УРАЛЬСКИЙ УРАЛЬСКИЙ ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ «СОВРЕМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ» «СОВРЕМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ»

Уральского федерального Уральского федерального университетауниверситета

Размер изображения 10×10 мкм

ВВ..ЯЯ. . ШурШурДиректор УЦКП СН ИЕН УрФУ,

vladimir.shur@usu.ru

2УЦКП УЦКП ““Современные НанотехнологииСовременные Нанотехнологии”” В рамках инновационной образовательной программы

12 декабря 2007 на физическом и химическом факультетах УрГУ открыт

Уральский Центр Коллективного Пользования "Современные нанотехнологии"

Состоит из16 подразделений

Создан на базе: существующего

в университете ЦКП “Сканирующая зондовая микроскопия”

оборудования, приобретенного в 2007- 10 годах

Торжественное открытие ЦКП 12.12.2007

3Персонал УЦКП СНПерсонал УЦКП СН

Численность сотрудников

за 2009 - 10 годы 108108

из них докторов наук 1919 кандидатов наук 4747

в том числе совместителей 54 из них докторов наук 17

кандидатов наук 27

4

Аналитическое:Зондовые нанолаборатории, Анализаторы размеров наночастиц

Оптические и электронные микроскопы, Механические и оптические профилометры,

Рентгеновский дифрактометр, спектрометр ЭПР, Оптический реометр, масс-спектрометр, дилатометр, и др.

Технологическое: «Чистая комната» – чистое производственное помещение класса 100,Комплекс для прецизионной резки, шлифовки и полировки,

Комплект оборудования для фотолитографии, Вакуумное оборудование для напыления и

плазмохимического травления, Лазерные обрабатывающие комплексы

Учебное: Учебный класс сканирующей зондовой микроскопии

Наименований оборудования 6868 Количество единиц 7575 Ведущие мировые и Российские производители Стоимость оборудования 360 млн. руб.360 млн. руб.

ОборудованиеОборудование УЦКП СН УЦКП СН

5

Дополнительные возможности

Работа на базе оптического микроскопа OlympusСканирующаяСканирующая лазерная лазерная конфокальнаяконфокальная микроскопиямикроскопия с возможностью спектрометрииспектрометрииСканирующая ближнепольная Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопияоптическая микроскопияЛазерная литография

Нанопроволока GaN (a) люминесцентная конфокальная микроскопия (b) атомно-силовая микроскопия (c) эксперимент с облучением

Зондовая нанолаборатория

NTEGRA NTEGRA SpectraSpectra NT- MDT, Зеленоград

АналитическоеАналитическое оборудованиеоборудование

6

Рабочая станция

Auriga™ CrossBeamAuriga™ CrossBeamCarl Zeiss, Germany

Высокопроизводительный микроскоп с уникальными

характеристиками и встроенными аналитическими

возможностями

Методики измерения: Сканирующая электронная

микроскопия пространственное

разрешение 2,5 нм и выше Фокусированный ионный

пучок Превосходный химический

контраст Ионная оптика Оригинальная система

компенсации поверхностного заряда

АналитическоеАналитическое оборудованиеоборудование

7

ЧистоеЧистое производственное помещениепроизводственное помещение

Технологическое оборудованиеТехнологическое оборудование

8

Оптическая и сканирующая лазерная конфокальная микроскопия. Спектроскопия электронного парамагнитного резонанса. Качественный и количественный элементный анализ. Газовая и жидкостная хроматография, масс-спектрометрия и

термогравиметрия. Механические испытания, термомеханический анализ,

дилатометрия. Измерения электрических и магнитных свойств материалов. Механическая и оптическая профилометрия. Анализ дисперсий наночастиц в растворах. Сканирующая зондовая микроскопия. Оптоэлектроника и нанофотоника. Рентгеновская дифрактометрия. Реологические исследования. Адсорбционная порометрия. Механическая обработка. Фотолитография.

Предоставляемые услугиПредоставляемые услуги

9

Проведение комплексных исследованийПроведение комплексных исследованийс использованием с использованием аналитическогоаналитического оборудования УЦКП НТоборудования УЦКП НТ

Оказание услуг с использованием Оказание услуг с использованием технологическоготехнологического оборудования оборудования УЦКП НТУЦКП НТ

Консультации предприятий Консультации предприятий попо использованиюиспользованию оборудования оборудования и приобретению и приобретению оборудования оборудования

Участие в повышении квалификации и Участие в повышении квалификации и переподготовке специалистовпереподготовке специалистов предприятий предприятий по нанотехнологиямпо нанотехнологиям по лазернымпо лазерным технологиямтехнологиям

