用于工业应用的真空设备 - cdn065.yun-img.com · 第8页第9页 EDC 爪型干泵公称排量极限真空噪声等级允许的环境温度范围公称电机额定值

用于工业应用的真空设备

edwardsvacuum.com

您可靠的合作伙伴

工业真空泵系统

Edwards 是工业用真空泵设计、技术和制造领域的全球领导者，拥有超过 100 年的历史以及超过 75 年的制造经验。

我们提供广泛的干式和油封真空技术，可使制造过程更清洁、更智能、更经济、更环保。从镀膜到干燥、冶金到锂离子电池制造，我们都有满足您应用需求的解决方案。

本手册包含了常用的工业应用产品。通过我们的产品目录、网站或联系您当地的销售代表，可以获得更多的真空解决方案。

液环泵 5

油封真空泵 7EOSI 油封旋转螺旋泵 7

nES 单级旋片泵 9

STOKES MICROVAC 旋转活塞泵 10

EM 双级旋片泵 11

干式真空泵 8EDC 爪型干泵 8

DRYSTAR 80 泵 12

EDS 干式螺旋泵 13

GXS 干式螺杆泵 14

IDX 干式螺杆泵 15

化工行业的真空解决方案 16EDP 化工干泵 18

CXS 化工干泵 19

CDX1000 干泵 20

增压泵 22EH 增压泵 22

Stokes 6”机械增压泵 23

pXH 机械增压泵 24

HV 增压泵 25

GMB40K 增压泵 26

中低真空系统 27MAXX 干式真空系统 27

埃地沃兹钢液真空脱气模块 29

应用工程设计与系统化 30

目录

高真空解决方案 31蒸汽增压泵 31

nHT 高抽气量扩散泵 32

STP 磁悬浮涡轮分子泵 33

超高真空及真空测量 34RV、E2M、nXDS 和 nEXT 34

Gamma 离子泵 / TSP / NEG 35

真空测量 37

附件及维保 38

第5页第4页

用于关键工业应用的真空产品

干泵

单级

活塞

双级

叶片

干式

爪型

油封

螺丝

钢脱气 ●

真空感应熔炼 VIM ● ●

真空电弧精炼 VAR ● ●

电渣重熔 ESR ● ●

精密熔模铸造 PIC ● ●

金属注射成型 MIM ● ●

烧结 ● ●

低压渗碳 LPC ● ●

低压渗氮 LPN ● ●

等离子渗氮 PN ● ●

硝基渗碳 ● ●

淬火 ● ● ● ●

回火 ● ● ● ●

退火 ● ● ● ●

真空钎焊 VB ● ● ● ●

电子束焊接 EBW ● ● ●

等离子焊接 ● ●

玻璃涂层 ● ● ● ●

等离子喷涂 ● ● ● ●

表面活化 ● ● ●

硬碳 CVD DLC ● ● ●

等离子体沉积 ● ●

反光和装饰 ● ● ● ●

辊涂/卷涂 ● ● ●

光学与眼科 ● ● ●

展示涂层 ● ● ●

一般干燥 ● ● ● ● ● ●

包装 ● ●

锂离子电池干燥 ● ●

电容器干燥 ● ●

管道干燥 ● ● ●

聚合物干燥 ● ●

结晶 ● ●

变压器汽相干燥 ● ●

衬套填充 ● ●

变压器干燥 ● ● ●

冷冻干燥 ● ● ● ●

汽车干燥/灌装系统 ● ● ●

制冷/AC 干燥 ● ● ●

乳业 ●

肉类包装 ● ●

食物冷却 ● ●

碳蒸气浸渍 ● ●

气体回收/再循环 ● ●

太空模拟舱 ● ● ●

家用吸尘器（非医疗保健） ● ● ●

灭菌 ● ● ●

等离子体清洗/灭菌 ● ● ●

石油/树脂脱气 ● ● ●

食品加工（非包装） ● ● ●

塑料 - 挤出、热成型和层压 ● ● ●

泄漏检测 ● ● ● ●

低温夹层抽空 ● ● ● ●

真空隔热板 ● ● ● ●

真空隔热玻璃 ● ● ● ●

真空抓取 ● ●

取放 ●

气瓶灌装 ● ● ●

二级泵维持泵 ● ● ●

冶金

热处理

镀膜

干燥

一般

工业

食品

Liquid Ring Vacuum Pumps

LR1A Series

100

1000

10000

10 100 1000

m3/

h

mbara

HR Series Pump Performance

SHR23500

SHR22500

SHR21850

SHR21200

SHR2950

SHR2750

SHR2400

EHR2390

EHR2190

HR Series

1000

10000

100000

100 1000

m3/

h

mbara

LR1B Pump Performance

LR1B38000

LR1B30000

LR1B21000

LR1B14000

LR1B12000

LR1B10000

LR1B7000

LR1B6000

LR1B4500

LR1B3500

10

100

1000

10000

100000

10 10 10 000

m3/

h

mbara

LR1A Pump Performance

LR1A23000

LR1A16000

LR1A12000

LR1A8000

LR1A5500

LR1A4000

LR1A2500

LR1A1600

LR1A1300

LR1A1200

LR1A800

LR1S700

LR1A500

LR1A400

LR1A300

LR1A200

LR1B Series

液环泵

作为真空技术的领导者，Edwards 开发了一系列产品，以满足过程工业中苛刻的应用需求。 Edwards 液环泵系列包括单级和双级设备，可实现真空范围内工艺的最佳效率。单级可提供高达 40,000 m3/h 的泵容量，双级可提供 7,500 m3/h 的泵容量。

HR系列 HR 系列泵性能

LR1A 泵性能

LR1B 泵性能

LR1A 系列

LR1B 系列

液环泵

第7页第6页

LR1B 泵性能

设计服务订购系统

液环真空泵的性能取决于密封液的性质；密封液必须处于足够低的温度，以使泵能够在期望的吸入压力下运行。为了最大限度地减少所需的密封液量，通常需要将密封液再循环回液环泵中，使得部分密封液必须用新鲜冷水（部分再循环）替换，或者将其都通过换热器冷却（全部再循环）。 Edwards 液环真空泵以标准封装形式提供，具有三种基本配置，可在直流模式、部分再循环或全部再循环模式下运行。此外，泵还有多种泵材料可供选择。

复杂封装旨在满足客户需求或工艺许可证规范，通常需要项目特定的质量保证计划和大量的文档包。Edwards在为过程市场的设计、建造、装配和测试定制液环泵和混合真空系统方面拥有多年经验，为各种工艺应用提供设备，包括生产芳烃、LAB、苯乙烯、BPA、PTA、生物燃料、肥料、粘合剂等等，提供定制的决方案以满足客户要求

有关特定应用的更多信息，请联系您当地的埃地沃兹销售办事处。 Edwards 液环真空泵以标准封装形式提供，具有三种基本配置，可在直流模式、部分再循环或全部再循环模式下运行。此外，泵还有多种泵材料可供选择。

