重水素ランプDEUTERIUM LAMPS (D2 LAMPS)

4

3

光出力安定性

0 100-20

-15

-10

-5

0

5

10

15

20

200 300

AB

S (

10-5

A.U

.)

400

時間 (s)500 600 700 800 0 100

-20

-15

-10

-5

0

5

10

15

20

200 300

AB

S (

10-5

A.U

.)

400

時間 (s)500 600 700 800

0時間動作時 2000時間動作時

TLSOB0095JA TLSOB0096JA

0

10

20

0 10 100

時間 (h)

相対光出力

(%

)

1000 10000

30

40

50

60

70

80

90

100

110

120

石英バルブ石英バルブ ±3 σUVバルブUVバルブ ±3 σ

ライフ特性

高い耐紫外性能

○従来品の石英タイプの問題点

バラツキの少ない 高い品質

製法や含有物による 品質のバラツキ

取り扱いに不便な オゾンの発生

紫外線による 透過率の早期劣化

○従来品の金属電極の問題点

○従来の点灯方式の問題点

長時間使用での電極劣化に伴う 点灯ミス

使用直後や高温時に起きる 点灯ミス

長時間使用時の内部ガスの減少による 点灯ミス

○従来の点灯方式より優れた　補助点灯方式の採用により解決!!

○従来の直接加熱方式の問題点

放熱ダメージの集中で 陰極への負荷大

振動や使用時間が 陰極劣化の直接原因に

外乱を受けやすく安定性が低い

電極間隔が一定でないため光出力のバラツキ大

○直接加熱方式より優れた　傍熱方式の採用により解決!!

バラツキの少ない電子放出能力

オゾンレス

ライフエンドまで高い安定性を維持

電極間隔が一定で特性のバラツキ低減

優れた温度特性により高安定性を実現

○温度安定性に優れたセラミック電極の採用により解決!!

○石英タイプより優れたUV透過ガラスの採用により解決!!

浜松ホトニクス製D2ランプの特長とその理由

長長長長長長長寿寿寿寿寿寿寿命命命命命命命

高安定

高高高高高高高高高高安安安安安安安安安安定定定定定定定定定定

点点点点点点点点点点点点灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯灯性性性性性性性性性性性性性性性性性性

長寿命

高安定

点灯性

1

D2LAMPSFOR HIGH PERFORMANCE

DEVICES

浜松ホトニクス製D2ランプ（重水素ランプ）は長寿命・高安定・高出力を最高レベルで実現し、装置の特性を最大限まで引き出します。

内部構造図 (L2D2)

光出力

バルブ

アパーチャ

陽極

陰極

セラミック電極（中央部）

セラミック電極（後部）

TLSOC0030JB

UV透過ガラス1

セラミック電極2

陰極（傍熱方式）

コンデンサ

ライフエンドでも高温でもミスのない確実な点灯

11111111

23

4

TLSB0021JA

D2ランプとは重水素 （D2）の放電を利用したランプで、400 nm以下の紫外域に強い発光スペクトルを持つ、他光源の追随を許さない高安定を特長とした光源です。

ラインアップ / 用途一覧表

サポート（周辺機器）

2

X2D2®

30 Wクラスで世界最高輝度*（従来比2倍）を実現したハイエンド光源　

ランプ高輝度重水素ランプ

L2D2®

各種分析装置用に価格を抑えながらも、高品質/高性能を実現したベストセラー光源

ランプ長寿命重水素ランプ

S2D2®

従来の重水素ランプでは不可能であった小型化を実現した高性能光源

ランプ小型重水素ランプ

H2D2®

重水素ランプ史上最高輝度*を実現した次世代光源

ランプ超高輝度重水素ランプ

33 W 30 W 5 W ～ 7 W 110 W

P3 P5 P11 P14* 2016年2月弊社調べ * 2016年2月弊社調べ

×○××××○◎◎◎◎

MgF2○○○○○○◎◎◎××

合成石英◎◎◎◎◎◎◎○◎××

UVガラス高速液体クロマトグラフ

紫外・可視分光光度計

キャピラリー電気泳動（CE）

原子吸光光度計

薄層クロマトグラフ

水質、大気各種環境分析装置

膜厚計

半導体検査用光源

紫外線による材料耐性評価

光イオン化源

真空紫外光による静電気除去

用途窓材

お客様に合わせたカスタム仕様

豊富な経験を活かしたアフターケア

特性改善のアドバイス

ランプ専用電源/ハウジング

設　計サポート

トータルサポートで引き出す最高のランプパフォーマンスD2ランプが最高のパフォーマンスを発揮するためには、最適なハウジング/電源を設計することが重要です。浜松ホトニクスでは、D2ランプの販売だけでなく、D2ランプ専用の電源やハウジングも取り扱っております。また、弊社製品の販売のみならず、ハウジングや電源設計の技術サポートも行っています。電気定格やランプ形状をお客様仕様に合わせ最適なものを提案可能です。カタログにない仕様については、ご相談ください。

