Betjeningsvejledningdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/.../Instruction-manuals/B80… · Enheder brugt i denne manual er i overensstemmelse med de t internationale SI-system for måleenheder

B800-00-887Issue D

Betjeningsvejledning

nEXT Turbomolekylære pumpernEXT240, nEXT300 og nEXT400

Beskrivelse Delnummer

nEXT240D B812XXXXX

nEXT240T B813XXXXX

nEXT300D B822XXXXX

nEXT300T B823XXXXX

nEXT400D B832XXXXX

nEXT400T B833XXXXX

Oversættelse af den originale betjeningsvejledning

Denne side er bevidst efterladt blank.

Dette produkt er fremstillet efter et kvalitetsstyringssystem, der er certificeret i henhold til ISO 9001:2008

Overensstemmelseserklæring

Vi, Edwards Limited, Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK erklærer under eneansvar, som producent og juridisk person med adresse inden for EU og med autorisation til at sammensætte den tekniske fil, at produktet eller produkterne

B812 XXXXX nEXT 240D B813 XXXXX nEXT 240T B822 XXXXX nEXT 300D B823 XXXXX nEXT 300T B832 XXXXX nEXT 400D B833 XXXXX nEXT 400T

Materialenumrene dækker en pumpeproduktserie, hvor de efterfølgende komponentfunktioner kan variere i henhold til varianten: 'X' betegner kombinationen af varianter for pumpeindsugningsportenes form, udsugningsportens form eller position, samt pumpehusets materiale og form. som denne erklæring vedrører, er i overensstemmelse med følgende standard eller standarder eller øvrige retningsgivende dokument eller dokumenter EN1012-2:1996+A1: 2009 Kompressorer og vakuumpumper. Sikkerhedskrav. Vakuumpumper EN61010-1: 2010 Sikkerhedskrav til elektrisk måle-, regulerings- og laboratorieudstyr.

Generelle krav EN 61326-1: 2013 Elektrisk udstyr til måling, styring og laboratoriebrug - EMC-krav. (Udstråling i klasse B, Generelle krav. industriel immunitet) EN50581:2012 Teknisk dokumentation til vurdering af elektriske og elektroniske

produkter med hensyn til begrænsninger af farlige stoffer CAN/CSA-C22.2 Sikkerhedskrav til elektrisk udstyr til måling, No.61010-1-04 Kontrol- og laboratoriebrug – del 1: Generelle krav UL61010-1, 2. udgave Sikkerhedskrav til elektrisk udstyr til måling, Kontrol- og laboratoriebrug – del 1: Generelle krav

op opfylder alle de pågældende betingelser i 2006/42/EØF Maskindirektiv 2014/35/EU Lavspændingsdirektiv 2014/30/EU Direktiv vedr. elektromagnetisk kompatibilitet (EMC) 2011/65/EU Direktiv vedr. begrænsning af visse farlige stoffer (RoHS)

Bemærk: Denne erklæring dækker alle produktserienumre fra den dato, hvor denne erklæring blev

underskrevet, og frem. �� 30.07.2015, Burgess Hill

Mr Peter Meares Senior Technical Support Manager, General Vacuum

Dato og sted

P200

-03-

600

DK

Issu

e F

© Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt. Side iEdwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.

IndholdB800-00-887 Issue D

Indhold

Afsnit Side

1 Indledning .......................................................................................... 1

1.1 Omfang og definitioner ................................................................................................. 11.2 Generel beskrivelse ..................................................................................................... 21.3 Pumpestyreenhed ........................................................................................................ 31.4 Driftsfunktioner .......................................................................................................... 31.4.1 Indstilling af strømbegrænsning ....................................................................................... 31.4.2 Standbyhastighed ........................................................................................................ 41.4.3 Timer ...................................................................................................................... 41.4.4 Analogudgang ............................................................................................................. 41.4.5 Automatiske udluftningsmuligheder .................................................................................. 41.4.6 Normal hastighedsindstilling ........................................................................................... 51.5 Logisk grænseflade ...................................................................................................... 51.5.1 Parallel styring og overvågning ........................................................................................ 51.5.2 Seriel styring og overvågning .......................................................................................... 61.5.3 Seriel styring med parallel overvågning .............................................................................. 61.5.4 Parallel styring med seriel overvågning eller seriel konfiguration ............................................... 61.5.5 Konfiguration af styreenhed (seriel konfiguration) ................................................................. 6

2 Tekniske data ..................................................................................... 9

2.1 Generelt ................................................................................................................... 92.2 Pumpemedie .............................................................................................................. 92.3 Specifikation for udluftningsgas og kontroldata for udluftning ..................................................222.4 Specifikation for rensegas .............................................................................................232.5 Kølevand .................................................................................................................232.6 Materialer udsat for pumpede gasser ................................................................................232.7 Elektriske data ..........................................................................................................242.8 Forbindelsesstik til logisk grænseflade ..............................................................................242.9 Styreenhed til forbindelsesstik .......................................................................................272.10 LED-indikatorer .........................................................................................................282.11 Drifts- og opbevaringsmiljø ...........................................................................................28

3 Installation ....................................................................................... 29

3.1 Udpakning og inspektion ...............................................................................................293.2 Typisk installation ......................................................................................................293.3 Tilslutning til vakuumsystemet .......................................................................................303.3.1 Indsugningsskærm (leveres kun monteret på CF) ..................................................................313.3.2 Mekanisk fastgørelse ...................................................................................................313.3.3 Tilslutning og positionering af indsugning ..........................................................................313.3.4 Bundplademontering ...................................................................................................323.3.5 Reservetilslutning .......................................................................................................323.3.6 Mellemtrinsforbindelse (kun varianter) .............................................................................333.4 Rensegasforbindelse ....................................................................................................333.4.1 Forbind rensegassen ....................................................................................................333.4.2 Anbefalet rensegasstrøm ..............................................................................................333.5 Elektrisk installation ...................................................................................................333.5.1 Indledning ................................................................................................................333.5.2 Jordforbindelser ........................................................................................................343.5.3 Forbind den logiske grænseflade til TIC ............................................................................343.5.4 Forbind den logiske grænseflade til kundens kontroludstyr .....................................................343.5.5 Forbind den elektriske forsyning .....................................................................................343.6 Forbindelse til parallel styring og overvågning .....................................................................363.7 Forbindelse til seriel styring og overvågning .......................................................................36

Xpla

nati

on 1

5218

07/

2016

B800-00-887 Issue D

Side ii © Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt.Edwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.

Indhold

3.7.1 Forbind den serielle grænseflade til kundens kontroludstyr .....................................................363.7.2 Seriel aktivering .........................................................................................................393.7.3 Seriel protokol ..........................................................................................................393.7.4 Beskedstruktur ..........................................................................................................413.7.5 Kommandosæt ..........................................................................................................423.7.6 multipunktsdrift .........................................................................................................463.8 Forbindelse til blandet parallel og seriel drift .....................................................................463.9 Valg af udluftningsventil, forbindelse og styring ..................................................................463.9.1 Manuel udluftningsventil ..............................................................................................473.9.2 TAV5 eller TAV6 elektromagnetisk udluftningsventil .............................................................473.9.3 Styring af udluftningsventil ...........................................................................................473.9.4 Alternativ ventil tilsluttet vakuumsystemet ........................................................................483.10 Køling .....................................................................................................................493.10.1 Indledning ................................................................................................................493.10.2 Tvungen luftkøling ......................................................................................................493.10.3 Vandkøling ...............................................................................................................50

4 Drift ............................................................................................... 51

4.1 Konfiguration af nEXT-pumpen ved hjælp af serielle kommandoer ............................................514.1.1 Indstilling af strømbegrænsning ......................................................................................514.1.2 Strømforsyning af en ventilator fra styreenheden .................................................................524.1.3 Kontrollerede ventileringsmuligheder ...............................................................................524.1.4 Standbyhastighedsindstilling ..........................................................................................534.1.5 Normal hastighedsindstilling ..........................................................................................534.1.6 Timerindstilling og -valgmuligheder .................................................................................544.1.7 Analoge signalvalgmuligheder ........................................................................................554.1.8 Fabriksindstillinger .....................................................................................................554.1.9 Tildeling af en multipunktsadresse ..................................................................................554.2 Konfiguration af nEXT-pumpen ved hjælp af TIC ..................................................................564.3 Før pumpen startes .....................................................................................................574.3.1 Luk udluftningsventilen ................................................................................................574.3.2 Kontroller før opstart ..................................................................................................574.4 Drift med parallel styring og overvågning ...........................................................................584.4.1 Start pumpen ............................................................................................................584.4.2 Kørsel ved standbyhastighed ..........................................................................................584.4.3 Stands pumpen ..........................................................................................................584.4.4 Parallel overvågning ....................................................................................................584.5 Drift med seriel styring og overvågning .............................................................................584.5.1 Forsinket start ...........................................................................................................584.5.2 Start pumpen ............................................................................................................594.5.3 Standbyhastighed .......................................................................................................594.5.4 Stands pumpen ..........................................................................................................594.5.5 Temperaturaflæsninger ................................................................................................594.5.6 Linkparameteraflæsninger ............................................................................................604.5.7 Målt motorhastighed ...................................................................................................604.6 Blandet parallel og seriel drift ........................................................................................604.7 Drift med TIC ............................................................................................................624.8 Deceleration og ventilering ...........................................................................................624.9 Drift under ekstreme forhold .........................................................................................634.9.1 Drift med højt indsugningstryk .......................................................................................634.9.2 Drift ved høje temperaturer ..........................................................................................634.9.3 Beskyttelse mod overhastighed .......................................................................................634.9.4 Fejl i elektrisk forsyning ...............................................................................................634.10 Udbagning ................................................................................................................64

5 Vedligeholdelse ................................................................................. 67

5.1 Indledning ................................................................................................................675.2 Vedligeholdelse af lejer og oliepatron ..............................................................................675.3 Rotorens levetid ........................................................................................................67

© Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt. Side iiiEdwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.


5.4 Rengør pumpens eksterne overflader ...............................................................................685.5 Fejlfinding ...............................................................................................................685.5.1 Blinkende servicekoder ................................................................................................715.5.2 Afkodning af servicestatusord ........................................................................................715.5.3 Køretid for styreenhed .................................................................................................725.5.4 Køretid for pumpe ......................................................................................................725.5.5 Pumpecyklusser .........................................................................................................725.5.6 Køretid for lejer ........................................................................................................735.5.7 Køretid for oliepatron ..................................................................................................735.5.8 Fejlkoder for blink ......................................................................................................735.5.9 Afkodning af systemstatusord .........................................................................................745.5.10 Brugbare serviceoplysninger ..........................................................................................76

6 Opbevaring og bortskaffelse .................................................................. 77

6.1 Opbevaring ...............................................................................................................776.2 Bortskaffelse .............................................................................................................77

7 Service, reservedele og tilbehør ............................................................. 79

7.1 Indledning ................................................................................................................797.2 Service ....................................................................................................................797.2.1 Returnering af en pumpe til service .................................................................................797.2.2 Vedligeholdelse af leje og oliepatron på stedet ...................................................................797.3 Reservedele ..............................................................................................................807.3.1 ISX-indsugningsskærm ..................................................................................................807.3.2 Indsugningsfilter ........................................................................................................807.3.3 Forseglinger til indsugningsflange og integrerede indsugningsskærme .........................................807.3.4 NW16- og NW25-porte ..................................................................................................817.4 Tilbehør ..................................................................................................................817.4.1 Installation ...............................................................................................................817.4.2 ACX-luftkøler ............................................................................................................817.4.3 WCX-vandkøler ..........................................................................................................817.4.4 BX-udbagningsbånd .....................................................................................................827.4.5 TAV-udluftningsventil og udluftningsportadapter .................................................................827.4.6 VRX-udluftningsdrosselventil ..........................................................................................827.4.7 Udluftningsportadapter ................................................................................................837.4.8 PRX-rensedrosselventil .................................................................................................837.4.9 Adaptersæt til C-bøjle .................................................................................................837.4.10 Grænsefladekabel ......................................................................................................837.4.11 TIC PC-program .........................................................................................................83

Ved returnering af udstyr skal HS-formularerne bagerst i denne håndbog udfyldes.

Illustrationer

Illustration Side1 Ydeevnekurve for nEXT240 ............................................................................................142 Ydeevnekurve for nEXT300 ............................................................................................143 Ydeevnekurve for nEXT400 ............................................................................................154 Mål (mm) for nEXT 240 .................................................................................................165 Mål (mm) for nEXT 300 .................................................................................................186 Mål (mm) for nEXT 400 .................................................................................................207 Maksimalt tilladte hastighed for trykstigning under ventilering: tryk i forhold til tid

(pumpen er til at begynde med ved fuld hastighed) ..............................................................228 Grænsefladekredsløb for nEXT-turbopumpestyreenheder .......................................................269 Styrenhedens forbindelsesstik, der viser stiftnumrene ...........................................................27

B800-00-887 Issue D

Side iv © Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt.Edwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.

Indhold

10 Typisk pumpesystem med en nEXT-pumpe .........................................................................3011 Logisk grænsefladeforbindelser – parallel styring .................................................................3512 Statusoplysninger for styreenhed ....................................................................................3713 Logisk grænsefladeforbindelser – RS232 seriel styring ............................................................3814 Logisk grænsefladeforbindelser – RS485 seriel styring ............................................................3815 Konceptdiagram over multipunktsforbindelse, der anvender RS232-grænseflade ...........................4016 RS485-multipunktsforbindelse ........................................................................................4117 Logisk grænsefladeforbindelse – blandet parallel og seriel drift ................................................4518 Maksimal relativ luftfugtighed for at undgå kondensering ved vandkøling ....................................5019 Seriel og parallel styringsflowchart ..................................................................................6220 Eksploderet tegning over nEXT-tilbehør .............................................................................8421 Eksploderet tegning over nEXT-tilbehør .............................................................................85

Tabeller

Tabel Side1 Strømbegrænsninger .................................................................................................... 32 Generelle data ........................................................................................................... 93 Tekniske data for nEXT 240-pumper .................................................................................104 Tekniske data for nEXT 300-pumper .................................................................................115 Tekniske data for nEXT 400-pumper .................................................................................126 Tekniske data for nEXT-pumper ......................................................................................137 Specifikation for udluftningsgas og udluftningskontrol ...........................................................228 Specifikation for rensegas .............................................................................................239 Specifikation for kølevand .............................................................................................2310 Tekniske data for logisk grænseflade ...............................................................................2411 Forbindelsesstifter til logisk grænseflade ..........................................................................2512 Tekniske data for styreenhed .........................................................................................2713 LED-indikatorer .........................................................................................................2814 Drifts- og opbevaringsmiljø ...........................................................................................2815 Tjekliste over komponenter ...........................................................................................2916 Oversigt over kommandoer, der kan sendes til nEXT-pumpen ...................................................4217 Kommandoforkortelser .................................................................................................4418 Fejlkoder .................................................................................................................4419 Udluftningsmuligheder .................................................................................................4820 Diameter på åbning for udluftningsdrosselventil (med atmosfærisk tryk ved udluftningsventilens

indsugning) ...............................................................................................................4821 Indstilling af strømbegrænsning ......................................................................................5122 Analoge signalvalgmuligheder ........................................................................................5523 Matrix for seriel aktivering ............................................................................................6124 Pumpens adfærd, når strømmen er genetableret efter et svigt i den elektriske forsyning .................6425 Fejlfinding ...............................................................................................................6826 Blinkende servicekoder ................................................................................................7127 Serviceflag ...............................................................................................................7128 Fejlkoder for blink ......................................................................................................7329 Hexadecimal konverteringstabel .....................................................................................7430 Statusflag ................................................................................................................7531 Eksempel på afkodning af systemstatusord .........................................................................7632 Serviceværktøjssæt ....................................................................................................7933 Servicesæt ...............................................................................................................8034 Indsugningsskærme .....................................................................................................8035 Indsugningsfiltre ........................................................................................................8036 Forseglinger til indsugningsflange og integrerede indsugningsskærme .........................................8037 NW16- og NW25-porte ..................................................................................................8138 ACX-luftkøler ............................................................................................................8139 WCX-vandkøler ..........................................................................................................81

© Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt. Side vEdwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.


40 BX-udbagningsbånd .....................................................................................................8241 TAV-udluftningsventil og udluftningsportadapter .................................................................8242 Udluftningsdrosselventiler .............................................................................................8243 Udluftningsportadapter ................................................................................................8344 PRX-rensedrosselventil .................................................................................................8345 Adapterværktøjssæt til C-bøjle ......................................................................................8346 Adapterportsæt til C-bøjle ............................................................................................83


B800-00-887 Issue D

Side vi © Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt.Edwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.

© Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt. Side 1Edwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.

IndledningB800-00-887 Issue D

1 Indledning1.1 Omfang og definitioner

Denne manual indeholder instruktioner vedrørende installation, drift og vedligeholdelse af Edwards nEXT Turbomolekylære pumper. Pumperne skal anvendes som beskrevet i denne manual. Læs denne manual før installation og drift af pumperne.

Vigtig sikkerhedsinformation er instruktioner fremhævet som ADVARSEL og FORSIGTIG. Disse instruktioner skal overholdes. Anvendelsen af ADVARSEL og FORSIGTIG er defineret nedenfor.

FORSIGTIGForsigtighedsregler benyttes, når manglende overholdelse af instruktionen kan resultere i beskadigelse af udstyr, tilhørende udstyr eller processer.

Enheder brugt i denne manual er i overensstemmelse med det internationale SI-system for måleenheder. Hvor det er relevant, angives de tilsvarende amerikanske måleenheder. Når der angives flowhastigheder, anvendes forkortelsen 'sccm' i betydningen 'standard cubic centimetres per minute' (standard kubikcentimeter pr. minut). Det er et flow på 1 cm3 min-1 ved en omgivende temperatur på 0 °C og et tryk på 1.013 mbar (1,013 x 105 Pa).

Følgende advarselsskilte findes på pumpen:

ADVARSEL

Advarsler benyttes, når manglende overholdelse af instruktionen kan resultere i personskade eller død.

Advarsel – se vedlagte dokumentation.

Advarsel – risiko for elektrisk stød.

Advarsel – varme overflader.

Beskyttende lederterminal.

B800-00-887 Issue D

Side 2 © Edwards Limited 2013. Alle rettigheder forbeholdt.Edwards og Edwards-logoet er Edwards Limiteds varemærker.

Indledning

1.2 Generel beskrivelse

FORSIGTIGForsøg ikke at adskille styreenheden fra pumpen, da dette vil forårsage skade på de elektriske forbindelser.

En nEXT-pumpe består af en turbomolekylær pumpe med en fastmonteret styreenhed, der indeholder drevets elektronik.

Styreenheden kontrollerer den elektriske forsyning til pumpen med undtagelse af standbyhastighedskontrol. Den har ikke nogen manuelle styremekanismer og kan kun betjenes via den logiske grænseflade. For at betjene nEXT-pumpen skal den forbindes til kundens kontroludstyr og strømforsyning. Alternativt kan der anvendes Edwards TIC Turboinstrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed.

Styreenheden driver den børsteløse DC-motor i pumpen.

Der findes tre hovedvarianter af nEXT-pumpen:

'S'- eller 'Simplex'-varianten indeholder kun turbomolekylære blade.

'D'- eller 'Duplex'-varianten indeholder turbomolekylære blade og en trækmekanisme, der tillader drift ved højere modtryk end rene turbomolekylære pumper.

'T'- eller 'Triplex'-varianten indeholder turbomolekylære blade, en trækmekanisme og en regenerativ mekanisme. Det regenerative trin muliggør anvendelse af 'boost'-tilstand.

En 'iD'- eller 'iT'-mellemtrinsvariant er også tilgængelig. Den har en mellemtrinsport mellem de turbomolekylære blade og trækmekanismen. Til SEM- og TEM-applikationer findes en 'L'-variant, der tilbyder betydelig mindre vibration og vildfarne magnetfeltemissioner.

nEXT-pumper leveres med en indsugningsskærm, der er monteret i den centrerede O-ring ved pumper i ISO-version, og i et hylster ved pumper i CF-version. nEXT-pumper med en NW25-mellemtrinsport leveres med et indsugningsfilter, der passer ind i mellemtrinsporten. Indsugningsskærmen og indsugningsfilteret beskytter pumpen mod beskadigelse, der ville være forårsaget af, at affaldsrester trængte ind i pumpen.

nEXT-pumper har en udluftningsport, så pumpen og vakuumsystemet ventileres til atmosfærisk tryk. Pumpen leveres med en manuel udluftningsventil monteret. Denne kan udskiftes med en elektromagnetstyret udluftningsventil af typen TAV5 eller TAV6 (kan fås som tilbehør – se Afsnit 7). TAV-ventilen kan styres direkte af den indbyggede styreenhed.

nEXT-pumperne har en rensningsport: en inert rensegas kan tilføres for at beskytte lejet og motoren mod korrosion. En valgfri adapter til udluftningsporten og rensedrosselventil kan monteres på rensningsporten for at styre rensegassens flowhastighed og til at filtrere gasforsyningen. (Se Afsnit 7).

Luftkølere og en vandkølingsblok kan fås som valgfrit tilbehør til at afkøle nEXT-pumperne. (Se Afsnit 7).

ADVARSEL

Forkert anvendelse af udstyret kan forårsage beskadigelse af udstyr eller personskade. Brugeren er ansvarlig for sikker drift, installation og overvågning af systemet.

ADVARSEL

Drevet indeholder elektrolytiske kondensatorer og kan i visse fejltilstande udsende farlige dampe. Sørg for, at drevet betjenes i et godt ventileret område.



1.3 Pumpestyreenhed

Pumpestyreenheden indeholder drevets elektronik, der styrer pumpedriften og TAV-udluftningsventilen. Der er et forbindelsesstik på siden af styreenheden, hvor TAV-udluftningsventilen kan tilsluttes. (Se Afsnit 2.9).

Styreenheden har tre LED-indikatorlys, der viser pumpens generelle status, drift og status for service. LED'erne kan bruges til fejlfinding, hvis der skulle opstå et problem. (Se Afsnit 2.10).

Drevets elektroniske system har et antal indbyggede sikkerhedsfunktioner, der beskytter nEXT-pumperne mod beskadigelse i tilfælde af vedvarende højt tryk eller temperatur.

Elektronikken overvåger konstant temperaturen i styreenheden og motorens temperatur i pumpen. Hvis nogle af disse dele bliver for varme, reducerer styreenheden strømforsyningen til pumpemotoren, og pumpehastigheden vil falde. Hvis pumpens rotationshastighed falder til under 50 % af fuld hastighed, kan elektronikken koble ud i fejltilstand (Fail), afhængigt af systemkonfigurationen. (Se Afsnit 1.4.3).

Hvis pumpeindsugningstrykket stiger, øges strømforsyningen til pumpemotoren for at modvirke gasfriktionsbelastningen. Når den indbyggede maksimale strømbegrænsning nås, vil pumpehastigheden dog begynde at falde. Hvis pumpens rotationshastighed falder til under 50 % af fuld hastighed, kan elektronikken koble ud i fejltilstand (Fail), afhængigt af hvordan systemet er konfigureret. (Se Afsnit 1.4.3).

