Upload
others
View
3
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
Bạn đang truy cập nguồn tài liệu chất lượng cao do www.mientayvn.com phát hành.
Đây là bản xem trước của tài liệu, một số thông tin và hình ảnh đã bị ẩn đi. Bạn chỉ xem được toàn bộ tài liệu với nội
dung đầy đủ và định dạng gốc khi đã thanh toán. Rất có thể thông tin mà bạn đang tìm bị khuất trong phần nội dung
bị ẩn.
………………………………………………………………………………………
Liên hệ với chúng tôi: [email protected] hoặc [email protected]
………………………………………………………………………………………
Thông tin về tài liệu
Số thứ tự tài liệu này là : 1788
Định dạng gốc: pptx
………………………………………………………………………………………
Chúng tôi không bán tài liệu này do chúng tôi không phải là tác giả của nó.
Tập tin có cài pass (bạn sẽ nhận được pass sau khi đã thực hiện theo các yêu cầu ở mục 1, 3, 5, 8, 9, 10 trong liên kết
sau: http://mientayvn.com/Trao_doi_tai_nguyen.html):
www.mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/quang_dien_tu_ban_dan_1785_1790/1788_photodiode.rar
………………………………………………………………………………………
Các tài liệu được tặng miễn phí kèm theo:
www.mientayvn.com/Tai_lieu_cung_chu_de/1788.doc………………………………………………………………………………………
Đối với sinh viên, học viên cao học của bộ môn vật lý ứng dụng, khoa vật lí-vật lí kỹ thuật, đại học khoa học tự
nhiên TPHCM: gửi cho chúng tôi địa chỉ mail lớp, chúng tôi sẽ cung cấp thông tin để các bạn truy cập miễn phí tài
liệu.
………………………………………………………………………………………
Đối với sinh viên khoa vật liệu, đại học khoa học tự nhiên TPHCM: các bạn muốn sử dụng tài liệu này phải có
email giới thiệu của một trong các tác giả có bài đăng trên trang web của chúng tôi. Các tác giả này phải công tác tại
khoa vật liệu. Trong email giới thiệu, xin ghi thật ngắn gọn, và đầy đủ thông tin, không cần chào hỏi.
Chi tiết xin xem tại:
http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html
Đề tài:
GV Hướng dẫn : Thầy Trần Quang Trung
Học viên : Lê Hà Phương
Nguyễn Thị Hà Trang
Nguyễn Quang Khởi
Linh kiện quang bán dẫn
Linh kiện quang-điện
(linh kiện thu quang)
Linh kiện điện-quang
(linh kiện phát quang)
I. LINH KIỆN THU QUANG (PHOTODETECTOR)
Linh kiện thu quang, là những linh kiện bán dẫn
chuyển đổi tín hiệu quang thành tín hiệu điện,lợi dụng sự
tăng giảm cường độ ánh sáng để làm thay đổi độ dẫn điện
của chất bán dẫn hoặc làm xuất hiện suất điện động
Nguyên lý hoạt động của các linh kiện này có thể bao
gồm 3 khâu sau:
• Phát sinh hạt dẫn bởi ánh sáng tới
• Vận chuyển hạt dẫn và khuếch đại dòng hạt dẫn bằng
một cơ chế nào đó có thể
• Cho dòng điện tác dụng vào mạch ngoài gây ra tín
hiệu điện ở lối ra.
Ưu điểm của Photodetector
I. LINH KIỆN THU QUANG (PHOTODETECTOR)
• Độ nhạy cao
• Thời gian đáp ứng ngắn
• Mức nhiễu thấp
• Gọn nhẹ
• Nguồn nuôi (dòng, điện áp nhỏ).
• Tiện dụng
Photodetector gồm nhiều loại : linh kiện quang dẫn hay quang
trở, photodiode, phototransistor…
II. CHẤT BÁN DẪN LÀ GÌ ?
Chất bán dẫn là những nhóm vật liệu có độ dẫn trung gian
giữa chất dẫn điện và chất cách điện. Hầu hết các chất bán dẫn
đều có các nguyên tử sắp xếp theo cấu tạo tinh thể.