◎: 最適　○: 用途に応じて使用可　×: 一般的に適さない

TLSOB0024JF

●長寿命 : 2000 時間●高安定 : 0.005 %(p-p)typ.●高輝度 : 従来品比2倍

●L2D2ランプ アパーチャ径: 0.5 mm

●放射スペクトル分布

●X2D2ランプ アパーチャ径: 0.5 mm■輝度分布

3

X2D2®

ランプ

特長 特性

輝度従来比

2 倍

X2D2®ランプ（高輝度・長寿命重水素ランプ）は従来の重水素ランプの安定性・寿命特性はそのままに、L2D2ランプ（P.5参照）に比べ、2倍の輝度を実現しました。この特性により、各種装置の高感度化と高スループットを実現します。

TLSOB0111JA TLSOB0112JA TLSOB0113JA

①UVガラス　L9518, L10804

②合成石英　L9519, L10904

③MgF2　L9841

●配光特性

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

TLSOB0079JB

240 400220200180160

波長 (nm)

1401201000

20

40

60

80

100

相対光出力

(%

)

MgF2 (L9841)

160 200 240 280 320 360 400

波長 (nm)

放射照度

(μW

·cm

-2·n

m-1

at 5

0 cm

)

0.01

0.1

1

0.001

合成石英（L9519, L10904）

UVガラス（L9518, L10804）

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

可視光用の光学系の配置例（X2D2ランプ）シースルー構造により、可視光源と簡易に組み合わせて使用可能です。

105

32

50

9 M

AX

.

(70)

59 M

AX

.16

0 ±

10 30 ± 1

50

35-0.05-0.1

3+0.15+0.05

22+

0 -0

.1

22 ± 0.05 22 ± 0.05

光出力

発光点

発光点

2 × 3.3

接続#1: 補助電極#2: 陽極#3: フィラメント#4: フィラメント・GND

コネクタ (MOLEX)ハウジング : 39-01-2040ターミナル : 39-00-0428

A

B

点灯補助用素子

発光点位置公差（中心）軸線A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

L9518, L10804 L9519, L10904

TLSOA0105JD

L9841

TLSOA0107JD

TLSOA0106JD

TLSOC0053JC

型名 L9518タイプ窓材放射波長範囲アパーチャ径

出力安定性 at 230 nm

保証寿命 at 230 nm A放電開始電圧 (Max.) B陽極電流管電圧 (Typ.)

フィラメント定格

フィラメント予熱時間 (Min.)電源 Cバルブ壁温度 D

A寿命の定義は、波長230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、もしくはフラツキが0.05 % (p-p)を超えた時点としています。Bアノード、補助電極へのトリガが必要です。 CL2D2用電源では点灯できません。 Dランプハウス内で動作させる場合の推奨動作温度です。測定方法については別途ご相談ください。 E真空引きには対応しないため窒素雰囲気でご使用ください。* 上記以外の特注仕様にも対応可能です。お気軽にお問い合わせください。

L9519

合成石英160 ～ 400

L9841標準MgF2

115 ～ 400 E

L10904シースルー

85

標準

0.5±0.30.0052000400

300 ± 30

2.5 ± 0.254

1.7 ± 0.23.320

C9559, M9521245 ～ 290

L10804

UVガラス185 ～ 400

90

標準 シースルー単位nmmm%/h%hV dcmA dcV dcV dcA dcV dcA dcs℃

ドリフト (Max.)フラツキ (p-p) Typ.

予熱

動作

電圧電流 (Typ.)電圧電流 (Typ.)

外形寸法図 ( 単位 : mm)

仕様

4

上面図

光出力

レンズハロゲンランプ

シースルータイプX2D2ランプ

L10804, L10904

入射角19°

接続#1: 補助電極#2: 陽極#3: フィラメント#4: フィラメント・GND

コネクタ (MOLEX)ハウジング : 39-01-2040ターミナル : 39-00-0428

160

± 10

(70)

点灯補助用素子

105

32

9 M

AX

.

B

15

50

59 M

AX

.

30 ± 1

50

35-0.05-0.1A

発光点

発光点位置公差（中心）軸線A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

3+0.15+0.05

14 ±

1

22 ± 0.05 22 ± 0.05

光出力

発光点

2 × 3.3

22+

0 -0

.1

105

32

15

50

9 M

AX

.

59 M

AX

.16

0 ±

10

30 ± 1

50

35-0.05-0.1

コネクタ (MOLEX)ハウジング : 39-01-2040ターミナル : 39-00-0428

B

(70)

点灯補助用素子

A

発光点位置公差（中心）軸線A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

3+0.15+0.05

25 ±

1

22 ± 0.05 22 ± 0.05

光出力

発光点

発光点

2 × 3.3

22+

0 -0

.1

接続#1: 補助電極#2: 陽極#3: フィラメント#4: フィラメント・GND

仕様

特長

管電圧陽極電流放射波長範囲窓材

A

アパーチャ径

(nm)

保証寿命 Bat

230 nm(h)(%/ h) (mA dc) (V dc)(V dc)(mm)

放電開始電圧 C型名 フラツキ

(p-p)ドリフトMax. Typ. Typ.Max.