液环泵

直流操作

过程入口

过程放电

清水

溢流

过程入口

工艺水排放

供水

过程放电

充水

溢流

冷却水

用于可排放到排水管的工作液供应充分的地方。

部分再循环操作排出的密封液和气体流在排放分离器中分离，加入新鲜液体降低再循环混合物的温度，多余液体被排出。这将使密封液的使用量减少多达 50％。

完全再循环操作当密封液供应不足或排水管污染是一个问题时使用。为了实现完全再循环，重新使用之前必须冷却分离的液体。这通过在回流管线中配备板式热交换器来完成。

过程入口

提升效率

先进的螺旋技术，变速，创新的电机设计

提高生产力

一流的抽速，快速的腔室抽气能力

智能控制

闭环压力控制，有功功率管理

拥有成本低

自动抽气性能满足真空需求

环境影响小

在所有工作压力下均具有出色的保油性

产品特点

尺寸

EOSI 油封旋转螺旋泵

Edwards EOSi 系列是新一代静音、油封旋转螺旋真空泵。

凭借变速驱动器 (VSD) 技术和智能控制，EOSi 系列可提供满足各种需求的性能，并优化了能耗。

高效的专利油分离器设计延长了维修间隔并降低了维护成本。温度管理控制具有无与伦比的水处理能力，可为您提供应用所需的多功能性和灵活性。

油封真空泵

峰值抽速极限真空噪音等级范围轴功率允许的环境温度

m3/hr cfm mbar Torr dB(A) kW C F

EOS 350i 400 240 0.35 0.26 51-65 5.5 0-46 32-114.8

EOS 585i 560 330 0.35 0.26 51-65 7.5 0-46 32-114.8

EOS 730i 730 430 0.35 0.26 51.73 11 0-46 32-114.8

EOS 900i 900 530 0.35 0.26 51.76 15 0-46 32-114.8

EOS 1300i 1250 740 0.35 0.26 65-75 22 0-46 32-114.8

EOS 1600i 1590 940 0.35 0.26 65-79 30 0-46 32-114.8

EOS 1900i 1810 1070 0.35 0.26 65-80 37 0.46 32-114.8

EOS 3800i 3828 2253 0.3 0.23 78* 55 0-46 32-114.8

EOS 4600i 4478 2636 0.3 0.23 80* 75 0-46 32-114.8

EOS 5400i 5004 2945 0.3 0.23 82* 90 0.46 32-114.8

长宽高入口连接尺寸出口连接尺寸

mm in mm in mm in

EOS 350i 1266 49.84 934 36.77 1083 42.64 DN80 DN60

EOS 585i 1266 49.84 934 36.77 1083 42.64 DN80 DN60

EOS 730i 1266 49.84 934 36.77 1083 42.64 DN80 DN60

EOS 900i 1266 49.84 934 36.77 1083 42.64 DN80 DN60

EOS 1300i 1420 55.90 1590 62.60 1470 57.87 DN150 DN100

EOS 1600i 1420 55.90 1590 62.60 1470 57.87 DN150 DN100

EOS 1900i 1420 55.90 1590 62.60 1470 57.87 DN150 DN100

EOS 3800i 2850 112.20 1939 76.33858 1893 74.52756 DN200 DN150

EOS 4600i 2850 112.20 1939 76.33858 1893 74.52756 DN200 DN150

EOS 5400i 2850 112.20 1939 76.33858 1893 74.52756 DN200 DN150

技术规格

*表示最大噪音等级

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EDC 爪型干泵

公称排量极限真空噪声等级允许的环境温度范围公称电机额定值

m³/h cfm mbar(a) Torr Hg Vac dB(A) °C °F kW Hp

EDC 065 50 Hz 65 38 50 37.5 28.4 66 -10 to 40 14至105 1.8 2.4

EDC 065 60 Hz 78 46 50 37.5 28.4 70 -10 to 40 14至105 2.2 2.9

EDC 150 50 Hz 150 88 50 37.5 28.4 73 -10 to 40 14至105 3.7 5

EDC 150 60 Hz 180 106 50 37.5 28.4 79 -10 to 40 14至105 4.4 6

EDC 300 50 Hz 300 176 140 105 25.8 77 -10 to 40 14至105 6.2 8.3

EDC 300 60 Hz 360 212 140 105 25.8 82 -10 to 40 14至105 7.4 10

技术规格


mm in mm in mm in BSP BSP

EDC 065 920 36.2 394 15.5 545 21.4 G 1 1/4" G 1 1/4"

EDC 150 934 36.7 394 15.5 545 21.4 G 1 1/4" G 1 1/4"

EDC 300 1110 43.7 500 19.6 688 27 G 2" G 1 1/4"

尺寸

经久耐用创新的构建材料和涂层，即使在严苛的条件下也能终身可靠运行

易于维护简单的设计，适合快速进入增压室，以便在残留产品时轻松清洁

维护成本低轴承和密封件使用寿命长，带有独立的隔离抽气元件

提高生产力无与伦比的性能：一流的极限真空水平、业内领先的抽速和较低的连续真空水平

产品特点

Edwards EDC 系列是新一代单级爪型干泵。

该系列采用创新设计，树立了业内新标杆。它拥有卓越的简易性、作业效率和污染物加工能力，是您应用的明智选择。

EDC 根据客户要求的严格标准和质量构建，可为您提供无故障且经济高效的解决方案，以满足您的需求。

干式真空泵

nES 单级旋片泵

Edwards nES 单级系列代表了油封旋片真空泵的一次改进，适用于广泛的行业和应用。

nES 系列具有卓越性能、可靠性高和生命周期成本低的优点，

堪称是满足广泛应用需求的理想解决方案。

卓越性能稳定的抽气性能，出色的真空稳定性

高可靠性

nES 系列采用了高品质组件、高效的回油

系统和集成油雾过滤器，可提高过程效

率

设计紧凑且洁净

设计紧凑，噪音低，振动小，降低对环

境的影响

产品特点

技术规格最大抽速极限真空噪声等级电机功率

50 Hz 60 Hz 无气镇带气镇 dB(A) 50 Hz 60 Hz

m3/hr cfm m3/hr cfm mbar Torr mbar Torr 50 Hz 60 Hz kW Hp kW HpnES40 38.5 22.7 47.0 27.7 0.5 0.4 1.5 1.1 58 60 1.1 2.0 1.5 2.0nES40ex 38.5 22.7 47.0 27.7 0.5 0.4 1.5 1.1 58 60 1.5 2.0 1.8 3.0nES65 54.0 31.8 64.0 37.7 0.5 0.4 1.5 1.1 60 64 1.5 3.0 1.8 3.0nES65ex 54.0 31.8 64.0 37.7 0.5 0.4 1.5 1.1 60 64 2.2 3.0 2.6 4.0nES100 87.5 51.5 105 61.8 0.5 0.4 1.5 1.1 61 64 2.2 3.5 3.5 5.0nES100ex 87.5 51.5 105 61.8 0.5 0.4 1.5 1.1 61 64 3.0 5.0 3.6 6.0nES200 170 100 200 118 0.08 0.06 0.7 0.5 69 73 4.0 7.5 4.6 7.5nES200ex 170 100 200 118 0.15 0.13 0.7 0.5 69 73 5.5 8 6.6 10nES300 240 141 290 171 0.08 0.06 0.7 0.5 70 74 5.5 7.5 6.3 8.6nES300ex 240 141 290 171 0.15 0.13 0.7 0.5 72 76 7.5 10 9 13nES470 400 236 470 277 0.08 0.06 0.7 0.5 72 75 11 15 13.2 18nES570 470 277 - - 0.08 0.06 0.7 0.5 75 - 11 15 - -nES630 640 377 755 444 0.08 0.06 0.7 0.5 72 75 15 20.2 18.5 25nES630ex 640 377 - - 0.15 0.13 0.7 0.5 72 - 18.5 26 - -nES750 755 444 - - 0.08 0.06 0.7 0.5 75 - 18.5 25 - -


mm mm mmnES40 623 332 296 ISO40 / G1 ¼ ISO40 / G1 ¼nES40ex 686 356 303 DN40 / ANSI 1”1⁄2 DN40 / ANSI 1”1⁄2 nES65 706 367 312 ISO40 / G1 ¼ ISO40 / G1 ¼nES65ex 748 386 349 DN40 / ANSI 1”1⁄2 DN40 / ANSI 1”1⁄2nES100 762 434 317 ISO40 / G1 ¼ ISO40 / G1 ¼nES100ex 810 434 319 DN40 / ANSI 1”1⁄2 DN40 / ANSI 1”1⁄2nES200 1100 535 415 ISO63 / G2 ISO63 / G2nES200ex 1084 535 435 DN50 / ANSI 2” DN50 / ANSI 2”nES300 1143 573 450 ISO63 / G2 ISO63 / G2nES300ex 1143 573 450 DN50 / ANSI 2” DN50 / ANSI 2”nES470 1305 863 733 ISO100 / G3 ISO100 / G3nES570 1305 863 733 ISO100 / G3 ISO100 / G3nES630 1566 989 740 ISO100 ISO100nES630ex 1568 989 740 DN100 ISO-K / ANSI 4” DN100 ISO-K / ANSI 4”nES750 1566 989 740 ISO100 ISO100

