Upload
-
View
242
Download
2
Embed Size (px)
Citation preview
Першенков П.П. Тюрин Е.А.
ВОПРОСЫ ИЗМЕРЕНИЯ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Развитие метрологии вакуумных измерений
(измерений низких абсолютных давлений, газовых
потоков, вакуумной проводимости, а также
плотности потока и быстроты откачки) в
последние годы характеризуется стремлением к
разработке таких методов и приборов, которые
решили бы задачу единства таких измерений с
достаточно высокими метрологическими
характеристиками. При измерении низких давлений
явно прослеживается тенденция к созданию
мобильных, простых по конструкции и в
обслуживании вакуумметрических установок,
обладающих высокой точностью.
В докладе рассматриваются вопросы разработки
цифрового вакуумметра с автоматическим выбором
предела измерения и работающего в широком
диапазоне давлений. Прибор рассчитан на работу
с преобразователями ПМТ-2 (10÷10-3 тор) и ПМИ-2
(10-3÷10
-8 тор).
В основе использования ионизационного
манометрического преобразователя лежит
зависимость ионного тока от давления при
условии постоянства напряжений питания
преобразователя и тока эмиссии катода.
При измерении давления остаточного газа
термопарным манометрическим преобразователем
используется зависимость температуры
нагревателя от теплопроводности окружающего
газа.
В аналогичных конструкциях прошлых лет
использовались градуировочные кривые, что
вносило неудобства в эксплуатацию прибора.
В предлагаемой конструкции вакуумметра используется микроконтроллер, позволяющий автоматически
линеаризовать передаточную характеристику датчика и представить результат в требуемых единицах
измерения. Структурная схема прибора изображена на рисунке 1.
Благодаря использованию в вакуумметре микроконтроллера стало возможным упростить систему
автоматического выбора канала и предела измерения. Введѐн интерфейс связи с компьютером,
позволяющий вести сбор и обработку данных в реальном времени. Использование микроконтроллера
позволило работать вакуумметру с датчиками имеющими различные градуировочные характеристики.
Рисунок 1 - Структурная схема вакуумметра.
Датчик
тока ИО
Датчик ТП ИПТ ЦАП
Датчик
тока ТП
УПТТП
Коммутатор
Коммутатор А ПЦ
МК
М НУП
Устройство
управления
ИПИДатчик ИО
УПТИО
Дисплей