(%)

出力安定性 at 230 nm

L6565L6301L6301-50L6303L12313L12313-50L6307L6309L7296L7296-50L12307L7293L7293-50L6999L6999-50L9030L9030-50

UVガラス

合成石英

UVガラス

MgF2

UVガラス

合成石英

タイプ

標準

シースルー

185 ～ 400

160 ～ 400

185 ～ 400

115 ～ 400

185 ～ 400

160 ～ 400

1.0

0.5

1.0

0.5

±0.3

—

±0.3

0.005

—

0.005

4000

2000

2000D

2000

350

400

350

400

300 ± 30 80

q

i

q

e

u

w

r

y

w

t

o

q

i

r

y

AP.7、P.8参照B寿命の定義は、波長230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点、もしくはフラツキが0.05 ％ (p-p)を超えた時点としています。C放電を確実に開始するために、この値以上のパルス電圧を供給してください。D動作寿命は使用環境条件(真空雰囲気)によって異なります。これらのランプは、オイルフリー環境で使用することをお勧めします。

5

●長寿命: 4000 時間（L6565）2000 時間

●高安定: 0.005 % (p-p) Typ.●光強度のバラツキが少ない●低価格●ミスのない点灯性

L2D2®

ランプ

対応カスタム例

L2D2®ランプは長寿命、高安定な紫外線放射光源です。各種分析機器用の光源に要求される特性を有し、高い測定精度を得ることができます。

外形寸法図

陰極種類 陰極定格

123456

2.5 V2.5 V3.0 V10 V10 V

12 V – 15 V

1.0 V1.7 V

0 V – 1 V2.5 V – 6 V

7 V0 V

予熱時 動作時

発光点位置

コネクタ種類

アパーチャ径（ 0.5, 1.0）

フランジ形状

リード線長コンデンサ仕上げ位置

記載以外の内容に関してもご相談ください。

TLSZC0004JA

特性

2.5 ± 0.25

3

10 ± 1

12 ～15

2.5 ± 0.25

4

5

0.8

1.2

0.5 ～ 0.55

4

1.0 ± 0.1

1.7 ± 0.2

0 ～ 1

2.5 ～ 6.0F

7.0 ± 0.5

0G

1.0 ± 0.1

C9598-2510

C9598-2517

C9598-3000

C9598-1035

C9598-1070

C9598-1555

C9598-2510

M9596-2510

M9596-2517

M9596-3000

M9596-1035

M9596-1070

M9596-1555

M9596-2510

20

L6565L6301L6301-50L6303L12313L12313-50L6307L6309L7296L7296-50L12307L7293L7293-50L6999L6999-50L9030L9030-50

1.8

3.3

0 ～ 1.8

0.3 ～ 0.6

1

0G

1.8

電圧 E予熱

フィラメント定格 適合電源 H動作

(V dc, ac)

電圧

(V dc)

電流

(A dc)

電流

(A dc, ac)

型名

245 ～ 290

バルブ壁温度 （推奨） IAC入力タイプ DC入力タイプ

Typ. Typ.

フィラメント予熱時間

(s)Min.

E予熱時のヒータ電流は非常に高いため、ランプと電源間のケーブルが長いとケーブルにおける電圧降下が大きくなり、ランプに十分な電圧が供給されない場合があります。ヒータへの電源を設計する際は、ランプ入力端子部に所定の電圧が供給されるようにしてください。 F推奨動作電圧は3.5 V ± 0.5 Vです。

Gこれらのランプでは動作中に放電電流がフィラメントに流れますので、フィラメント温度を保つための外部電源入力は必要ありません。H弊社重水素ランプの性能を十分に引き出すために、専用電源の使用をお勧めします。Iランプハウス内で動作させる場合の推奨動作温度です。測定方法については別途ご相談ください。* 上記以外の特注仕様も対応可能です。お気軽にお問い合わせください。 6

TLSOB0021JC TLSOB0020JC TLSOB0077JC

①UVガラス ②合成石英 ③MgF2

●放射スペクトル分布

■UVガラス, 合成石英 ■MgF2400 nm 以下の紫外域で強いスペクトル光を放射します。短波長側の放射スペクトルは、使用する窓材の透過率によって決まります。

●輝度分布特性 ●配光特性D2ランプの輝度はアパーチャ（光出射口）サイズによって決まります。アパーチャ径0.5 mmのランプは、アパーチャ径1.0 mmのランプより輝度が約1.4倍になります。

TLSOB0024JF

160 200 240 280 320 360 400

波長 (nm)

放射照度

(μW

·cm

-2·n

m-1

at 5

0 cm

)

0.01

0.1

1.0

0.001

合成石英（突起型窓：1 mm厚）

UVガラス

アパーチャ径0.5 mm アパーチャ径1.0 mm

TLSOB0079JC

240 400220200180160

波長 (nm)

1401201000

20

40

60

80

100

相対光出力

(%

)

MgF2

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

外形寸法図 ( 単位 : mm)