尺寸

油封真空泵

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产品特点

投资价值低转速可延长泵的使用寿命

易于现场维护坚固、简单的机构，可实现高可靠性并易于重建

紧凑节省空间的设计：节省高达 50％的占地面积

STOKES MICROVAC 旋转活塞泵

为了获得高性能和可靠性，Stokes Microvac 设定了业界高效旋转活塞泵的标准，减少了维护和过程停机时间。

新的“J”系列现已经过改进、升级和微调，可提供极佳性能和低运营成本。

Stokes 泵可配置各种真空增压泵。可在本手册中找到有关增压泵的信息 - 与 Edward 沟通系统配置。


50 Hz 60 Hz dB(A) 50 Hz 60 Hz

m3/hr cfm mbar Torr kW (TEFC) Hp - IEC (CE) kW Hp

212J 234 138 <3.3x10-2 <2.5x10-2 <77 5.5 7.5 5.5 7.5

412J 442 260 <3.3x10-2 <2.5x10-2 <85 11 15 7.7 10*

612J 884 520 <3.3x10-2 <2.5x10-2 <85 11 15 7.7 10


mm in mm in mm in

212J 667 26.25 610 24 1105 43.5 3” ASA/ANSI 法兰 2” ASA/ANSI 或 3” NPT

412J 1022 40.25 661 25.625 1314 51.75 4” ASA/ANSI 法兰 3” ASA/ANSI 或 3” NPT

612J 1137 43.75 1178 70 1438 56.625 6” ASA/ANSI 法兰 3” ASA/ANSI 或 3” NPT

尺寸

* 412J 版本可选 15Hp 电机

油封真空泵

产品特点EM 系列旋片泵

EM 系列泵是坚固的机械油封泵，容量范围为 40 至 275 m3/hr （30 至 206 cfm）。紧凑、安静，具有先进的润滑回路，高可靠性和配件，润滑油可选碳氢油或氟油，可满足特定的应用需求。

EM 泵可配置各种真空增压泵。可在本手册中找到有关增压泵的信息 - 与 Edwards 沟通系统配置。


50 Hz 60 Hz mbar Torr dB(A) 50 Hz 60 Hz

m3/hr cfm m3/hr cfm 50 Hz kW Hp kW Hp

E2M40 37 21.8 44 25.9 1x10-3 7.7x10-4 65 1.1 1.5 1.5 2

E2M80 74 43.6 90 53 1x10-3 7.7x10-4 70 2.2 3 3 4

E2M175 160 94 196 115 1x10-3 7.7x10-4 75 5.5 7.5 6.5 8.5

E2M275 255 150 306 180 1x10-3 7.7x10-4 75 7.5 10 8.5 11


mm in mm in mm inE2M40 690 27.12 240 9.45 395 15.55 ISO40 25mm 法兰

(适用于 NW25)E2M80 815 32.09 266 10.47 429 16.89 ISO40 25mm 法兰

(适用于 NW25)E2M175 1140 44.88 388 15.28 519.5 20.45 ISO63 盲法兰带密封 ISO40 中心抽头法兰

E2M275 1185 46.65 388 15.28 519.5 20.45 ISO40 中心抽头法兰 ISO40 中心抽头法兰

尺寸

油封真空泵

可靠稳定的过程即使在高气体负荷下也能有效润滑

保护过程免受污染油气回吸

让您安心经验证测试 - 多年的行业标准

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DRYSTAR 80 泵

Drystar80 是使用基本干式真空泵技术的最具成本效益的解决方案。它可以作为独立单元使用，实现 80 m3h-1（47 cfm）的可重复抽气性能；或与可靠的 EH500 流体动力驱动机械增压泵结合使用，提供 500 m3h-1（295 cfm）的排量，用于需要提高抽速和/或降低真空度的应用。

技术规格最大抽速极限真空噪声等

级满载功率

50 Hz 60 Hz mbar Torr dB(A) 峰值压力峰值抽气负荷

m3/hr cfm m3/hr cfm kW Hp kW Hp

GV80 80 47 94 56 <3x10-2 <2x10-2 <78 3.6 4.8 5.8 7.8

GV80/EH500 390 230 471 277 <3x10-3 <2x10-3 <78 4.3 5.6 6.7 9



GV80 832 32.6 607 23.9 344 13.5 ISO40 ISO100

GV80/EH500 904 35.6 607 23.9 624 24.6 NW40 NW40

尺寸

投资价值低投资成本，所需维护少

可靠适用于严苛的工艺条件

环保无需处理受污染的脏油

产品特点

干式真空泵

简单简单包装的行业领先新型螺杆真空技术

更快满足现代技术的卓越性能

灵活专为瞬息万变的全球市场而设计

加工能力在严苛应用中经过验证的机构

EDS 干式螺旋泵

Edwards 新系列 EDS 干式螺旋泵采用创新设计，创造了螺杆真空泵的市场新标杆。Edwards 按照顾客提出的严苛标准和质量要求完成复杂的工程设计，带来这款新的干式螺杆真空泵，真正为您提供无忧且高性价比的解决方案，满足您的各种需求。

水冷式 EDS 系列坚固而高效。能在苛刻的工业和化工应用中，展现出色的污染物处理能力，是您所在行业的明智选择。EDS 真空泵低温运行、操作简单、易于维护且运行高效，可为苛刻的工业和化学应用提供超出标准所需的优异性能。

产品特点

技术规格

干式真空泵

峰值抽速峰值压力噪声等级满载功率（@峰值压力）

m3/hr-1 cfm mbar Torr dB(A) kW Hp

EDS200（水冷） 210 124 <0.05 <0.04 <76 4.1 5.5

EDS300（水冷） <280 >165 <0.01 <0.008 <76 4.5 6

EDS200（风冷） 210 124 <0.05 <0.04 <76 4.1 5.5

EDS300（风冷） >280 >165 <0.01 <0.008 <76 4.5 6

EDS200（化工） >280 124 <0.05 <0.04 <76 4.1 5.5

EDS300（化工） >280 >165 <0.01 <0.008 <76 4.5 6


mm in mm in mm in ANSI/DIN ANSI/DIN

EDS（水冷） 1239 48.78 382 15.04 567 22.32 ISO63 NW40

EDS（风冷） 1623 63.90 499 19.65 567 22.32 ISO63 NW40

EDS（化工） 1397 55 522 20.55 568 22.36 DIN80/3” ANSI DIN50/2”ANSI

Dimensions

第15页第14页

GXS 干式螺旋泵提高生产力缩短了抽气时间，可实现 5x10-4 mbar 的极限真空

可靠即使在严苛工业应用（包括富氧环境）中也能可靠运转

智能控制机载控制器具有丰富的通信和自动化控制功能经济低水电消耗和能源成本

环境影响小运转平稳安静，低功率，低水电消耗

产品特点

干式真空泵

我们的 GXS 干泵可在要求严苛的应用中提供出色的性能。凭借独特的螺旋技术和世界领先的高效驱动，您将获得先进的温度控制和长期的质量保证，在未来多年内实现业内最佳的抽速和低运行成本。