I tilfælde af fejl i den elektriske forsyning bruger styreenheden motoren i pumpen som generator. Dette betyder, at nEXT-pumperne har deres egen regenerative forsyning og kræver ikke et separat batteri til nødforsyning. Den regenererede energi bruges til at opretholde den elektriske forsyning til styreenheden og enhver udluftningsventil eller ventilator, der er koblet til styreenhedens forbindelsesstik, indtil pumpehastigheden falder til under 50 % af fuld rotationshastighed: dette vil sikre, at udluftningsventilen forbliver lukket, indtil den er under 50 % af fuld rotationshastighed, og det vil forhindre pumpen i at ventilere ved fuld hastighed. Dette sikrer også, at det serielle link og signaler på den parallelle grænseflade forbliver aktive, indtil pumpehastigheden falder til under 50 %.

1.4 Driftsfunktioner

Ud over de grundlæggende start- og stopkommandoer har nEXT-pumperne adskillige andre funktioner, der muliggør, at pumpedriften kan tilpasses en bestemt applikation. Se Tabel 10 for fabriksindstillinger af de parametre, der beskrives i de følgende afsnit.

OEM-leverede pumper kan have drevparametre og standardindstillinger, der kan vælges af brugeren, der adskiller sig fra dem, der beskrives i denne betjeningsvejledning, så disse opfylder bestemte proceskrav. Kontakt venligst OEM'en i disse tilfælde for yderligere information og rådgivning.

1.4.1 Indstilling af strømbegrænsning

Vælg den maksimumstrøm, der skal trækkes af pumpen (se Afsnit 4.1.1). Jo mere strøm, der forsynes, jo hurtigere vil pumpen accelerere for at nå den fulde hastighed. Hvis applikationen kræver hurtige, varierende driftsforhold, indstilles strømbegrænsningen til den maksimale værdi. Hvis rampe-tiden ikke er vigtig i applikationen, anvendes der en lavere strømbegrænsning, ned til en minimumværdi (se Tabel 1).

Sørg for, at strømforsyningen er i stand til at levere tilstrækkelig strøm til nEXT-pumpen. Ved at vælge en lavere indstilling for strømbegrænsning kan der anvendes en mindre strømforsyning. Se Afsnit 2.7 for yderligere information.

Tabel 1 – Strømbegrænsninger

Pumpe Standardindstilling Maksimumværdiindstilling Minimumværdiindstilling

nEXT240, nEXT300 og nEXT400

160 W 200 W 50 W

B800-00-887 Issue D


Indledning

1.4.2 Standbyhastighed

I standbytilstand er pumpens rotationshastighed lavere end den fulde rotationshastighed. Standardindstillingen for standbyhastighed er 70 % af fuld hastighed. Bemærk, at pumpen ligeledes skal være i starttilstand for at kunne køre ved standbyhastighed.

Hvis applikationen ikke kræver, at pumpen skal køre ved maksimal hastighed hele tiden, skal standbyhastighedsfunktionen anvendes frem for at slukke for pumpen. Denne funktion kan anvendes til justering af vakuumsystemet eller som en energibesparende mulighed for systemet.

Standbyhastigheden er en værdi, der kan vælges af brugeren (se Afsnit 4.1.4).

1.4.3 Timer

Når pumpen er startet, starter en intern timer automatisk i drevets elektronik. Standardindstillingen for timeren er 8 minutter. Hvis det ikke lykkes for pumpen at nå 50 % af fuld rotationshastighed inden for timeoutperioden, vil styreenheden signalere en fejl og vil decelerere pumpen til stilstand. Denne funktion forhindrer styreenheden i at køre pumpen ved maksimal effekt i lang tid. Det er muligt, at det ikke lykkes for pumpen at nå 50 % hastighed, hvis gasbelastningen er for høj (eksempelvis hvis der er en utæthed i systemet), hvis reservepumpen svigter, eller hvis pumpen er for varm.

Timeoutperioden er en funktion, der kan vælges af brugeren (se Afsnit 4.1.6). Hvis applikationen kræver, at pumpen ramper langsomt op, skal timeoutperioden forlænges. Timeren er permanent aktiveret til at rampe op.

Timeren har en yderligere funktion: hvis pumpens rotationshastighed falder til under 50 % af fuld hastighed af en eller anden grund, kan pumpetiden indstilles til at rette sig i stedet for at udløse en fejltilstand. Timeren starter, så snart hastigheden falder til under 50 % af fuld hastighed. Hvis pumpen i løbet af timeoutperioden retter sig til over 50 % af fuld hastighed, vil timeren blive nulstillet. Hvis det ikke lykkes for pumpens rotationshastighed at rette sig ved timeoutperiodens udløb, vil styreenheden udløse en fejltilstand, og pumpen vil decelerere til stilstand. Når pumpen leveres, er timer-funktionen aktiveret. Denne kan dog deaktiveres. Når timeren er deaktiveret, vil pumpen fejle og decelerere til stilstand, så snart pumpens rotationshastighed falder til under 50 %.

1.4.4 Analogudgang

Styreenheden til pumpen har en analogudgang til overvågning af fire forskellige systemparametre:

Målt rotationshastighed for pumpe (standardtilstand)

Målt motoreffekt

Målt motortemperatur

Målt temperatur for styreenhed

Analogudgangssignalet går fra 0 til 10 V og er direkte proportionalt med systemparameteren (se Afsnit 2.8).

Tilslut analogudgangen til en egnet måler eller indikator for at vise den korrekte systemparameter, eller tilslut den til kundens kontroludstyr (for eksempel for at betjene andre komponenter i pumpesystemet ved forudindstillede værdier).

Kun én systemparameter kan overvåges ad gangen, når analogudgangen anvendes. Det er dog nemt at konfigurere styreenheden til at overvåge en anden systemparameter (se Afsnit 4.1.7).

1.4.5 Automatiske udluftningsmuligheder

En Edwards TAV-udluftningsventil kan tilsluttes direkte til nEXT-pumpens styreenhed. Styreenheden kan tilbyde en række forskellige udluftningsmuligheder.



Drevets elektronik kan styre udluftningshastigheden. Ved at benytte denne funktion kan pumpen ventileres fra fuld rotationshastighed under kontrollerede forhold, der ikke beskadiger pumpens lejer. Når pumpens rotationshastighed er faldet til under 50 % af maksimum hastighed, er det sikkert at ventilere for fuld kraft (åbne udluftningsventilen helt).

Der findes mange forskellige udluftningsmuligheder, herunder:

Ventilering for fuld kraft, når rotationshastigheden falder til under 50 %

Kontrolleret ventilering over 50 % hastighed og ventilering for fuld kraft under 50 % hastighed

Øjeblikkelig ventilering for fuld kraft via en egnet drosselventil

Kontrolleret ventilering er en fordel i form af en hurtigere rampe ned-tid, idet ventileringshastigheden kontrolleres via en enkelt stor åbning over hele pumpens hastighedsområde. En komplet oversigt over udluftningsmuligheder findes i Afsnit 3.9.

Der findes derudover en funktion, der tillader forsinket start af nEXT-pumpen. Med denne funktion kan udluftningsventilen lukkes før start af nEXT-pumpen. Dette gør det muligt for reservepumpen at reducere trykket i vakuumsystemet, før nEXT-pumpen startes.

Hvis styreenheden ikke bruges til at styre en TAV-udluftningsventil, kan den i stedet for bruges til at styre en ventilator. Styreenheden kan konfigureres således, at ventilatoren er permanent aktiveret.

1.4.6 Normal hastighedsindstilling

Den normale hastighed er en parameter, der kan indstilles af brugeren, som kan indstilles hvor som helst i området fra 50 % til 100 % af fuld rotationshastighed. Når pumpen når normal hastighed, er der et signal tilgængeligt på den normale stift på den logiske grænsefladeforbindelse. Dette signal kan bruges til at styre applikationen, da det viser, at pumpehastigheden, og derfor også vakuumydeevnen, har nået et specifikt minimumniveau. Standardindstillingen er 80 % af fuld rotationshastighed. Se Afsnit 4.1.5 for instruktioner om ændring af den normale hastighedsindstilling.

1.5 Logisk grænseflade

Pumpestyreenheden kan kun betjenes via den logiske grænseflade. Der findes tre typer signaler på den logiske grænseflade:

Kontrolindgange: disse er signaler af kontakttypen, der bruges til at styre pumpen

Statusudgange: disse udgange identificerer systemets status

Analogudgang: denne stiller en 0-10 V-udgang til rådighed for et antal pumpeparametre.

Den logiske grænseflade er designet til at understøtte både seriel og parallel styring og overvågning, som fungerer via et forbindelsesstik. Til seriel styring kan enten RS232 (standard) eller RS485 vælges, idet en RS485/RS232-skydekontakt, som findes på styreenheden (se Afsnit 3.7), benyttes.

Den logiske grænseflade kan sættes direkte ind i Edwards TIC Turbostyreenhed eller TIC Turboinstrumentstyreenhed og derefter bruge deres funktionalitet. Alternativt kan den logiske grænseflade tilsluttes kundens styresystem. De mest anvendelige opsætninger er beskrevet i de følgende afsnit.

Se Afsnit 2.8 for yderligere informationer om den logiske grænseflade.

1.5.1 Parallel styring og overvågning

Den enkle parallelgrænseflade er en hurtig og nem måde at styre pumpen på. Dette er den samme grænseflade som den, der bruges på eksisterende 24 V Edwards Turbopumper. De tilgængelige styrefunktioner, der kan anvendes, er start og standby. Systemstatus kan overvåges ved at benytte signalerne for normal, fejl og analogudgang.

Bemærk: Kontakten til seriel aktivering SKAL være åben (ingen forbindelse), og skydekontakten skal være i RS232-positionen (se Afsnit 3.7).

B800-00-887 Issue D


Indledning

Se Afsnit 3.6 for mere detaljerede instruktioner om, hvordan parallelgrænsefladen bruges.

Et system, der kun betjenes med en parallel forbindelse, er ikke i stand til at tilpasse konfigurationsindstillingerne, som er gemt i styreenheden (for eksempel indstilling af strømbegrænsning eller kontrollerede udluftningsmuligheder). I dette tilfælde vil alle disse funktioner være indstillet til deres fabriksindstilling. Det er muligt manuelt at tilpasse standbyhastigheden, hvis standbytilstand er valgt. Styreenheden bør dog konfigureres separat, før nEXT-pumpen monteres på systemet. Dette er beskrevet mere detaljeret i Afsnit 1.5.5.

1.5.2 Seriel styring og overvågning

Det serielle kommunikationslink giver fuldstændig styring og overvågning ved brug af kun tre signallinjer. De serielle datalinjer deler de samme forbindelsesstifter som de parallelle signalers standby og fejl. De serielle datalinjer kan konfigureres, så de giver en grænseflade, der er i overensstemmelse med RS485 eller kompatibel med RS232, idet RS485/RS232-skydekontaktens position indstilles (se Afsnit 3.7).

Signalet til seriel aktivering SKAL linkes til 0 V, for at systemet kan acceptere kommandoer fra det serielle link. Dette er en sikkerhedsfunktion og fungerer som interlock. Ved udelukkende seriel styring vil det parallelle startsignal forblive utilsluttet.

Styreenheden vil stadig levere de normale og analoge signaler på den logiske grænsefladeforbindelse, selv når der køres med seriel styring. Status for det normale signal og værdien for systemparameteren på analogudgangen kan også opnås ved at spørge til systemstatus via det serielle link.

Se Afsnit 3.7 for yderligere informationer om den serielle grænseflade.

1.5.3 Seriel styring med parallel overvågning

Eftersom normale og analoge signaler forbliver tilgængelige selv ved brug af seriel styring, er det muligt at styre pumpen via det serielle link, mens disse signaler overvåges i den parallelle grænseflade.

Det serielle link bruger de samme forbindelsesstifter som de parallelle signalers standby og fejl, så disse parallelle kontrol- og overvågningssignaler er ikke tilgængelige. Signalet for seriel aktivering SKAL linkes til 0 V, og det parallelle startsignal vil forblive utilsluttet.

1.5.4 Parallel styring med seriel overvågning eller seriel konfiguration

Denne styringsmetode er bedst til brugere, der normalt ønsker at betjene pumpen i parallel styringstilstand, men som af og til ønsker at tilpasse konfigurationsindstillingerne, der er gemt i styreenheden, eller at overvåge pumpens driftsstatus via det serielle link.

Signalet til seriel aktivering skal linkes til 0 V, for at seriel kommunikation kan finde sted. Under drift med parallel styring med det serielle link aktivt er det parallelle startstyringssignal tilgængeligt (som beskrevet i Afsnit 1.5.1), men standbykontrollinjen er ikke, da den bruges som en seriel datalinje.

Hvis linjen til seriel aktivering er deaktiveret på noget tidspunkt, mens RS485/RS232-skydekontakten er i RS232-positionen, bør det serielle link også afbrydes. Edwards anbefaler, at der laves et særligt kabel til seriel kommunikation, der inkluderer et link mellem seriel aktivering og 0 V. På denne måde aktiveres seriel aktivering automatisk, når kablet er tilsluttet, og deaktiveres, når kablet fjernes.

1.5.5 Konfiguration af styreenhed (seriel konfiguration)

Alle de konfigurationsindstillinger, der er gemt inde i styreenheden, gemmes, selv når strømmen til nEXT-pumpens afbrydes. Dette betyder, at det er muligt at bruge et separat system til at konfigurere styreenheden, før nEXT-pumpen monteres i applikationen. Dette en fordel, da pumpefunktionaliteten kan skræddersys til en kundeapplikation og tillader, at pumpen kan betjenes ved hjælp af et simpelt parallelt grænsefladesystem.



For at konfigurere nEXT-pumpen kan et simpelt serielt system fra kunden eller Edwards TIC Turbostyreenhed eller Turboinstrumentstyreenhed bruges. TIC'erne har en funktion, der tillader, at nEXT-pumpens konfiguration kan gemmes. Konfigurationen kan således downloades til en anden nEXT-pumpe. Dette er brugbart, når flere nEXT-pumper skal konfigureres med de samme indstillinger, før de monteres i et system.

Bemærk: RS485/RS232-skydekontakten skal være i (standard) RS232-position, hvis TIC skal anvendes til at konfigurere nEXT-pumpen. Se Afsnit 3.7.1.

TIC leveres med et WindowsTM -baseret PC-program, der gør det muligt at konfigurere nEXT-pumpen fra en enkelt PC. Programmet har en enkel brugerflade, der betyder, at det ikke er nødvendigt at anvende ASCII-meddelelsesprotokollen, der er beskrevet i Afsnit 3.7. TIC PC-programmet har en funktion, der kan gemme flere nEXT-pumpekonfigurationer, som derefter kan downloades til andre nEXT-pumper.

B800-00-887 Issue D




Tekniske dataB800-00-887 Issue D

2 Tekniske data2.1 Generelt

2.2 Pumpemedie

Tabel 2 – Generelle data

Generelle punkter Referencedata

Ydeevne Se Tabel 3, 4 og 5; Figur 1, 2 og 3

Mål Se Figur 4, 5 og 6

Maksimum indsugningsflangetemperatur

nEXT240 75 °C

nEXT300 80 °C

nEXT400 70 °C

Maksimum tilladt eksternt magnetfelt 5 mT radialt *

* Reducer gasbelastning under drift i magnetfelt

Forureningsgrad EN61010 forureningsgrad 2

Udstyrstype Fast udstyr, kun til indendørs brug

Kabinetbeskyttelse (installeret) IP40

ADVARSEL

Ventilér sikkert farlige gasser og gasblandinger. Udsæt ikke mennesker for disse gasser. Hvis der pumpes farlige gasser eller dampe, skal sikkerhedsanbefalingerne fra leverandøren af gasserne/dampene overholdes.

ADVARSEL

Brug ikke nEXT-pumpen til at pumpe selvantændelige eller eksplosive gasblandinger, da den ikke er beregnet til dette formål. Pumpen og dens tilslutninger er ikke designet til at inddæmme en eksplosion.

ADVARSEL

I mellemtrins- og booster-versionerne af nEXT-pumper vil gas, der pumpes gennem mellemtrinsporten, blive blandet med gas, der bliver pumpet gennem pumpeindsugningen. Sørg for, at gasserne ikke vil reagere eller indgå kemiske forbindelser, så der opstår farlige gasser og stoffer.

ADVARSEL

Det maksimale kontinuerlige driftstryk må ikke overskrides. Hvis dette sker, kan det resultere i farlige rotortemperaturer, og det vil reducere pumpens levetid.

B800-00-887 Issue D


Tekniske data

Bemærk: Det er muligt, at gaskoncentrationerne ændres af pumpens kompression.

Pumperne er designet til at pumpe følgende restgasser, der normalt anvendes i højvakuumsystemer:

Pumpen kan bruges til at pumpe ilt og vanddampe, som er underlagt følgende betingelser:

Ilt – når pumpen renses af en inert gas, kan ilt pumpes ved koncentrationer over 20 % pr. volumen. Se specifikationen for rensegas i Afsnit 2.4. Hvis pumpen ikke renses, skal iltkoncentrationen dog være mindre end 20 % pr. volumen.

Vanddamp – sørg for, at dampe ikke kondenserer inde i pumpen. Se Afsnit 3.10.3.

Kontakt leverandøren for rådgivning, hvis der pumpes en gas, der ikke er anført ovenfor. Hvis leverandøren ikke kontaktes, kan det ugyldiggøre pumpens garanti. Pumpen er ikke egnet til at pumpe aggressive eller ætsende gasser.

ADVARSEL

Udsæt ikke nogen del af menneskekroppen for vakuum.

ADVARSEL

Brug ikke nEXT-pumpen til at pumpe kviksølvdampe, og sørg for, at kviksølv (for eksempel fra et McLeod-måleapparat) ikke kommer i kontakt med pumpen. Hvis der pumpes kviksølvdampe, kan pumpens rotor korrodere og svigte.

Luft Kuldioxid Metan Neon Propan Krypton Butan Helium Kulilte Ethan Nitrogen Argon Hydrogen

Tabel 3 – Tekniske data for nEXT 240-pumper

Parameter nEXT240DISO100

nEXT240DCF100

nEXT240TISO100

nEXT240TCF100

Vægt 5,7 kg 8,8 kg 6 kg 9,1 kg

Indsugningsflange DN100ISO-K DN100CF DN100ISO-K DN100CF

Udsugningsflange DN25NW DN25NW DN25NW DN25NW

Udluftningsport ⅛ tomme BSPP ⅛ tomme BSPP ⅛ tomme BSPP ⅛ tomme BSPP

Rensningsport ⅛ tomme BSPP ⅛ tomme BSPP ⅛ tomme BSPP ⅛ tomme BSPP

Mellemtrinsport DN25NW DN25NW DN25NW DN25NW

Booster-port DN25NW DN25NW DN25NW DN25NW

Pumpehastighed for indsugningN2HeH2

240 l/s230 l/s165 l/s

240 l/s230 l/s165 l/s

240 l/s230 l/s165 l/s

240 l/s230 l/s165 l/s

Kompressionsforhold for indsugningN2HeH2

>1 x 1011

3 x 105

1 x 104

>1 x 1011

3 x 105

1 x 104

>1 x 1011

1 x 106

1,5 x 104

>1 x 1011

1 x 106

1,5 x 104



Bemærk: De angivne pumpehastigheder er uden indsugningsskærm.

Bemærk: De angivne pumpehastigheder er uden indsugningsskærm.

Pumpehastighed for mellemtrinN2HeH2

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

Højeste pumpehastighed for booster (nitrogen)

RV12-reservepumpeXDS10-reservepumpe

- - 26 m3h-1

24 m3h-126 m3h-1

24 m3h-1

Ultimativt tryk* <6 x 10-8 mbar <5 x 10-10 mbar <6 x 10-8 mbar <5 x 10-10 mbar* Ultimativt tryk 48 timer efter udbagning af CF-versionen og uden udbagning for ISO-version med

totrinsrotationsreservepumpe.



nEXT300DCF100

nEXT300TISO100

nEXT300TCF100

Vægt 5,7 kg 8,5 kg 6 kg 8,8 kg








300 l/s340 l/s280 l/s

300 l/s340 l/s280 l/s

300 l/s340 l/s280 l/s

300 l/s340 l/s280 l/s


>1 x 1011

1 x 106

5 x 104

>1 x 1011

1 x 106

5 x 104

>1 x 1011

3 x 106

1 x 105

>1 x 1011

3 x 106

1 x 105


13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

Højeste booster Pumpehastighed (nitrogen)


- - 26 m3h-1

24 m3h-126 m3h-1

24 m3h-1

Ultimativt tryk*

* Ultimativt tryk 48 timer efter udbagning af CF-versionen og uden udbagning for ISO-version med totrinsrotationsreservepumpe.

<6 x 10-8 mbar <5 x 10-10 mbar <6 x 10-8 mbar <5 x 10-10 mbar

Tabel 3 – Tekniske data for nEXT 240-pumper (fortsat)


nEXT240DCF100

nEXT240TISO100

nEXT240TCF100

B800-00-887 Issue D


Tekniske data

Bemærk: De angivne pumpehastigheder er uden indsugningsskærm



nEXT400DCF160

nEXT400TISO160

nEXT400TCF160

Vægt 6,5 kg 9,5 kg 6,8 kg 9,8 kg








400 l/s390 l/s325 l/s

400 l/s390 l/s325 l/s

400 l/s390 l/s325 l/s

400 l/s390 l/s325 l/s


>1 x 1011

1 x 108

5 x 105

>1 x 1011

1 x 108

5 x 105

>1 x 1011

>1 x 108

1 x 106

>1 x 1011

>1 x 108

1 x 106


13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

13 l/s13 l/s11 l/s

Højeste booster Pumpehastighed (nitrogen)


- - 26 m3h-1

24 m3h-126 m3h-1

24 m3h-1

Ultimativt tryk*

* Ultimativt tryk 48 timer efter udbagning af CF-versionen og uden udbagning for ISO-version med totrinsrotationsreservepumpe.

<1 x 10-8 mbar <1 x 10-10 mbar <1 x 10-8 mbar <2 x 10-10 mbar



Tabel 6 – Tekniske data for nEXT-pumper

Parameter nEXT240D nEXT240T nEXT300D nEXT300T nEXT400D nEXT400TKritisk modtryk N2 9,5 mbar 20 mbar 9,5 mbar 20 mbar 10 mbar 20 mbarKritisk modtryk He 7 mbar 8,5 mbar 7,5 mbar 8,5 mbar 8,5 mbar 8,5 mbarKritisk modtryk H2 2,5 mbar 3 mbar 2,9 mbar 3 mbar 3 mbar 3 mbar

Maksimalt kontinuerligt indsugningsflow (ved ultimativt modtryk)*

* Værdier for maksimalt kontinuerligt indsugningstryk opnået ved hjælp af en RV12-reservepumpe ved havets overflade i ubetydeligt magnetfelt. Værdier for maksimalt kontinuerligt modtryk opnået under ingen flowforhold ved havets overflade i ubetydeligt magnetfelt. Se Afsnit 3.9 vedrørende køleforhold. Over disse tryk falder rotationshastigheden til under nominel hastighed.

Nitrogen:

Vandkøling (40 °C omgivende)†

† Vandkølingstemperatur 15 °C ved en flowhastighed på 30 l tim-1.