Hai cách phân loại phổ biến các vật liệu bán dẫn là: vật liệu
bán dẫn nguyên tố và vật liệu bán dẫn hợp chất
II.1. Chất bán dẫn thuần
Các chất bán dẫn điển hình như Si và Ge thuộc nhóm 4 bảng
tuần, tức là mỗi nguyên tử đều có 4 điện tử ở lớp ngoài cùng kết
hợp với 4 điện tử của 4 nguyên tử kế cận tạo thành 4 liên kết hóa
trị, trở nên bền vững
II. CHẤT BÁN DẪN LÀ GÌ ?
Ta có : n = p = ni ni2 = A0.T
3. exp(-EG/KT)
K: Hằng số Bolzman=8,62.10-5eV/K
EG : Chiều cao của dải cấm.
A0: Số Avogadro= 6,203.1023
T : Nhiệt độ tuyệt đối (K)
II.2. Chất bán dẫn loại N
Chất bán dẫn thuần khiết (Si hoặc Ge) pha tạp chất thuộc nhóm V bảng phân
loại tuần hoàn như As (Arsenic), Photpho (p)… Bốn điện tử của P kết hợp với 4
điện tử của Si lân cận tạo thành 4 nối hóa trị, còn dư lại một điện tử của P.
ED
II. CHẤT BÁN DẪN LÀ GÌ ?
ND là mật độ những nguyên tử pha vào, ni là mật độ điện tử hoặc lỗ trống
trong chất bán dẫn thuần trước khi pha.
Ta có: n = p + ND, n.p = ni
2 (n > p)
Nồng độ electron trong vùng dẫn :
exp / exp / exp /i in C C F B C C F B F F Bn N T E E k T N T E E k T E E k T (2.1)
II.3. Chất bán dẫn loại P
Pha thêm một lượng nhỏ tạp chất hoá trị 3 như Indium (In) vào bán dẫn
(Si). Ba điện tử của nguyên tử In kết hợp với ba điện tử của ba nguyên tử Si
kế cận, còn một điện tử của Si có năng lượng trong dải hóa trị không tạo một
nối với InDải dẫn điện
Dải hóa trị
E
EFD
ED
EFi
II. CHẤT BÁN DẪN LÀ GÌ ?
Ta có: p = n + NA , n.p = ni2 (p > n)
NA là mật độ những nguyên tử pha vào
Nồng độ lỗ trống trong vùng hoa trị :
exp / exp / exp /i ip V V F B V V F B F F Bp N T E E k T N T E E k T E E k T
exp /ip i F F Bp n E E k T (2.2)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
III.1 Sự hình thành chuyển tiếp p – n
Hai bán dẫn n và p tiếp xúc nhau, có sự chênh lệch nồng độ của các
hạt tải điện ở hai miền nên xảy ra sự khuếch tán hạt tải:
• Dòng khuếch tán của các hạt tải cơ bản :
- Điện tử từ bán dẫn loại n sang bán dẫn loại p
- Dòng lỗ trống từ bán dẫn loại p sang bán dẫn loại n
• Dòng trôi của các hạt không cơ bản :
- Lỗ trống từ bán dẫn loại n sang bán dẫn loại p
- Điện tử từ bán dẫn loại p sang bán dẫn loại n
III.2 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái cân bằng (chưa có điện
trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
Fpe
Fne
Giản đồ vùng năng lượng của chuyển tiếp p – n ở trạng thái cân bằng
Khi bán dẫn loại n và loại p tiếp xúc nhau, mức Fermi của hai khối bán
dẫn không thẳng hàng nên các hạt tải điện sẽ khuếch tán qua lớp tiếp xúc
cho đến khi mức Fermi của hai khối trùng nhau. Khi đó, lớp chuyển tiếp p –
n được hình thành và mức năng lượng EV, EC, EFi bị uốn cong, hình thành
một điện thế tiếp xúc Vbi.
