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一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ
201
【概要】
【外観寸法図】 ATD-12LⅣ型
エルオートは、液化ガスを連続して使用する為に商品化されたものです。容器1本で比較するとLGC容器は、通常のガスボンベ(内容量の約15~19倍のガス量を液体で保持していますので、省スペース、省力化が図れます。 エルオートは、2系統の供給ラインを持ち、一方のラインからガス供給し、そのラインのガスが無くなると、もう一方のラインに電気制御で自動的に切替えます。ガスがなくなった事は、気化させたガス圧力の低下を感知して、電磁弁を開閉させて、供給ラインを切替えます。ガスの無くなったラインの容器を、もう一方のラインが供給している間に、交換することによって連続的にガスが使用できます。
【型式表記】 【外観寸法図】 ATD-20LⅣ型
※写真 ATD-20LⅣ・ガス回収型(エコノマイザー付)
ATD-12LⅣ-S
能力(標準状態/2Hr)12 ; 12m3/h20 ; 20m3/h
バージョンナンバー
なし : 基本型S: シグナルランプ付B: バイパスライン付G: ガス回収ライン付V: 安全防爆仕様
切替操作制御ボックス
Ⅳ エルオート ATD-12LⅣ/ATD-20LⅣ
半自動/全自動切替式ガス供給装置 LGC(液化ガス)用全自動切替式ガス供給装置(ガス圧切替方式) 3
エルオート
B
シグナルランプ
電源ランプ
供給ボタン
ブザー停止ボタン
リセット・ボタン
停止ボタン
B群選択表示
A群選択表示
A/B選択スイッチ
寸法:W300×H200×D160※本質安全防爆仕様も製作いたします。
121110987654321
圧力計(スイッチ)カバー逃し弁切替操作制御盤逆止弁フィルター連結フレキ配管圧力調整器電磁弁蒸発器固定ベース
121110987
圧力計(スイッチ)カバー逃し弁切替操作制御盤逆止弁フィルター
654321
連結フレキ配管圧力調整器電磁弁蒸発器固定ベース
470
15 440 154-φ11
620
1681
15 590 15
電源
A群選択 B群選択
A群-自動-B群
供 給 ブザー停止
リセット停 止
9 4
← Aライン
← Bライン
6
272
49160
6115061
11
1529
150
1
2
83
7
10 512
1329
150
620
15 590 154-φ11
1
2
83
7
10 512
1481
620
15 590 15
電源
A群選択 B群選択
A群-自動-B群
供 給 ブザー停止
リセット停 止
49
572
24160
211
150
211
← Aライン
← Bライン
611
※LGC容器用集合装置は、P194をご参照下さい。
一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ
202
Ⅳ エルオート
気化能力m3/h(標準状態)適 用 ガ ス設 計 圧 力(MPa)常 用 圧 力(MPa)圧力スイッチ作動圧力(MPa)設 計 温 度(℃)常 用 温 度(℃)
出 口 接 続電 源 及 び 容 量
出 力外 形 寸 法
オ プ シ ョ ン
設 置 条 件
【オプション】
【基本フロー図】
ATD-12LⅣ
使用機器部品
入口接続フレキシブルホース
LO2LN2LAr
型式 項目
【標準仕様】
ATD-20LⅣ 12
C1220TC1220T
SUS304TP-SC3771BC3771BC3771BA6063SSS400
φ12.7Xt1.24φ9.53/φ6.35Xt1.0
φ12.7Xt1GL-30もしくは, GL-1208210G7N-AC100V8210G7-AC100V
t 6
1式1式1式1 2 2 1 1
シグナル(警報)ランプ HW1P-5Q4(24V仕様)バイパスラインガス回収ライン、エコノマイザー付(待機ラインの気化ガスを回収)本質安全防爆仕様(バリアリレー内蔵)LO2仕様(専用電磁弁) 機器, 配管認定仕様
⑤
④
③
②①
20
W×D×H=572(620)×471(470)×1611 W×D×H=572(620)×746(620)×1411
LO2, LN2, LAr1次側 : 2.5 2次側 : 0.71次側 : 0.7 2次側 : 0.4
0.5=使用圧力(2次圧)+0.1-196 ~ +40℃-196 ~ +30℃φ34.5 山6 φ30 山6 φ26 山6
M16×1.5(圧力調整器出口)AC100V 50/60Hz 50W
警告 : ブザー音/出力信号 : 無電圧a接点 切替信号
雨水のかからない、風通しの良い場所。100mm以上、積雪しない場所。
結露しても良い場所。
圧力計(スイッチ)カバー逃し弁
切替操作制御ボックス逆止弁フィルター連結フレキ
⑫⑪⑩⑨⑧⑦⑥
C3604BA5052C3604BSPCCC3601BCAC403SUS304
CE20 3.5MPa デジタル表示t2バネ式
300X200X160B-8CP2-EP-1ジョイント内蔵10A 1m
2 1 2 1 2 2 2
⑥ 入り口パージ弁付⑦
①②③④⑤
配 管
圧 力 調 整 器電磁弁(酸素用)電 磁 弁蒸 発 器固 定 ベ ー ス
基本型
バイパス型 防爆型 機器, 配管認定型 ガス回収型
逆止弁 SS
フィルター フィルター
圧力調整器
逆止弁
電磁弁電磁弁B
PISA
逃し弁
警報ランプ
警報ブザー
圧力計圧力スイッチ
LGC LGC
蒸発器
AC100V50W
信号(無電圧a接点)・A群電磁弁 開
切替制御盤
PIS
逃し弁
圧力計圧力スイッチ ・B群電磁弁 開
・A群圧力低下・B群圧力低下・切替
圧力調整器
逆止弁電磁弁逃し弁
フィルター
圧力スイッチ(計)
バイパス弁 エコノマイザー 圧力スイッチ耐圧防爆電磁弁圧力計
L-Ar 2×2(20m3)認定品仕様製作例
※停電復帰後のガス供給及びブザー作動は、制御盤内のトグルスイッチにより、停止/供給の選択が可能になっています。