45 sccm 55 sccm 95 sccm 65 sccm 105 sccm 50 sccm

Tvungen luftkøling (35 °C omgivende) 30 sccm 50 sccm 115 sccm 100 sccm 90 sccm 105 sccm

Naturlig luftcirkulation(30 °C omgivende)


Argon:

Vandkøling (40 °C omgivende) 35 sccm 35 sccm 63 sccm 42 sccm 70 sccm 49 sccm

Tvungen luftkøling (35 °C omgivende) 20 sccm 28 sccm 76 sccm 70 sccm 70 sccm 77 sccmNaturlig luftcirkulation(30 °C omgivende)


Maksimalt kontinuerligt modtryk (ved ultimativt indsugningstryk)*

Nitrogen:

Vandkøling (40 °C omgivende)† 6 mbar 2,75 mbar 6,75 mbar 4,75 mbar 7,5 mbar 4 mbar

Tvungen luftkøling (35 °C omgivende) 4,75 mbar 2,75 mbar 7 mbar 8 mbar 7,5 mbar 9 mbarNaturlig luftcirkulation(30 °C omgivende)

1 mbar 0,4 mbar 2,75 mbar 1 mbar 4 mbar 1,25 mbar

Argon:

Vandkøling (40 °C omgivende) 4,75 mbar 2,75 mbar 6 mbar 3,75 mbar 6,5 mbar 4 mbar

Tvungen luftkøling (35 °C omgivende) 3 mbar 1,5 mbar 6,5 mbar 7 mbar 6,5 mbar 8 mbarNaturlig luftcirkulation(30 °C omgivende)

0,5 mbar 0,2 mbar 2 mbar 0,75 mbar 3 mbar 1,2 mbar

Anbefalet reservepumpe RV12/XDS10Driftshøjde Vertikal og opretstående til horisontal ± 2 °

Vertikal kun for pumper af varianten 'nL'

Normal rotationshastighed 60.000 omdrejninger pr. minutStarttid til 90 % hastighed (160 W) 115 sek. 140 sek. 155 sek. 175 sek. 175 sek. 200 sek.

Starttid til 90 % hastighed (200 W) 95 sek. 120 sek. 135 sek. 150 sek. 150 sek. 170 sek.Lydtrykniveau (1 meters afstand) < 45 dB(A) ± 3dB(A) Erklæret dobbelt antal støjemissionsværdier i

overensstemmelse med ISO4871

B800-00-887 Issue D


Tekniske data

Figur 1 – Ydeevnekurve for nEXT240





B800-00-887 Issue D


Tekniske data

Figur 4 – Mål (mm) for nEXT 240



Figur 4 - Mål (mm) for nEXT 240 – figurforklaring

1. Jordpunkt2. LED-indikatorer på drevenheden3. Aftageligt låg til RS485/RS232-udluftningsventilens

kontakt4. Bundpladens monteringshuller og montering

af ventilator5. Booster-port B6. Mellemtrinsport

7. Booster-port A8. Reserveport9. 24/48 V-forsyning10. Rensningsportens hoveddel 11. Elektrisk drevenhed12. Udluftningsport i hylster ⅛ tomme BSP13. Udluftningsport i hylster

B800-00-887 Issue D


Tekniske data







af ventilator 5. Booster-port B6. Mellemtrinsport


B800-00-887 Issue D


Tekniske data







af ventilator 5. Booster-port B6. Mellemtrinsport


B800-00-887 Issue D


Tekniske data

2.3 Specifikation for udluftningsgas og kontroldata for udluftning

Selvom pumpen kan ventileres til atmosfæren, kan høj relativ luftfugtighed øge den efterfølgende nedpumpningstid betydeligt. Ventilér med tørre, rene gasser for at reducere nedpumpningstiderne. Se Afsnit 3.9 for en beskrivelse af ventileringsmulighederne og tilslutning af udluftningsventilen. Se Afsnit 4.1.3 for konfiguration af ventileringsmulighederne.

Figur 7 – Maksimalt tilladte hastighed for trykstigning under ventilering: tryk i forhold til tid (pumpen er til at begynde med ved fuld hastighed)

Tabel 7 – Specifikation for udluftningsgas og udluftningskontrol

Specifikation for udluftningsgas og kontrol Referencedata

Udluftningsgas Tør luft, nitrogen, argon eller andre inerte gasser

Maksimalt dugpunkt og atmosfærisk tryk -22 °C

Maksimal størrelse på småpartikler 1 µm

Maksimal oliekoncentration 0,1 ppm

Anbefalet tid for, at rotationshastigheden når 50 % > 15 sekunder

Maksimalt tilladte hastighed for trykstigning Se Figur 7



2.4 Specifikation for rensegas

2.5 Kølevand

Se Tabel 9 for specifikation for kølevand. Kølevandsforsyningen bør svare til en typisk specifikation for drikkevand af høj kvalitet. Konsulter vandforsyningsmyndighederne, hvis der er nogen tvivl om forsyningens kvalitet.

2.6 Materialer udsat for pumpede gasser

Følgende materialer og komponenttyper er udsat for de pumpede gasser: Aluminiumlegeringer, rustfrit stål, fluoroelastomer og O-ringe af nitril, kulbrintesmøremiddel, sjældne magnetmaterialer, siliciumnitrid, kulfiberforstærket epoxyharpiks, brandhæmmende polypropylen, polyamid, PVC, titanium, silicium, Torlon og keramik.

Tabel 8 – Specifikation for rensegas

Specifikation for rensegas Referencedata

Rensegas Tør luft, nitrogen, argon eller andre inerte gasser

Maksimalt dugpunkt og atmosfærisk tryk -22 °C

Maksimal størrelse på småpartikler 1 µm

Maksimal oliekoncentration 0,1 ppm

Tilladt rensegasstrøm (når nødvendigt) 20 til 50 sccm (0,33 til 0,84 mbar l sek.-1 eller 33 til 84 Pa l sek.-1)

Anbefalet rensegasstrøm 25 sccm (0,42 mbar l sek.-1, 42 Pa l sek.-1)

Maksimalt tilladt rensegasforsyningstryk 1 bar (måler); 14,5 psig, 2 x 105 Pa

Tabel 9 – Specifikation for kølevand

Specifikation for kølevand Referencedata

Kvalitet Mekanisk ren og optisk klar uden bundfald eller turbiditet

pH-værdi 6,0 til 8,0

Maksimal kalciumkarbonatkoncentration 75 ppm

Maksimal kloridkoncentration 100 ppm

Minimum iltkoncentration 4 ppm

Minimumsflowhastighed for kølevand (ved 15 °C) 15 l tim-1

Vandtemperatur 10 til 20 °C

Maksimalt vandtryk 5 bar (måler), 73,5 psig, 6 x 105 Pa

Materialer udsat for kølevand Forniklet messing

B800-00-887 Issue D


Tekniske data

2.7 Elektriske data

nEXT-pumperne kan enten kan drives af kundens system eller af Edwards TIC Turboinstrumentstyreenheden eller TIC Turbostyreenheden.

Hvis kundens system anvendes, afhænger størrelsen på den påkrævede strømforsyning af applikationen. Strømbegrænsningsindstillingen bestemmer, hvor hurtigt pumpen ramper op samt størrelsen på den påkrævede strømforsyning. Hvis seriel kommunikation eller adgang til en Edwards TIC er tilgængelig, kan strømbegrænsningsindstillingen for nEXT-pumpen vælges. Se Tabel 10 for den maksimale strømbegrænsningsindstilling for nEXT-pumper. Hvis applikationen kræver hurtige, varierende pumpedriftsforhold, kan hurtigere rampe-tider opnås, hvis strømforsyningen leverer højere strøm op til det maksimum, der er i overensstemmelse med Tabel 10.

Hvis strømbegrænsningsindstillingen ikke er en tilgængelig funktion, skal der anvendes en strømforsyning, der er i stand til at levere tilstrækkelig strøm til at overholde Edwards' fabriksindstilling for strømbegrænsning, som det er vist i Tabel 10.

Vær opmærksom på, at der findes flere varianter, hvis nEXT-pumpen drives ved hjælp af en Edwards TIC. Kontakt Edwards for rådgivning om, hvilken variant, der er den mest egnede til applikationen.

2.8 Forbindelsesstik til logisk grænseflade

nEXT-pumper har et 15-polet forbindelsesstik til den logiske grænseflade for enden af kablet til den logiske grænseflade. Forbindelsesstikket til den logiske grænseflade kan sættes direkte i Edwards TIC Turboinstrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed. Brug et egnet parringsstik (medfølger ikke) til at forbinde nEXT-pumpen til kundeudstyret. Se Tabel 10 for parringsstiktypen, Tabel 11 for logisk grænsefladeforbindelsesstifter til elektriske tilslutninger og Figur 8 for forbindelsesdiagrammer for grænsefladekredsløb.

Tabel 10 – Tekniske data for logisk grænseflade

Logisk grænsefladeelement

Forbindelsesstik * 15-polet hanstik af D-typen

Elektrisk forsyning til nEXT-pumper:

Tilladt spændingsområde(inklusiv udsving)

24-48 V DC +5 %, -10 % (21,6 til 50,4 V DC)

Maksimal spændingssvingning 0,5 V effektiv strømværdi

Sikringsstørrelse 10 A til 24 V DC-forsyning5 A til 10 A for 48 V DC-forsyningType 'T' IEC-godkendt ellerSikring med tidsforsinkelse, UL-/CSA-godkendt

Begrænsning af strøm trukket fra forsyningen.

Fabriksindstilling 160 W

Maksimumindstilling 200 W

Minimumsindstilling 50 W

Nøjagtighed for strømregulering +/- 10 W

Kontrolindgange for start og seriel aktivering:

Aktiveret styrespænding: lav (lukket) 0 til 0,8 V DC (Iud = 0,55 mA nominel)

Deaktiveret styrespænding: høj (åben) 4 til 26,4 V DC (Intern pull-up til 6,4 V nominel)

Standbykontrolindgang

Aktiveret styrespænding: lav (lukket) 0 til 0,8 V DC (Iud = 0,29 mA nominel)

Deaktiveret styrespænding: høj (åben) 4 til 26,4 V DC (Intern pull-up til 3,2 V nominel)



Analogudgang

Udgangsspænding 0 til 10 V DC (direkte proportional med målt parameter)Motorhastighed: 0-1.000 Hz (0-100 %)Indgangseffekt: 0-200 WMotortemperatur: 0-100 °CStyreenhedstemperatur: 0-100 °C

Spændingsnøjagtighed ± 0,2 V

Udgangsstrøm ≤ 5 mA for specificeret nøjagtighed

NORMAL statusudgang:

Type Åben kollektortransistor plus pull-up-modstand. Se Figur 8

< Normal hastighed (standard 80 %) Slukket (2,2 kΩ intern pull-up til 12 V DC)

≥ Normal hastighed Tændt (<0,8 V DC sinking 20 mA)

Nominel strømstyrke 20 mA til 0 V

Nominel spænding 28,8 V DC maksimal ekstern pull-up-spænding

FEJL statusudgang:

Type Åben kollektortransistor plus pull-up-modstand. Se Figur 8.

Fejl Slukket (3,3 kΩ pull-up til 12 V DC)

OK Tændt (< 0,1 V DC sinking 1,7 mA,< 0,8 V DC sinking 20 mA)

Nominel strømstyrke 20 mA til 0 V

Nominel spænding 28,8 V DC maksimal ekstern pull-up-spænding* Parringsstik medfølger ikke.

Tabel 11 – Forbindelsesstifter til logisk grænseflade

Stift-nummer Signal Polaritet Brug

2 0 V styringsreference - 0 V reference for alle styrings- og statussignaler nedenfor

3 START/STOP-kontrolindgang - Tilslut til stift 2 for at starte pumpen

4 STANDBY-kontrolindgang/Seriel RX/RS485 A-

- Tilslut til stift 2 for at aktivere standbyhastighed, når seriel aktivering er inaktiv, og RS485/RS232-kontakten er i RS232-positionen.

5 Seriel aktivering - Tilslut til stift 2 for at aktivere det serielle link.

7 FAIL/Seriel TX/RS485 B+ - Logisk høj, når fejltilstand er til stede, og seriel aktivering er inaktiv, og RS485/RS232-kontakten er i RS232-positionen.

9 Analogudgang Positiv 0-10 V-udgang proportional med målt udgang

10 Chassis/Skærm - Skærm

12 Chassis/Skærm - -

15 NORMAL statusudgang - Logisk lav, når pumpens rotationshastighed er ved normal hastighed eller over

8, 13, 14 Elektrisk forsyning: 0 V -

1, 6, 11 Elektrisk forsyning: 24-48 V Positiv

Tabel 10 – Tekniske data for logisk grænseflade (fortsat)

Logisk grænsefladeelement

B800-00-887 Issue D


Tekniske data

Figur 8 – Grænsefladekredsløb for nEXT-turbopumpestyreenheder

START* INDGANG

SERIEL EN* INDGANG

SERIEL EN*

START*

ANALOGUDGANG

0-10 V UDGANG

5 mA MAKS. STRØM

NORMAL* UDGANG

NORMAL*

GRØN

FEJL (&RS232 TX) UDGANG

(RS232_TX &) FEJL

RS232-/RS485-KONTAKTI RS232-POSITION


STANDBY* (& RS232 RX)

STANDBY* (& RS232 RX) INDGANG

AUDG

RS485-GRÆNSEFLADE




2.9 Styreenhed til forbindelsesstik

nEXT-pumpen har en 3-polet styreenhed til forbindelsesstikket på siden af styreenheden. Når pumpen leveres, er dette stik skjult af et sort, beskyttende dæksel. Hvis forbindelsesstikket skal bruges, skal dækslet fjernes ved at løfte det med en lille skruetrækker. Den tilhørende stikprop til dette stik leveres med pumpen.

Forbindelsesstikket er beregnet til at drive en udluftningsventil eller ventilator, der er forbundet til de tre stifter. Den tilhørende stikprop er vist i Figur 9 med stifternes polaritet markeret, når udluftningsventilen/ventilatoren strømforsynes.

24 V DC-udgangen på styreenhedens stik er beskyttet mod overbelastning eller kortslutning til 0 V DC/24 V DC Rtn/chassis. Udgangen er garanteret til at kunne levere den strøm, der er angivet i Tabel 12, men ved højere strøm vil udgangsspændingen blive reduceret og kan slukke helt for at begrænse strømmen.

Figur 9 – Styrenhedens forbindelsesstik, der viser stiftnumrene

Tabel 12 – Tekniske data for styreenhed

Beskrivelse Data

Forbindelsesstik Phoenix artikelnummer FK-MC1881338

Spændingsudgang 24 V DC -25 %, +10 % (18 V DC til 26,4 V DC)

Strømudgang 500 mA

Stiftnummer Signal Polaritet

1 24 V DC Ud +

2 Chassis

3 24 V DC Rtn -

B800-00-887 Issue D


Tekniske data

2.10 LED-indikatorer

nEXT-pumpen har tre LED-indikatorer som vist i Figur 12.

Bemærk: Hvis en ekstern elektrisk belastning er tilsluttet den almindelige udgangslinje, er det muligt, at Normal LED lyser.

2.11 Drifts- og opbevaringsmiljø

Tabel 13 – LED-indikatorer

LED Beskrivelse

Normal LED Den grønne LED opretholdes, når pumpens rotationshastighed er over den normale hastighedsindstilling, uanset om pumpen accelererer eller decelererer.

Status LED Den gule LED blinker med en 50 % driftscyklus ved rotationsfrekvensen for pumpemotoren. Ved høje hastigheder vil den lyse konstant.LED'en slukker, når rotationshastigheden er meget lav eller standset.Hvis det er tid til service, vil denne LED blinke i en sekvens, der viser, hvilken form for service, der er brug for. Se Afsnit 5.5.

Alarm LED Den røde LED blinker i en sekvens, der viser en fejlkode, hvis en fejltilstand forhindrer drift af pumpen. Fejlkoderne kan bruges til fejlfinding som beskrevet i Afsnit 5.5.

Tabel 14 – Drifts- og opbevaringsmiljø

Område Data

Omgivende driftstemperaturområde 5 °C til 35 °C

Omgivende driftsluftfugtighedsområde 10 til 90 % relativ luftfugtighed (ikke-kondenserende)

Maksimal driftshøjde 3.000 m

Omgivende opbevaringstemperaturområde -30 °C til 70 °C


InstallationB800-00-887 Issue D

3 Installation

3.1 Udpakning og inspektion

Sørg for at undgå voldsomme stød og rystelser, når pumpen pakkes ud, da dette kan beskadige lejerne og reducere pumpens levetid. Pumpen leveres med forseglet indsugning og udsugning for at forhindre indtrængning af støv og dampe. Fjern ikke disse forseglinger, før pumpen er installeret i vakuumsystemet.

Fjern alle emballagematerialer, og kontrollér pumpen. Hvis pumpen er beskadiget, skal dette meddeles leverandøren og transportfirmaet skriftligt inden tre dage. Angiv pumpens delnummer sammen med ordrenummer og leverandørens fakturanummer. Gem alle emballagematerialer for inspektion. Brug ikke pumpen, hvis den er beskadiget.

Kontrollér, at forsendelsen indeholder de dele, der er anført i Tabel 15. Hvis nogle af disse dele mangler, skal dette meddeles leverandøren skriftligt inden tre dage.

Hvis pumpen ikke skal tages i brug med det samme, skal pumpen opbevares under egnede forhold. Følg proceduren, der er beskrevet i Afsnit 6.1.

Smid ikke emballagematerialerne væk. Gem dem, så de kan bruges igen, hvis pumpen skal returneres til service.

3.2 Typisk installation

Et typisk pumpesystem med en nEXT-pumpe er vist i Figur 10.

Tilgængeligt tilbehør til nEXT-pumper er beskrevet i Afsnit 7.4. Tilbehør er vist i Figur 20 og 21.

ADVARSEL

Styreenhedens kabel bør ikke bruges som løftemekanisme. Forsøg ikke at løfte eller understøtte pumpen ved hjælp af kablet.

ADVARSEL

Brug egnet løfteudstyr til at flytte pumpen. Manglende overholdelse kan medføre personskader og skader på udstyret. Se Afsnit 2.2 for pumpens vægt.

ADVARSEL

Indsugningsskærmen er et groft filter til affaldsrester og bør ikke bruges som beskyttelse.

Tabel 15 – Tjekliste over komponenter

Mængde Beskrivelse Kontrolleret ()

1 nEXT-pumpe med indsugningsskærm monteret (kun monteret på CF-pumper)

1 Indsugningsforsegling (enten fastsiddende O-ring med integreret indsugningsskærm, Co-seal eller kobberkompressionspakning, der er egnet til indsugningsflangetypen)

1 Forbindelsesstik (24 V) - til betjening af tilbehør fra styreenhedens stik

1 Indsugningsfilter (kun monteret på NW25 mellemtrins- og booster-port)

B800-00-887 Issue D


Installation

3.3 Tilslutning til vakuumsystemet

Edwards anbefaler, at systemet testes for utætheder, når installationen er fuldført.

Figur 10 – Typisk pumpesystem med en nEXT-pumpe

ADVARSEL

Sørg for, at alle ledninger og rørføring er ført korrekt for at undgå risikoen for at falde.

ADVARSEL

Installer pumpen i vakuumsystemet, før kablet til den logiske grænseflade tilsluttes kontroludstyret, og før den elektriske forsyning tilsluttes. Dette vil sikre, at pumpen ikke starter utilsigtet og forårsager skade.

1. Vakuumsystem2. Højvakuummåler3. Vibrationsdæmper4. Indsugningsskærm5. nEXT-pumpe6. Reserveventil7. Vakuummåler8. Fleksible bælge9. Adsorptionsledningsudskifter

10. Rotationsreservepumpe11. Dampfilter12. Udluftningsventil13. Alternativ position for

udluftningsventil14. Luftkøler15. PRX-rensedrosselventil16. Reguleret rensegasforsyning17. WCX-vandkøler og -forbindelser



3.3.1 Indsugningsskærm (leveres kun monteret på CF)

Fjern kun indsugningsskærmen, hvis det er helt sikkert, at affaldsrester ikke kan falde ned i pumpen. Hvis indsugningsskærmen fjernes, vil pumpehastigheden øges med op til 10 % for grove indsugningsskærme og 20 % for fine indsugningsskærme. Fjern ikke indsugningsskærmen, før pumpen er monteret i systemet, da skærmen beskytter pumpen mod forurening.

For at fjerne indsugningsskærmen fra en pumpe med CF-indsugningsflange skal der benyttes en bøjet ståltrådskrog eller en lille skruetrækker til forsigtigt at løfte indsugningsskærmen ud af indsugningsflangen.

For at sætte en indsugningsskærm på skal den placeres så centralt som muligt over CF-indsugningsflangen og derefter udøves der et ligeligt fordelt tryk med fingrene på kanten af skærmen. Skub den helt nedad. Hvis de ikke allerede er på plads, skal grebene klikke på plads i rillen i indsugningsflangen ved hjælp af et egnet værktøj, der kan trykke dem på plads. Til pumper med ISO-flange leverer Edwards en kombineret indsugningsskærm/fastsiddende O-ring.

3.3.2 Mekanisk fastgørelse

Der er to måder, hvorpå nEXT-pumpen kan fastgøres sikkert. Den ideelle fastgørelse af en nEXT-pumpe er via dens indsugningsflange til et ubevægeligt, fastmonteret vakuumsystem. Se Afsnit 3.3.3. Hvis dette ikke er muligt på grund af vakuumsystemets egenskaber, så skal pumpens bundplade fastgøres til et sikkert underlag. Se Afsnit 3.3.4 for instruktioner vedrørende pumpens bundplademontering.

3.3.3 Tilslutning og positionering af indsugning

Pumpen kan fastgøres sikkert til vakuumsystemet via indsugningsflangen. Pumpen kan monteres i en hvilken som helst stilling, fra vertikal og opretstående til horisontal (± 2 °). Hvis pumpen monteres horisontalt og bruges med en rotationsreservepumpe, skal der sørges for, at en adsorptionsledningsudskifter er installeret for at undgå, at kondenseret olie i reservelinjen trænger ind i turbopumpen. Hvis det ikke er muligt at montere en adsorptionsledningsudskifter, skal pumpen monteres således, at reserveporten peger vertikalt nedad (+/- 45 °).

Sørg for, at pumpeindsugningen og alle komponenter, som monteres på pumpeindsugningen, er rene og fri for støv. Hvis pumpeindsugningen ikke holdes ren, kan nedpumpningstiden øges.

ADVARSEL

Hvis indsugningsskærmen fjernes, vil det medføre risiko for skade fra skarpe kanter.

ADVARSEL

Betjen ikke pumpen, før den er sikkert fastgjort. Hvis pumpen fastløber, kan den oplagrede energi i rotoren forårsage en hurtig bevægelse af pumpen, hvilket kan forårsage yderligere beskadigelse og personskader.

ADVARSEL

Indsugningsskærmen er et groft filter til affaldsrester og bør ikke bruges som beskyttelse.

ADVARSEL

Placer systemobservationsvinduer og følsomme komponenter væk fra pumpeindsugningen for at beskytte dem mod beskadigelse fra eventuelle udstødte dele i det usandsynlige tilfælde af en pumperotationsfejl.