7

q L6301, L6565, L6303, L6999 e L12313

TLSOA0040JD TLSOA0039JF

TLSOA0011JF

t L7293

シースルータイプ

TLSOA0017JG

r L7296, L9030シースルータイプ

w L6307, L6309 , L12307

TLSOA0018JF

TLSOA0075JE

y L7296-50, L9030-50シースルータイプ

フィラメントフィラメント・GND陽極

L6303

フィラメントフィラメント陽極

: 青: 黒: 赤

: 青: 青: 赤

L6301, L6565, L6999

接続

20

7

6

7 M

AX

.68

± 2

160

± 10

28 ± 1

42 ±

2

発光点

接続フィラメントフィラメント・GND陽極

: 青: 黒: 赤

30 ± 1

42 ±

2 68 ±

216

0 ±

10

発光点

7 M

AX

.20

7

6

発光点位置公差（中心）軸線 A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

光出力

2 × 3.3

発光点22 ± 0.1 22 ± 0.1

15

30 ± 1

発光点

50 ± 1

68 ±

2

37

160

± 10

15 5

14 ±

1

7 M

AX

.35 -0.05 -0.1

22+

0 -0

.1

3 +0.15+0.05

B

A

20

7

6

接続フィラメントフィラメント・GND陽極

: 青: 青: 赤

30 ± 1

42 ±

2

60 ±

216

0 ±

10

発光点

7 M

AX

.

20

7

6

フィラメントフィラメント・GND陽極

L7296-50

フィラメントフィラメント陽極

: 青: 黒: 赤

: 青: 青: 赤

L9030-50

接続

フィラメントフィラメント・GND陽極

L7296

フィラメントフィラメント陽極

: 青: 黒: 赤

: 青: 青: 赤

L9030

接続

30 ± 1

42 ±

2 68 ±

216

0 ±

10

発光点

14 ± 1

15

7 M

AX

.

20

7

6

フィラメントフィラメント陽極

: 青: 青: 赤

L7293接続

20

7

6

30 ± 1

42 ±

2 68 ±

216

0 ±

10

発光点

50 ± 1

78 7 M

AX

.

Oリング固定可能部 15 ± 0.5

15

シースルータイプ

8

TLSOC0053JA

TLSOC0011JG

真空装置への取り付け例(L7293, L7293-50)

TLSOA0088JDTLSOA0050JC

u L12313 -50 o L7293-50

TLSOA0051JD

i L6301-50, L6999-50シースルータイプ

シースルータイプ電極構造により、ハロゲンランプ、D2ランプ、光学系の光路を同一線上に配置することが可能です。これにより、紫外-可視分光光度計などの光学設計を簡略化できるうえ、ハーフミラーの使用による光量ロスもありません。

可視光用の光学系配置例 （L2D2ランプ）

▼シースルータイプのランプ型名L6999, L6999-50, L9030, L9030-50

1真空フランジ2締め付けネジ3Oリング JIS B2401　呼び番号 V154スペーサAMgF2窓B段接部COリングシール可能部

発光点

ネジ部

1

2

3

4

A

B

C

接続フィラメントフィラメント陽極

: 青: 青: 赤

発光点位置公差（中心）軸線 A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

50 ± 1

20

7

6

光出力

2 × 3.3

22 ± 0.1 22 ± 0.1発光点

3+0.15+0.05

22+

0-0

.160 ±

216

0 ±

10

37

7 M

AX

.

B

15 5

30 ± 1

発光点

A

35 -0.05-0.1

接続

20

7

6

フィラメントフィラメント陽極

: 青: 青: 赤

接続発光点位置公差（中心）軸線 A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

28 ±1

68 ±

2

37

160

± 10

7 M

AX

.

35 -0.05 -0.1

B

A光出力

2 × 3.3

22 ± 0.1 22 ± 0.1

発光点

50 ± 1

15 5

発光点

22+

0 -0

.1

3 +0.15+0.05

レンズハロゲンランプ

シースルータイプL2D2ランプ

入射角40°

光出力

上面図

20

7

6

接続フィラメントフィラメント陽極

: 青: 青: 赤

接続発光点位置公差（中心）軸線 A基準 : ±0.1B面基準 : ±0.1

30 ± 1

68 ±

2

42

160

± 10

7 M

AX

.

35 -0.05 -0.1

B

A

発光点

15 5

光出力

2 × 3.3

22 ± 0.1 22 ± 0.1

15

50 ± 1

50 ±

187

22+

0 -0

.1

3 +0.15+0.05

発光点

Oリング固定可能部 15 ± 0.5

X2D2®ランプ専用電源 / ランプハウス

項目 C9559

入力

出力

冷却方法動作周囲温度保存温度動作周囲湿度・保存湿度外部制御（ランプ ON/OFF、ランプ点灯信号）

適応規格

入力電圧

入力電流 (Max.)

出力電圧 (DC)

出力電流 (DC)電流フラツキ (p-p) (Typ.)電流ドリフト at 25 ℃ (Typ.)

フィラメント定格

フィラメント予熱時間

トリガ電圧

CEUL (File No. E249677)

動作時 (Typ.)無負荷時 (Min.)

予熱

動作

アノード補助電極

電圧電流 (Typ.)電圧電流 (Typ.)