III.2 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái cân bằng (chưa có điện
trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
Điện thế tiếp xúc : bi Fp FnV
Mà : Fn Fi Fe E E
(2.1) exp /
ln ln
o
o
n i Fn B
nB B DFn
i i
n n e k T
nk T k T N
e n e n
Fp Fi Fe E E
(2.2) exp / exp /
ln ln
o
o
p i Fp B i Fp B
pB B AFp
i i
p p e k T n e k T
pk T k T N
e n e n
2ln ln lnB D A B D A
bi
i i i
k T N N k T N NV
e n n e n
Và :
(3.1)
(3.2)
(3.3)
(3.4)
:on Dx n N :
op Ax p NSâu trong bán dẫn, ở trạng thai cân bằng, khi
.
Và
Giả sử có đk biên: E=0 tại x = xn và x =-xp
III.2 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái cân bằng (chưa có điện
trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
2
o
x dE x
dx
( ) ( )0
n px x x x
dV x dV x
dx dx
( )p ax eN
( )n dx eNMật độ điện tích không gian + (ion dương donor):
Mật độ điện tích không gian - (ion âm acceptor):
Phương trình Poision một chiều:
Điện trường trong vùng p và n
(3.4)
(3.6)
3.6
1a a
p
o o o
x eN eNE dx dx x C
(3.7)
(3.8)
(3.9)
(3.10)2d d
n
o o o
x eN eNE dx dx x C
Bề dày vùng nghèo (W)
đk biên
2d
n
o
eNC x d
n n
o
eNE x x
III.2 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái cân bằng (chưa có điện
trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
(3.11)
Điện trường liên tục tại x = 0 Ep (0) = En(0)
(3.12)
a p d nN x N x
1a
p
o
eNC x a
p p
o
eNE x x
Thế tiếp xúc
2
2
ap p
o
eNx x x
Đặt (x = -xp)= 0 2 2
1 2, 2 2
a ap p
o o
eN eNC x C x
2
22
d dn n n
o o
eN eN xx E x dx x x dx x x C
2
12
a ap p p
o o
eN eN xx E x dx x x dx x x C
22
2 2
d an n p
o o
eN eNxx x x x
(3.13)
(3.14) (3.15)
Bề dày vùng nghèo (W)
III.2 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái cân bằng (chưa có điện
trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
Bề dày vùng nghèo (W)
(3.13) d np
a
N xx
N(3.17)
Thay (3.17) vào (3.16)1 2
2 1o bi an
d a d
V Nx
e N N N
1 2
2 1o bi dp
a a d
V Nx
e N N N
Vùng nghèo tổng cộng W = xn + xp
1 2
2 o bi a d
a d
V N NW
e N N
2 2
2bi n d n a p
o
eV x x N x N x (3.16)
(3.18)
(3.19)
(3.20)
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực thuận:
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
Nối bán dẫn p với cực dương, bán dẫn n với cực âm của nguồn một chiều
thì điện áp ngoài Vd tạo điện trường ngoài Ed ngược chiều với điện
trường tiếp Etx xúc nên điện trường tổng cộng trong lớp chuyển tiếp giảm
đi. Mức Fermi của bán dẫn loại n tăng lên một mức eVd so với khi hệ ở
trạng thái cân bằng. Thế hiệu tiếp xúc lúc bấy giờ là (Vbi - Vd).
P Nnon
nop
pop
pon
px nx
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực thuận:
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
Hàng rào thế năng thấp xuống nên dòng khuếch tán của điện tử và lỗ
trống tăng lên. Dòng điện qua chuyển tiếp là dòng khuếch tán của hạt
dẫn cơ bản
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực thuận
Nồng độ lỗ trống thiểu số dôi ra ở vùng n : pn(x) = pn(x) - pno
2 20
n n
p
p p
x L
Với L là độ dài khuếch tán của hạt tải không cơ
bản.