B800-00-887 Issue D


Installation

Indsugningstilslutningerne til nEXT-pumpen er CF-flangen, ISO-flangen og VG-flangen.

Hvis pumpen har en CF-flange, skal du bruge den komprimeringspakning i kobber, som medfølger pumpen, og du skal bruge det fulde antal bolte til at tilslutte indsugningsflangen på pumpen til vakuumsystemet.

Hvis pumpen har en ISO-flange, skal du bruge Edwards' kombinerede indsugningsskærm/fastsiddende O-ring, som medfølger pumpen, og du skal bruge mindst fire klobøjler (hver med et tilspændingsmoment på 30 Nm) til at tilslutte indsugningsflangen på pumpen til vakuumsystemet. Alternativt kan du bruge en krave, der kan rotere, og den kombinerede indsugningsskærm og fastsiddende O-ring, som medfølger pumpen, til at tilslutte indsugningsflangen på pumpen til vakuumsystemet. Brug det fulde antal bolte sammen med kraven, der kan rotere.

Hvis pumpen har en VG-flange, bruges et komplet sæt supplerende 8 x M10-bolte og -spændeskiver til at tilslutte pumpen til vakuumsystemet. Fastgørelsesbolte til flangen skal have en trækbrudsstyrke på minimum 700 Mpa og være ligeligt tilspændt i et krydsmønster på tre tilspændingstrin til et endeligt tilspændingsmoment på 30 Nm for at sikre jævn kompression af O-ringen og bøjlefastgørelse af flangerne.

Alle bolte til indsugningsflangen skal efterspændes, så snart systemet er under vakuum. Sørg for, at ingen tilspændingsmomenter eller andre kræfter overføres til pumpen fra vakuumsystemet eller de tilhørende rør. Hvis det er nødvendigt, skal der monteres en indsugningsvibrationsdæmper mellem pumpeindsugningen og vakuumsystemet. I dette tilfælde skal pumpens bundplade fastgøres til et fast underlag som beskrevet i Afsnit 3.3.4.

3.3.4 Bundplademontering

nEXT-pumpens bundplade kan fastgøres til et fast underlag ved hjælp af de gevindskårne fastgørelseshuller. Se Figur 4, 5 og 6 for yderligere oplysninger om fastgørelseshuller.

Bemærk: De fire gummifødder skal fjernes fra de fire gevindskårne fastgørelseshuller, før pumpen kan bundplademonteres.

Følgende krav bør overholdes for at sikre, at pumpen er sikret i tilfælde af en total pumpefastløbning:

Denne fastgørelsesmetode skal benyttes, hvis pumpen understøtter vakuumsystemets vægt. Vakuumsystemets vægt må ikke være mere end 20 kg.

3.3.5 Reservetilslutning

FORSIGTIGBrug ikke nEXT-pumperne med et modtryk under 5 x 10-4 mbar (5 x 10-2 Pa). Lavere modtryk vil øge fordampningshastigheden for smøreolien og kan således reducere lejernes levetid.

Underlaget skal kunne modstå et destruktivt tilspændingsmoment på: 6 KNmFastgørelsesskruer: 4 af M8 til ISO898-1 styrkeklasse 12,9

(nom. trækbrudsstyrke 1.200 MPa)Skruetilkoblingslængde: 6 mm minimumTilspændingsmoment for fastgørelse: 15 Nm (1,53 kgf.m)

ADVARSEL

Sørg for sikker rørføring af reservelinjen, hvis olietåge eller farlige substanser er til stede.

ADVARSEL

For at undgå overtryk i pumpen bør udstødningslinjen ikke være blokeret, når der ventileres fra en positiv trykgasforsyning.



Anvend egnet vakuumrørføring og stik til at forbinde NW-flangen fra reserveporten til reservepumpen. Hvis det er nødvendigt, skal der anvendes fleksible rør eller bælge for at reducere overførslen af vibrationer fra reservepumpen til nEXT-pumpen.

Edwards anbefaler, at der anvendes en Edwards EM-, RV- eller XDS Scroll-reservepumpe. Den anbefalede størrelse på den påkrævede reservepumpe er angivet i Tabel 6. En større eller mindre reservepumpe kan også være egnet, afhængigt af hvilken type applikation, den er beregnet til.

nEXT-pumperne er egnede til brug med membranreservepumper. Dog bør man være opmærksom på effekten af et højere modtryk på pumpens ydeevne og krav til køling. Se Tabel 6 og Afsnit 2.1.

3.3.6 Mellemtrinsforbindelse (kun varianter)

Anvend egnet vakuumrørføring og stik til at forbinde mellemtrinsporten til vakuumsystemet eller til udsugningsflangen på en anden turbopumpe eller sammensat turbomolekylær pumpe (hvis der anvendes et 'i' nEXT-pumpe til at understøtte en anden pumpe). Lad indsugningsfilteret blive i mellemtrinsporten, medmindre det er sikkert, at affaldsrester ikke kan suges ind i mellemtrinsporten.

3.4 Rensegasforbindelse

3.4.1 Forbind rensegassen

For at forsyne pumpen med rensegas skal stikket, der er er monteret i rensningsporten, fjernes, og der skal monteres en udluftningsportadapter (se Afsnit 7.4). Forbind rensegasforsyningen til udluftningsportadapteren. Rensegassen skal overholde specifikationerne anført i Afsnit 2.4.

3.4.2 Anbefalet rensegasstrøm

Den anbefalede rensegasstrøm til typiske applikationer er 25 sccm (0,42 mbar l sek.-1, 42 Pa l sek.-1). Dette flow vil beskytte pumpen, når der pumpes ilt i koncentrationer over 20 % pr. volumen.

Flowhastighed for rensegassen skal begrænses til det tilladte område, der er angivet i Afsnit 2.4. Anvend en flowstyring eller en trykregulator og kalibreret flow-drosselventil for at begrænse flowhastigheden. PRX10-rensedrosselventiltilbehøret (se Afsnit 7.4) er egnet til dette formål.

3.5 Elektrisk installation

3.5.1 Indledning

Den elektriske installation skal udføres af en uddannet elektriker. nEXT-pumpens elektriske tilslutninger skal altid først foretages, efter at pumpen er blevet installeret i vakuumsystemet. Afbryd altid alle elektriske tilslutninger fra nEXT-pumpen, før den fjernes fra vakuumsystemet.

Forbind pumpen til jord ved hjælp af den leverede forbindelse, og se Afsnit 3.5.2.

nEXT-pumpen kan betjenes ved hjælp af Edwards TIC Turboinstrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed (se Afsnit 3.5.3). nEXT-pumpen kan også styres ved hjælp af kundens system. Se Afsnit 3.5.4 for oplysninger om styring og Afsnit 3.5.5 for instruktioner om, hvordan den elektriske forsyning tilsluttes.

ADVARSEL

Sørg for, at nEXT-pumpens elektriske installation er i overensstemmelse med lokale og nationale sikkerhedskrav. Den skal tilsluttes en passende beskyttet el-forsyning, der er forsynet med sikring, med en passende jordforbindelse.

B800-00-887 Issue D


Installation

3.5.2 Jordforbindelser

Edwards anbefaler, at der monteres en separat jordleder for at jordforbinde nEXT-pumpen. Anvend en forgrening uden isolering eller en separat grøn/gul leder med en minimum 10 AWG (5,3 mm2) leder for at overholde amerikanske og canadiske installationskoder. Benyt den medfølgende M5 x 10-skrue og stjernefjederskive med udvendig fortanding (monteret på jordhullet på pumpen) for at fastgøre jordlederen til pumpen. Impedansen mellem pumpehuset og jordforbindelsespunktet skal være < 0,1 ohm.

3.5.3 Forbind den logiske grænseflade til TIC

Hvis en Edwards TIC Turboinstrumentstyreenhed eller en TIC Turbostyreenhed bruges til at strømforsyne og styre pumpen, tilsluttes det logiske grænsefladekabel til nEXT-pumpen direkte på bagsiden af TIC'en. Der henvises til betjeningsvejledningen til TIC for yderligere oplysninger.

RS485/RS232-skydekontakten skal være i RS232-positionen, hvis TIC skal anvendes til at styre nEXT-pumpen. Se Afsnit 3.7.1. Hvis kontakten er i RS485-positionen, vil TIC tilslutte til pumpen i paralleltilstand, hvorved pumpetypen angives som nEXTp. Den serielle forbindelse vil blive deaktiveret, men start og stop er mulig.

3.5.4 Forbind den logiske grænseflade til kundens kontroludstyr

Hvis nEXT-pumpen betjenes ved hjælp af kundens styresystem, skal der anvendes et egnet parringsstik (medfølger ikke) til at forbinde kontroludstyret til forbindelsesstikket på det logiske grænsefladekabel (se Tabel 10). Se Tabel 11 for yderligere oplysninger om forbindelsesstifter til den logiske grænseflade, når de elektriske tilslutninger til nEXT-pumpen, som er beskrevet i de følgende afsnit, foretages.

nEXT-pumpen kan styres ved hjælp af en hardware-parallel styregrænseflade og/eller via kommandoer, der sendes over en seriel grænseflade.

Se Afsnit 3.6 for flere oplysninger, hvis nEXT-pumpen styres ved hjælp af hardware-parallel grænsefladen. Se instruktionerne i Afsnit 3.7, hvis den serielle grænseflade bruges. Den logiske grænseflade giver mulighed for at arbejde med en blanding af parallel og seriel styring. Se Afsnit 3.8.

3.5.5 Forbind den elektriske forsyning

ADVARSEL

Dette produkt kræver en separat strømforsyning (medfølger ikke). Strømforsyningen bør være passende beskyttet mod en farlig strømførende tilstand (for eksempel i tilfælde af en kortslutning).

ADVARSEL

Inkorporer en passende isoleringsenhed i den elektriske forsyning. Placer kontakten på et sted, der er nemt tilgængeligt, og markér den som afbryderenhed for nEXT-pumpen. Hvis en isoleringsenhed ikke anvendes, vil det ikke være muligt at slukke for nEXT-pumpen i en nødssituation.

ADVARSEL

Inkorporer en egnet sikring som specificeret i Afsnit 2.8, i 24-48 V-forsyningslinjen til nEXT-pumpen. For at beskytte pumpen helt i tilfælde af en fejl bør en passende størrelse sikring anvendes. Se Tabel 10. Strømforsyningen bør have en nominel strømstyrke, der er i stand til at sprænge sikringen. Hvis der ikke anvendes en sikring, og en fejl opstår, kan nEXT-pumpen udvikle en farlig overfladetemperatur, eller der kan opstå risiko for brandfare.



Se Figur 11 for et skematisk diagram over den logiske grænseflades tilslutninger.

Den elektriske forsyning til nEXT-pumpen skal overholde kravene i BS EN 61010-1/C22.2 1010-1. Sørg for, at farlige spændinger, som det er defineret i EN61010, ikke kan være til stede på nEXT-pumpens elektriske grænseflade.

nEXT-pumpens 0 V er ikke referencepunkt til jord. Sørg for, at der kun er én sti mellem 0 V og jord. Flere forbindelser mellem 0 V og jord skal undgås for at undgå uventede offsetspændinger på styrings- og statussignaler og mulige problemer med seriel kommunikation. Hvis der ikke er andre forbindelser mellem 0 V og jord, bør forbindelsen foretages ved strømforsyningen. Vær opmærksom på, at andet elektrisk udstyr, der er tilsluttet systemet, ville kunne skabe en forbindelse mellem 0 V og jord, for eksempel en PC eller måleudstyr.

Se Tabel 11 – forbindelsesstifter til logisk grænseflade, når den elektriske forsyning til kundens parringsstik tilsluttes.

Figur 11 – Logisk grænsefladeforbindelser – parallel styring

Bemærk: Pumpestyreenheden kan forsynes fra spændinger over 24 V som angivet i Tabel 10. Kredsløbet, der er forbundet til de normale linjer og fejllinjer, skal dog stadig overholde den maksimale eksterne pull-up-spændingsnormering, der er angivet i Tabel 10.

ADVARSEL

Den maksimale forsyningsspænding må ikke overskrides. For høj forsyningsspænding vil medføre permanent skade på styreelektronikken og kan resultere i mekanisk fare i nogle fejltilstande.

ADVARSEL

Når nEXT-pumpen tilsluttes strømforsyningen, skal der sørges for, at alle 3 stifter til 24-48 V-forbindelsen og alle 3 stifter til 0 V-forbindelsen på det kundens parringsstik er tilsluttet strømforsyningen.

1. 24 V DC elektrisk forsyning2. Sikring3. Valgfri LED-indikator – system OK4. Valgfri LED-indikator – normal hastighed5. Strømreguleringsmodstand til LED

6. nEXT-pumpens logiske grænseflade7. Startkontakt8. Valgfri standbykontakt9. Valgfrit voltmeter

overvågning af analogudgang

B800-00-887 Issue D


Installation

3.6 Forbindelse til parallel styring og overvågning

FORSIGTIGHvis der bruges normale linjer og fejllinjer til at drive spolerne på DC-relæer, skal der inkluderes en EMK-moddæmpningsdiode parallelt med hver relæspole for at beskytte nEXT-pumpen.

1. Tilslut kundens kontroludstyr til kontrolindgangsstifterne til parringsstikket til kundens logiske grænseflade. Se Tabel 11, der identificerer forbindelsesstifterne til den logiske grænseflade. Kontrolindgangene er følgende:

Start

Standbyhastighed

For at aktivere disse kontrolindgange skal kontrolindgangsstiften forbindes til 0 V-kontrolreferencen.

Forbind stift 3 (Start/Stop) til stift 2 (0 V-reference) for at starte pumpen. Afbryd forbindelsen mellem stift 3 og 2 for at standse pumpen. Forbind både stift 4 (Standby) og stift 3 (Start/Stop) til stift 2 (0 V-reference) for at sætte pumpen på standby.

Bemærkninger: 1 Seriel aktivering er også en kontrolindgang, men er ikke påkrævet i et system, der udelukkende arbejder under parallel styring. Sørg for, at der ikke er nogen forbindelse til seriel aktivering (stift 5).

2 RS485/RS232-skydekontakten skal være i (standard) RS232-positionen for at bruge standbysignaler eller parallelle grænsefladesignaler for fejl. Se Afsnit 3.7.1.

2. For at overvåge analogudgangen skal kundens kontroludstyr forbindes til pumpens analogudgang (stift 9) og til stift 2 på parringsstikket til kundens logiske grænseflade.

Når pumpen leveres, er analogudgangen konfigureret til at overvåge pumpens rotationshastighed. For at overvåge andre parametre skal nEXT-pumpen omkonfigureres ved hjælp af kommandoer over den serielle grænseflade. Se Afsnit 3.7 for yderligere oplysninger.

3. For at overvåge den normale statusudgang skal kundens kontroludstyr forbindes til pumpens normale statusudgang (stift 15) og til stift 2 på parringsstikket til kundens logiske grænseflade. Udgangen kan bruges til at styre andre enheder i pumpesystemet. Udgangen kan drive et lavstrømsrelæ på op til 24 V spolemærkeværdi (op til 20 mA).

4. For at overvåge fejlstatusudgangen skal kundens kontroludstyr forbindes til pumpens fejludgang (stift 7) og til stift 2 på parringsstikket til kundens logiske grænseflade. Udgangen kan bruges til at styre andre enheder i pumpesystemet. Udgangen kan drive et lavstrømsrelæ på op til 24 V spolemærkeværdi.

3.7 Forbindelse til seriel styring og overvågning

Den serielle grænseflade gør det muligt for nEXT-pumpen at blive styret og forespurgt med henblik på dens driftsmæssige status ved hjælp af en række serielle kommandoer. Der findes en multipunktstilstand, der muliggør tilslutning af mere end én nEXT-pumpe til en enkelt seriel port på styresystemet.

3.7.1 Forbind den serielle grænseflade til kundens kontroludstyr

Den serielle grænseflade fås med valgmulighederne RS485 eller RS232, som kan vælges ved at bruge skydekontakten, der er placeret over styreenhedens stik som vist i Figur 12. For at justere skydekontakten skal man blot fjerne stikkets plastikdæksel på styreenheden og rykke skydekontakten ved hjælp af et mindre redskab. Ved at rykke kontakten til højre aktiveres RS232 seriel grænseflade og ved at rykke til venstre aktiveres RS485 seriel grænseflade. Styreenhedens standardindstilling er RS232 seriel grænseflade.



Figur 12 – Statusoplysninger for styreenhed

FORSIGTIGNår nEXT-pumpen tilsluttes en PC, skal man huske, at 0 V-stiften på RS232-stikket kan være forbundet til jord via PC'en. Hvis dette er tilfældet, skal der sørges for, at 0 V-skinnen på 24-48 V-forsyningen ikke også er forbundet til jord ved et andet punkt, som for eksempel ved strømforsyningen. Hvis 0 V-skinnen på 24-48 V-forsyningen ikke vil forbindes til jord ved PC'en, bør der anvendes en optoisoleret grænseflade til PC'en.

nEXT-pumpen kan forbindes direkte til RS485 eller RS232 seriel indgang på kontroludstyret eller en PC, som det er vist i Figur 13 og 14. I denne konfiguration er PC'en master for det serielle link, og nEXT-pumpen er slaven. Den afstand, som det serielle link kan operere henover, er afhængig af enhver forskel i spænding mellem 0 V ved afsendelses- og modtagelsespunktet. Hvis 0 V-referencen ved modtagelsespunktet er inden for 0,3 V af 0 V-kontrolreferencestiften på nEXT-pumpens kontrolstik, så bør det serielle link være i stand til at operere ved afstande på op til 6 m. Et grænsefladekredsløb, der er eksternt i forhold til nEXT-pumpen, kan være nødvendigt ved længere afstande.

Softwaren i nEXT-pumpen er i stand til at operere med flere pumper, der er forbundet til en enkelt serielt link-master. Dette henvises til som multipunktstilstand. RS485-valgmuligheden anbefales til multipunktstilstand. Hvis RS232-valgmuligheden er valgt, vil yderligere hardware være påkrævet for at linke flere nEXT-pumpeenheder til en enkelt serielt link-master. En modeltegning af én mulig opsætning er vist i Figur 15. Omvendt, når RS485-valgmuligheden er valgt, bliver tilslutning af flere nEXT-pumper til en enkelt master til en enkel ledningsføringsøvelse, som det er vist i Figur 16.

1. Knap til at øge standbyhastighed2. RS485/RS232-kontakt3. Styreenhed til forbindelsesstik4. Knap til at reducere standbyhastighed

5. Alarm LED6. Status LED7. Normal LED

B800-00-887 Issue D


Installation

Figur 13 – Logisk grænsefladeforbindelser – RS232 seriel styring

Figur 14 – Logisk grænsefladeforbindelser – RS485 seriel styring

1. RS232-grænseflade på kontroludstyr2. 24-48 V DC elektrisk forsyning

3. Sikring4. nEXT-pumpens logiske grænseflade

1. RS485-grænseflade på kontroludstyr2. 24-48 V DC elektrisk forsyning

3. Sikring4. nEXT-pumpens logiske grænseflade



3.7.2 Seriel aktivering

Aktivér først seriel aktivering for at sende en seriel besked. Dette gøres ved at forbinde indgangssignalet (stift 5) til seriel aktivering til stift 2 på parringsstikket til kundens logiske grænseflade. Edwards anbefaler, at dette link inkorporeres i det serielle kommunikationskabel, så seriel aktivering kun aktiveres, når det serielle kabel er tilsluttet. Når kablet fjernes, bliver seriel aktivering inaktiv.

Seriel aktivering fungerer som interlock for startkommandoer, der sendes over den serielle grænseflade. Hvis pumpen kører i seriel kontroltilstand (efter den har fået tilsendt en seriel startkommando), og seriel aktivering efterfølgende bliver inaktiv, vil pumpen udløse en fejltilstand og decelerere til stilstand. For at fjerne denne fejltilstand skal seriel aktivering genaktiveres, og der skal sendes en seriel stopkommando.

3.7.3 Seriel protokol

Det serielle grænsefladelink er indstillet til 9.600 baud, 8 bits, 1 stop, ingen paritet og uden dataudveksling. Kommandoerne består af skrivbare ASCII-tegn. Den maksimale beskedstørrelse, der kan sendes, er på 80 tegn, inklusiv start- og sluttegn.

Bemærk: Alle alfabetiske tegn skal sendes med store bogstaver. Svar kan indeholde små bogstaver.

Enhver fuldstændig kommandobesked, der sendes, vil modtage et svar – enten en statuskode eller en datareturnering. nEXT-pumpen kan kun håndtere én besked ad gangen. Den vil kun godkende en ny besked, når svaret på den forrige besked er sendt tilbage.

Hvis nEXT-pumpen modtager tegn, der ikke er inden for rammerne for start- og stoptegn, vil pumpen ignorere dem. Beskeder, der mangler stoptegn, vil blive kasseret uden svar, når et nyt starttegn modtages. Hvis nEXT-pumpen modtager en besked, der ikke kan genkendes mellem start- og stoptegnene, vil den sende en passende fejlbesked tilbage.

Se Afsnit 3.7.6 for yderligere oplysninger om drift af nEXT-pumper i multipunktstilstand.

B800-00-887 Issue D


Installation

Figur 15 – Konceptdiagram over multipunktsforbindelse, der anvender RS232-grænseflade

1. RS232-grænseflade på kontroludstyr2. Buffer

3. nEXT-pumpe4. OR-port



Figur 16 – RS485-multipunktsforbindelse

3.7.4 Beskedstruktur

Beskedstrukturen og kommandosættet er de samme for RS485- og RS232-valgmulighederne. For at kommunikere en besked til nEXT-pumpen skal tegnene sendes i en bestemt rækkefølge. Hvis beskeden ikke overholder den korrekte struktur, vil den blive ignoreret, og der sendes ikke et svar.

Den korrekte struktur, der skal benyttes, er følgende:

et gyldigt starttegn, enten et '!'-tegn for en lagringsfunktion, eller et '?'-tegn for en forespørgselsfunktion, efterfulgt af

en kommando, som vil være et alfabetisk tegn med store bogstaver, efterfulgt af

et objektnummer, der består af tre decimalcifre, efterfulgt af

kun for nogle kommandoer, et datafelt, der består af en sekvens af tegn, der er adskilt fra objektnummeret med et mellemrum, efterfulgt af

en afsluttende linjeskift.

Beskedprotokollen i multipunktstilstand er marginalt anderledes. Se Afsnit 3.7.6.

1. RS485-grænseflade på kontroludstyr 2. nEXT-pumpens logiske grænseflade

B800-00-887 Issue D


Installation

3.7.5 Kommandosæt

Tabel 16 viser en oversigt over det komplette sæt af kommandoer, der er tilgængelige til styring og overvågning af nEXT-pumpen.

Tabel 17 viser de forkortelser, der bruges til at definere kommandoer i de følgende afsnit, og Tabel 18 viser de fejlkoder, der muligvis bliver sendt tilbage.