DC 24 V ± 2.4 V

3

強制空冷 (0.3 m3/min)

○○○

1.4

○○

AV dcV dcmA dc%%/hV dcA dcV dcA dcs

V peakV peak℃℃%

M9521 単位

85 / 90200

300 ± 300.005±0.022.5 ± 0.2

41.7 ± 0.23.3約 20600600

0 ～ +40-10 ～ +60

80以下 ( 結露しないこと)

AC 100 V ～ AC 240 V(100 V/200 V 自動切り替え )単相 50 Hz / 60 Hz

D2ランプは、その用途からきわめて高い光出力安定度が要求されるため、駆動には弊社専用電源およびランプハウスのご使用をお勧めします。また、お客様で電源・ランプハウス設計をご用意される場合にも最適な設計となるよう技術フォローを致しますので、ご相談ください。

▲専用電源　左: C9559, 右: M9521 ▲ランプハウス　左: E9522-50, 右: E9558-50

L2D2®ランプ専用電源 / ランプハウス

▲専用電源　左: C9598, 右: M9596 ▲ランプハウス　左: E9522, 右: E9558

9

X2D2®

ランプL2D2®

ランプ

ランプ用電源ランプハウス

E9522-50: L9518用　E9558-50: L9519用E9522: L6301-50用　E9558: L7296-50用* シースルータイプ（L10804, L10904, L6999-50, L9030-50）用の特注品にも対応いたします。

外形寸法図 ( 単位 : mm)

X2D2ランプ用電源仕様

160 35 MAX. 5 MAX.170

100

110

正面図 側面図

●付属ランプ出力ケーブル

TLSOA0112JA

TLSOA0114JA

TLSOA0113JA TLSOA0115JA

* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)

C9559

上面図

側面図正面図 背面図

280110

140

3000 ± 50

R25

3-120°

光学系取付面3 × M4 深さ5 (P.C.D.* 40) 2 × M3 深さ5

3279

4.2

6050

32 5 34

22 ±

0.05

22 ±

0.05

2229 ± 1

35.

2

発光点

ランプフランジ設置面

発光点3-120°

3 × M3 (P.C.D.* 24)

2.8 入圧ピン+0.1 -0

R25

3 × M4 深さ5 (P.C.D.* 40)

2 × M3 深さ5

2.8 入圧ピン+0.1 -0

19.2

5.8

6050

1835

22 ±

0.05

22 ±

0.05

22

光学系取付面3 × M3 (P.C.D.* 24)

ランプフランジ設置面

発光点

3-12

0°

32.2 +0.2 -0

3279

3-120°

発光点

発光点

35.

2

34

●C9559

●M9521

●E9522-50

●E9558-50

L2D2専用電源ではX2D2ランプを点灯させることはできません。

C9598/M9596-2510

C9598/M9596-2517C9598/M9596-3000C9598/M9596-1035C9598/M9596-1070C9598/M9596-1555

2.5 ± 0.2

2.5 ± 0.23 ± 0.210 ± 0.510 ± 0.513.5 ± 0.7

L6565, L7293, L6999, L6999-50, L7293-50L6301, L6301-50, L9030, L9030-50L6303L12313L6307L7296, L6309, L7296-50L12307

型名予熱時

電圧(V dc)

4

450.81.20.5

電流(A dc)(Typ.)

1.0 ± 0.1

1.7 ± 0.20

3.5 ± 0.27 ± 0.4

5.25 ± 0.25

動作時適合ランプ電圧

(V dc)

1.8

3.300.310.3

電流(A dc)(Typ.)

項目 C9598

入力

出力

冷却方法動作周囲温度保存温度動作周囲湿度・保存湿度外部制御（ランプON / OFF、ランプ点灯信号）

適応規格

入力電圧

入力電流 (Max.)

出力電圧 (DC)

出力電流 (DC)電流フラツキ (p-p) (Typ.)電流ドリフト at +25 ℃ (Typ.)ウォームアップ時間トリガ電圧

EN（CEマーキング）UL（ファイルNo. E249677）

動作時 (Typ.)無負荷時 (Min.)

DC 24 V ± 2.4 V

2

強制空冷 (0.3 m3/min)

○○○

0.9

○○

AVVmA%%/hs

V peak℃℃%

M9596 単位

80200

300 ± 300.005±0.02約 20約 600

0 ～ +40-10 ～ +60

80以下（結露しないこと）

AC 100 V ～ AC 240 V (100 V/200 V自動切り替え )

単相 50 Hz / 60 Hz

10

外形寸法図 ( 単位 : mm)

L2D2ランプ用電源仕様

フィラメント定格

* P.C.D. (Pitch Circle Diameter)

●C9598

●M9596

●E9558

●E9522

118 30 MAX. 5 MAX.102

86.4

100

正面図 側面図

TLSOA0116JA

TLSOA0117JA TLSOA0119JA

TLSOA0118JA●付属ランプ出力ケーブル

上面図

側面図正面図 背面図

200117

90

1800 ± 50

R25

3-120°

光学系取付面3 × M4 深さ5 (P.C.D.* 40) 2 × M3 深さ5

3284

4.2

6050

37 5 34

22 ±

0.052

2 ± 0.

05

2229 ± 1

35.