Контакты с промышленностьюКонтакты с промышленностью

10

1.1. ФГУП ПО «Уралвагонзавод», Нижний ТагилФГУП ПО «Уралвагонзавод», Нижний Тагил2.2. ФГУП «НПО Автоматики», ЕкатеринбургФГУП «НПО Автоматики», Екатеринбург3.3. ООО «СИАМС», ЕкатеринбургООО «СИАМС», Екатеринбург4.4. ЗАО НПЦ «РОСНА», ЕкатеринбургЗАО НПЦ «РОСНА», Екатеринбург5.5. ООО НПВП «ИВА», Екатеринбург ООО НПВП «ИВА», Екатеринбург 6.6. ЗАО «Региональный Центр Листообработки», ЗАО «Региональный Центр Листообработки»,

Екатеринбург Екатеринбург7.7. Корпорация ВСМПО-АВИСМА, Верхняя СалдаКорпорация ВСМПО-АВИСМА, Верхняя Салда8.8. Пермская научно-производственнаяПермская научно-производственная

приборостроительная компания, Пермь приборостроительная компания, Пермь9.9. ОАО «Урал НИТИ», ЕкатеринбургОАО «Урал НИТИ», Екатеринбург10.10. ОАО НПП «Старт», ЕкатеринбургОАО НПП «Старт», Екатеринбург11.11. ОАО «Уральский завод резиновых техническихОАО «Уральский завод резиновых технических

изделий», Екатеринбург изделий», Екатеринбург12.12. НПП «Лазерные технологии», ЕкатеринбургНПП «Лазерные технологии», Екатеринбург13.13. Уральский электромеханический завод, Уральский электромеханический завод,

ЕкатеринбургЕкатеринбург14.14. Электрохимический комбинат, НовоуральскЭлектрохимический комбинат, Новоуральск

Контакты с промышленностьюКонтакты с промышленностью

11Работы с участием УЦКПРаботы с участием УЦКПв 2009–10 гг. в 2009–10 гг.

Источники финансирования

2009 год 2010 год

Кол-воОбъем,

млн. руб.Кол-во

Объем, млн. руб.

Хоз. договоры 24 8,7 2222 99,4,4

из них

региональные 19 7,9 1199 99,,22

РОСНАНО 5 0,8 33 0,20,2

РФФИ 17 8,2 1166 55,,55

Рособрнаука 40 39,7 4141 64,364,3

ИТОГОИТОГО 81 56,6 7979 79,279,2

12Сайт УЦКП СНСайт УЦКП СН

http://nano.usu.ru/

Семнадцать выставокСемнадцать выставокОбразовательные

1. Планета Education-2009 и 20102. Образование от А до Я, 2009 и 20103. Национальная образовательная стратегия4. Ночь открытых дверей УрГУ5. Всероссийская научная конференция «Праздник в пространстве современной городской культуры»

Наука/Инновации/Бизнес1. НАНОТЕХНОЛОГИИ-2009, 2. Фотоника, мир лазеров и оптики3. Урал-Техно. Наука. Бизнес.4. Нанотехнологии. Инновационное развитие Урала5. 2й и 3й Международные форумы по нанотехнологиям6. Второй молодежный инновационный конвент - 20097. V Уральская венчурная выставка «Инновации 2010»8. Уральская международная выставка «ИННОПРОМ-2010»

Участие в выставкахУчастие в выставках2009-10 годы

13

14

СоветСовет главных конструкторов главных конструкторов промышленных промышленных предприятий Свердловской областипредприятий Свердловской области

УЦКП СН УрГУУЦКП СН УрГУмарт 2010март 2010

Вице-премьер РФ Жуков А.Д.Вице-премьер РФ Жуков А.Д.

Визиты в УЦКП СН УрГУВизиты в УЦКП СН УрГУ10 марта 2010 г.

15

16Испытательный Центр (ИЦ)Испытательный Центр (ИЦ) 19 ноября 2009 года УЦКП СН УрГУ в составе

Испытательного Центра веществ, материалов и продукции наноиндустрии ФГУП «Уральский научно-исследовательский институт метрологии» аккредитован Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии на техническую компетентность и независимость

Аттестат аккредитации испытательной лаборатории (центра)

РОСС RU.0001.22НН02

17Метрологическое обеспечениеМетрологическое обеспечение Работы по метрологическому обеспечению

измерительного парка УЦКП СН в 2010 году Аттестация методик выполнения измерений 20 Разработка методик калибровки 13 Калибровка средств измерения 13 Поверка средств измерения 10

План по улучшению деятельности в области измерений на ноябрь-декабрь 2010 года

Аттестация методик выполнения измерений 9 Разработка методик калибровки 3 Калибровка средств измерения 3 Поверка средств измерения 3 Достижение высокого уровня достоверности измерений

в УЦКП СН и повышение качества научных результатов НИР по проектам, грантам и договорам, в том числе в рамках деятельности естественнонаучных НОЦ университета