Tabel 16 – Oversigt over kommandoer, der kan sendes til nEXT-pumpen

Objektnavn Kommando Parameter-område

Fabriks-indstilling Datatype Enheder Bemærkninger

Node !S850?S850

0,99 - decimal adresse multipunktsadresse0 = deaktiver multipunktsadresse99 = jokertegn

Pumpetype ?S851 7;10;4

- strengstrengstreng

tegntegntegn

PumpetypeDSP-softwareversionsnummer (D396496XXX for nEXT)Fuld hastighed RPS (1.000 for nEXT)

Pumpestyring !C852 01

- decimal - Stands pumpenStart pumpen

?V852 0,1800;32-bit

- decimalhex

RPSflag

Målt motorhastighedSystemstatusord

Udluftnings-muligheder

!S853?S853

0

1

2

3

4

5

6

78

0 decimal Ventilering for fuld kraft, kun når <50 %Kontrolleret ventilering, hvis >50 % hastighed, eller ventilering for fuld kraft, hvis <50 % hastighedVentilering for fuld kraft, hvis stop, eller ventilering for fuld kraft, hvis fejl og < 50 % hastighedVentilering for fuld kraft, hvis stop, eller kontrolleret ventilering, hvis fejl og >50 % hastighed, eller ventilering for fuld kraft, hvis fejl og <50 % hastighedVentilering for fuld kraft, hvis fejl, eller ventilering for fuld kraft, hvis stop og <50 % hastighedVentilering for fuld kraft, hvis fejl, eller kontrolleret ventilering, hvis stop og >50 % hastighed, eller ventilering for fuld kraft, hvis stop og <50 % hastighedVentilering for fuld kraft, hvis stop eller fejlSamme som mulighed 6Ventilering = permanent aktiveret (ventilator)



Timerindstilling !S854?S854

1,30 8 decimal minutter Timeoutperiode for både første rampe op, og hvis hastigheden falder til under 50 %

Indstilling af strømbegrænsning

!S855?S855

50,200 160 decimal watt Linkeffekt maksimum

Normal hastigheds-indstilling

!S856?S856

50,100 80 decimal % Normal hastighed som procentdel af fuld hastighed

Standbyhastigheds-indstilling

!S857?S857

55,100 70 decimal % Standbyhastighed som procentdel af fuld hastighed

Temperatur-aflæsninger

?V859 0,100;0,100

- decimaldecimal

°C°C

Målt motortemperaturMålt temperatur for styreenhed

Linkparameter-aflæsninger

?V860 0,500;0,300;

0,15000

- decimaldecimaldecimal

0,1 volt0,1 ampere

0,1 watt

Målt linkspændingMålt linkstrømMålt linkeffekt

Fabriks-indstillinger

!S867 1 - - - Nulstil alle konfigurationsvalgmuligheder og parametre til fabriksindstillingerne

PIC-softwareversion

?S868 10 - streng tegn Softwareversionsnummer for bootloader (D374796XXX)

Hastighedsstyring !C869 01

- decimal - Indstil målhastighed til fuld hastighedIndstil målhastighed til standbyhastighed

Timer-valgmuligheder

!S870?S870

01

1 decimal - Timer = deaktiveretTimer = aktiveretBemærk, at timeren er permanent aktiveret ved rampe op.

Analoge signal-valgmuligheder

!S871?S871

0

12

3

0 decimal - Analogudgang = målt hastighedAnalogudgang = målt effektAnalogudgang = målt motortemp.Analogudgang = målt kontroltemp.

Luk udluftnings-ventil

!C875 1 - decimal - Lukker udluftningsventilen til forsinket start og tilsidesætter den nuværende udluftningsmulighed. Der er ingen kommando til at åbne udluftningsventilen, men stopkommandoen (!C852 0) vil fjerne tilsidesættelsen.

Servicestatus ?V881 32 bit - hex flag Servicestatusord

Tabel 16 – Oversigt over kommandoer, der kan sendes til nEXT-pumpen (fortsat)



B800-00-887 Issue D


Installation

Køretid for styreenhed

?V882 0..999999; - decimal timer Kørte timer for styreenhed

0..999999 decimal timer Timer, indtil det er tid til service af styreenhed

Køretid for pumpe ?V883 0..999999; - decimal timer Kørte timer for pumpe

0..999999 decimal timer Timer, indtil det er tid til service af pumpe

Pumpecyklusser ?V884 0..65535; - decimal cyklusser Cyklusser kørt af pumpen

0..65535 decimal cyklusser Cyklusser, indtil det er tid til service af pumpe

Køretid for lejer ?V885 0..999999; - decimal timer Kørte timer for leje

0..999999 decimal timer Timer, indtil det er tid til service af leje

Køretid for oliepatron

?V886 0..999999 - decimal timer Kørte timer for oliepatron

0..999999 decimal timer Timer, indtil det er tid til service af oliepatron

Tabel 17 – Kommandoforkortelser

Forkortelse Betydning

cr linjeskiftstegn

tegn tegn

d decimalt ASCII-tegn

Bemærk: Felter, der viser flere d-tegn, skal indikere typisk længde. Alle datafelter har et maksimum på 5 decimaltegn (med præfiks som et minustal for negative tal).

h hexadecimalt ASCII-tegn

r Returneret fejlkode – se Tabel 16

sp mellemrumstegn

streng kan have flere ASCII-tegn

X multipunkt decimalt ASCII-tegn

Bemærk: Felter, der viser flere X-tegn, skal indikere maksimumslængde og ikke fast længde.

Tabel 18 – Fejlkoder

Returneret fejlkode Betydning

0 Ingen fejl

1 Ugyldig kommando for objekt-id

2 Ugyldig forespørgsel/kommando

3 Manglende parameter

4 Parameter uden for område

5 Ugyldig kommando i nuværende tilstand – for eksempel seriel kommando til start/stop, når i parallel styringstilstand

Tabel 16 – Oversigt over kommandoer, der kan sendes til nEXT-pumpen (fortsat)





Figur 17 – Logisk grænsefladeforbindelse – blandet parallel og seriel drift

Bemærk: Pumpestyreenheden kan forsynes fra spændinger over 24 V som angivet i Tabel 10. Kredsløbet, der er forbundet til de normale linjer og fejllinjer, skal dog stadig overholde den maksimale eksterne pull-up-spændingsnormering, der er angivet i Tabel 10.

1. RS232-grænseflade på kontroludstyr2. 24 V DC elektrisk forsyning3. Sikring4. Valgfri LED-indikator – system OK5. Valgfri LED-indikator – normal hastighed6. Strømreguleringsmodstand til LED

7. Valgfri vælger til serielt link8. nEXT-pumpe9. Valgfrit voltmeter10. Valgfri kontakt til seriel aktivering11. Valgfri standbykontakt12. Startkontakt

B800-00-887 Issue D


Installation

3.7.6 multipunktsdrift

Ved at bruge multipunktstilstand kan et enkelt computersystem kommunikere med mere end én nEXT-pumpe. Hver nEXT-pumpe skal tildeles sin egen individuelle adresse, før den kan monteres i et multipunktssystem. Kommandoen til tildeling af multipunktsadressen sendes i standard nEXT-beskedformat (som beskrevet i Afsnit 4.1.9).

Beskedprotokollen i multipunktstilstand er marginalt anderledes end den, der er beskrevet for serielle beskeder i enkeltpumpesystemer. De største forskelle i multipunktbeskedprotokollen er beskrevet i detaljer herunder:

Alle multipunktskommandoer, forespørgsler eller svar har # som første tegn.

Alle kommandoer, forespørgsler og svar indeholder en overskrift, der indeholder den adressen på den node, som beskeden skal hen til, efterfulgt af adressen på den node, som beskeden kommer fra.

Der findes et afgrænsningstegn: (kolon), der adskiller de to multipunktsadresser i overskriften.

Den resterende del af beskeden (kommando, forespørgsel eller svar) følger den samme protokol som den, der allerede er beskrevet for enkeltpumpesystemer.

Jokertegnsadressen 99 er meget brugbar og betyder 'enhver' node.

Efter en nEXT-pumpe er blevet tildelt en multipunktsadresse, vil den ignorere alle de beskeder, der er i et format til enkeltpumper. En individuel nEXT-pumpe vil forblive tavs og ignorere alle kommandobeskeder, medmindre multipunktsadressen matcher dens egen adresse.

3.8 Forbindelse til blandet parallel og seriel drift

Pumpen kan styres ved hjælp af parallelle grænsefladekontrolindgange og samtidig overvåge adskillige pumpeparametre ved hjælp af den serielle grænseflade. Alternativt kan pumpen styres ved hjælp af kommandoer, der sendes over den serielle grænseflade, mens den samtidigt overvåger det normale signal og analogudgangen over den parallelle grænseflade. Figur 17 viser et skematisk diagram over et system, der viser, hvordan dette gøres. Forbindelsen er en hybrid af den parallelle og serielle forbindelse, som er beskrevet i detaljer i henholdsvis Afsnit 3.6 og 3.7. Mange af de beskrevne valgmuligheder i disse afsnit er tilgængelige med blandet parallel og seriel drift, men bemærk, at mens seriel aktivering er aktiv for at aktivere det serielle link, er parallelle standby- og fejlsignaler ikke tilgængelige. Multipunktsforbindelsen, som er vist i Afsnit 3.7, kan også bruges med blandet parallel og seriel drift.

Pumpen kan ikke styres ved hjælp af både den parallelle og serielle grænseflade på samme tid. Hvis pumpen eksempelvis startes ved at sende en startkommando over den serielle grænseflade, kan pumpen derefter ikke standses ved hjælp af start/stop-kontakten på den parallelle grænseflade. Pumpen vil ignorere tilstanden for start/stop-kontakten på den parallelle grænseflade. Send en seriel stopkommando for at stoppe pumpen. Kun når den serielle stopkommando er modtaget af pumpen, kan der reageres på enhver anden kommando, der sendes over den parallelle grænseflade.

Hvis pumpen ligeledes startes ved hjælp af en startkontakt på den parallelle grænseflade, kan pumpen derefter ikke standses ved at sende en stopkommando over den serielle grænseflade. Pumpen vil ignorere enhver start- eller stopkommando, der modtages over den serielle grænseflade. Brug den parallelle stopkontakt til at standse pumpen. Kun når pumpen er standset ved hjælp af den parallelle grænsefladekontakt, vil enhver start- eller stopkommando blive accepteret via den serielle grænseflade.

3.9 Valg af udluftningsventil, forbindelse og styring

FORSIGTIGHvis pumpen ventileres, mens den kører ved fuld rotationshastighed, og hvis trykstigningshastigheden er for høj, kan pumpen blive beskadiget, og dens levetid kan blive reduceret. Vi anbefaler derfor, at enten trykstigningshastigheden begrænses (se Figur 7), eller at udluftningsventilen kun åbnes, efter at nEXT-pumpens hastighed er faldet til 50 % af fuld rotationshastighed.



For at holde vakuumsystemet rent anbefaler Edwards, at når pumpen er slukket, ventileres pumpen (eller vakuumsystemet), når nEXT-pumpens hastighed ligger mellem fuld rotationshastighed og 50 % af fuld rotationshastighed. Henover dette hastighedsområde drejer rotoren hurtigt nok til at dæmpe enhver tilbagestrøm af kulbrinteolie fra reservepumpen.

Tilslut ikke udluftningsventilen til reserverøret. Dette kan medføre forurening. Tilslut udluftningsventilens indsugning til udluftningsgasforsyningen (se Afsnit 2.3 for specifikation af udluftningsgas).

Udluftning kan opnås ved at benytte en af følgende metoder, der er beskrevet i Afsnit 3.9.1 til 3.9.4.

3.9.1 Manuel udluftningsventil

En manuel udluftningsventil leveres med nEXT-pumpen. Det er ikke muligt nøjagtigt at styre trykstigningshastigheden ved hjælp af den manuelle udluftningsventil, så vær forsigtig med at åbne den for hurtigt. Edwards anbefaler, at den manuelle udluftningsventil kun åbnes, efter at pumpehastigheden er faldet til 50 % af fuld rotationshastighed.

3.9.2 TAV5 eller TAV6 elektromagnetisk udluftningsventil

TAV5 eller TAV6 elektromagnetiske ventiler kan købes som tilbehør – se Afsnit 7.4. De elektromagnetiske ventiler kan bruges på følgende måder:

Brug en TAV5 eller TAV6 elektromagnetisk ventil i stedet for den manuelle udluftningsventil på pumpen

Brug en TAV5 eller TAV6 elektromagnetisk ventil forbundet til en passende flange på vakuumsystemet

Hvis udluftningsventilen er forbundet til vakuumsystemet, vælges et modstrømspunkt i nEXT-pumpen for at forhindre tilbagestrømning af olie fra reservepumpen.

Hvis der anvendes en TAV5-udluftningsventil, må pumpen kun ventileres for fuld kraft, når den kører ved fuld hastighed, hvis vakuumsystemet har en volumen på 5 liter eller mere. Hvis der anvendes en TAV6-udluftningsventil, må pumpen kun ventileres for fuld kraft, når den kører ved fuld hastighed, hvis vakuumsystemet har en volumen på 10 liter eller mere.

Hvis vakuumsystemets volumen er på mindre end 5 liter (når der bruges en TAV5-udluftningsventil), eller hvis vakuumsystemets volumen er på mindre end 10 liter (når der bruges en TAV6-udluftningsventil), skal der inkorporeres en egnet udluftningsdrosselventil, og pumpen skal ventileres, når den kører ved fuld hastighed, ellers bruges den kontrollerede udluftningsmulighed. Tabel 20 giver en indikation af den passende størrelse på åbningen, der skal monteres ved udluftningsventilen, for bestemte volumener for vakuumsystemet, således at trykstigningshastigheden bliver inden for de grænser, der er vist i Figur 7.

Bemærk: Hvis der anvendes en udluftningsdrosselventil, kan den tid, der kræves for at ventilere vakuumsystemet, være uacceptabelt lang. Tiden kan reduceres ved at bruge en udluftningsventil uden en udluftningsdrosselventil og vente, indtil pumpehastigheden er faldet til 50 % af fuld rotationshastighed, før udluftningsventilen åbnes.

3.9.3 Styring af udluftningsventil

TAV5 eller TAV6 elektromagnetisk ventil kan styres af styreenhedselektronikken. For at benytte denne funktion skal det elektriske stik, der leveres med pumpen, monteres på ledningen til den elektromagnetiske TAV5- eller TAV6-ventil. For at sikre, at kabelkerne og skærm har den korrekte ledningsføring, skal instruktionerne for elektrisk tilslutning, der findes i tilbehørsmanualen (leveres med TAV-ventilen), følges. Se Figur 9. Sæt stikket i kontakten på siden af styreenheden (se Figur 12).

Styreenheden er i stand til at styre en række forskellige udluftningsmuligheder. Disse er defineret i Tabel 19.

B800-00-887 Issue D


Installation

Når pumpen leveres, er styreenheden konfigureret med fabriksindstillingen udluftningsmulighed 0 som beskrevet i Tabel 19. Styreenheden kan konfigureres til en af de andre udluftningsmuligheder, forudsat at kommandoer kan sendes via den serielle grænseflade eller via Edwards TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed eller Turbostyreenhed.

Styreenheden tilfører kun strømfører ('lukker') den elektromagnetiske TAV-ventil, når den modtager en startkommando. Forud for dette vil ventilen være i 'åben' ventileringstilstand. Hvis vakuumsystemet er et stort system, skal det være muligt for reservepumpen at reducere trykket i systemet til et acceptabelt niveau, før nEXT-pumpen startes. Send i dette tilfælde en kommando via den serielle grænseflade for at lukke udluftningsventilen, før der sendes en startkommando. Dette kendes som forsinket start.

Hvis nEXT-pumpen styres med Edwards TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed, kan den elektromagnetiske TAV-ventil betjenes fra TIC. Der henvises til betjeningsvejledningerne til TIC for yderligere oplysninger.

3.9.4 Alternativ ventil tilsluttet vakuumsystemet

Hvis der bruges en anden udluftningsventil, skal der sørges for, at en egnet udluftningsdrosselventil er monteret på vakuumsystemet for at begrænse trykstigningshastigheden. Se Tabel 20 for oplysninger om størrelser på udluftningsdrosselventiler. Hvis der ikke monteres en egnet udluftningsdrosselventil, må udluftningsventilen kun åbnes, efter at pumpehastigheden er faldet til under 50 % af fuld rotationshastighed.

Tabel 19 – Udluftningsmuligheder

Valgmulighedsnummer Beskrivelse af ventileringsfunktion

0 Udluftningsventilen åbner helt ved under 50 % af rotationshastighed ved enten en stopkommando eller fejl.

Bemærk: Dette er fabriksindstillingen.

1 Kontrolleret ventilering fra 100 % til 50 % af fuld rotationshastighed. Udluftningsventilen åbner helt ved under 50 %,ved enten en stopkommando eller fejl.

2 Udluftningsventilen åbner helt med det samme, hvis en stopkommando er modtaget. Udluftningsventilen åbner helt med det samme ved under 50 % af fuld rotationshastighed ved fejl.

3 Udluftningsventilen åbner helt med det samme, hvis en stopkommando er modtaget. Kontrolleret ventilering fra 100 % til 50 % af fuld rotationshastighed ved fejl. Dernæst åbner udluftningsventilen helt ved under 50 %.

4 Udluftningsventilen åbner helt med det samme ved fejl. Udluftningsventilen åbner helt med det samme ved under 50 % af fuld rotationshastighed ved stop.

5 Udluftningsventilen åbner helt med det samme ved fejl. Kontrolleret ventilering fra 100 % til 50 % af fuld rotationshastighed, hvis en stopkommando er modtaget. Dernæst åbner udluftningsventilen helt ved under 50 %.

6.7 Udluftningsventilen åbner helt med det samme ved enten en stopkommando eller fejl.

Tabel 20 – Diameter på åbning for udluftningsdrosselventil (med atmosfærisk tryk ved udluftningsventilens indsugning)

Volumen for vakuumsystem (liter) Diameter på åbning (mm)

<20 ≤ 1,0

<10 ≤ 0,7

<5 ≤ 0,5

<2 ≤ 0,35



3.10 Køling

3.10.1 Indledning

FORSIGTIGSørg for, at pumpen afkøles tilstrækkeligt for at forhindre beskadigelse af rotoren og lejet.

FORSIGTIGHvis der benyttes alternative kølemetoder ud over standard-køletilbehør fra Edwards, skal det sikres, at køling IKKE udelukkende føres mod eller ledes hen på pumpestyreenheden.

FORSIGTIGHvis pumpen er placeret inde i et kabinet, skal der sørges for, at der er tilstrækkelig ventilation, således at pumpens omgivende temperatur ikke overstiger 40 °C.

Køling med naturlig luftcirkulation: Til nogle lettere pumpeopgaver med en omgivende lufttemperatur på mindre end 30 °C kan køling med naturlig luftcirkulation være tilstrækkelig til at afkøle nEXT-pumpen.

Tvungen luftkøling: Den omgivende lufttemperatur ved tvungen luftkøling skal være 5 °C til 35 °C. Sørg for, at der er tilstrækkelig forsyning af køleluft til pumpen.

Vandkøling: Brug vandkøling ved en omgivende lufttemperatur på mere end 35 °C, eller når der bruges et udbagningsbånd (kun CF-varianter). Når der bruges vandkøling, skal den omgivende lufttemperatur være mindre end 40 °C, og vandtemperaturen skal være mellem 10 °C og 20 °C.

Edwards anbefaler, at pumpen afkøles med tvungen luftkøling eller vandkøling, når det er muligt. Se Tabel 6 for yderligere information vedrørende ydeevne.

3.10.2 Tvungen luftkøling

Tilbehør til luftkøling kan fås til nEXT-pumper (se Afsnit 7.4). Monter luftkøleren som beskrevet i betjeningsvejledningen, der leveres sammen med den. Hvis der bruges en anden ventilator til luftkøling, skal der sørges for, at flowhastigheden er over 100 m3tim-1 (60 cfm).

Luftkøleren kan forsynes med strøm af en ekstern strømforsyning fra kunden, Edwards TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed, TIC Turbostyreenheden eller nEXT Styreenheden. Den kan ikke forsynes med strøm fra styreenheden, hvis den elektromagnetiske TAV-ventil allerede er tilsluttet styreenheden. Følg instruktionerne vedrørende elektrisk tilslutning i manualen til luftkøleren for at tilslutte luftkølerens ledning til styreenhedens stik, der leveres med pumpen (se Figur 9). Sæt stikket i kontakten på siden af styreenheden (se Figur 12).

Kundens styreenhed kan kun konfigureres til at styre en luftkøler, hvis kommandoer kan sendes via den serielle grænseflade eller via Edwards TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed eller Turbostyreenhed.

B800-00-887 Issue D


Installation

3.10.3 Vandkøling

FORSIGTIGFor at forhindre kondensering inde i pumpen og styreenheden skal der slukkes for kølevandet, når pumpen er slukket.

En WCX-vandkøler som tilbehør kan fås til nEXT-pumper (se Afsnit 7.4). Monter den som beskrevet i betjeningsvejledningen, der leveres sammen med den. Kølevandsforsyningen skal overholde specifikationerne anført i Afsnit 2.5. Rør i vandkølingskredsløbet kan blive blokerede, hvis kølevandet indeholder for meget kalciumkarbonat, eller hvis det indeholder partikler, der er for store. Korrosion i vandkølingskredsløbet kan opstå, hvis der er for lidt kalciumkarbonat og ilt i vandet. Drikkevand af god kvalitet er normalt velegnet. I tvivlstilfælde skal kvaliteten af kølevandsforsyningen tjekkes, og der skal igangsættes behandling og filtrering, hvis det er nødvendigt.

Tilslut kølevandsforsyningen til vandkøleren på pumpen som beskrevet nedenfor. Begge typer push-fit-konnektorer på vandkøleren kan bruges til vandforsyningen eller til returforbindelserne.

Skub nylonslangen (med en ydre diameter på ca. 10 mm) ind i slutstykkerne ved slangens konnektorer på vandkøleren på pumpen. Alternativt kan man fjerne slangens konnektorer fra vandkøleren og foretage direkte tilslutninger til de 1/8 tomme BSP gevindskårne hunfittings på vandkøleren.

For at undgå at afbryde kølevandskredsløbet, når pumpen afmonteres på grund af vedligeholdelse, skal de to M4-fastgørelsesskruer skrues af, og vandkøleren skal fjernes fra pumpen.

FORSIGTIGKondensering kan opstå, hvis en vandkølingsblok bruges i miljøer med høj luftfugtighed. Beskyt pumpen og andet udstyr ved at overveje installationens design omhyggeligt. Se Figur 16 for anbefalinger.

Figur 18 – Maksimal relativ luftfugtighed for at undgå kondensering ved vandkøling

Omgivende temperatur (°C)

Mak

sim

um r

elat

iv lu

ftfu

gtig

hed

(%)

Kølevands-temperatur (°C)


DriftB800-00-887 Issue D

4 Drift

Før pumpen betjenes, er det umagen værd at konfigurere de forskellige styreenhedsindstillinger, så de passer til applikationen.