可以肯定的是，紧凑和高度智能的 GXS 系列泵和组合是我们用于工业应用的可靠而经济的干式真空泵。

技术规格



GXS 160 1092 42.99 390 15.35 568 22.36 ISO63 NW40

GXS 250 1092 42.99 390 15.35 568 22.36 ISO63 NW40

GXS 160/1750 1092 42.99 390 15.35 829.5 32.66 ISO63 NW40

GXS 250/2600 1092 42.99 390 15.35 829.5 32.66 ISO160 NW40

GXS 450 1186 46.69 517 20.35 717 28.23 ISO100 NW50

GXS 750 1622 63.86 517 20.35 717 28.23 ISO100 NW50

GXS 450/2600 1186 46.69 517 20.35 1030.5 40.57 ISO160 NW50

GXS 450/4200 1186 46.69 517 20.35 1030,5 40.57 ISO160 NW50

GXS 750/2600 1622 63.86 517 20.35 1030.5 40.57 ISO160 NW50

GXS 750/4200 1622 63.86 517 20.35 1030.5 40.57 ISO160 NW50

峰值抽速极限真空噪声等级满载功率

m3/hr cfm mbar Torr dB(A) 峰值压力峰值抽气负荷

kW Hp kW Hp

GXS 160 160 94 7x10-3 5.3x10-3 <64 3.8 5.1 5 6.7

GXS 250 250 147 4x10-3 3x10-3 <64 4 5.4 9 12.1

GXS 160/1750 1200 706 7x10-4 5.3x10-4 <64 5.1 6.8 7.4 9.9

GXS 250/2600 1900 1118 5x10-4 3.8x10-4 <64 5.3 7.1 9.7 13

GXS 450 450 265 5x10-3 3.8x10-3 <64 7.2 9.6 17.3 22.3

GXS 750 740 436 3x10-3 2.3x10-3 <70 10 13.4 37 49.6

GXS 450/2600 2200 1295 5x10-4 3.8x10-4 <64 8.8 11.8 20 26.8

GXS 450/4200 3026 1781 5x10-4 3.8x10-4 <64 9.4 12.6 21.1 28.3

GXS 750/2600 2300 1354 5x10-4 3.8x10-4 <70 11.1 14.9 40 53.6

GXS 750/4200 3450 2031 5x10-4 3.8x10-4 <70 11.5 15.4 40 53.6

尺寸

产品特点IDX 干式螺杆泵

IDX 是大型腔室快速抽气和工业过程大容量抽气的性能标杆。基于双头螺杆技术，IDX 干式真空泵将为您提供工艺所需的所有可靠性和性能。这些泵具有处理大量灰尘和水蒸汽的能力，而且可以在不降低性能的同时，将维护要求和运行成本降至最低。

IDX 泵可配置各种真空增压泵。可在本手册中找到有关增压泵的信息 - 与 Edwards 沟通系统配置。

技术规格抽速（实际）峰值压力噪声等级电机额定值

m3/hr-1 cfm mbar Torr dB(A) kW Hp

IDX1000 900 560 5x10-2 3.75x10-2 <82 30 40

IDX1300 1250 736 5x10-2 3.75x10-2 <82 30 40


mm in mm in mm in

IDX1000 2290 90.1 750 29.5 854 33.6 6”/DN150 3”/DN80

IDX1300 2515 99 750 29.5 1005 39.6 6”/DN150 3”/DN80

尺寸

性能稳定从大气到极限压力具有一致的性能

保护您的工艺不会污染您的工艺

降低能源成本出色的温度分布和温度控制

干式真空泵

第17页第16页

用于化工应用的真空泵

许多化学加工和制造应用都需要真空，真空可实现各种各样的目的和好处。真空泵系统需要以可靠且安全的方式处理有机溶剂和化合物，同时确保控制并降低环境污染和拥有成本。

Edwards 为化工行业内的真空泵应用开发了全面的干式解决方案以解决这些挑战。

化工干泵机械增压泵旋塞泵旋片泵液环泵蒸汽喷射器

常规蒸馏

短程蒸馏

分子蒸馏

反应器相关

中央真空（易燃和腐蚀性）

生物燃料

干燥、蒸发、结晶、浓缩

气体回收/再循环

脱气

吸收、吸附、解吸

渗透汽化

溶剂回收

异氰酸酯生产

浸渍

聚合物和塑料生产

油漆，颜料，涂料和油墨生产

肥皂/洗涤剂生产

环氧乙烷灭菌

油处理厂

脱水和过滤

易燃气体和腐蚀性气体

拥有成本低通常拥有成本高通常拥有

成本最高

用于关键化工应用的真空产品

第19页第18页

EDP 化工干泵

Edwards EDP 化工干泵基于 Edwards 的无油、非接触式、屡获殊荣的反爪机构。它以高效率、低拥有成本提供稳定的真空，旨在满足最高的安全性和性能标准。

我们提供范围为 80-400 m3h-1（47-235 cfm）的四种泵，极限真空小于 1 mbar。

EDP 泵可配置各种真空增压泵。可在本手册中找到有关增压泵的信息 - 与 Edwards 沟通系统配置。

技术规格

用于化工工艺的干式真空泵

最大抽速极限真空噪声等级公称电机额定值

50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz dB(A) 50 Hz 60 Hz

m3/hr cfm m3/hr cfm mbar Torr mbar Torr 50 Hz 60 Hz kW Hp kW Hp

EDP 80 83 49 102 60 0.5 0.4 0.3 0.2 73 73 5.5 7.5 5.5 7.5

EDP 160 163 96 202 119 0.5 0.4 0.3 0.2 77 78 7.5 10 11 15

EDP 250 260 153 320 188 0.5 0.4 0.2 0.2 79 79 11 15 15 20

EDP 400 377 222 427 251 0.4 0.3 0.2 0.2 82 82 18 25 25 30



EDP 80 700 27.6 850 33.5 1423 56 2”/DN50 1.5”/DN40

EDP 160 700 27.6 850 33.5 1458 57.4 3”/DN80 1.5”/DN40

EDP 250 1000 39.4 950 37.4 1681 66.2 3”/DN80 2”/DN50

EDP 400 997 37.2 946 37.2 1721 67.8 3”/DN80 2”/DN50

尺寸

产品特点

经过行业验证、试用和测试

专为化工应用而设计

设计和测试确保安全性和可靠性

即使在过程异常期间也能稳定运行

拥有成本低

易于维护，低公用事业消耗并且无需注入冷却气体

CXS 化工干泵

Edwards 是卓越真空泵的代名词。我们在全球安装了数十万台干泵，我们的高品质产品和应用技术在真空技术领域享有盛誉。

CXS 是 Edwards 最先进的化学干泵，它采用全新的锥型螺杆技术，可实现卓越的能效和性能。

CXS 经过防爆测试，并通过了独立机构的认证，可满足严格的安全标准。它适用于危险场所 1 类 C＆D 组 1 区环境。

技术规格峰值抽速极限真空噪声等级功耗，10 mbar

（7.5 Torr）

m3/hr cfm mbar Torr dB(A) kW Hp

CXS160 160 95 <.02 <.015 64 3.6 4.8

CXS 250 250 148 <.015 <.011 64 3.8 5.1

CXS 160/EH500 499 294 <1.3x10-3 <1x10-3 <70 6.8 9.1

CXS 160/EH1200 1049 618 <1.3x10-3 <1x10-3 <70 7.7 10.3

CXS 250/EH1200 1145 674 <1.3x10-3 <1x10-3 <70 8.3 11.1

CXS 250/EH2600 2269 1336 <1.3x10-3 <1x10-3 <70 16 21.4



CXS160 1767 69.57 338 13.31 395 15.55 3”/DN80 2”/DN50

CXS 250 1767 69.57 338 13.31 395 15.55 3”/DN80 2”/DN50

CXS 160/EH500 1806.4 71.12 760 29.92 1373.4 54.07 ISO100 2”/DN50

CXS 160/EH1200 1806.4 71.12 760 29.92 1373.4 54.07 ISO160 2”/DN50

CXS 250/EH1200 1806.4 71.12 760 29.92 1373.4 54.07 ISO160 2”/DN50

CXS 250/EH2600 1806.4 71.12 760 29.92 1373.4 54.07 ISO160 2”/DN50

尺寸


降低安装成本轻松与其它系统相集成

提高生产力维护周期长，无意外停机

环保无油，运行安静

经济资本投资和拥有成本低

可靠尖端的螺旋技术可实现无腐蚀运行以及出色的液体和固体处理

产品特点

第21页第20页

在要求严格工艺中让您安心

容忍过程故障

正常运行时间长高可靠性和现场维护选项

经过行业验证、试用和测试专为大型、高抽气量化工过程设计

CDX1000 干泵

CDX1000 是一款干式真空泵，带有双头螺杆机构，专为化工、制药和石化行业设计。这项创新技术充分利用了 Edwards 的最新制造和设计理念。

CDX1000 的抽气能力为 900 m3h-1（530 cfm），已针对可重复性和可靠性至关重要的高抽气量过程进行了优化。经过精心选择的技术和制造技术可以生产出易于操作和维护的高性能机器。