Расширение спектра сертифицированных измерений по договорам со сторонними организациями по получению сертификатов соответствия своей продукции и услуг

СтажировкиСтажировки Январь 2009

Системы микроскопии и анализа, Москва, Россияпредставитель FEIFEI

Январь 2009

JeolJeol, Tokyo Boeki, Tokyo, Japan Февраль 2009

Carl ZeissCarl Zeiss, Germany Апрель 2009

Экситон аналитик, С.-Петербург, Россияпредставитель TESCANTESCAN и Malvern InstrumentsMalvern Instruments

Май 2010

Нанотехнологии – МДТНанотехнологии – МДТ, Зеленоград, Россия Август 2010

MalvernMalvern InstrumentsInstruments, Great Malvern, UK

18

19

Периодически поляризованный ниобат лития PPLNPPLN Период доменной структуры от от 30 30 до 2 мкмдо 2 мкм

Создание стабильных доменных структур в коммерчески доступных сегнетоэлектриках с важными для применения характеристиками Периодические доменные структуры

в нелинейно-оптических монокристаллах объемные и волноводные устройства

Прецизионная доменная инженерия с наноточностьюПрецизионная доменная инженерия с наноточностью

ДоменнаяДоменная инженерияинженерия

20

Armstrong&Bloembergen, 1962

Период доменной структуры от 4 до 7 мкм

Воспроизводимость периодаВоспроизводимость периода 2200 нмнмСкважность 0.5

24( )cL n n

Квази-фазовый синхронизмКвази-фазовый синхронизм

21

Параметры элементовПараметры элементов

МатериалМатериал LiNbOLiNbO33, легированный , легированный MgOMgO

Размер Размер элементовэлементов

длина 1.0 - 25 ммширина 1.5 - 10 ммтолщина 0.5 - 1.0 мм

Период доменной Период доменной структурыструктуры

4 - 7 мкм4 - 7 мкм(возможны структуры до 20 мкм)

Длина волныДлина волны 532 нм, 488 нм, 473 нм, 460 нм532 нм, 488 нм, 473 нм, 460 нм

Температура Температура QPMQPM 30 – 8030 – 8000CC (по выбору заказчика)

ПолировкаПолировка оба торца оптически отполированы

ПокрытиеПокрытие просветляющее покрытиена одну или две длины волны

Средняя мощностьСредняя мощность более 10 Втболее 10 Вт

Эффективность Эффективность преобразованияпреобразования

до 70%до 70%для 1064 → 532 нм

Генерация второй гармоникиГенерация второй гармоники

22

Зеленый свет 1064 нм (350 мВт) →→ 532 нм (250 мВт)

ПрецизионнаяПрецизионная доменнаядоменная инженерияинженерияООО «Лабфер»

R R G G BB

23Генерация второй гармоникиГенерация второй гармоники

24

Участие в выполнении совместных Участие в выполнении совместных

НИР и НИОКР НИР и НИОКР сс предприятиямипредприятиями УрФОУрФОсс институтамиинститутами УрОУрО РАНРАНс университетамис университетами

Выполнение исследований в областиВыполнение исследований в областинанотехнологийнанотехнологийлазерных нанотехнологийлазерных нанотехнологийнанотоксикологиинанотоксикологии

Участие в выполнении комплексных Участие в выполнении комплексных проектов в области проектов в области наноиндустриинаноиндустрииРоснанотехРоснанотехФедеральные Целевые ПрограммыФедеральные Целевые ПрограммыУральский нанотехнологический центрУральский нанотехнологический центр

Перспективы УЦКППерспективы УЦКП

СПАСИБО СПАСИБО

ЗА ВНИМАНИЕЗА ВНИМАНИЕ

Размер изображения 10×10 мкм

25

26Испытательный Центр (ИЦ)Испытательный Центр (ИЦ) ИЦ руководствуется в своей деятельности Федеральным законом «О техническом регулировании» Федеральным законом «Об обеспечении единства измерений» ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2006, ГОСТ Р ИСО/МЭК 17011

Основные функции ИЦ проводит испытания нанопродукции, включенной в область

аккредитации выдает протоколы испытаний в форме, соответствующей

требованиям ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2006 обеспечивает достоверность, объективность и требуемую

точность результатов испытаний принимает на испытания образцы (пробы) с сопроводительной

документацией организует работу по поддержанию технического состояния

используемых средств измерений и испытательного оборудования участвует в проведении межлабораторных (сравнительных)

испытаний ведет учет предъявляемых претензий по результатам испытаний соблюдает установленные сроки проведения испытаний

НАНОТЕХНОЛОГИИ-2009НАНОТЕХНОЛОГИИ-2009

27Участие в выставкахУчастие в выставках18-19 марта 2009