Hvis systemet er designet til at operere med parallel styring og overvågning, er der ingen funktion til at ændre størstedelen af styreenhedsindstillingerne, så snart nEXT-pumpen er installeret i systemet. Pumpen leveres med fabriksindstillingsværdier for alle indstillinger, som det er vist i Tabel 16. Hvis nogle af styreenhedsindstillingerne skal ændres, skal de ændres, før nEXT-pumpen installeres i systemet.

nEXT-pumpen kan konfigureres ved hjælp af kundens serielle system. Afsnit 4.1 beskriver i detaljer de kommandoer, der kræves for at konfigurere styreenheden. Alternativt kan Edwards TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed anvendes. Yderligere informationer vedrørende dette er beskrevet i detaljer i Afsnit 4.2.

Bemærk: Standbyhastigheden kan justeres ved hjælp af knappen på styreenheden som beskrevet i Afsnit 4.1.4.

Gå direkte til Afsnit 4.3, hvis nEXT-pumpen opererer med parallel styring og overvågning, og styreenhedsindstillingerne ikke skal omkonfigureres.

4.1 Konfiguration af nEXT-pumpen ved hjælp af serielle kommandoer

Se Tabel 16 for en oversigt over det komplette sæt af serielle kommandoer, parameterområder og fabriksindstillinger for hver enkelt indstilling. Følgende afsnit beskriver indstillingerne i detaljer.

4.1.1 Indstilling af strømbegrænsning

Tabel 21 viser mulighederne for indstilling af strømbegrænsning for nEXT-pumperne. Pumpen leveres med en standardstrømbegrænsning som vist. Hvis denne begrænsning ikke er passende til applikationen, kan den ændres til en hvilken som helst værdi mellem de viste maksimums- og minimumsværdier.

Send kommandoen som følger (hvor 'd'-tegnene repræsenterer den værdi i watt, som vil blive indstillet. Skriv 90 for eksempelvis at indstille begrænsningen til 90 W).

Svaret vil være i det følgende format:

Indstillingen af strømbegrænsning er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at tjekke, hvilken strømbegrænsning, der er indstillet, sendes en forespørgsel som følger:

ADVARSEL

Betjen ikke nEXT-pumpen, medmindre den er tilsluttet et vakuumsystem. Pumpens rotor roterer ved meget høje hastigheder, og de roterende blade er måske ikke ses. Hvis pumpen kører uden at være tilsluttet, kan pumpens rotor forårsage skade.

Tabel 21 – Indstilling af strømbegrænsning

Maksimumværdiindstilling Minimumværdiindstilling Standardstrømindstilling

200 W 50 W 160 W

Kommando ! S 8 5 5 sp d d d cr

Svar ∗ S 8 5 5 sp r cr

Kommando ? S 8 5 5 cr

B800-00-887 Issue D


Drift Svaret vil være i det følgende format:

4.1.2 Strømforsyning af en ventilator fra styreenheden

En ventilator kan strømforsynes fra nEXT-styreenheden, forudsat at styreenheden ikke bruges til at styre en udluftningsventil.

For at aktivere ventilatoren sendes følgende kommando:


Den permanent aktiverede ventilatorindstilling er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

Når pumpen leveres, er den indstillet til at drive en udluftningsventil. Send en forespørgsel for at finde ud af, hvad indstillingen er, som følger:


Hvis tegnet 'd' er 8, så er ventilatoren aktiveret. Hvis det er noget andet, konfigureres styreenheden til at drive ventilatoren.

4.1.3 Kontrollerede ventileringsmuligheder

Hvis styreenheden anvendes til automatisk at styre udluftningsventilen, findes der en række ventileringsmuligheder. Se Tabel 19.

For at indstille en ventileringsvalgmulighed sendes følgende kommando (hvor tegnet 'd' henviser til nummeret for valgmuligheden vist i Tabel 19):


Ventileringsvalgmuligheden er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at tjekke, hvilken ventileringsvalgmulighed der er indstillet, sendes en forespørgsel som følger:


Svar = S 8 5 5 sp d d d cr

Kommando ! S 8 5 3 sp 8 cr

Svar * S 8 5 3 sp r cr


Svar = S 8 5 3 sp d cr

Kommando ! S 8 5 3 sp d cr






4.1.4 Standbyhastighedsindstilling

Pumpen kan køre ved standbyhastighed frem for fuld rotationshastighed. Standbyhastigheden er en brugerkonfigureret valgmulighed og kan indstilles til en hvilken som helst værdi mellem 55 % og 100 % af fuld rotationshastighed. Når pumpen leveres, er den konfigureret med en standbyhastighed på 70 % af fuld rotationshastighed.

Indstillingen for standbyhastighed kan ændres ved at benytte trykknapperne STDBY+ og STDBY-, der er placeret på styreenheden (vist i Figur 12) eller ved at bruge en seriel kommando. Hvis knapperne bruges, vil hvert tryk på en knap justere hastigheden med 10 Hz (1 %).

For at ændre indstillingen for standbyhastighed ved hjælp af en seriel kommando sendes følgende kommando (hvor tegnet 'd' repræsenterer værdien som en procentdel af fuld rotationshastighed):


Standbyhastigheden er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at tjekke, hvilken standbyhastighed, der er indstillet, sendes en forespørgsel som følger:

Svaret vil være som følger:

4.1.5 Normal hastighedsindstilling

Den normale hastighed er en brugerkonfigureret indstilling og kan indstilles til en hvilken som helst værdi mellem 50 % og 100 % af fuld rotationshastighed. Når pumpen leveres, er den konfigureret med en normal hastighed på 80 % af fuld rotationshastighed.

For at ændre indstillingen for normal hastighed sendes følgende kommando (hvor tegnet 'd' repræsenterer værdien som en procentdel af fuld rotationshastighed):


Den normale hastighed er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at tjekke, hvilken normal hastighed, der er indstillet, sendes en forespørgsel som følger:










B800-00-887 Issue D


Drift 4.1.6 Timerindstilling og -valgmuligheder

Se Afsnit 1.4.3 for en komplet beskrivelse af timerfunktionaliteten.

Timeoutperioden er en brugerkonfigureret valgmulighed og kan indstilles til en hvilken som helst værdi fra 1 til 30 minutter. Når pumpen leveres, er den konfigureret med en standardtimeoutperiode på 8 minutter.

For at ændre timerindstillingen sendes følgende kommando (hvor tegnet 'd' repræsenterer timeoutperioden i minutter):


Timerindstillingen er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at tjekke, hvilken timeoutperiode, der er indstillet, sendes en forespørgsel som følger:


Timeren er permanent aktiveret under rampe op. Det er dog valgfrit, om den skal være aktiveret på andre tidspunkter. Når pumpen leveres, er timeren aktiveret som standard.

For at deaktivere timeren sendes følgende serielle kommando:


Timervalgmulighedens tilstand gemmes i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at aktivere timeren igen sendes følgende serielle kommando:


For at tjekke, om timeren er aktiveret eller deaktiveret, sendes følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger (hvor d = 0 betyder deaktiveret, og d = 1 betyder aktiveret):

Kommando ! S 8 5 4 sp d d cr



Svar = S 8 5 4 sp d d cr









4.1.7 Analoge signalvalgmuligheder

Analogudgangen kan bruges til at overvåge en af fire forskellige parametre som beskrevet i Tabel 22.

For at konfigurere analogudgangen sendes følgende kommando (hvor tegnet 'd' angiver valgmulighedsnummeret som beskrevet i Tabel 22):


Signalindstillingen for analogudgangen er nu gemt i hukommelsen i nEXT-pumpen.

For at tjekke, hvilken signalindstilling for analogudgangen, der er aktiveret, sendes en forespørgsel som følger:


4.1.8 Fabriksindstillinger

nEXT-pumpen kan omkonfigureres til dens oprindelige fabriksindstillinger med en seriel kommando.

For at nulstille styreenheden til fabriksindstillinger sendes følgende kommando:


Fabriksindstillingerne er gendannede i hukommelsen i nEXT-pumpen.

4.1.9 Tildeling af en multipunktsadresse

Når nEXT-pumpen leveres, er multipunktstilstand deaktiveret som standard. Hver individuel pumpe skal programmeres med dens egen multipunktsadresse via en punkt-til-punkt-forbindelse, før den indsættes i et multipunktsnetværk.

Send følgende kommando for at tildele en multipunktsadresse (hvor tegnet 'd' repræsenterer adressen):

Tabel 22 – Analoge signalvalgmuligheder

Valgmulighedsnummer Beskrivelse af analogudgangsnummer

0 Målt rotationshastighed for pumpe

Bemærk: Dette er fabriksindstillingen.

1 Målt systemeffekt

2 Målt motortemperatur

3 Målt temperatur for styreenhed

Kommando ! S 8 7 1 sp d cr

Svar * S 8 7 1 sp d cr





Kommando ! S 8 5 0 sp d d cr

B800-00-887 Issue D


Drift Bemærk: Adressen kan være et hvilket som helst decimaltal fra 1 til 98. Adressenummeret 0 bruges til at deaktivere multipunktstilstand. Adressenummeret 99 er reserveret som et jokertegn og bruges i den forespørgselsopsætning, som beskrives senere.


Multipunktsadressen er gemt i nEXT-pumpen.

En forespørgsel kan sendes til pumpen for at finde ud af, om den har en multipunktsadresse. Send følgende kommando:

Hvis svaret er som vist nedenfor, er multipunktstilstand i pumpen deaktiveret:

Hvis pumpen allerede har en multipunktsadresse, er der ikke noget svar. Kommuniker med pumpen i multipunktsbeskedprotokol. Se Afsnit 3.7.6 for yderligere oplysninger om multipunktstilstand og multipunktsbeskedprotokol.

Brug følgende forespørgsel (ved hjælp af jokertegnsadressen 99, der betyder 'hvilken som helst' node) for at finde ud af multipunktsadressen for nEXT-pumpen:

Svaret vil være som følger, hvor dd angiver multipunktsadressen for pumpen:

Multipunktstilstand kan deaktiveres ved at tildele pumpen adressen 0. For at gøre dette sendes følgende kommando (hvor dd angiver pumpens multipunktsadresse, og XX angiver nodeadressen, der sender kommandoen):


Så snart multipunktstilstand er deaktiveret, vil pumpen ikke længere svare på multipunktskommandoer.

4.2 Konfiguration af nEXT-pumpen ved hjælp af TIC

nEXT-pumpen kan konfigureres ved hjælp af Edwards TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed. Se Afsnit 3.5.3.

Det er muligt at indstille følgende parametre i nEXT-pumpen ved hjælp af TIC:

Indstilling af strømbegrænsning

Kontrollerede ventileringsmuligheder, herunder drive en ventilator fra styreenheden

Standbyhastighedsindstilling

Normal hastighedsindstilling

Timerindstillinger - både aktivering/deaktivering af timeren OG indstilling af timeoutperioden


Svar ? S 8 5 0 cr

Svar = S 8 5 0 sp 0 cr

Kommando # 9 9 : 9 9 ? S 8 5 0 cr

Svar # 9 9 : 9 9 = S 8 5 0 sp d d cr

Kommando # d d : x x ! S 8 5 0 sp 0 cr

Svar # x x : d d * S 8 5 0 sp 0 cr



Elektroniske bremsevalgmuligheder

Fabriksindstillinger

For oplysninger om, hvordan disse indstillinger foretages, henvises der til betjeningsvejledningerne til TIC Turbo- og Instrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed.

Bemærk: Det er ikke muligt at konfigurere analogudgangsvalgmulighederne ved hjælp af TIC. Der findes heller ikke nogen funktion i TIC, der tildeler en multipunktsadresse til nEXT-pumpen.

Der er en yderligere mulighed for at tilslutte TIC til en PC og bruge TIC PC-programmet til at konfigurere nEXT-pumpen. TIC PC-programmet gør det muligt at konfigurere alle de indstillinger, der er vist ovenfor, samt konfiguration af analogudgangsvalgmulighederne og tildeling af en multipunktsadresse. Se betjeningsvejledningen til TIC PC-programmet for yderligere oplysninger.

4.3 Før pumpen startes

Uanset hvilket system, der anvendes til at styre nEXT-pumpen, skal følgende trin udføres, før pumpen startes.

4.3.1 Luk udluftningsventilen

Hvis der anvendes en manuel udluftningsventil, skal den drejes med uret for at lukke den.

Hvis kundens styresystem anvendes til at betjene udluftningsventilen, skal udluftningsventilen være lukket.

Hvis en elektromagnetisk TAV-ventil betjenes fra styreenheden, vil TAV-ventilen automatisk lukke, når pumpen startes.

Se Afsnit 4.7, hvis TIC bruges til at betjene udluftningsventilen.

Bemærk: Reservepumpen og nEXT-pumpen kan startes på samme tid. nEXT-pumpen vil ikke blive beskadiget og kan køre som en effektiv baffel. Hvis vakuumsystemet er stort (100 liter eller mere), vil det dog være mere effektivt at lade reservepumpen reducere systemtrykket til 10 mbar, før nEXT-pumpen startes. I dette tilfælde vil det være nødvendigt at lukke udluftningsventilen, før reservepumpen startes.

Når styreenheden bruges til at styre den elektromagnetiske TAV-ventil, og den opererer med parallel styring og overvågning, kan ventilen ikke lukkes, før nEXT-pumpen startes, da funktionen til at sende en passende seriel kommando ikke er tilgængelig. Hvis funktionen til at sende serielle kommandoer er tilgængelig, kan en forsinket start udføres. Se Afsnit 4.5.1.

4.3.2 Kontroller før opstart

1. Tænd for den relevante køleenhed (ventilator eller kølevandsforsyning).

Bemærk: Hvis styreenheden er konfigureret til at drive en ventilator, vil ventilatoren automatisk starte, når nEXT-pumpen bliver forsynet med strøm.

2. Start reservepumpen.

3. Slå strømforsyningen til pumpen til. Kontrollér, at de tre LED'er på styreenheden lyser op i ca. 0,5 sek. og derefter slukker.

Se Afsnit 5.5, hvis LED'erne ikke lyser op som forventet, eller hvis den røde eller gule LED begynder at blinke i en gentagelsessekvens, eller hvis den røde LED lyser.

B800-00-887 Issue D


Drift 4.4 Drift med parallel styring og overvågning

4.4.1 Start pumpen

Start nEXT-pumpen ved at forbinde start/stop-kontrolindgangen til 0 V-kontrolreferencen på det logiske grænsefladestik. Pumpen vil dernæst accelerere til fuld driftshastighed.

Den grønne indikator på styreenheden vil lyse op, når pumpen når normal hastighed. Dette er 80 % af fuld rotationshastighed som standard, men en anden værdi kan være valgt for at passe til applikationen.

4.4.2 Kørsel ved standbyhastighed

For at køre nEXT-pumpen ved standbyhastighed skal standbykontrolindgangen linkes til 0 V-kontrolreferencen på det logiske grænsefladestik. Hvis pumpen aktuelt er under standbyhastighed, vil den accelerere, indtil den når standbyhastighed. Hvis den kører hurtigere end standbyhastighed, vil den decelerere, indtil standbyhastighed er nået.

For at bringe nEXT-pumpen tilbage til fuld hastighed skal standbykontrolindgangen afbrydes fra 0 V-kontrolreferencen på det logiske grænsefladestik.

4.4.3 Stands pumpen

Stands nEXT-pumpen ved at afbryde start/stop-kontrolindgangen fra 0 V-kontrolreferencen på det logiske grænsefladestik. Pumperotoren vil decelerere til stilstand.

4.4.4 Parallel overvågning

Det er muligt at overvåge følgende parametre:

Analogudgang

Normalt signal

Fejlsignal

Se Afsnit 3.6 for instruktioner om, hvordan disse signaler overvåges. Analogudgangen er beskrevet i Tabel 10.

4.5 Drift med seriel styring og overvågning

4.5.1 Forsinket start

Hvis der anvendes en elektromagnetisk TAV-ventil, der er styret af styreenheden, kan det være ønskeligt at lukke den, før nEXT-pumpen startes. Dette gør det muligt for reservepumpen at reducere trykket i vakuumsystemet.

Send følgende kommando for at lukke udluftningsventilen:


Bemærk: Denne kommando tilsidesætter den nuværende ventileringsvalgmulighed og lukker udluftningsventilen. Der er ingen kommando til 'åbn' udluftningsventil, men når en stopkommando sendes til pumpen, fjernes tilsidesættelsen.

Kommando ! C 8 7 5 sp 1 cr

Svar * C 8 7 5 sp r cr



4.5.2 Start pumpen

Send følgende kommando over det serielle kommunikationslink for at starte pumpen:


Pumpen vil dernæst accelerere til fuld driftshastighed. Den grønne LED-indikator vil lyse op, når pumpen når normal hastighed. Dette er 80 % af fuld rotationshastighed som standard, men en anden værdi kan være valgt for at passe til applikationen.

4.5.3 Standbyhastighed

Send følgende kommando over det serielle kommunikationslink for at køre nEXT-pumpen ved standbyhastighed:


Hvis pumpen aktuelt er under standbyhastighed, vil den accelerere, indtil den når standbyhastighed. Hvis den kører hurtigere end standbyhastighed, vil den decelerere, indtil standbyhastighed er nået.

Send følgende kommando for at bringe pumpen tilbage til fuld hastighed:


4.5.4 Stands pumpen

Send følgende kommando over det serielle kommunikationslink for at standse nEXT-pumpen:


Når stopkommandoen er modtaget, vil pumperotoren decelerere til stilstand.

4.5.5 Temperaturaflæsninger

Temperaturerne for både pumpemotoren og den interne elektronik i nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:


Svar * C 8 5 2 sp 1 cr







Kommando ? V 8 5 9 cr

B800-00-887 Issue D


Drift Svaret vil være som følger, hvor det første tal er motortemperaturen, og det andet tal er den interne temperatur i styreenheden. Begge er målt i °C:

4.5.6 Linkparameteraflæsninger

Den interne spænding, strøm og motoreffekt for nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger (hvor det første tal angiver spænding (målt i 0,1 volt – dvs. del tallet med 10 for at få svaret i volt), det andet tal angiver strøm (målt i 0,1 A), og det tredje tal angiver motoreffekt (målt i 0,1 W)):

4.5.7 Målt motorhastighed

Motorens målte rotationshastighed inde i nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger, hvor det første returnerede tal angiver motorens rotationshastighed i omdrejninger pr. sek. (Hz):

Bemærk: Det andet returnerede tal er et 32-bit systemstatusord (sæt med 8 hexadecimale tegn), hvilket er brugbart til fejlfinding. Se Afsnit 5.5.9 for vejledning om, hvordan systemstatusordet afkodes.

4.6 Blandet parallel og seriel drift

I blandet parallel og seriel drift kan pumpen modtage kommandoer fra både serielle og parallelle grænseflader. Se Figur 19 for at forstå, hvordan disse kommandoer styrer pumpen. Pumpen vil starte op med 'None in Control' (ingen styring). Fra denne tilstand kan der modtages et parallelt startsignal eller en seriel startkommando, der medfører, at pumpen ændrer til henholdsvis parallel styringstilstand eller seriel styringstilstand. Serielle startkommandoer vil kun blive modtaget, hvis linjen til seriel aktivering er aktiv.

Tilstanden for linjen til seriel aktivering kan skiftes mellem aktiv og inaktiv, når den er i blandet parallel og seriel drift. Den primære funktion for linjen til seriel aktivering er at aktivere det serielle link. Den har ikke nogen direkte effekt på styringstilstanden. Pumpen vil modtage og svare på serielle kommandoer på alle tidspunkter, når linjen til seriel aktivering er aktiv, og omvendt vil den ikke modtage eller svare på serielle kommandoer, når linjen til seriel aktivering er inaktiv.

Tilgængeligheden af parallelle standby- og fejlsignaler afhænger af tilstanden for linjen til seriel aktivering samt RS485/RS232-kontaktens position som beskrevet i Tabel 23.

Svar = V 8 5 9 sp d d d ; d d d cr


Svar = V 8 6 0 sp d d d ; d d d ; d d d d d cr


Svar = V 8 5 2 sp d d d d ; h h h h h h h h cr



I parallel styringstilstand vil pumpen ikke acceptere serielle stopkommandoer, men den vil acceptere alle andre serielle kommandoer. Når seriel aktivering er aktiv, vil pumpen køre ved standbyhastighed, hvis den er blevet bedt om at gøre dette via en seriel standbykommando. Når seriel aktivering er inaktiv, og RS485/RS232-kontakten er i RS232-position, vil pumpen køre ved standbyhastighed, når den parallelle standbylinje er aktiv.

I seriel styringstilstand vil den parallelle startlinjes tilstand blive ignoreret, men linjen til seriel aktivering har en interlock-funktion som vist i Figur 19. Denne interlock-funktion fungerer kun med serielle startkommandoer og derfor kun i seriel styringstilstand. I seriel styringstilstand kan pumpen ikke blive beordret til standbyhastighed af standbylinjen. En seriel standbykommando skal bruges i stedet for.

De parallelle normale signaler og analogudgangssignaler giver gældende oplysninger om pumpens status på alle tidspunkter under blandet parallel og seriel drift. Analogudgangsspændingerne er beskrevet i Tabel 10.

Tabel 23 – Matrix for seriel aktivering

Seriel aktivering

Aktiv Inaktiv

RS48

5/RS

232-

kont

akt

RS23

2

Standby- og fejllinjer bruges til RS232-data. Standby- og fejllinjer bruges til parallel standbystyring og fejlindikering.

Parallel standbystyring og fejlindikering er deaktiveret.

Seriel kommunikation er deaktiveret.

RS48

5

Standby- og fejllinjer bruges til RS485-data. Standby- og fejllinjer er i (RS485) højimpedanstilstand.*

* Målhastighed for pumpe vil skifte mellem kørehastighed og standbyhastighed som svar på alle data, der køres på RS485-bussen af andre enheder, der er forbundet til bussen. Aktivering af den parallelle startlinje anbefales ikke med RS485/232-kontakten i RS485-position og med seriel aktivering inaktiv. Deaktivering af linjen til seriel aktivering anbefales ikke, når pumpen kører efter en start fra den parallelle startlinje, når RS485/232-kontakten er i RS485-position.

Parallel standbystyring og fejlindikering er deaktiveret.

Seriel kommunikation er deaktiveret.

B800-00-887 Issue D


Drift Figur 19 – Seriel og parallel styringsflowchart

4.7 Drift med TIC

For drift med Edwards Turboinstrumentstyreenhed eller TIC Turbostyreenhed kan nEXT-pumpen tilsluttes direkte denne type enhed, som vil sørge for den nødvendige strøm til at drive nEXT-pumpen. Instruktioner vedrørende opsætning og drift med TIC eller TIC Turbostyreenhed kan findes på CD-ROM'en med artikelnummer D397-00-879, der leveres med TIC eller TIC Turbostyreenheden.

4.8 Deceleration og ventilering

Straks efter at en stopkommando er blevet anvendt, enten af den parallelle eller serielle grænseflade eller af TIC, skal reservepumpen slukkes. Systemet kan dernæst ventileres i henhold til vejledningen i Afsnit 3.9.