2

発光点

ランプフランジ設置面

発光点3-120°

3 × M3 (P.C.D.* 24)

2.8 入圧ピン+0.1 -0

R25

3 × M4 深さ5 (P.C.D.* 40)

2 × M3 深さ5

2.8 入圧ピン+0.1 -0

19.2

5.8

6050

1835 32

22 ±

0.052

2 ± 0.

05

22 ± 0.05

35.

2

光学系取付面3 × M3 (P.C.D.* 24)

ランプフランジ設置面

発光点

3-12

0°

32.2 +0.2 -0

3784

3-120°

発光点

発光点

仕様

特長 特性

S2D2®

ランプS2D2®ランプ（小型重水素ランプ）は従来品に比べ大幅な小型化を実現しました。小型でありながら従来品と同等の高安定性を有し、独自の電極構造により高輝度も実現しました。

●長寿命: 1500 時間（L10671D）●小型 ●高安定: 0.005 % (p-p) Typ.●高出力な紫外域連続スペクトル●低消費電力●組み込み容易

●放射スペクトル分布 ●配光特性TLSOB0109JB

TLSOB0079JB

内容 / 値

1.0±0.250.005

約1354.20.553.50.5約25

-10 ～ +6085 %以下（結露なきこと）

L10671DUVガラス185 ～ 400

150030

185

L13301MgF2

115 ～ 400

1000 C50

240

単位nmmm%/h%hmAVVA dcVA dcs℃℃

型名窓材放射波長範囲アパーチャ径出力安定性 at 230 nm保証寿命 at 230 nm A出力電流管電圧 (Typ.)

フィラメント定格

フィラメント予熱時間 (Min.)バルブ壁温度 B (Max.)保存温度保存湿度

ドリフト (Max.)フラツキ (p-p) (Typ.)

予熱

動作

電圧電流 (Typ.)電圧電流 (Typ.)

項目

A寿命の定義は、波長230 nmでの光出力が初期値の50 %に低下した時点もしくは、フラツキが0.05 % (p-p) を超えた時点としています。 B外形寸法図の a箇所 C動作寿命は使用環境条件 (真空雰囲気 )によって異なります。

▲左：L13301 　右：L10671D

11

L10671P

L10671DL10671H

検出器

プリント基板

波長 (nm)

放射照度

(µW

·cm

-2·n

m-1

at 5

0 cm

)

0.001

0.002

0.003

0.004

0.005

0.006

0.007

0.008

0.009

0.010

0.000200 220 240 260 280 300 320 340 360 380 400

L10671D

TLS B0005JA

240 400220200180160

波長 (nm)140120100

0

20

40

60

80

100

相対光出力

(%

)

L13301

0°

10°

-10°

20°

30°

-30°

-20°

0°

10°

-10°

20°

30°

-30°

-20°

L13301L10671D

TLS C0005JA

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

30°

-30°

10°

-10°

20°

-20°

0°

TLSOB0114JA

ランプハウス ケーブル付ソケット E13807（L13301用）

専用電源

外形寸法図 ( 単位 : mm)●L10671D

TLSOA0109JA TLSOA0016JA

AL10671Hの図面のb箇所（本機を装置に組み込んだ際は、　この温度範囲に入るように熱設計をお願いします。）

内容 / 値320

+40 ～ +80

単位g℃

質量最適動作温度 A

項目

内容 / 値12 A10

S2D2ランプ点灯/消灯CN4出力ON/OFFCN5出力ON/OFF BステータスシグナルS2D2ランプCN4主電源（　　　　　　 ）

単位VVA

入力電圧 (DC)消費電力

外部制御

A8.5 V dc ～ 13.2 V dcの入力範囲B外部制御3-10端子間に信号を入れるたびに、+5 V,　-5 V が各々200 ms間隔で交互に出力されます。

CAC / DCアダプタ付属

Max.

項目

TLS A0005JA

TLS A0019JA

TLS A0020JA

TLS A0006JA

関連製品

12

●L13301* PCD (Pitch Circle Diameter)

CN1: 入力電圧用DCジャック

CN3: S2D2ランプ出力用コネクタ1: GND2: フィラメント3: N.C.4: 補助電極5: 陽極

178

55

20

65上面図

CN2: 外部制御機能1: S2D2ランプ ON / OFF2: CN4 (5 V) 出力 ON / OFF3: CN5 (5 V) 出力 ON / OFF4: S2D2ランプ点灯確認信号

5: CN4 (5 V) 出力確認信号

6: N.C.7: 主電源出力確認信号8: N.C.9: N.C.

10: GND

CN9: 12 V出力用コネクタ1: +2: –

上面図（底板）

基板 = 1.2 mm

30

CN4: 5 V出力用コネクタ （使用例: タングステンランプ）

1: +2: –

3 × 3（取り付け用ネジ穴）

CN5: 5 V出力用コネクタ（使用例: シャッタソレノイド）

1: +2: N.C.3: –

3

3

27

33

18 M

AX

.2.

5 M

AX

.9.

2

32.5

MA

X.

側面図

●L10671P（L10671D用）

内容 / 値10.8 ～ 13.2

17ランプON/OFFランプ点灯信号

単位VVA

入力電圧 (DC) C消費電力

外部制御

Max.