2
2
n n nnp p
p
p p ppD G E
x x t
Xét phương trình Ambipolar cho hạt tải không cơ bản :
Xét hệ ở trạng thái dừng và tại vùng trung hòa của bán dẫn n (E = 0),
không sinh thành hạt tải (G = 0)t
pn
(3.21)
(3.22)
(3.23)
Giải phương trình Ambipolar ứng với hạt tải là lỗ trống trong vùng n
pp
nonnL
xB
L
xApxpxp expexp nxx
p
nL
xAxp exp
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực thuận
00 BxpnVới điều kiện
Ta có nồng độ hạt tải không cơ bản trong bán dẫn loại n khi có điện áp ngoài
exp expbi a a
n n po no
B B
e V V eVp x x p p
k T k T
(3.24)
(3.25)
(3.26)
3.25 3.26
p
n
B
a
noL
x
Tk
eVpA exp1exp
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực thuận
h
n
B
a
nonL
xx
Tk
eVpxp exp1exp
h
n
B
a
nononnonL
xx
Tk
eVppxppxp exp1exp
Mật độ dòng lỗ trống
n n
nn
p p p
x x x x
d p xdp xj eD eD
dx dxexp 1
p no ap
p B
eD p eVj x
L k T
Từ (3.9)
Với Dp là hệ số khuếch tán của lỗ trống
Mật độ dòng điện tổng cộng chạy qua lớp chuyển tiếp :
exp 1as
B
eVj j
k T
o op n n p
s
p n
D p D nj e
L L: Dòng nghịch bão hòa
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực thuận
Đặc trưng V-A của chuyển tiếp p-n
Tương tự mật độ dòng điện tử tại x= -xp
exp 1n po a
n
n B
eD n eVj x
L k T
exp 1o op n e p ap n n p
p e B
D p D n eVj j x j x e
L L k T
Bề dày vùng nghèo
1 2
2 ( )o bi a a d
a d
V V N NW
e N N
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực nghịch
Nối bán dẫn p với cực âm, bán dẫn n với cực dương thì điện áp ngoài Va
tạo điện trường ngoài Ea cùng chiều với điện trường tiếp Etx. Mức Fermi
của bán dẫn loại n bị hạ xuống một mức eVa so với khi hệ ở trạng thái cân
bằng. Thế hiệu tiếp xúc lúc bấy giờ là (Vbi + Va).
III.3 Chuyển tiếp p – n ở trạng thái không cân bằng (khi có
điện trường ngoài)
III. CHUYỂN TIẾP P-N
•Xét trường hợp chuyển tiếp p – n bị phân cực nghịch
P N
px
non
nop
pop
nxpon
Chỉ có hạt dẫn cơ bản chuyển động cuốn qua biên giới gây nên
dòng ngược rất nhỏ so với dòng thuận
exp 1as
B
eVj j
k T
Bề dày vùng nghèo
1 2
2 ( )o bi a a d
a d
V V N NW
e N N
IV. SỰ HẤP THỤ QUANG VÀ VIỆC LỰA CHỌN VẬT LIỆU
VI.1. Hệ số hấp thụ photon
1.24[ ]
[ ]C
g g
hcm
E E eV
Trong bán dẫn :
Sự hấp thụ photon xảy ra khi
: giới hạn ngưỡng hấp thụ về phía bước sóng dài (cut – off wavelength ) C
IV. SỰ HẤP THỤ QUANG VÀ VIỆC LỰA CHỌN VẬT LIỆU
0( ) xI x I e
Với : hệ số hấp thụ
Định luật hấp thụ Buger-Lamber
VI.1. Hệ số hấp thụ photon
dI Idx
Khi chùm sáng qua lớp vật chất bề dày dx, cường độ
giảm đi một lượng :
1x2x 3x
Hệ số hấp thụ lớn thì khoảng cách x ngắn.
phụ thuộc rất mạnh vào năng lượng
photon và năng lượng vùng cấm.
IV. SỰ HẤP THỤ QUANG VÀ VIỆC LỰA CHỌN VẬT LIỆU
VI.1. Hệ số hấp thụ photon
Hệ số hấp thu như hàm số của bước sóng
Hệ số hấp thu tăng đối với h > Eg , và rất nhỏ đối với h < Eg, do đó chất bán
dẫn trong suốt với photon trong dải năng lượng này
IV. HỆ SỐ HẤP THU VÀ LỰA CHỌN VẬT LIỆU
IV.2 Vùng cấm thẳng và vùng cấm xiên
0 momentumphoton VBCB kk
Bán dẫn vùng cấm thẳng (GaAs, InAs, InP, GaSb, InGaAs, GaAsSb),
sự hấp thụ photon không cần tới dao động mạng. Photon được hấp thụ
và electron được kích thích trực tiếp từ vùng hóa trị lên vùng dẫn mà
không có sự thay đổi vectơ k, do đó xung lượng tinh thể ħk và năng
lượng được bảo toàn, xung lượng photon rất nhỏ
Hệ số hấp thụ α đối với bán dẫn vùng
cấm thẳng sẽ tăng mạnh khi bước sóng
giảm λg (GaAs and InP).