产品特点

技术规格最大抽速极限真空噪声等级功耗，10 mbar（7.5 Torr）标准电机

m3/hr cfm mbar Torr dB(A) kW Hp kw HpCDX 1000 900 530 0.005 0.004 82 17.1 23.2 30 40

极限输入功率最大总输入功率

kw Hp kw HpCDX/EH2600 2735 1610 1.3x10-3 1x10-3 <85 22 30 35 47 11 15CDX/EH4200 4184 2463 1.3x10-3 1x10-3 <85 22 30 35 47CDX/HV8000 6507 3830 1.3x10-3 1x10-3 <85 25 45 49 66



CDX 1000 2391 94.13 749 29.49 1011 39.8 6”/DN150 3”/DN80

CDX/EH2600 2500 98.43 1250 49.21 1850 72.83 ISO160 3”/DN80

CDX/EH4200 2500 98.43 1050 41.34 1800 70.87 ISO250 3”/DN80

CDX/HV8000 2500 98.43 1250 49.21 2050 80.71 10” Class A50 ASME B16.5

3”/DN80

尺寸


机械增压泵选项

Edwards 泵可配置各种真空增压泵。可在本节中找到有关增压泵的信息 - 与 Edwards 沟通系统配置。

第23页第22页

产品特点EH 增压泵

Edwards EH 机械增压泵具有独特的流体动力学驱动器，可提供有效的动力传输，并具有经济性、性能和紧凑性。这些增压泵适用于高压差，允许增压泵与后备泵同时启动，从而减少总抽气时间。

技术规格最大抽速泵压差电机功率

50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz

m3/hr cfm m3/hr cfm mbar Torr mbar Torr kW Hp kW Hp

EH250 310 185 375 220 0-180 0-140 0-150 0-115 2.2 3 2.2 3

EH500 505 300 605 335 0-110 0-83 0-90 0-68 2.2 3 2.2 3

EH1200 1195 715 1435 845 0-90 0-68 0-75 0-56 3 4 3 4

EH2600 2590 1525 3110 1830 0-120 0-90 0-67 0-50 11 15 11 15

EH4200 4140 2440 4985 2935 0-70 0-52 0-50 0-38 11 15 11 15


mm mm mm

EH250 783 292 269 ISO63 ISO40

EH500 868 292 265 ISO100 ISO63

EH1200 1030 367 343 ISO160 ISO100

EH2600 1222 500 529 ISO160 ISO100

EH4200 1402 500 529 ISO250 ISO100

尺寸

增压泵

提高生产力抽气时间更快

安装简单无需压力开关、旁路管线或变频驱动器

即使是要求严苛的任务也可提供可靠的操作经验证的轴封设计

Stokes 6”机械增压泵

Stokes 6” 系列机械增压泵适合与滑阀泵、干式真空泵、旋转式叶片泵和液环泵结合使用，也可安装在后备泵的入口处以形成一个紧凑的集成系统。当与上述泵结合使用时，Stokes 6” 机械增压泵可以提高工作压力下的抽取速度并且显著缩短抽气时间。

技术规格

增压泵

排量最大压差噪声等级

电机功率

1800 rpm 2750 rpm 3000 rpm 3600 rpm mbar Torr dB(A) 50 Hz @ 3000 rpm

60 Hz @ 3600 rpm

m3/hr cfm m3/hr cfm m3/hr cfm m3/hr cfm kW Hp kW Hp607 1040 612 1589 935 1733 1020 2080 1224 506 380 65 7.5 10 “3.7

15”“15

20”607 PIB

（过程隔离）n/a n/a 1589 935 1733 1020 2080 1224 506 380 70 7.5 10 7.5 10

615 2210 1300 3375 2000 3685 2170 4420 2600 506 380 75 7.5 10 “7.5X1800rpm11@3600rpm”

“10@1800rpm15X3600rpm”

615 PIB（过程隔离）

n/a n/a 3375 2000 3685 2170 4420 2600 506 380 75 11 15 11 15

615 BP（旁路） 2210 2000 3375 2000 3685 2170 4420 2600 n/a n/a <85 18 25 “7.5@1800rpm18@3600rpm”

“10@1800rpm25@3600rpm”

615 PIB（旁路）（过程隔离）

n/a n/a 3375 2000 3685 2170 4420 2600 n/a n/a <85 18 25 18 25

622 n/a n/a 5100 3000 5525 2350 6630 3900 333 250 <82 18 25 18 25622（过程隔离） n/a n/a 5100 3000 5525 2350 6630 3900 333 250 <82 18 25 18 25


mm in mm in mm in

607 1087 42.8 502 19.76 543 21.38 6” ASA/ANSI 6” ASA/ANSI

615 1369 53.9 502 19.76 543 21.38 8” ASA/ANSI 8” ASA/ANSI

622 1613 63.5 501 19.72 543 21.38 8” ASA/ANSI 8” ASA/ANSI

尺寸

产品特点

工业首选产品性能经过 80 多年的时间检验和证明，服务和技术支持经验丰富

易于维护单个机械密封件

提高生产力 5 个密封件的设计可提供最优加工保护

按需配置可选择裸轴或直接传动，转速可达 1800-3600 rpm。可选择垂直或水平气流方向，并提供旁通版本

第25页第24页

pXH 机械增压泵

pXH 泵代表了新一代大型机械增压泵，该泵以更低的占用空间提供高的泵送能力。提供从 6965 到 8358 m3/h 排量的各种规格，封装成具有变频器驱动式控制装置的独立泵。

pXH 可轻松与 GXS 干式真空泵集成为高抽速干泵系统。

技术规格

排量电机额定值噪声等级极限压力下的功率

m3/hr cfm kW Hp dB(A) kW Hp

pXH4500 6965 4102 7.5 10 66 1.9 2.5

pXH6000 8358 4923 7.5 10 66 1.9 2.5


mm in mm in mm in

pXH4500 1086 42.76 517 20.35 531 20.91 ISO200 ISO160

pXH6000 1086 42.76 517 20.35 531 20.91 ISO250 NW160

尺寸

增压泵

耐用专为承受要求严苛的工业应用而设计

智能操作变频器驱动控制实现“即插即用”，灵活的操作和对过程的自动控制

正常运行时间长一致的输出和低维护

产品特点HV 增压泵

HV 机械增压泵结合了 Edwards 在制造和分销完整真空系统方面的专业知识以及 Dresser 享誉世界的罗茨泵技术。

结合 Drystar 或 EH 机械增压泵，HV 泵可提供完全无油的大容量抽气，并且可长期可靠运行而无需维护。

技术规格排量泵压差噪声

等级电机功率

50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz dB(A) 50 Hz 60 Hz


HV8000 7200 4241 8640 5089 190 143 120 90 82 15 20 18.5 25

可提供水平气流版本

可提供垂直气流版本


mm in mm in mm in

HV8000 1737 68.4 530 20.87 820 32.28 10” 等级 A50 ASME B16.5

10” 等级 A50 ASME B16.5

水平 1737 68.4 530 20.87 820 32.28 -- --

垂直 1737 68.4 670 26.38 638 25.12 -- --

尺寸

增压泵

稳定的过程，一致的输出适用于重型大规模应用中宽压力范围内的连续运行

无计划外停机高性能水冷机械轴封，大直径轴和大斜齿轮

易于集成，操作安全可选配冷却器后的水冷排气，轴封安全吹扫，温度监控和 VFD

产品特点

第27页第26页

GMB40K 增压泵

新型 Edwards GMB40K 具有创新的模块化转子设计，采用高强度合金钢轴制成，并具有轻巧的转子凸角，可以安全地实现更高的运行速度。这种获得专利的结构可在业界领先的占地面积上实现高排量。