項目●C10707（L13301用）

●L10671H（L10671D用）

130

上面図 ランプ交換用ネジ

温度測定点 b

5 67.52.5

37.5

5

6

9.2光出力

側面図

発光点

M11 × 0.5（深さ 3.75） *

* 10 mm dia.レンズの取り付けが可能です。

13

16.5

底面図 2 × M2.6 深さ 2（取り付け用ネジ穴）

28

14

29

12

19

26

正面図発光点

M2.6サラネジ用 2 × 2.7

L10671P接続用コネクタ (CN3)

80 ± 103

23 6

8 MAX.

17

.5

2 × M2.6

ソケット

2 × 3.3

P.C.D. 10.72 ± 0.2

▼接続1: アノード2: 補助電極3: フィラメント4: GND

* L13301用のハウジング、真空フランジについては別途ご相談ください。

67 8

9

123

4

5

●接続1: フィラメント3 (7): 陽極5: 補助電極9: GND2, 4, 6, 8: N.C.

20.5 MAX. 8 MAX.

22

MA

X.

7.5 6 9 × 0.7発光点

温度測定点 a

18° 10°

10°

36°

36°

36°

36°

18°

9 × 0.7

P.C.D.* 10.72 ± 0.2

A

B

発光点位置公差（中心）・A軸線基準: ±0.3 mm・B軸線基準: ±0.3 mm

温度測定点 a

67 8

9

123

45

15.5 ± 2.0520 8 MAX.

58 MAX.

15

7.5 6 9 × 0.7発光点

20.

5

Oリング固定可能部

●接続1: フィラメント3 (7): 陽極5: 補助電極9: GND2, 4, 6, 8: N.C.

18° 10°

36°

36°

36°

36°

18° 10°9 × 0.7

P.C.D.* 10.72 ± 0.2発光点位置公差（中心）・A軸線基準: ±0.3 mm・B軸線基準: ±0.3 mm

温度測定点 a

温度測定点 a

A

B

42.5

70

112.51000 ± 100

DCジャック

外部制御コネクタ

出力ケーブル

メインパワーLED

S2D2®ランプ（小型重水素ランプ）を採用した世界最小サイズの紫外 - 可視ファイバ光源です。小型でありながら高出力を有し、高安定性も実現した光源です。コンパクトで持ち運びが容易であり、低電圧駆動も実現しておりますので、各種ポータブル装置に応用できます。

高出力な紫外-可視ファイバ光源です。200 nm～ 1600 nmの光をライトガイド（別売）から出力します。「高輝度ランプ（X2D2ランプ）」を採用し、放射強度は弊社従来品に比べ約2倍になりました。高出力、高安定な紫外－可視光をお手軽にご使用いただけます。

特長●小型：72 mm × 40 mm × 90 mm●高安定：フラツキ 0.004 % p-p (Typ.) 　（2 × 10-5 A.U.相当）●外部制御可能●シャッタ標準装備

特性 特長

●高出力： 約 2倍（弊社従来品比）●高安定 : フラツキ 0.004 % p-p (Typ.)　（2 × 10-5 A.U. 相当）●長寿命ランプ内蔵 : 2000 h●外部制御可能●シャッタ標準装備●フィルタホルダ（別売）

■アプリケーション

特性光出力安定性

●放射スペクトル分布

TLSOB0107JA

20

15

10

5

0

-5

-10

-15

-20時間 (100 s/div.)

AB

S (

10-5

A.U

.)

20

15

10

5

0

-5

-10

-15

-20時間 (100 s/div.)

AB

S (

10-5

A.U

.)

●at 230 nm

●at 600 nm

TLSZB0125JA

波長 (nm)

相対光出力

10

0.1

0.01200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100

ライトガイドA7969-08ASコア径 = 0.8 mm

L12515L10671（従来品）

●200 nm ～ 1100 nm●200 nm ～ 220 nm（増強範囲拡大）

波長 (nm)

相対光出力

1.2

0.4

0.8

1.4

1

0.2

0.6

0200 202 204 206 208 210 212 214 216 218 220

L12515L10671（従来品）

3倍ライトガイドA7969-08ASコア径 = 0.8 mm

1

TLSOB0099JB

▲L12515

▲L10290

ファイバ光源

小型紫外-可視 (UV-VIS) S2D2ファイバ光源 L12515

高出力紫外-可視 (UV-VIS) ファイバ光源 L10290

13

関連製品

●分光光度計用光源●環境計測用光源●吸収スペクトル測定用光源

●MTPリーダ用光源●薬品検査用光源●高速液体クロマトグラフ

●バイオ計測用光源●半導体検査装置●各種光学部品検査用光源

波長 (nm)

相対光出力

10

1

0.1200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100

約2倍（弊社従来品比）

ライトガイド種類A7969-08ASコア径 = 0.8 mm

L10290 タングステンハロゲンランプ光量Max.L10290 タングステンハロゲンランプ光量Min.弊社従来品

●放射スペクトル分布（代表例）

▲L12542 左: 光源部, 右: 電源部

* 他のMgF2窓タイプD2ランプでも除電は可能です。

H2D2光源ユニットは弊社従来品（L2D2ランプ）に比べ、輝度6倍の高輝度・高性能重水素ランプ（H2D2ランプ）が内蔵されています。高輝度でありながら、高安定、長寿命を実現し、また、専用のハウジングを採用することにより空冷動作を可能にしました。それにより従来の水冷式に比べ、使い易さを格段に向上しました。各種用途への使用が可能で、装置のさらなる高感度化と高スループットを実現します。