IV. HỆ SỐ HẤP THU VÀ LỰA CHỌN VẬT LIỆU
IV.2 Vùng cấm thẳng và vùng cấm xiên
Kkk momentumphonon VBCB
Bán dẫn vùng cấm xiên (Si and Ge), sự hấp thu photon cần sự trợ giúp của
dao động mạng ( phonon). Nếu K là véctơ sóng của mạng tinh thể, thì ħK
đại diện cho xung lượng liên kết với dao động mạng ħK là xung lượng
phonon
Do đó, xác suất hấp thụ photon là không cao như trong quá trình chuyển
mức thẳng và λg không có đỉnh nhọn như chất bán dẫn vùng cấm thẳng
The indirect-gap materials are
shown with a broken line.
IV. HỆ SỐ HẤP THU VÀ LỰA CHỌN VẬT LIỆU
IV.2 Vùng cấm thẳng và vùng cấm xiên
IV.3. LỰA CHỌN VẬT LIỆU
IV. HỆ SỐ HẤP THU VÀ LỰA CHỌN VẬT LIỆU
• Lựa chọn vật liệu với năng lượng vùng cấm thấp hơn so với
năng lượng photon (tương ứng với năng lượng bước sóng dài
nhất )
• Vật liệu này cho phép một hệ số hấp thụ đủ cao để đảm bảo
một đáp ứng tốt, và giới hạn lượng nhiệt phát sinh để tạo ra
một "dòng tối" . Germanium photodiodes có dòng tối tương đối
lớn do các vùng cấm hẹp so với vật liệu chất bán dẫn khác.
Đây là một thiếu sót lớn trong việc sử dụng photodiodes
germanium, đặc biệt là với bước sóng ngắn (dưới 1,1 m)
• Vùng cấm thẳng của hợp chất bán dẫn III-V có thể sự lựa
chọn vật liệu tốt hơn Ge đối với vùng có bước sóng dài. Vùng
cấm của chúng có thể thay đổi để đạt bước sóng mong muốn
bằng cách thay đổi nồng độ tương đối của các thành phần (kết
quả là dòng tối thấp hơn).
B. PHOTODIODE
1 – Photodiode p – n
2 – Photodiode p – i – n
3 – Photodiode quang thác APD
2 - Photodiode1 - Photodiode p – n
h
tx aE E
2 - Photodiode
Dòng điện tổng cộng đi ra từ photodiode : exp as pho dark pho
B
eVi i i i i
k T
1 - Photodiode p – n
Đặc tuyến I – V của photodiode trước và sau khi được chiếu sáng
1 - Photodiode p – n
2 - Photodiode
Gọi G (EHP/cm3.s) : tốc độ sinh thành quang trong một đơn vị thể tích.
( ) . .expoG x x(1 )opt
o
P R
A Ah
Mật độ dòng quang sinh ra trong vùng nghèo (giả sử không có sự tái
hợp điện tử - lỗ trống trong vùng này) :
Xét bài toán trong điều kiện trạng thái dừng
Mật độ dòng quang tổng cộng : pho dr diffj j j
exp ex
e
p
xpn n
p p
x x
dr o
x x
dr o p n
j q G x
j
dx q x x
x
d
q x
(Với )
Bên ngoài vùng nghèo :
x > xn : Phương trình Ambipolar :
Trong vùng trung hòa, giả sử rằng E = 0.