Edwards 的创新模块化转子技术可在小占地面积和低重量的前提下确保高性能。在设计大型真空系统时，这确保了最大程度的灵活性。

技术规格最大抽速增压泵最大压差噪声

等级电机功率极限总输入功率

m3/hr cfm mbar Torr dB(A) kW Hp kW Hp

GMB40K 31,000* 18,250 25 18.75 80 IEC-30 NEMA-40 <2.5 <3.35


mm in mm in mm in

GMB40K 2344.2 92.3 851 33.5 985.5 38.8 DN500 ISO250

尺寸

*配置典型的埃地沃兹 GXS 或 IDX 前级泵 @6,700m3/hr。

增压泵

灵活多种系统化选项

经济拥有成本低

可靠让您安心

产品特点

灵活集成模块化撬装设计

智能机载控制器具有丰富的自动化控制功能

经济资本投资和拥有成本低

快速极限真空<5x10-4 mbar，缩短抽气时间

MAXX 干式真空系统

MAXX 系统为需要高抽速和快速抽气时间的广泛工业应用提供了一种灵活而智能的解决方案。

MAXX 干式真空系统是我们市场领先的 GXS 干式螺旋真空泵和 pXH 增压泵（新一代大型机械增压泵）的集成组合。结果是获得灵活的模块化撬装设计，非常适合大容量应用。

产品特点

技术规格

中低真空系统

峰值抽速峰值压力噪声等级满载功率

dB(A) 峰值压力峰值抽气负荷

m3/hr cfm mbar Torr kW Hp kW Hp

GXS450 & pXH4500 7.5kW 4250 2501 1.6x10-3 1.2x10-3 <64 7.9 10.6 16.8 22.5

2x GXS750 & pXH6000 7.5kW 6520 3838 1.6x10-3 1.2x10-3 <70 19.2 25.7 56.2 75.4

GXS750/2600 & pXH6000 7.5kW 6820 4914 2.8x10-4 2.1x10-4 <70 12 16.1 30.6 41

GXS750/4200 & pXH6000 7.5kW 7040 4143 2.7x10-4 2.0x10-4 <70 12.7 17 29.9 40.1

GXS750/2600 & 2x pXH6000 7.5kW 12500 7357 3.1x10-4 2.3x10-4 <70 14 18.8 31.3 42

GXS750/4200 & 2x pXH6000 7.5kW 13220 7781 2.9x10-4 2.2x10-4 <70 14.7 19.7 30.5 40.1

第29页第28页


mm in mm in mm in

GXS450 & pxH4500 1720 67.7 1150 45.3 2256 88.8 ISO200 NW50

2x GXS750 & pXH6000

1930 76 1740 68.5 2256 88.8 ISO250 NW50

GXS750/2600 & pXH6000

1750 68.9 1150 45.3 2256 88.8 ISO250 NW50

GXS750/4200 & pXH6000

1750 68.9 1150 45.3 2256 88.8 ISO250 NW50

GXS750/2600 & 2pxpXH6000

1900 74.8 2330 91.7 2256 88.8 ISO250 NW50

GXS750/4200 & 2xpXH6000

1900 74.8 2330 91.7 2256 88.8 ISO250 NW50

MAXX 干式真空系统

中低真空系统

尺寸更高的真空脱气性能更快的抽速

更好的高压性能缩短泵抽真空时间

功耗更低尤其是在加工过程中

埃地沃兹钢液真空脱气模块产品特点

中低真空系统

埃地沃兹率先将干式真空泵领域用于特种钢液真空脱气应用。1998 年，我们安装了首台埃地沃兹干式泵。2006 年，我们又推出了首个三级钢液真空脱气模块 (SSDM)，此后在全球范围的安装数量超过了 200 台，已经成为了业内的标准配置。

埃地沃兹一直在持续改进 SSDM 技术。我们新推出的钢液真空脱气模块 (EDSM) 安装了的 GMB40K 增压泵并采用了新的制冷概念，性能更高、能耗更低。

尺寸


mm in mm in mm in

GMB40K 2344.2 92.3 851 33.5 985.5 38.8 DN500 ISO250

IDX1300 2515 99 750 29.5 1005 39.6 6”/DN150 3”/DN80

HV8000 1737 68.4 530 20.87 820 32.28 10” 等级 A50 ASME B16.5 10” 等级 A50 ASME B16.5

技术规格最大抽速增压泵最大压差噪声

等级电机功率极限总输入功率

m3/hr cfm mbar Torr dB(A) kW Hp kW Hp

GMB40K 31,000* 18,250 25 18.75 80 IEC-30 NEMA-40 <2.5 <3.35

排量泵压差电机功率

50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz


HV8000 7200 4241 8640 5089 190 143 120 90 82 15 20 18.5 25

抽速（实际）峰值压力

m3/hr-1 cfm mbar Torr

IDX1300 1250 736 5x10-2 3.75x10-2 <82 30 40

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工艺设计

设备规格和选择

安全和操作程序

真空系统和控制集成

调试和安装

符合 FDA 要求的安装和操作认证

应用工程、设计与系统化

我们的应用专业知识将确保我们能够提供一整套设计和集成系统解决方案。

我们高度专注的应用团队、中央应用团队和区域性应用专家网络随时为您的选择和安装提供专家支持。

Edwards 应用协助包括执行抽气模拟和建模，以帮助定义满足您需求的最佳真空解决方案。请联系您的 Edwards 代表以获取泵系统建议。

可以使用标准配置提供系统 - 向 Edwards 代表咨询有关组合、配件等的详细信息。

标准配置包括

• EM/EH

• Stokes direct mount

• ES/增压泵

• IDX 或 1700 套件

增压泵和配置

中低真空系统

蒸汽增压泵

技术规格 AVS 抽速最大抽气量加热器功率

空气(l/s) 氢气(l/s) mbar (l/s) Torr (l/s) kW Hp

18B4B 4000 6000 100 75 6 8

30B5M 12500 15000 300 225 22.5 30

CL 进气法兰到 CL 排气法兰高入口连接尺寸出口连接尺寸

mm in mm in ISO NW

18B4B 1219 48 1880 74387.4 PCD (Edwards)上的

8x11 mm孔 ANSI 12” ISO 160”

2”公制（Edwards）ANSI 4” ISO160

长宽

mm in mm in

30B5M 2569 101.1 966 38 3267 128.6 686 PCD上的12x20.60mm孔

235 PCD上的4x16.7mm孔

尺寸

高真空解决方案

方便操作简单

高性能在高工作压力下可提供非常高的抽速和抽气量

耐用耐高灰尘和污垢 - 适用于恶劣环境

产品特点

如果您需要在机械增压泵和扩散泵之间的中间压力下达到45000 m3h-1（26,505 cfm）的更高抽速，我们的蒸汽增压泵是理想的解决方案。

它们在各行业经过 60 多年的实践验证，具有诸多优点，例如易于使用，高可靠性，易于维护以及对各种进气压力和排气压力具有耐受性。它们非常适合冶金和涂料行业以及许多其他应用。

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nHT 高抽气量扩散泵

Edwards 的 nHT 系列扩散泵可提供稳定的高抽气量真空性能。 nHT 系列专为实现最佳能源效率、灵活性和低维护而设计，是各种要求严苛工业应用的理想解决方案。

nHT 系列扩散泵经专门设计，可以出色地将热量传递到机油中，缩短了加热时间并显著降低了能耗。此外，使用能效控制器（EEC）可进一步降低功耗 - 最高可降低 30％，而不会降低抽气性能。