特長●高輝度 : 6 倍（弊社従来品比）●高安定 : フラツキ 0.05 % p-p (Max.)　　　　 ドリフト ±0.3 %/h (Max.)●長寿命 : 1000 時間保証●空冷（冷却水不要）●外部制御可能●ランプリプレイス可能

特性●放射スペクトル分布 ●輝度分布

TLS B0007JB

アパーチャ中心からの距離 (mm)

-2.5 -2 -1.5 -1 -0.5 0 0.5 1 1.5 2 2.50

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

550

600

650

相対光出力

(%

)

高輝度6倍高輝度6倍

H2D2ランプ弊社従来品

X2D2ランプL2D2ランプ ( 0.5 mm)

S2D2真空紫外光源ユニットは、小型MgF2窓付き重水素ランプを内蔵した真空紫外光源ユニットです。真空フランジ付属のSUSフレキシブル管と専用の冷却機構により、照射対象物への近接照射や減圧下への設置及び点灯が可能となりました。コンパクトな光源形状及びSUSフレキシブル管により、各装置への取付け自由度が向上しました。

SEM画像除電効果比較

▲L11798, L11799 左: 光源部, 右: 電源部

▲L10706左: 光源部, 右: 電源部

真空紫外製品

S2D2真空紫外(VUV)光源ユニット L10706シリーズ

H2D2光源ユニット L11798, L11799

14

広い照射範囲を持った、減圧下での除電が可能な光源ユニットです。広い面積に対して除電が可能なため、通常であれば光源ユニットが複数台必要になる用途にも、1台で対応することが可能です。

●配光特性

TLSZB0105JA

静電気除去ユニット VUVイオナイザ L12542

特性

■アプリケーション●半導体検査装置●膜厚計●分光光度計

●静電気除去●真空紫外分光光度計●材料耐性評価

●光イオン化源●静電チャックのデチャック●液晶製造装置

TLSOB0079JB

240 400220200180160

波長 (nm)

1401201000

20

40

60

80

100

相対光出力

(%

)

L11798

▲除電無し

▲除電有り

0°

10°

-10°

20°

-20°

-30°

30°

●本資料の記載内容は平成30年6月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。●関連製品の個別カタログは別途お問い合わせください。

TLS 1017J04JUN. 2018 IP

■使用上のご注意1.ランプからは、目や皮膚に有害な強い紫外線が出ていますので、直視したり放射光を直接皮膚に当てないでください。取扱作業中は保護メガネや保護具を使用してください。（JIS T 8141参照）

2. 点灯中はバルブ壁が高温（200℃以上）となっていますので、素手で触れたり燃えやすいものを近づけないでください。（S2D2ランプは除く。）3. 機械的な振動・衝撃を与えないでください。光出力安定性低下や短寿命の原因になります。4. 合成石英窓またはMgF2窓の段つなぎについて合成石英窓またはMgF2窓使用のバルブについては、膨脹率が少しずつ異なる数種のガラスをつなぎ合わせた段つなぎが採用されています。この段つなぎ部分は機械的強度が弱いため、使用にあたっては段つなぎ部分に力のかかる取り扱いはしないでください。

5. 本製品のガラス（窓）部分は素手で触れないでください。手垢やほこりなどがついたまま点灯しますと汚れが焼き付いたり失透が生じ、放射出力強度が低下します。万一、手垢などで汚れた場合には、上質のアルコールかアセトンをつけて硬く絞ったガーゼか脱脂綿を用いて点灯前に汚れを拭き取ってください。

6. ランプ動作には高電圧を使用します。感電事故等に十分ご注意ください。7. 常温、常湿にて保管し、高温多湿を避けるようお願いします。また、長期に使用しない場合には、振動・衝撃の加わらない場所で、梱包された状態で保管してください。

8. MgF2/合成石英窓取り扱い酸素が存在する雰囲気にUV光を照射すると、人体に影響するレベルではありませんが、オゾンが生成されオゾン臭がします。密閉された部屋においてこのような方法で長時間ご使用になる場合は、時々換気を行ってください。

■保証ランプの保証は納入後1年間とし、保証の範囲は製品の代替納入を限度といたします。ただし、1年以内でも、ランプの使用時間が保証寿命時間を超えた場合はご容赦願います。また、天災、使用上のミス、改造などによるトラブルも保証の対象外とさせていただきます。

■廃棄方法本製品を廃棄する場合は、廃棄物処理法に則り、自ら適正に処理していただくか、もしくは許認可を受けた適正な産業廃棄物処理業者へ委託して処理してくださるようにお願いします。国外で使用し、その国で廃棄する場合は、それぞれの国、州の廃棄物処理に関する法令に従って適正に処理をしてくださるようにお願いします。

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