Nghiệm của phương trình (1) :
1 - Photodiode p – n
2 - Photodiode
2
2
n n nnp p
p
p p ppD G E
x x t
2
2
2
2
0n n
p
p
n n
p p p
p pD
p p G
x D D
Gx
* r
n n np x p p*
np : Nồng độ lỗ trống “dôi ra ” khi chưa được chiếu sáng
P Nnon
nop
pop
px nx
pon
r
np : Nồng độ lỗ trống “dôi ra ” khi được chiếu sáng
(1)
2 - Photodiode
1 - Photodiode p – n
*
2
2 2
(1) 2
2
2
2 2
exp
expexp exp
exp
exp1
1
nn
p
o
r
n
pr
o
p p
o p
p p
n
p p
x xp A
L
Lp x
D
p B x
xBB x x
L D
L
L
L
BD
Điều kiện đầu : vàn n nop x x p 0np x
p p pL D
2 - Photodiode
2
2 2
2 2
2
2
2
2 2
2
2
2
2 2
ex
ex
p1
exp1
p exp exp1 1
exp exp1
o p
n n n no
p p
o p
n
o p o pnn no n
p
pn on
p p
o n
p
p
p p p
p
p
Lp x x A x p
Lx xp x A x
L
L Lx xp x p x
LD L D
D L
LA p x
L
D
D
L
Lx
1 - Photodiode p – n
2 - Photodiode
2 2 2
2 2 2 2exp
exp1
exp1 1
n
n
n
n
p n
n
p p
x x
p o p o p
p
o p
p o n
p
no n n
p p p
p
p p
pj qD
x
qD L Lj p x q
qD p Lj q x
L
L L D
L
xD L
Mật độ dòng điện do lỗ trống sinh ra bên vùng n :
Mật độ dòng (lỗ trống)
nghịch bão hòa
Mật độ dòng quang (lỗ trống)
ở trạng thái dừng
1 - Photodiode p – n
2 - Photodiode
x < -xp :
Điều kiện đầu : vàp n pon x x n 0pn x
2 2
2 22 2exp exp exp
11
po n o np po p
n nn n
x xL Ln x n x x
L LD L
Nồng độ điện tử “dôi ra” bên phía p :
Mật độ dòng điện do điện tử sinh ra bên vùng n :
exp1p
p
p
p
n po o n
n n
x x
n p
n n
qD n L
n
j x
q
L
Dx
L
j
1 - Photodiode p – n
* r
p p pn x n n
2 - Photodiode1 - Photodiode p – n
Mật độ dòng tổng cộng lấy ra từ hai biên của vùng nghèo :
' '
exp
2 1exp exp
1
exp exp xp1
1
e1
n ptot dark pho dark dr p n
p npho o p n o n o p
np
pho o p
p no n po
dark
n
p n
n p
qD p qD nj
j j j j j j j
L Lj q x x q x q
j q x xL
xL
L
L
L L
Dòng quang : 2 1
exp exp1 1
tot pho o p n
n p
i j A q A x xL L
Giả thiết rằng, jdark << jpho tot phoj j
2 - Photodiode
Độ đáp ứng
Thông lượng photon tới : (photon/s).
+
+
_ _
pho
opt
iPhotocurrent
Incident Optical Power P
.optP h
.opt
pho
Pi e e
h
1.24
e e
h hc
(Đơn vị của R : A/W)
1 - Photodiode p – n
opt
EHP
2 - Photodiode
Hiệu suất lượng tử
Là tỉ số giữa thông lượng của các cặp điện tử - lỗ trống được sinh thành,
tạo ra dòng quang điện và thông lượng của photon tới.
1 1 expR d
pho
opt
i eNumber of EHP generated and collected
Number of incidnet photons P h
1 - Photodiode p – n
2 11 exp exp
1
/ 2 1exp exp
/ / 1
1
1
pho op n
opt
p n
n p
n p
opt
R
i q Ax x
P h
x xL
P h L L
L
2 - Photodiode
2 11 exp exp
1 1
2 11 exp exp
1 1n n
n p
n
n p
R W
R W x xL L
xL L
Do W khá bé không cao
1 - Photodiode p – n
Tăng bằng cách : • Giảm R
• Tăng W
Hiệu suất lượng tử
1 - Photodiode p – n
2 - Photodiode
Bề mặt lớp p+ được phủ một lớp
chống phản xạ : giảm R.
Lớp p+ được pha tạp đậm hơn :
ap a n d n p
d
Nx N x N x x
N
Vùng nghèo “ăn” sâu vào trong vùng n.
Bề dày lớp p+ mỏng hơn nhiều so với
lớp n.