技术规格


抽速<10-4 mbar

抽气量加热器功率

氮气 (l/s) 氩气 (l/s) 氦气 (l/s) mbar (l/s) Torr (l/s) kW Hp

nHT10 3000 2750 4500 8 6 3.6 4.8

nHT16 6800 6350 9500 11 8.3 7.2 9.7

nHT20 10000 9000 17000 18 13.5 10.8 14.5

nHT35 30000 26000 42000 33 24.8 21.6 28.9

高入口连接尺寸背压连接尺寸

mm in ISO NW

nHT10 788 31.0236 320 ISO-K 63 ISO-K

nHT16 1092 42.99 500 ISO-K 100 ISO-K

nHT20 1292 50.87 630 ISO-K 160 ISO-K

nHT35 1832 72.13 1000 ISO-K 200 ISO-K

尺寸

性能和稳定性优化的抽速和高抽气量，稳定性好

灵活性提供ANSI和ISO法兰选项，以及多种电压版本，可满足全球要求

可靠性标配智能温度控制和机载传感器，可确保最小的负载，并延长加热器和机油的使用寿命

控制能源效率控制器可实现易用性和操作便利性，并通过USB和以太网接口进行有效监控

产品特点STP 磁悬浮涡轮分子泵

STP iS2207 STP iXA3306


超高真空

301

300l/s 600l/s 1000l/s 1600l/s 2200l/s 2500l/s 3500l/s

l301

H301C H451C

STP 涡轮分子泵

iX457

iX455/iXL455 iXR1606 iXR2206 iXA2205 iXA3305 iXR4506

iXU457 iS1607 iS2207 iXA2206 iX3306 iXA3306 iXA4506

F2203C XA2703C XA3203C XA4503C

H803C H1303C

451

L451

A803C A1303C A1603C A2203C A2503C A3003C A3503C

603 1003

高抽气量

高抽气量

高流量/高流量和

高通气量

集成控制器

振动小PRODUCT DATA SHEET

edwardsvacuum.com

The STP-iX457/iXU457 turbo molecular pump offers low vibration performance within a reduced footprint. The new magnetic bearing system enables class-leading low vibration levels and energy saving. It provides reliable clean high quality vacuum.

This advanced magnetically levitated turbo molecular pump incorporates a newly developed magnetic bearing system to achieve both low vibration performance, and excellent protection from shock.

The STP-iXU457 comes with a built-in vibration isolator, and auto stability switching function, achieving greater than 35%* reduction in vibration levels compared to our existing product. The STP-iX/iXU series is designed for applications where precise control is required on high resolution applications images.

*Rotational frequency comparison at nominal running speed

Point 1 Compact design

Point 2 Energy Conservation

• 35% reduction of vibration frequency peaks compared to the existing turbo pumps

• Vibration peaks in bands between 1kHz and 2kHz are significantly reduced.

• Noise floor as well as peak vibration levels are reduced

• Auto stability switching function (only for STP-iXU457)

• Can be configured to run corrosive processes

• DC 24V Power supply (AC100-240V power supply unit is also available)

• UL listed, CE marked and SEMI S2 compliant

Features and benefits

STP-iX457, STP-iXU457INTEGRATED TURBOMOLECULAR PUMP

3770_P086 Datasheet_English.indd 1 26-03-2018 11:35:40:AM

The STP-iS1607 magnetically levitated turbomolecular pump provides industry-leading performance and incorporates latest technology in small power supplies into the Onboard controller. With the new rotor design this enables the use of a smaller platform, resulting in a compact design with low power. Edwards STP maglev turbomolecular pumps are at the forefront of vacuum for R&D institutes and high energy physics. The multi-axis, non-contact magnetic bearing system ensures there is no risk of contamination, while minimising noise and vibration. This also means zero maintenance for most applications and low cost of ownership, making the STP maglev turbomolecular pumps the ideal choice for critical and demanding applications.The STP-iS1607 is one of the smallest pumps in the market providing 1600 l/s N2 pumping speed, offering high performance combined with installation flexibility to fit into challenging mounting locations.

1 High performance

• Achieving highest pumping speed in class

2 Energy saving

• Maximum input power 750VA and yet providing high pumping speed performance


3 Advanced rotor technology

• High pumping speed with compact size

• Harsh process compatible (C version)

4 Communication options

• I/O Remote, RS232, RS485 are standard ports

• Profibus, EtherCat are optional

5 All-in-one compact design

• Compact fully integrated controller

6 Energy efficient

• Pump will operate efficiently with cooling water supply up to 35°C

7 Compliant with international standards

• CE Marked, UL marked, RoHS Compliant

PRODUCT DATA SHEET

STP-IS1607INTEGRATED TURBOMOLECULAR PUMP edwardsvacuum.com

PRODUCT DATA SHEET

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The STP-iX457/iXU457 turbo molecular pump offers low vibration performance within a reduced footprint. The new magnetic bearing system enables class-leading low vibration levels and energy saving. It provides reliable clean high quality vacuum.

This advanced magnetically levitated turbo molecular pump incorporates a newly developed magnetic bearing system to achieve both low vibration performance, and excellent protection from shock.

The STP-iXU457 comes with a built-in vibration isolator, and auto stability switching function, achieving greater than 35%* reduction in vibration levels compared to our existing product. The STP-iX/iXU series is designed for applications where precise control is required on high resolution applications images.

*Rotational frequency comparison at nominal running speed

Point 1 Compact design

Point 2 Energy Conservation

• 35% reduction of vibration frequency peaks compared to the existing turbo pumps

• Vibration peaks in bands between 1kHz and 2kHz are significantly reduced.

• Noise floor as well as peak vibration levels are reduced

• Auto stability switching function (only for STP-iXU457)

• Can be configured to run corrosive processes

• DC 24V Power supply (AC100-240V power supply unit is also available)

• UL listed, CE marked and SEMI S2 compliant


STP-iX457, STP-iXU457INTEGRATED TURBOMOLECULAR PUMP

3770_P086 Datasheet_English.indd 1 26-03-2018 11:35:40:AM

STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于要求高真空、低振动、无污

染、少维护的应用中。其多轴磁力轴承系统可使转子在

运行期间维持悬浮状态，消除了机械轴承带来的损坏风

险，同时极大降低噪音和振动。

STP 磁悬浮涡轮分子泵因其可靠的质量和性能，在市场上

享有极高声誉，在许多具有挑战性的半导体工艺中也是首

选设备。

第35页第34页

RV、E2M、nXDS和nEXT

超高真空及真空测量

我们的干式和油封主泵系列由于其高可靠性、性能和可维修性而已成为行业标准。对于需要高真空的应用，我们全面的混合轴承和磁悬浮涡轮分子泵系列可提供 47 至 4300 ls-1 的抽速。在涉及 UHV 和 XHV 的应用中，我们提供了一系列捕获离子泵，可实现 10-11 mbar 或更低的压力。

nEXT 涡轮分子泵

nEXT 涡轮分子泵基于在数十年的经验，参照自我们值得信赖的 EXT 和 STP 系列。nEXT 泵具有卓越的性能、可靠性和最终用户可维修性，为科学的涡轮分子泵树立了标杆。

E2M EM 系列是处理极端气体环境（例如药品冷冻干燥或制冷系统抽空）的理想选择，是在高气体负荷下实现零污染过程和有效润滑的行业标准。

RV 双级旋片泵

我们的 RV 系列旋片泵坚固耐用，可为您提供出色的极限真空，良好的抽速，出色的蒸气处理能力和安静的运行。

nXDS 干式涡旋泵

Edwards 干式涡旋泵可为各种应用提供可靠的干燥、清洁真空解决方案。nXDS 是我们最新一代的涡旋泵，与其他泵相比，它具有更高的抽速，更高的极限压力，更低的功耗和更低的噪音等级。

