XXI века.» (Из выступления Президента РФ В.В. Путина). - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
- , XXI . , , XXI . ( .. )
-
. , . , . . , , .
= 0 S/h ~ 400 10 000
Sp/S ~ 5 - 10 ~ 4 25
Sp/S ~ 5 - 10
~ 10 - 105
Sp/S ~ 100 - 105?
, 1-1 = -1 + d-1 -1 = -1d = = +
,
1 :
- ne, .
2. s, .
3. W, .
Al Al - 1000 nmS = *r2rS1 + S2hS1S2S1 + S2 = S0 =*r2 + 2 *r*hh =
40 mkm r = 50 nm : = S0/S = 1 + 2l/r = 161 50 % = 160
5,0 = 1600; 0,5 = 16000
80 - h d = 100 nm = Sp/So = h/d = 80 / 0,1 = 800
d = 10 nm ; = Sp/So = 8 000
d = 1 nm ; = Sp/So = 80 000
104
108
hd
- (-).
n (, ).
( 100).
.
().
80%
-
, (Bi-2212)
-
-
10m 1 m : - 3000 /2, 5-6 , , (450-600 /2). - 5000 /2; 40% ;
20-30% . 70%.
.
: - .
Anode Foil
110 60 New Foil.
.
, . .
300. . 1 , 2 . 300.
1
U, BI, A t, min R, C,
3000.6904310.81
2520.5914120.89
2140.5423840.97
1820.4933500.95
1520.4543150.97
1250.4152880.92
1010.3762571
800.3372250.93
600.2981860.97
430.2691451.1
290.23101060.96
() .
- .
() ( 12 ).
2 / (=10-1 /), (=102 /).
250 .
- .
1 , .
10%.
, .
- 0,5...1000 1 ...104 - 12 0,8...4 / (2-10 /) 2...10 / 40...+85
2 /3. - -105
. 01/1000 40/12 1828800,140000 .//600/100012/22 (max)300 0,1 1 1
- 60... +80 - 60... +80 -105 105 801500 504020 12050
1. 100 10000.
2. Cu Ag.
3. : ms/sm 3000 100 10000
: . .
- . , . . , 7 [(27)4] 25243n2. . .
.(1.)
, .(1).
(2.) , .
,
:
, ESR;
(ESR ).
: . 5105-106 /. , ( 102-103) . . >20, . - 20, 100-200 .
.
.
.
PbTiO3 PbZrO3
Cu Ag 100 10000
1
U, BI, A t, min R, C,
3000.6904310.81
2520.5914120.89
2140.5423840.97
1820.4933500.95
1520.4543150.97
1250.4152880.92
1010.3762571
800.3372250.93
600.2981860.97
430.2691451.1
290.23101060.96
, - 0,5-2,0 / . - 2-5 /. - 25-50
( , , S .) (, , ) ,
LOAD MORE