2 - Photodiode
1 2
1/2
2 ( )
2 ( ) 1
o bi a a d
a d
o bi a
d
V V N NW
e N N
V V
e N
Tiếp xúc p+ – n : Na >> Nd
2 - Photodiode p – i – n
2 - Photodiode2 - Photodiode p – i – n
Giả sử rằng : 1/pd
2 - Photodiode
Mật độ dòng quang ở mạch ngoài :
Tốc độ sinh thành điện tử - lỗ trống :
Dòng trôi :
Với x > (W + Wp) : phương trình khuếch tán lỗ trống :
2 - Photodiode p – i – n
pho dr diffj j j
( ) . .expoG x x
0 0
exp 1 exp
W W
dr o oj q G x dx q x dx q W
2
20
n np e
p
p pD G x
x
Dp : hệ số khuếch tán của lỗ trống ; : thời gian sống của lỗ trốngp
2 - Photodiode
Mật độ dòng khuếch tán lỗ trống :
2 - Photodiode p – i – n
2
2 20
n n
p p
p G xp
x L D
exp1
p no pn
diff p o
p px W
L p Dpj qD q W q
x L L
1 1exp exp x
0
e pn n
n
o
p
p
p p
W xp
p x
L D
p C W C xL
0n np x W pvà
2
1 2 21
po
p p
LC
D LVới và
Điều kiện biên :
Nghiệm của pt :
Mật độ dòng (lỗ trống)
nghịch bão hòa
Mật độ dòng quang (lỗ
trống) trạng thái dừng
2 - Photodiode2 - Photodiode p – i – n
Hiệu suất lượng tử :
exp' 1
1pho dr diff o
p
Wj j j q
L
Mật độ dòng quang ở mạch ngoài :
Dòng tổng cộng lấy ra ở mạch ngoài :
exp1
1tot ph ph o
p
WI I j A q A
L
/ exp1 1
/ 1
pho
opt p
I q WR
P h L
* Để cao thì : R nhỏ và1
1W W
2 - Photodiode
Tốc độ đáp ứng của photodiode
Tốc độ của một photodiode được xác định bởi hai yếu tố :
Thời gian đáp ứng của dòng quang.
Hằng số thời gian RC.
Thời gian đáp ứng được xác định bởi hai yếu tố :
Thời gian cuốn các hạt tải quang (điện tử và lỗ trống) : thời gian
chuyển vận
Thời gian khuếch tán hạt tải được sinh thành bên ngoài tới biên của
vùng nghèo.
2 - Photodiode p – i – n
tr
2 - Photodiode
Thời gian chuyển vận
Định lý Ramo :
2 - Photodiode p – i – n
Qi t v t
W
t t
e-h+
Iphoto(t)
Semiconductor
V
x
l L l
t
vhole
0 Ll
e–h+
0
t
0
Area = Charge = e
evh/L eve /L
photocurrent
ielectron(t)
E
L
e hv
L
e
L
e eh vv
thole
telectron
tholeihole(t)
i (t)
telectron
tholevelectron
iphoto(t)
Ở trạng thái bão hòa :
không đổi,h ev v
h h h
h
h h
e e e
e
e e
Vv E
L
l l Lt
v V
Vv E
L
L l L l Lt
v V
2 - Photodiode
Thời gian chuyển vận hạt tải qua vùng nghèo :
2 - Photodiode p – i – n
2
2
h
h h bi a
e
e e bi a
W W
v V V
W W
v V V
2 - Photodiode
Thời gian khuếch tán lỗ trống từ vùng n đến vùng nghèo
2 - Photodiode p – i – n
2
22
2 2
p p diff
pndiff
p p
L D
L Llt
D D
exp1
1
exp11
1
tot o
p
ptot
o
WI q A
L
WL
I
q A
Xác định Lp :
2 - Photodiode
Hằng số thời gian RC
RC S jR C
j
AC
W
Điện dung vùng nghèo
Điện trở nội của photodiode
S
d WR
A
Hằng số thời gian RC của photodiode :
Trường hợp photodiode được mắc vào mạch ngoài có điện trở RL :
RC S L jR R C
Nhận xét : W tăng Cj giảm giảm Tốc độ đáp ứng nhanh.RC
(-)
(+)
xn
-xp
dqN
aqN
x
Mật độ hạt tải
W
2 - Photodiode p – i – n
2 - Photodiode
Độ đáp ứng của photodiode pin
2 - Photodiode p – i – n
2 - Photodiode
Photodiode dị thể
Ví dụ :
2 - Photodiode p – i – n
( ) / ( ) / ( )p InP i InGaAs n InP
1550 :
0,75
0,9 /
nm
R A W
2 - Photodiode3 - Photodiode thác lũ (APD)
2 - Photodiode3 - Photodiode thác lũ (APD)
Tỉ lệ ion hóa : h
e
k
Hệ số ion hoá của các điện tử αe và của lỗ trống αh là xác
suất của một va chạm giữa một hạt tải điện đã được tăng tốc
và một nguyên tử bán dẫn để sinh ra một cặp điện tử lỗ trống.