Gamma UHV 泵和附件

捕集型泵为从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器等各种应用创造了高真空 (HV) 和超高

真空 (UHV) 环境。这些技术以经济的成本打造尽可能高的真空环境。

Edwards 通过 Gamma Vacuum 提供一系列离子泵、钛升华泵、非蒸发型吸气剂泵和附件。

其中，离子泵的极限真空可达 1x10-11 mbar。

离子泵具有以下特点：

• 消除了机械振动

• 抗辐射性能强

• 耐高温烘烤

• 免除日常维护

• 使用成本低

离子泵根据极板材料的不同，可分为：

• CV 通用型钛/钛

• DI 惰性气体型钛/钽

• TR 三极板型钛/钛/钛

钛升华泵 (TSP)钛升华泵 (TSP) 通常与离子泵组合使用或单独使用，可去除真空环境中的

反应气体。与离子泵组合后，TSP可在更短的时间内达到高极限真空。所有

TSP 部件均可加热至 400 ˚C。

TSP 的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华(从固相转化为气相)到某个表面

上。升华后的钛分子可以与反应气体(例如氧气和氮气)发生化学反应，同时

通过扩散的方式来吸附游离氢气。TSP 可在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内工作，

氢气抽速超过 10,000 ls-1。

10S 45S 100L 300L

• 液氮低温护罩

安装在DN160法兰上，可提供

1578 cm2的液氮冷却表面积，

氢气抽速高达12000 l/s

• 常温溅射护罩

安装在DN160或DN100法兰上，

可提供827 cm2的常温表面积，

氢气抽速高达2150 l/s

• TSP 灯丝支架

灯丝支架安装在 DN40 法兰上，

三根钛钼灯丝，每根灯丝包含

1.5 g 的可用钛，平均工作时间

为20个小时

离子泵具有一系列不同的抽速(0.2 l/s ~ 1200 l/s)，并且由于安装尺寸或安装空间的要求，有不同的外形可以选

择。如果有其它特殊的需求，可以联系我们相关销售人员。


第37页第36页

非蒸发型吸气剂泵 (NEG)NEG 由被压到固态基板上或被烧结成盘状的活性金属制成。材料的用量控制着 NEG 泵的转速和性能，但通常氢

气的抽速介于 50 至 3500 ls-1 之间。随着 NEG 内气体的饱和，它们可以在不需要破空大气的环境下再活化。其主

要优势在于能够在无需电源的情况下长时间抽空。

NEG 非常适用于抽空和维持真空应用，并且可用于提升离子泵的性能，或单独使用抽真空。由于其尺寸紧

凑、H2 抽速较高，因此是 UHV 应用的理想选择。它们通常并不适用于频繁从大气压下开始抽真空应用，因为

这会使表面饱和，并且它们仅可在有限的次数内进行再活化。

Digitel™ Gamma 离子泵控制器

Digitel™ 系列离子泵控制器实现了对性能、功耗和保护的适度平衡。

N50 N100 N200 N300 N400

Digitel™ SPCe小型控制器

SPCe 是完全操作单一离子泵的一种通用方法。LCD 真空度/ 电流/ 电压显示屏和标准串行通信使 SPCe 能够适应基本用户和高级用户的需求。

Digitel™ QPC 多通道控制器

QPC 控制器具有可调节输出电压、毫微安电流精度以及最多四个独立电源，可对最多四个离子泵单独进行高电流控制。它具有清晰易读的 LCD 彩色触摸屏，可同步显示真空度、电流和电压，并且标配有串行和以太网通信。可连接远程 TSPq/NEGq 控制器。

Digitel™ MPCq 控制器

MPCq 控制器能够同时操作两个独立的配有钛升华泵的离子泵。与之相匹配的离子泵的抽速可达 1200 l/s。前面板显示屏能够直接读出离子泵的电压、电流或压力。可连接内置或远程 TSPq/NEGq 控制器。

Digitel™ TSPq/NEGq 控制器

TSPq/NEGq 控制器具有清晰易读的 LCD 彩色触摸屏，可显示所有手动或程序化的运行参数。手动操作十分简单，按下按钮即可。编程同样十分简单，只需查看屏幕上的所有编程选项即可。TSPq/NEGq 控制器可以操作最多 8 个 TSP 灯丝或 2 个NEG 泵。


10-12 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 102 103

超高真空高真空中真空低真空

APG100-XM - 有源皮拉尼真空计

APG100-XLC - 有源皮拉尼真空计

PRG20K - 无源皮拉尼真空计

APGX-H - 有源线性对流真空计

P3 - 便携式真空计

AIM - 有源冷阴极潘宁真空计

CPG35K - 无源潘宁真空计

AIGX - 有源热阴极离子真空计

WRG -宽量程真空计

IG40 BA - 无源离子真空计

IG40 EX - 无源分离真空计

真空测量已有产品线（大部分）

有源数字控制器(ADC) TIC 仪表控制器 PGC201皮拉尼和潘宁真空计控制器

PGC202皮拉尼和电离真空计控制器

增强型有源数字控制器(eADC)

深灰色阴影表示指定真空计的有效量程范围。浅灰色阴影表示真空计的可用量程范围，但精度不高。

Edwards 在现有有源真空计的基础上推出了一系列新的无源真空计。每种型号都有独特的优势，使其应用于不同的领域。下面就适合某些应用的选型提供了一些指导。

有源真空计控制器无源真空计控制器


第38页

相关附件

我们深知本地支持的重要性。Edwards 在北美和世界各地设有多个主要服务设施，每个地点均由庞大的工程师和技术人员团队提供支持，以提供本地、快速响应和超值服务。

我们所有的服务运营均按照 ISO9001（质量）、ISO14001（环境）和 OHSAS18001（工作场所安全）的最高国际标准进行。

服务解决方案

全面的服务能力

延长保修

维修

管理维护

认证产品

进口防尘网可与打褶的纸/聚酯或金属网元件一起使用，以在微粒到达泵之前将其捕获。适用于捕获低至 5 微米的颗粒

进口化学捕集器随附活性炭，可防止侵蚀性蒸气和高分子量蒸气。活性氧化铝也可用于产生较大的前级捕集阱，以控制低进口压力下的任何回流

气镇阀

自动控制气镇

传感器及其他温度传感器，油位监控器，滤水器，隔振器

测量仪器测量 2000 至 7 x 10-10 mbar 范围内真空的仪器

外部滤油器从泵中的油中清除颗粒或酸性污染物

出口油雾过滤器从排气管路中清除并收集油雾；ES 泵具有一体式油雾过滤器

进口截液罐设计用于最大程度地减少可冷凝蒸气进入泵中

Edwards 的阀门产品具有同样的节能表现。我们提供丰富的阀门种类，以及各种致动方法、材料和尺寸。Edwards 真空配件在真空应用中具有防漏功能。

附件及维保

Chemraz® is a registered trademark of Greene Tweed

美洲

美国 +1 800 848 9800 巴西 +55 11 3952 5000

欧洲、中东和非洲

英国 +44 1444 253 000 （市话话费）08459 212223比利时 +32 2 300 0730法国 +33 1 4121 1256德国 0800 000 1456意大利 + 39 02 48 4471以色列 + 972 8 681 0633

亚太

中国 +86 400 111 9618印度 +91 20 4075 2222日本 +81 47 458 8836韩国 +82 31 716 7070新加坡 +65 6546 8408台湾 +886 3758 1000

欧洲、中东和非洲

英国 +44 1444 253 000 （市话话费）08459 212223比利时 +32 2 300 0730法国 +33 1 4121 1256德国 0800 000 1456意大利 + 39 02 48 4471以色列 + 972 8 681 0633

出版号：3602 504 7 01 © Edwards Limited 2019.版权所有 Edwards 和 Edwards 徽标是 Edwards 有限公司的商标

虽然我们尽一切努力确保我们准确描述我们的产品和服务，但我们不保证本手册中提供的任何信息的准确性或完整性。

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用于工业应用的 真空设备 - cdn065.yun-img.com · 第8页 第9页 EDC 爪型干泵 公称排量 极限真空 噪声等级 允许的环境温度范围 公称电机额定值

用于工业应用的真空设备 - cdn065.yun-img.com · 第8页第9页 EDC 爪型干泵公称排量极限真空噪声等级允许的环境温度范围公称电机额定值