"INGEN STYRING"Pumpe decelererer

Eller standsetSerielt link aktiveret

hvis seriel aktivering er aktiveret

"SERIEL STYRETILSTAND"Pumpe kører

Serielt link aktiveret

"PARALLEL STYRETILSTAND"Pumpe kører

Serielt link aktiveret, hvis seriel aktivering aktiv

"SERIEL STYRETILSTAND"Pumpe decelererer

Eller standset med seriel interlock-alarm

Serielt link aktiveret, hvis seriel aktivering aktiv

Forsynet med strøm

Seriel aktivering aktiv OG seriel startkommando

Seriel aktivering aktiv OG seriel stopkommando

Seriel aktivering aktiv OG seriel stopkommando

Seriel aktivering inaktiv

Parallel start inaktiv

Parallel start aktiv



FORSIGTIGÅbn ikke en manuel udluftningsventil, før pumpens rotationshastighed er faldet til under 50 %. Ellers vil trykstigningshastigheden være for høj, hvilket kan beskadige pumpen. Kun i en nødsituation må udluftningsventilen åbnes hurtigt for at decelerere pumperotoren på kortest mulig tid.

Bemærk: Hvis styreenheden bruges til at styre den elektromagnetiske TAV-ventil, er der en forsinkelse på 2 sek. mellem at der enten modtages en stopkommando, eller der registreres en fejltilstand, og udluftningsventilen åbner. Denne forsinkelse sørger for, at der er tid til at slukke for målere, ventiler eller andet udstyr, før ventileringen finder sted.

Den grønne LED-indikator på styreenheden slukkes, når rotationshastigheden falder til under normal hastighed. Ved meget lave hastigheder vil den gule LED-indikator blinke og slukke, når pumpen er standset.

4.9 Drift under ekstreme forhold

4.9.1 Drift med højt indsugningstryk

Hvis nEXT-pumpens indsugningstryk stiger, øges strømforsyningen til pumpemotoren for at modvirke gasfriktionsbelastningen. Pumpens rotationshastighed vil forblive konstant, indtil spidseffektniveauet er nået. Ud over dette niveau vil pumpehastigheden begynde at falde.

Hvis pumpehastigheden falder til under 50 % af fuld rotationshastighed, vil timeren starte, hvis den er aktiveret. Hvis hastigheden ikke retter sig til over 50 % af hastigheden, før timeoutperioden udløber, vil pumpen lukke ned og vise et fejlsignal. Hvis timeren er deaktiveret, vil pumpen straks lukke ned og vise et fejlsignal, hvis hastigheden falder til under 50 % af fuld rotationshastighed. Se Afsnit 2.7 for den maksimale effekt, der leveres til pumpen, og se Tabel 6 for det maksimalt tilladte indsugningstryk.

4.9.2 Drift ved høje temperaturer

Temperaturfølere i pumpemekanismen og elektronikken overvåges af et internt system. Hvis systemet registrerer for høje interne temperaturer, vil strømforsyningen til pumpemotoren blive reduceret. Pumpen vil derfor muligvis ikke være i stand til at opretholde fuld rotationshastighed, hvis det er for varmt.

Hvis pumpehastigheden falder til under 50 % af fuld rotationshastighed, vil timeren starte, hvis den er aktiveret. Hvis hastigheden ikke retter sig til over 50 % af hastigheden, før timeoutperioden udløber, vil pumpen lukke ned og vise et fejlsignal. Hvis timeren er deaktiveret, vil pumpen straks lukke ned og vise et fejlsignal, hvis hastigheden falder til under 50 % af fuld rotationshastighed. Se Afsnit 2.11 for pumpens driftsområder, og se Afsnit 3.10 for vejledning om pumpekøling.

4.9.3 Beskyttelse mod overhastighed

Kontrolsoftware i styreenheden regulerer pumpens rotationshastighed og forhindrer pumpen i at operere over dens normale fulde rotationshastighed. I det usandsynlige tilfælde af en fejl i denne kontrolsoftware har styreenheden et indbygget sikkerhedskredsløb, der kontrollerer, om pumpen kører ved overhastighed. Hvis der registreres en tilstand med overhastighed, lukker styreenheden automatisk ned for forsyningen til pumpemotoren og bringer den til stilstand. Styreenheden vil signalere en fejltilstand, hvis overhastighed er blevet registreret.

Hvis pumpen ser ud til at køre ved overhastighed, skal den slukkes, og Edwards eller leverandøren kontaktes.

4.9.4 Fejl i elektrisk forsyning

ADVARSEL

Hvis strømforsyningen svigter, når pumpen kører, kan skovlhjulet fortsætte med at rotere i ca. 30 minutter. Styrekredsløbet giver ikke altid en indikation af, at skovlhjulet stadig kører.

B800-00-887 Issue D


Drift

Hvis den elektriske forsyning til nEXT-pumpen svigter, når pumpen roterer, bruges pumpemotoren som generator. Den regenererede strøm bruges til at opretholde udgangssignalerne på den logiske grænseflade (såsom det normale signal og seriel kommunikation), så de tre LED-indikatorer på styreenheden forsynes med strøm, og til at opretholde strøm ved styreenhedsudgangen (for at styre udluftningsventilen, hvis den er monteret).

Efterhånden som pumpens rotationshastighed falder, falder motorens evne til at generere strøm også, indtil den ikke længere er i stand til at opretholde strømforsyning til den logiske grænseflade eller LED'erne. Dette opstår ved hastigheder under 50 % af fuld rotationshastighed. I dette tilfælde vil der ikke være nogen indikation af pumpens rotationshastighed. Ikke desto mindre er det muligt, at skovlhjulet stadig drejer rundt.

Når strømmen er genetableret efter et strømsvigt, vil pumpens adfærd afhænge af styringstilstanden på det tidspunkt, hvor svigtet indtraf (parallel eller seriel), samt længden af den tidsperiode, hvor pumpen manglede strøm. Tabel 24 viser nogle forskellige scenarier.

4.10 Udbagning

FORSIGTIGPumper med ISO-flanger er ikke egnede til udbagning. Der må kun bruges pumper med CF-flanger. Ved bagning af pumpen til mere end 70 °C ved indsugningsflangen skal pumpen vandkøles for at forhindre skade på lejesmøremidlet.

Hvis pumpen (og vakuumsystemet) opvarmes, vil afgasningsprocessen fremskyndes, og pumpen vil nå det ultimative vakuum inden for den kortest mulige tid. Opvarmning af pumpen vil også forhindre kondensering af dampe inde i pumpen.

Edwards BX-udbagningsbåndet kan bruges til at opvarme pumpen (se Afsnit 7.4). Monter det relevante bånd rundt om pumpen lige under CF-indsugningsflangen. Når pumpen eller systemet udbages, skal der sørges for, at indsugningsflangens temperatur ikke overstiger de værdier, der er angivet i Tabel 2.

Hvis temperaturen i systemet overstiger 200 °C, når vakuumsystemet udbages, skal der anbringes en strålingsskærm mellem systemet og pumpen. Denne strålingsskærm vil reducere den varme, der udstråles på pumperotoren.

En udbagning på fire timer er typisk lang nok til at fjerne vandkondensering fra pumpen. Udbagningstiden vil dog afhænge af mængden af kondensering i pumpen og vakuumsystemet samt det ultimative ønskede tryk.

ADVARSEL

Hvis styresignalet til parallel start på det logiske grænsefladestik er indstillet til start, kan pumpen genstarte automatisk, når den elektriske forsyning er genoprettet efter et svigt i den elektriske forsyning. Sørg for, at personer ikke beskadiges af pumpens roterende blade.

ADVARSEL

Rør ikke udbagningsbåndet eller de omgivende overflader under udbagningsprocessen, da disse vil være varme.

Tabel 24 – Pumpens adfærd, når strømmen er genetableret efter et svigt i den elektriske forsyning

Strømsvigtets varighed Styringstilstand Pumpens adfærd

Strømmen genetableres, før pumpens rotationshastighed falder til under 50 %

Enten parallel eller seriel styringstilstand

Regenerativ strøm opretholder alle udgangssignaler under strømsvigtet. Pumpen vil rampe op til dens forudbestemte hastighed så hurtigt som muligt, efter at strømmen er genetableret.



Strømmen er genetableret, efter at pumpens rotationshastighed er faldet til 50 %, men før den regenerative strøm ophører

Enten parallel eller seriel styringstilstand, timer deaktiveret

Regenerativ strøm opretholder alle udgangssignaler under strømsvigtet. Da timeren er deaktiveret, vil styreenheden gå i fejltilstand, så snart hastigheden falder til under 50 %, og den vil vise en blinkende fejlkode 0. Når strømmen er genetableret, vil pumpen ikke rampe op, før fejlen er fjernet. For at fjerne fejlen sendes en stopkommando (enten parallel eller seriel afhængigt af styringstilstanden), og derefter sendes en startkommando for at rampe pumpen op til dens angivne hastighed.

Enten parallel eller seriel styringstilstand, timer aktiveret

Regenerativ strøm opretholder alle udgangssignaler under strømsvigtet. Hvis strømmen er genetableret, før timerperioden udløber, vil pumpen rampe op til dens angivne hastighed så hurtigt som muligt. Hvis timerperioden udløber, vil styreenheden gå i fejltilstand, og den vil vise en blinkende fejlkode 3. Når strømmen er genetableret, vil pumpen som ovenfor ikke rampe op, før fejlen er fjernet. For at fjerne fejlen sendes en stopkommando (enten parallel eller seriel afhængigt af styringstilstanden), og derefter sendes en startkommando for at rampe pumpen op til dens angivne hastighed.

Strømmen genetableres, efter at pumpens rotationshastighed er faldet til 50 %, og den regenerative strøm ophører

Enten parallel eller seriel styringstilstand

Regenerativ strøm ophører og kan ikke opretholde udgangssignalerne. Når strømmen er genetableret, vil pumpen med parallel styring automatisk genstarte, hvis startstyringen på den logiske grænseflade er indstillet til start. Pumpen med seriel styring kræver en ny startkommando for at rampe pumpen op til dens angivne hastighed. Alle fejlsignaler, der blev udløst under den regenerative strømperiode, mistes, når strømmen genetableres.

Tabel 24 – Pumpens adfærd, når strømmen er genetableret efter et svigt i den elektriske forsyning (fortsat)

Strømsvigtets varighed Styringstilstand Pumpens adfærd

B800-00-887 Issue D




VedligeholdelseB800-00-887 Issue D

5 Vedligeholdelse

5.1 Indledning

Instruktioner for vedligeholdelse af lejer og overfladerengøring af nEXT turbomolekylær vakuumpumpe er beskrevet i de følgende afsnit. Indsugningsskærmene, indsugningsfilteret og indsugningsflangeforseglingerne kan fås som reservedele (se Afsnit 7.3).

5.2 Vedligeholdelse af lejer og oliepatron

Oliepatronen og det oliesmurte leje skal udskiftes, når disse dele er nedslidte. Typisk har oliepatronen mere end 17.500 timers levetid, og lejet har 35.000 timer.

Når oliepatronen og/eller lejet skal udskiftes, anbefaler Edwards enten at:

Sende pumpen til et Edwards Servicecenter for at få udskiftet et leje og/eller oliepatronen

Købe et servicesæt til oliepatronen eller lejet og udskifte lejet og/eller oliepatronen på stedet (se Afsnit 7.2)

5.3 Rotorens levetid

Træthedslevetiden for nEXT Turbomolekylære pumperotorer er typisk 40.000 til 50.000 driftscyklusser. For en sikkerheds skyld anbefaler Edwards, at pumper returneres til omfattende service (udskiftning af rotor) efter 20.000 driftscyklusser med acceleration til fuld hastighed og tilbage igen til standsning, eller efter 10 års brug, alt efter hvad indtræffer først.

ADVARSEL

Når pumpen fjernes, skal det sikres, at personlige værnemidler anvendes for at beskytte mod skade fra ødelagte komponenter og mulig akkumulering af farligt materiale, der kan have været pumpet. Kontrollér, at pumpen ventileres til atmosfæren og ved en sikker temperatur. Vær opmærksom på muligt materialespild, skarpe kanter og affaldsrester. Hvis pumpens indsugningsskærm fjernes, vil det altid medføre risiko for skade fra skarpe kanter.

ADVARSEL

Lad pumperotoren standse, og afbryd derefter det logiske grænsefladekabel fra strømforsyningen, og isolér alle andre strømkilder, før pumpen fjernes fra vakuumsystemet med henblik på vedligeholdelse eller fejlfindingsprocedurer.

B800-00-887 Issue D


Vedligeholdelse

5.4 Rengør pumpens eksterne overflader

FORSIGTIGForsøg ikke at rengøre andre dele af pumpen end de eksterne overflader. Adskil ikke pumpen, og fjern ikke styreenheden fra pumpen. Brug af opløsningsmidler kan beskadige de interne pumpekomponenter.

Hvis nEXT-pumpen er forurenet indvendigt, kan det måske ikke lade sig gøre at opnå det specificerede ultimative vakuum, eller nedpumpningstiden kan øges. Pumpen bør returneres til et Edwards Servicecenter, hvor pumpen vil blive adskilt og rengjort.

Alle organiske opløsningsmidler kan bruges til at rengøre pumpens eksterne overflader. Edwards anbefaler brug af opløsningsmidler uden CFC, såsom isopropanol eller ethanol. Brug et rengøringsmiddel, der er egnet til de forurenende stoffer på pumpens overflader.

Af miljømæssige hensyn skal spild af rengøringsmidler og opløsningsmidler holdes på et minimum.

5.5 Fejlfinding

FORSIGTIGFjern ikke styreenheden fra pumpen, da styreenheden kan være beskadiget.

Se Tabel 25 for mulige årsager til fejl og anbefalede handlinger for at rette fejlene.

ADVARSEL

Rengør pumpens eksterne overflader på et godt ventileret sted. Når der bruges rengøringsblandinger og opløsningsmidler til at rengøre pumpen, skal alle sikkerhedsforanstaltninger, som er angivet af producenten, overholdes. Undgå indånding af småpartikler, der kan være til stede i pumpen.

Tabel 25 – Fejlfinding

Symptom Kontrollér Handling

Styreenhedens LED'er blinker ikke i 0,5 sek., når der tændes for systemet

Er der et svigt i den elektriske forsyning?

Sørg for, at den elektriske forsyning er slået til, og at sikringerne (og strømreguleringsenheder) ikke er udkoblede.

Roterer pumpeskovlhjulet? Det er muligt, at LED'erne ikke blinker, hvis pumpen roterer

Pumpen roterer ikke, efter at der er blevet sendt en parallel startkommando

Kontrollér, at den elektriske forsyning er slået til, og om fejludgangen er aktiv

Hvis der er et fejlsignal, skal det kontrolleres, om den røde alarm-LED blinker. Hvis det er tilfældet, se Afsnit 5.5.1. Hvis der er strøm, men der er ikke noget fejlsignal, og rotoren stadig ikke roterer, så er der en fejl i pumpen.

Pumpen roterer ikke, efter at der er blevet sendt en seriel startkommando

Kontrollér, om pumpen returnerer et svar på startkommandoen

Hvis der ikke er et svar, skal de kontroller, der er anført under 'ingen seriel komm', udføres. Ellers udføres de kontroller, der findes under 'pumpen roterer ikke, efter at der er blevet sendt en parallel startkommando'



Pumpen reagerer ikke i multipunktstilstand

Kontrollér, at multipunktet er aktiveret

Sørg for, at pumpen har en multipunktsadresse, og at kommandoer sendes ved hjælp af multipunktsprotokollen.

Den grønne Normal LED lyser ikke, eller pumpen roterer ikke ved fuld hastighed, eller pumpen svigter under kørsel

Er indsugningstrykket for højt? Hvis det er tilfældet, reduceres pumpebelastningen, eller kontrollér, om der er en kraftig utæthed i systemet.

Bliver pumpen for varm? Øg kølingen af pumpen. Skift fra luftkøling til vandkøling (se Afsnit 2 for maksimalt indsugningstryk og krav til køling). Øg kølevandsflowet, eller reducer vandtemperaturen, eller begge dele. Kontrollér, at de eksterne varmekilder (såsom udbagningsopvarmere i systemet) ikke er alt for høje.

Roterer rotoren frit? Hvis ikke, kan pumpelejerne være beskadigede. Kontakt leverandøren eller Edwards.

Ultimativt tryk kan ikke nås Er trykket begrænset af vanddamp? Udbag systemet og pumpen.

Er nogle af vakuummålerne forurenede?

Hvis de er det, skal de rengøres eller udskiftes.

Hvis pumpehastigheden er utilstrækkelig (på grund af ringe ledningsevne mellem pumpen og måleren eller et for stort kammer)?

Øg ledningsevnen, eller reducer volumen.

Er mellemtrinsindsugningstrykket >0,5 mbar (50 Pa)

Hvis mellemtrinsindsugningstrykket er for højt, øges indsugningstrykket ved den turbomolekylære indsugning. Sørg for, at mellemtrinsindsugningstrykket er <0,5 mbar (50 Pa).

Er modtrykket >10 mbar (1x103 Pa) Hvis det er tilfældet, kan modtrykket være for højt. Kontrollér for utætheder i reserverørene. Hvis gennemløbet er højt, kan det være nødvendigt med en større reservepumpe.

Er højvakuumområdet i systemet forurenet?

Hvis det er tilfældet, rengøres højvakuumsystemet.

Kontrollér resten af systemet for utætheder og forurening.

Hvis der findes utætheder og forurening, skal disse repareres, og forureningen fjernes.

Fjern pumpen fra systemet, og test pumpens ultimative tryk alene (se Afsnit 2)

Hvis indsugningstrykket er ringe, skal pumpen tjekkes for forurening. Se Afsnit 5. Test pumpen for utætheder. Hvis utæthedsraten er > 1x10-7 mbar l sek.-1 (1x10-5 Pa l sek.-1) kontaktes leverandøren eller Edwards.

Tabel 25 – Fejlfinding (fortsat)


B800-00-887 Issue D


Vedligeholdelse

Pumpen larmer meget, eller der er for høj vibration, eller begge dele.

Er pumpens rotationshastighed den samme som resonansfrekvensen for det tilsluttede system.

Hvis det er tilfældet, ændres systemets naturlige frekvens, eller pumpen isoleres ved hjælp af fleksible bælge.

Overføres vibrationen fra rotationsreservepumpen?

Hvis det er tilfældet, skal der monteres fleksible bælge eller en vibrationsisolator på reservelinjen.

Er støjen uregelmæssig og bliver den gradvist værre?

Hvis det er tilfældet, er et leje defekt. Kontakt leverandøren eller Edwards.

Udsender pumpen en konstant høj og skinger lyd?

Hvis det er tilfældet, er rotoren ude af balance. Kontakt leverandøren eller Edwards.

Ingen seriel komm Kontrollér, at den elektriske forsyning er slået til, at det serielle link er tilsluttet, og at linjen til seriel aktivering er aktiv

Kontrollér, at skydekontakten er i den korrekte position for RS232- eller RS485-kommunikation.

Til venstre for RS485Til højre for RS232Til højre for parallel styring og overvågning

Kontrollér baudraten, og at nodeadressen stemmer overens med pumpens, hvis der opereres i multipunktstilstand.

Kontrollér, at det røde lys ikke er tændt eller blinker

Hvis LED'en er tændt, udføres kontrollerne i forhold til den røde alarm-LED's symptomer

Fejlsignal eller standbysignal virker ikke

Kontrollér, at linjen til seriel aktivering er inaktiv

Skal være afbrudt eller kørt højt for brug af standby- og fejllinjer

Kontrollér, at skydekontakten er i den korrekte position for RS232- eller RS485-kommunikation.

Til venstre for RS485Til højre for RS232Til højre for parallel styring og overvågning

Gul service-LED blinker i en gentagelsessekvens

Se blinkende servicekoder i Afsnit 5.5.1

Den røde alarm-LED er tændt Normal under softwareopgraderingsprocessen.På andre tidspunkter indikerer det, at der er registreret et problem i FLASH-hukommelsen

Hvis dette sker under softwareopgraderingen, skal opgraderingsprocessen fuldføres. Ellers skal strømmen slås til og fra, og hvis dette ikke hjælper, udføres der en softwareopgradering.

Den røde alarm-LED blinker Notér de lange blinks position i serien af seks blink for at bestemme fejlkoden.

Slå fejlkoden for blink op i Afsnit 5.5.8, og følg vejledningen.

Andre typer problemer Kontakt leverandøren eller Edwards Kontakt leverandøren eller Edwards.

Tabel 25 – Fejlfinding (fortsat)




5.5.1 Blinkende servicekoder

Når der er behov for service, vil standardblinket med én gang pr. omdrejning på den gule status-LED blive erstattet af en serviceblinkkode. Serviceblinkkoderne er specificeret i Tabel 26.

5.5.2 Afkodning af servicestatusord

Servicestatussen kan tilgås direkte via det serielle link. Denne metode til at tilgå servicestatus giver det mest komplette billede af aktuelle og fremtidige behov for service og giver mulighed for, at forebyggende vedligeholdelsesaktiviteter kan planlægges.

En oversigt over den aktuelle, forestående servicestatus gives som svar på servicestatuskommandoen:


Servicestatusordet består af 8 hexadecimale cifre. For at afkode dette ord skal hvert ciffer konverteres til et 4-cifret binært tal som beskrevet i Afsnit 5.5.9.

Hvert binært ciffer (bit) repræsenterer et flag, der enten er aktivt (tilstand 1) eller inaktivt (tilstand 0). Som hjælp til afkodning af servicestatusordet er hver bit nummereret (startende med 0 for den mindst betydningsfulde til 31 for den mest betydningsfulde) som vist i Afsnit 5.5.3. Betydningen af hver bit i servicestatusordet er angivet i Tabel 27.

Tabel 26 – Blinkende servicekoder

Serviceblinkkode Bemærkninger Handlinger

LED tændt 1 sek.LED slukket 1 sek.

Service af oliepatron anbefales Det anbefales, at oliepatronen udskiftes. Se Afsnit 7.2.


Service af leje og oliepatron anbefales

Det anbefales, at lejet og oliepatronen udskiftes. Se Afsnit 7.2.


Service af pumpe nødvendig Turboskovlhjulet eller styreenheden er udtjente. Det anbefales, at pumpen returneres til et Edwards Servicecenter for service. Se Afsnit 7.2.


Svar = V 8 8 1 sp h h h h h h h h cr

Tabel 27 – Serviceflag

Bitnummer Statusflag Aktivt flag betyder

0 Tid til service af oliepatron Indstillet, når timer indtil tid til service af oliepatron = 0

1 Tid til service af lejer Indstillet, når timer indtil tid til service af leje = 0

2 Tid til service af pumpe Indstillet, når timer indtil tid til service af pumpe = 0 eller cyklusser, indtil det er tid til service af pumpe = 0

3 Tid til service af styreenhed Indstillet, når timer indtil tid til service af styreenhed = 0

4 Reserveret -

5 Reserveret -

6 Reserveret -

B800-00-887 Issue D


Vedligeholdelse 5.5.3 Køretid for styreenhed

Kørte timer og anbefalet servicetid for styreenheden på nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger, hvor det første tal er kørte timer for styreenheden, og det andet tal er antallet af timer, indtil service anbefales:

Bemærk, at antallet af timer, indtil det er tid til næste service, estimeres af styreenheden på baggrund af pumpens driftsforhold og kan derfor reduceres til mere eller mindre end 1 time pr. time. Den afgørende faktor med hensyn til forlængelse af styreenhedens levetid er at reducere pumpetemperaturen.