2 - Photodiode
3 - Photodiode thác lũ (APD)
Hệ số nhân thác lũ
Xét trường hợp đơn giản : quá trình thác lũ trong APD chỉ do một
loại hạt tải (điện tử) gây ra.
Trung bình mật độ dòng điện trong khoảng vi phân dx :
Nghiệm của pt :
Hệ số nhân thác lũ :
e e edj x j x dx
0 expe e e mj x j W
exp0
e m
e m
e
j WM W
j
0 0
m mW W
e
e
dj xdx
dx
2 - Photodiode
Hệ số nhân thác lũ
Trong trường hợp, quá trình thác lũ do hai loại hạt tải (cả điện tử và
lỗ trống) gây ra.
Giả sử ban đầu chỉ có điện tử được phun vào vùng thác lũ, tức
3 - Photodiode thác lũ (APD)
ee e h h
djj x j x
dx
Xét trong điều kiện trung hòa điện tích và
điều kiện dừng :
e hdj x dj x
dx dx e hj x j x constvà
_ 0h o mj W
( )
ee e h e m e h e m
e h e m
e h e
djj x j W j
j x
x j W j x
j x J W
dx
2 - Photodiode
3 - Photodiode thác lũ (APD)
1
0 exp exp 1
e e h
e e e h m h e m
j W kM
j W k W k
Với e h
ee e h e m e h e m e h e
djj x j W j x j W j x
dx
Tìm nghiệm je (x)
Với k = 0, tức trường hợp chỉ có điện tử gây ra quá trình thác lũ và Mmax.
Với thì M=1. Khi đó, chỉ có điện tử bị phun vào vùng thác lũ và
không xảy ra sự nhân thác lũ.
Với k = 1, tức . Giải pt , tìm được
k
e he
h e m
dj xj W
dx
0e h e m ej x j W x j1 1
1 1h m e m
MW W
2 - Photodiode
Hệ số nhân thác lũ
3 - Photodiode thác lũ (APD)
Mô tả sự phụ thuộc của M vào tích ứng với mỗi giá trị của k
(giả thiết rằng chỉ có điện tử được phun vào vùng thác lũ)
2 - Photodiode
Hệ số nhân thác lũ
3 - Photodiode thác lũ (APD)
Trong các thực nghiệm :
1
1
n
R sMDph
P D B
V IRI IM
I I V
Trong đó:
I là tổng dòng đã được nhân
Ip là dòng quang sơ cấp (chưa được nhân)
ID và IMD là dòng tối sơ cấp và dòng tối đã được nhân
VR là điện thế ngược áp vào linh kiện
VB là thế đánh thủng
n là hằng số phụ thuộc vào loại vật liệu bán dẫn chế tạo linh kiện, quá
trình pha tạp và bước sóng bức xạ tới.
Với ánh sáng có cường độ lớn (tức ) và thì giá trị cực
đại của hệ số nhân được xác định bởi biểu thức :P DI I
S BIR V
1
max1
R B
n
R S Bph
P B S
V V
V IR VIM
I V nIR
2 - Photodiode
Thời gian đáp ứng
Độ đáp ứng
3 - Photodiode thác lũ (APD)
d dm
e h
W W
v v
1.24
o
M eM
h
M
m mm
e h
W W
v v