5.5.4 Køretid for pumpe

Kørte timer og anbefalet servicetid for skovlhjulet på nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger, hvor det første tal er kørte timer for skovlhjulet, og det andet tal er antallet af timer, indtil service anbefales:

5.5.5 Pumpecyklusser

Antallet af start-stop-cyklusser, der er gennemført, og det antal, der resterer, indtil det er tid til næste service, kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger, hvor det første tal er start-stop-cyklusser gennemført af pumpen, og det andet tal er antallet af start-stop-cyklusser, indtil service anbefales:

7 Tid til service Det er tid til service. Den specifikke, påkrævede aktivitet skal bestemmes ved at tjekke bittene ovenfor

8-31 Reserveret -


Svar = V 8 8 2 sp d d d d d d ; d d d d d d cr





Tabel 27 – Serviceflag (fortsat)

Bitnummer Statusflag Aktivt flag betyder



5.5.6 Køretid for lejer

Kørte timer og anbefalet servicetid for lejet på nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger, hvor det første tal er kørte timer for lejet, og det andet tal er antallet af timer, indtil service anbefales:

5.5.7 Køretid for oliepatron

Kørte timer og anbefalet servicetid for oliepatronen på nEXT-pumpen kan overvåges ved at sende følgende forespørgsel:

Svaret vil være som følger, hvor det første tal er kørte timer for oliepatronen, og det andet tal er antallet af timer, indtil service anbefales:

5.5.8 Fejlkoder for blink

Når en fejltilstand bliver aktiv, lyser den røde alarm kontinuerligt og viser en blinkesekvens. Hvis fejllyset er tændt kontinuerligt, indikerer dette et problem med den indlejrede software. Prøv at slå strømmen til og fra i dette tilfælde. Hvis det ikke fjerner fejlen at slå strømmen til og fra, vil download af software være nødvendigt. Kontakt leverandøren eller Edwards. Hvis alarm-LED'en blinker, skal fejlkoden for blink identificeres og Tabel 28 konsulteres.

Der er en tilstrækkelig periode, hvor LED'en er slukket, mellem hver efterfølgende gentagelse af en cyklus for tydeligt at markere starten på en ny blinkesekvens. Varigheden af et langt blink (L) svarer til tre gange varigheden af et kort blink (0,5 sek.).





Tabel 28 – Fejlkoder for blink

Fejlblinkets position

Kode for fejlblink Bemærkninger Handlinger

0 ssssss Hastigheden faldt til under 50 % af fuld rotationshastighed med timeren deaktiveret.

Kontrollér, om pumpen er for varm, eller om indsugningstrykket er for højt.

1 Lsssss Ubalance i styreenhedens interne software.

Slå strømmen til og fra til pumpen, og se, om fejlkoden vises igen. Hvis det er tilfældet, kontaktes leverandøren eller Edwards.

2 sLssss Styreenhedens interne konfiguration og kalibrering svigtede.


3 ssLsss Det lykkedes ikke at nå eller opretholde halvdelen af fuld hastighed inden for den timerindstillingsværdien.

Kontrollér, om pumpen er for varm, eller om indsugningstrykket er for højt.

B800-00-887 Issue D


Vedligeholdelse

Bemærk: Alarm-LED'ens fejlsekvens for blink er i stand til at signalere flere fejltilstande. For eksempel betyder fejlkoden for blink sLssLs både fejl 2 (styreenhedens interne konfiguration og kalibrering svigtede) og fejl 5 (pumpens interne målesystem er afbrudt eller beskadiget).

5.5.9 Afkodning af systemstatusord

Hvis der benyttes et serielt kommunikationslink, kan man tilgå yderligere information, der kan være brugbar til fejlfinding. Når der sendes en forespørgsel til overvågning af målt motorhastighed, returnerer pumpen også et systemstatusord.

Sendekommandoen er som følger:

Svaret vil være som følger, hvor det første returnerede tal angiver motorens rotationshastighed i omdrejninger pr. sek. (Hz):

Det returnerede systemstatusord består af 8 hexadecimale cifre. For at afkode dette ord skal hvert ciffer konverteres til et 4-cifret binært tal. (Tabel 29 gives som hjælp dertil.) Følg eksemplet nedenfor:

4 sssLss Overhastighed eller overstrømsudkobling er aktiveret, eller anden hardwarefejl.


5 ssssLs Pumpens interne målesystem er afbrudt eller beskadiget.


6 sssssL Seriel aktivering bliver inaktiv efter en seriel startkommando.

Genaktiver seriel aktivering, og send en seriel stopkommando for at fjerne fejlkoden.


Svar = V 8 5 2 sp d d d d ; h h h h h h h h cr

2 2 8 3 0 0 2 2

0 0 1 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0

Tabel 29 – Hexadecimal konverteringstabel

Hexadecimal Binær Decimal

0 0000 0

1 0001 1

2 0010 2

3 0011 3

4 0100 4

5 0101 5

6 0110 6

7 0111 7

8 1000 8

Tabel 28 – Fejlkoder for blink (fortsat)

Fejlblinkets position

Kode for fejlblink Bemærkninger Handlinger



Hvert binært ciffer (bit) repræsenterer et flag, der enten er aktivt (tilstand 1) eller inaktivt (tilstand 0). Som hjælp til afkodning af systemstatusordet er hver bit nummereret (startende med 0 for den mindst betydningsfulde til 31 for den mest betydningsfulde) som vist nedenfor.

Tabel 30 indeholder en liste over de nederste 16 statusflag, der vil være brugbare til fejlfinding. De øverste 16 statusflag er reserveret til Edwards.

Binære cifre

Bitnumre

9 1001 9

A 1010 10

B 1011 11

C 1100 12

D 1101 13

E 1110 14

F 1111 15

0 0 1 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0

31

30

29

28

27

26

25

24

23

22

21

20

19

18

17

16

15

14

13

12

11

10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 0

Tabel 30 – Statusflag

Bitnummer Statusflag Aktive flag betyder

0 Fejl Fejlstatustilstand aktiv

1 Stoppet hastighed Under stoppet hastighed

2 Normal hastighed Over normal hastighed

3 Udluftningsventil lukket Udluftningsventil strømforsynet

4 Start Startkommando aktiv

5 Seriel aktivering Seriel aktivering aktiv

6 Standby Standby aktiv

7 Halvdelen af fuld hastighed Over 50 % af fuld rotationshastighed

8 Parallel styringstilstand Eksklusive valg af styringstilstand

9 Seriel styringstilstand Eksklusive valg af styringstilstand

10 Ugyldig styreenhedssoftware Ubalance i styreenhedens interne software

11 Upload til styreenhed ufuldstændig Styreenhedens interne konfiguration og kalibrering svigtede

12 Timer udløbet Det lykkedes ikke at nå eller opretholde halvdelen af fuld hastighed inden for den timerindstillingsværdien

13 Hardwareudkobling Overhastighed eller overstrømsudkobling er aktiveret

14 Termistorfejl Pumpens interne temperaturmålesystem er afbrudt eller beskadiget

15 Seriel styretilstand interlock Seriel aktivering er blevet inaktiv efter en seriel startkommando.

Tabel 29 – Hexadecimal konverteringstabel (fortsat)

Hexadecimal Binær Decimal

B800-00-887 Issue D


Vedligeholdelse

Systemstatusordet, der er brugt i eksemplet ovenfor, blev indhentet med pumpen i stilstand. Ved at afkode ordet kan vi lære mere om pumpens tilstand. Se Tabel 31.

5.5.10 Brugbare serviceoplysninger

Hvis der benyttes et serielt kommunikationslink, kan man tilgå yderligere information om pumpen, som for eksempel pumpetype og versioner af den interne styreenhedssoftware. Disse oplysninger er især vigtige for servicepersonale, når pumpemodellen skal bestemmes.

Send følgende forespørgsel for at finde ud af pumpetypen:

Svaret vil være som følger, hvor streng 1 er pumpetypen, streng 2 er DSP-softwareversionsnummeret, og streng 3 er den angivne fulde pumpehastighed (i omdrejninger pr. sek.):

Send følgende forespørgsel for at finde ud af softwareversionen for bootloaderen:

Svaret vil være som følger, hvor streng 1 er softwareversionsnummeret for bootloaderen:

Tabel 31 – Eksempel på afkodning af systemstatusord

Bitnummer Bitstatus (i eksempel) Vi kan konkludere

0 0 Pumpen har ikke svigtet

1 1 Pumpen er i stilstand

2 0 Hastighed er under normal hastighed

3 0 Udluftningsventilen er åben

4 0 Der er ikke nogen aktiv startkommando

5 1 Seriel aktivering er aktiv

6 0 Standby er ikke aktiv

7 0 Hastighed er under 50 % af fuld rotationshastighed

8 0 Pumpen er ikke i parallel styringstilstand

9 0 Pumpen er ikke i seriel styringstilstand

10 0 Der er ingen ubalance i styreenhedens interne software

11 0 Styreenhedens interne konfiguration og kalibrering var succesfuld

12 0 Timeren er ikke udløbet

13 0 Overhastighed og overstrømsudkobling er ikke aktiveret

14 0 Pumpens interne temperaturmålesystem er fint

15 0 Seriel aktivering er ikke blevet inaktiv under seriel styring


Svar = S 8 5 1 sp Streng 1 ; Streng 2 ; Streng 3 cr


Svar = S 8 6 8 sp Streng 1 cr


Opbevaring og bortskaffelse

B800-00-887 Issue D

6 Opbevaring og bortskaffelse

FORSIGTIGBrug af reservedele, der ikke kommer fra Edwards, kan resultere i reduceret pålidelighed og ydeevne og vil ugyldiggøre garantien.

6.1 Opbevaring

Følg denne procedure for opbevaring af pumpen.

1. Anbring beskyttende dæksler over indsugnings-, udsugnings-, mellemtrins- (kun for 'i' nEXT), rensnings-, booster- (kun for 'T' nEXT) og udluftningsportene.

2. Placer pumpen i pakkeemballagen. For den hurtigste nedpumpning, når pumpen sættes i drift igen, skal pumpen forsegles i en plastiksæk sammen med et passende tørremiddel.

3. Opbevar pumpen under kølige og tørre forhold, indtil den skal tages i brug. Se Tabel 14 for anbefalet opbevaringsmiljø. Når den skal bruges igen, skal pumpen klargøres og installeres som beskrevet i Afsnit 3.

4. Hold til enhver tid pumpen i opretstående position for at undgå udslip af olie fra lejets beholder.

5. Undgå langtidsopbevaring, hvis det er muligt. Når langtidsopbevaring er nødvendig, bør pumpen sættes i drift i mindst otte timer hvert halve år.

6.2 Bortskaffelse

Bortskaf nEXT-pumpen og alle komponenter og tilbehør sikkert i overensstemmelse med alle lokale og nationale sikkerheds- og miljøkrav.

Vær særlig omhyggelig med alle de komponenter, der kan være blevet forurenet med farlige processtoffer.

Træf de nødvendige foranstaltninger for at undgå indånding af småpartikler, der kan være til stede i pumpen.

Antænd ikke pumpen. Pumpen indeholder phenol- og fluorsilikonematerialer, der kan nedbrydes til meget farlige stoffer, når de opvarmes til høje temperaturer.

ADVARSEL

I det usandsynlige tilfælde at pumperotoren svigter, skal der anvendes personlige værnemidler, når pumpen håndteres og bortskaffes, og sørg for, at alle pumpeindsugninger og -udsugninger er dækket til før bortskaffelse.

B800-00-887 Issue D




Service, reservedele og tilbehørB800-00-887 Issue D

7 Service, reservedele og tilbehør7.1 Indledning

Edwards-produkter, reservedele og tilbehør kan fås fra Edwards' selskaber i Belgien, Brasilien, Kina, Frankrig, Tyskland, Israel, Italien, Japan, Korea, Singapore, Storbritannien, USA og fra et verdensomspændende netværk af distributører.

Bestil reservedele og tilbehør fra det nærmeste Edwards-selskab eller distributør. Oplys venligst følgende for hver ønsket del ved bestilling:

Model- og delnummer på dit udstyr

Serienummer (hvis det findes)

Delnummer og beskrivelse af delen

7.2 Service

Edwards-produkter understøttes af et verdensomspændende netværk af Edwards Servicecentre. Hvert Servicecenter tilbyder en lang række services, herunder: dekontaminering af udstyr, serviceudskiftning, reparation, genopbygning og test til fabriksspecifikationerne. Udstyr, der har været til service, er blevet repareret eller genopbygget, returneres med fuld garanti.

Edwards' lokale servicecentre kan også stille ingeniører til rådighed, der hjælper med vedligeholdelse på stedet, service eller reparation af dit udstyr.

For flere oplysninger om services kontaktes det nærmeste Edwards Servicecenter eller et andet Edwards-selskab.

7.2.1 Returnering af en pumpe til service

Hvis en pumpe returneres til et Servicecenter, skal returneringsproceduren, der findes i slutningen af denne manual, følges. Instruktionen i returneringsproceduren om at dræne alle væsker gælder ikke smøremidlet i pumpens oliebeholdere. Pumpen må ikke returneres med tilbehør monteret. Fjern alt tilbehør, og behold dem til senere brug.

Sørg for, at en udfyldt HS2-formular returneres sammen med pumpen.

Hvis pumpen er konfigureret til applikationen, noteres konfigurationen, før pumpen returneres. Alle erstatningspumper vil blive leveret med fabriksindstillinger. TIC/nEXT PC-overvågningsprogrammet (fås som tilbehør) gør det muligt automatisk at downloade og gemme konfigurationen.

7.2.2 Vedligeholdelse af leje og oliepatron på stedet

Oliepatronen og lejet i nEXT-pumpen kan serviceres på stedet af enhver serviceingeniør, der er uddannet af Edwards.

Følgende serviceværktøjssæt og servicedele er tilgængelige.

Tabel 32 – Serviceværktøjssæt

Serviceværktøjssæt Delnummer

Værktøjssæt til oliepatron B800-00-812

Værktøjssæt til leje B800-00-805

B800-00-887 Issue D


Service, reservedele og tilbehør

Bemærk: Værktøjssættene til både oliepatronen og lejet er nødvendige, når et pumpeleje skal udskiftes.

7.3 Reservedele

7.3.1 ISX-indsugningsskærm

En indsugningsskærm er monteret på CF-pumpen som leveret for at forhindre beskadigelse på grund af indtrængen af affaldsrester i pumpen. Delnumrene på udskiftningsindsugningsskærme findes nedenfor. Vælg en indsugningsskærm i overensstemmelse med størrelsen på pumpens indsugningsflange. Indsugningsskærmen på en pumpe kan ikke udskiftes med en NW-indsugningsflange.

7.3.2 Indsugningsfilter

Mellemtrinspumperne leveres med et indsugningsfilter til mellemtrinsporten. Delnummeret på et udskiftningsindsugningsfilter er angivet nedenfor.

7.3.3 Forseglinger til indsugningsflange og integrerede indsugningsskærme

nEXT-pumper leveres med en indsugningsforsegling. Delnumrene på udskiftningsforseglinger findes i Tabel 36.

Tabel 33 – Servicesæt

Servicesæt Delnummer

Oliepatron B800-00-811

Leje og oliepatron B800-00-810

Tabel 34 – Indsugningsskærme

Flangestørrelse Indsugningsskærm Delnummer

DN100CF Grov indsugningsskærm B800-00-821

DN100CF Fin indsugningsskærm B800-00-822

DN160CF Grov indsugningsskærm B800-00-823

DN160CF Fin indsugningsskærm B800-00-824

Tabel 35 – Indsugningsfiltre

Flangestørrelse Indsugningsskærm

DN25ISO-K B706-10-817

Tabel 36 – Forseglinger til indsugningsflange og integrerede indsugningsskærme

Flangestørrelse Forsegling til indsugningsflange Delnummer

DN100ISO-K ISO100 fastsiddende O-ring med integreret grov indsugningsskærm B810-00-808

DN100ISO-K ISO100 fastsiddende O-ring med integreret fin indsugningsskærm B810-00-809

DN160ISO-K ISO160 fastsiddende O-ring med integreret grov indsugningsskærm B800-00-825

DN160ISO-K ISO160 fastsiddende O-ring med integreret fin indsugningsskærm B800-00-826

DN100ISO-K ISO100 fastsiddende O-ring C105-23-001

DN160ISO-K ISO160 fastsiddende O-ring C105-24-001

DN100CF 100CF kobberkompressionspakning (pakke med 5 stk.) C082-00-003

DN160CF 160CF kobberkompressionspakning (pakke med 5 stk.) C083-00-003



7.3.4 NW16- og NW25-porte

nEXT-pumper leveres med NW25-udstødnings- og booster-porte. Delnumrene på udskiftningsporte findes nedenfor.

7.4 Tilbehør

7.4.1 Installation

Det tilbehør, der er tilgængeligt til brug med nEXT-pumpen, er beskrevet i det følgende afsnit. Figur 20 og 21 viser, hvordan tilbehøret monteres på pumpen.

7.4.2 ACX-luftkøler

En ACX-luftkøler kan monteres på nEXT-pumpen. Se Afsnit 3.10 for at kontrollere, om luftkøling er egnet til en bestemt applikation.

7.4.3 WCX-vandkøler

En vandkøler kan monteres på nEXT-pumpen. Se Afsnit 2.5 for at kontrollere vandkølingsforsyningens egnethed.

Tabel 37 – NW16- og NW25-porte

Port Delnummer

NW25 B800-00-809

NW16 B800-00-806

Tabel 38 – ACX-luftkøler

Luftkøler Strømtræk Delnummer

ACX nEXT-radialventilator 135 mA B580-53-175

ACX nEXT-aksialventilator 135 mA B580-53-185

ACX nEXT-radialventilator (med Phoenix-stik) 135 mA B580-53-170

ACX nEXT-aksialventilator (med Phoenix-stik) 135 mA B580-53-180

Tabel 39 – WCX-vandkøler

Vandkøler Delnummer

WCX nEXT-vandkølingssæt B800-00-815

B800-00-887 Issue D



7.4.4 BX-udbagningsbånd

Et BX-udbagningsbånd accelererer afgasningen af pumpen, så den kan opnå lavere tryk. Det kan også bruges til at beskytte pumpen mod kondensering af forurenende stoffer. Udbagningsbåndene fås i versionerne 110-120 V eller 220-240 V.

Bemærk: Udbagningsbåndet er kun til brug med CF-varianter

7.4.5 TAV-udluftningsventil og udluftningsportadapter

To elektromagnetstyrede udluftningsventiler kan fås til systemventilering. Ventilerne er 24 V DC, normalt åben, og kan drives af styreenheden. Den elektromagnetiske ventil monteres i stedet for den manuelle ventil, eller den kan alternativt monteres med en adapter (leveres med ventilen) og kan bruges til enhver egnet NW10-flangeport i vakuumsystemet.

TAV5 er egnet til mindre vakuumsystemer. TAV6 har en højere ledningsevne og er egnet til større vakuumsystemer (typisk med en volumen, der er større end 10 liter).

7.4.6 VRX-udluftningsdrosselventil

Brug en VRX-udluftningsdrosselventil med fast åbning for at begrænse flowet af udluftningsgas ind i pumpen. En VRX-udluftningsdrosselventil kan monteres på indsugningen til en TAV5- eller TAV6-udluftningsventil eller til en PRX10-rensedrosselventil. Se Tabel 20 for oplysninger om udvælgelsen af den korrekte VRX-udluftningsdrosselventil og Tabel 42 for delnumre på tilgængelige udluftningsdrosselventiler.

Tabel 40 – BX-udbagningsbånd

Udbagningsbånd Delnummer Til brug med

BX250 (110 V) B580-52-041 nEXT240

BX250 (240 V) B580-52-061 nEXT240

BX300 (110 V) B800-00-814 nEXT300

BX300 (240 V) B800-00-816 nEXT300

BX450 (110 V) B580-52-043 nEXT400

BX450 (240 V) B580-52-063 nEXT400

Tabel 41 – TAV-udluftningsventil og udluftningsportadapter

Produkt Diameter på åbning Delnummer

TAV5-udluftningsventil 0,5 mm B580-66-010

TAV6-udluftningsventil 1,0 mm B580-66-020

Tabel 42 – Udluftningsdrosselventiler

Udluftningsdrosselventil Diameter på åbning (mm) Delnummer

VRX10 0,1 B580-66-021

VRX20 0,2 B580-66-022

VRX30 0,3 B580-66-023

VRX50 0,5 B580-66-024

VRX70 0,7 B580-66-025



7.4.7 Udluftningsportadapter

Udluftningsportadapteren har et 1/8-tommers BSP gevindskåret hanstik, der kan skrues ind i både udluftningsporten og rensningsporten, hvilket gør den egnet til NW10-monteringer.

7.4.8 PRX-rensedrosselventil

PRX10 er en modificeret DN10NW-samlingsring, der filtrerer rensegassen og begrænser flowhastigheden til det anbefalede flow på 25 sccm. En udluftningsportadapter skal monteres på renseporten for at tilslutte rensedrosselventilen til pumpen.

7.4.9 Adaptersæt til C-bøjle

nEXT-pumpens NW25-udstødnings- og booster-port kan fjernes og udskiftes med en C-bøjleforbindelse.

Følgende værktøjssæt og dele er tilgængelige

7.4.10 Grænsefladekabel

Et grænsefladekabel forbinder nEXT-pumpen til en PC. Serielle kommandoer bruges dernæst til at styre og overvåge nEXT-pumpen.

7.4.11 TIC PC-program

TIC PC-programmet er en PC-baseret software, der kan bruges til at hente og indstille de brugerkonfigurerbare parametre i pumpen. Det muliggør også overvågning og datalogging af pumpesystemet.

Tabel 43 – Udluftningsportadapter

Udluftningsportadapter Delnummer

Udluftningsportadapter NW10 -1/8-tommers BSP hanstik B580-66-011

Tabel 44 – PRX-rensedrosselventil

Emne Delnummer

PRX10-rensedrosselventil B580-65-001

Tabel 45 – Adapterværktøjssæt til C-bøjle

Værktøjssæt Delnummer

Værktøj til fjernelse og indsættelse af port B800-00-807

Tabel 46 – Adapterportsæt til C-bøjle

Portsæt Delnummer

C-bøjle og NW25-flangeadapter B800-00-813

Tabel 47 - Grænsefladekabel

Emne Delnummer

nEXT-grænsefladekabel B800-00-808

B800-00-887 Issue D



Figur 20 – Eksploderet tegning over nEXT-tilbehør

1. BX 250-udbagningsbånd (DN100CF hylster vist)2. Placering til BX 250-udbagningsbånd3. Tilbehør til WCX-vandkøling



Figur 21 – Eksploderet tegning over nEXT-tilbehør

1. DN10NW-adapter2. VRX-udluftningsdrosselventil3. Manuel udluftningsventil (monteret) 4. Elektromagnetisk TAV-udluftningsventil5. Rensningsstik (monteret)

6. PRX-rensedrosselventil7. DN10NW-adapter8. ACX nEXT-luftkøler (radial)9. ACX nEXT-luftkøler (aksial)

B800-00-887 Issue D



Documents

Betjeningsvejledningdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/.../Instruction-manuals/B80… · Enheder brugt i denne manual er i overensstemmelse med de t internationale SI-system for måleenheder