19
対物レンズシリ PLLWD, PLLWDC, PL SPL, UV, NPL, MF, Plan Objectives

対物レンズシリーズMシリーズ 明視野観察用の有限筒長対物レンズです。 色のにじみが少なく、高コントラストな像が得られます。170

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  • 対物レンズシリーズ

    PLLWD, PLLWDC, PL SPL, UV, NPL, MF, Plan

    Objectives

  • 1

    プランアクロマート長作動距離対物レンズ(∞)PLLWDシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2プランアクロマート対物レンズ(∞)PLシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3プランアポクロマート対物レンズ(∞)SPLシリーズ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4プランアポクロマート対物レンズ(L=210)NPLシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5アクロマート対物レンズ(L=170)Mシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 6セミプランアクロマート対物レンズ(L=170)MFシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 7プランアクロマート対物レンズ(L=170)Planシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・8ガラス厚補正機構付対物レンズ(∞)PLLWDCシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・9紫外線用対物レンズ(∞)UVシリーズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・10各種チューブレンズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11対物レンズ適合表 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・12各種接眼レンズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・13イメージマイクロスコープ IMS・IMW・シリーズ ・・・・・・14

    対物レンズシリーズ

    半導体産業の高集積度化が進むにつれ顕微鏡対物レンズの重要性が高まって来ています。

    ユニオン光学は独自に開発したレンズ設計技術と長年蓄積した光学測定技術により、高コントラスト・高

    分解能を兼ねそなえた対物レンズ・紫外領域専用対物レンズをシリーズ化しました。

    作業性を重視した長作動距離対物レンズ・高性能対物レンズ、更に液晶基板の欠陥検査にはガラス厚補正

    型レンズ、紫外線観察・加工用にはユニオン光学独自のUV対物レンズなど各種低倍用から高倍用まで豊

    富にラインナップを取り揃えております。

    また、本カタログに掲載されていない対物レンズ・接眼レンズもございますので、代理店もしくは、弊社

    までお問い合わせ下さい。

    目 次

  • 2

    PL

    /0.40∞�LWDM20

    ∞�

    φ25

    φ20.32 �36山/インチ�

    45

    11.2

    33.8

    4.5

    PL

    /0.50∞�LWDM40

    ∞�

    φ25

    φ20.32 �36山/インチ�

    45

    1035

    4.5

    M100/�0.73

    ∞�PL-LWD 4

    5

    4.5

    405

    φ25

    φ20.32 �36山/インチ� ∞

    PL/0.20∞�LWDM10

    ∞�

    φ25

    φ20.32 �36山/インチ�

    45

    24.3

    20.7

    4.5

    名称MTL[mm]

    同焦点距離[mm]

    N.A.W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:24

    焦点深度[±μm]

    PL LM3X

    PL LWDM10X

    PL LWDM20X

    PL LWDM40X

    PL LWDM100X

    70.7

    45

    45

    45

    45

    質量[g]

    100

    70

    85

    85

    100

    0.075

    0.2

    0.4

    0.5

    0.73

    29.5

    24.3

    11.2

    10.0

    5.0

    83.3

    25.0

    12.47

    6.52

    2.5

    4.47

    1.7

    0.8

    0.7

    0.46

    8

    2.4

    1.2

    0.6

    0.24

    48.89

    6.88

    1.72

    1.10

    0.52

    プランアクロマート長作動距離対物レンズ(∞)PL LWDシリーズ

    ■明視野観測用の無限遠補正型長作動距離(PLLWDM100Xで5mm)対物レンズです。

    ■像面の湾曲がなく、色のにじみが少ない高コントラストな像が得られます。

    ∞�/0.075LM3PL

    ∞�

    70.7

    29.5

    41.2

    4.5

    φ20.32 �36山/インチ�

    φ24

  • 3

    プランアクロマート対物レンズ(∞)PLシリーズ

    ■明視野観察用の無限遠補正型対物レンズです。■像面の湾曲がなく、色のにじみが少ない高コントラストな像が得られます。

    名称 MTL[mm]同焦点距離[mm]

    質量[g]N.A.

    W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:24焦点深度[±μm]

    PLM3XPLM5XPLM10X

    454545

    706075

    0.0750.1 0.2

    8.5 19.812.0

    83.350.025.0

    4.473.361.68

    8.04.82.4

    44.8927.506.88

    45

    8.5

    36.5

    4.5

    36山/イ

    φ24

    M3 /0.075PL

    φ22.4

    45

    1233

    4.5

    36山/イ

    φ25

    M10 /0.20PL

    φ24

    PLM5/0.10

    φ25

    36山/イ

    45

    19.8

    25.2

    4.5

    φ24

  • 4

    プランアポクロマート対物レンズ(∞)SPLシリーズ

    ■明視野、偏光、微分干渉観察用の無限遠補正型で最高級のプランアポクロマート対物レンズです。■全ての収差が良好に補正されており高コントラストな像が得られます。

    / 0

    SPL0.12

    φ25

    36山/イ

    45

    936

    4.5

    φ24

    / 0

    SPL0.25

    φ25

    36山/イ

    45

    9.5

    35.5

    4.5

    φ24

    / 0

    SPL0.40

    φ25

    36山/イ

    45

    5.41.24

    9.2φ24

    / 0

    SPL0.75

    φ25

    36山/イ

    45

    1.5

    43.5

    4.5

    φ24

    / 0

    SPL0.9

    φ25

    36山/イ

    45441

    4.5

    φ24

    名称 MTL[mm]同焦点距離[mm]

    質量[g]N.A.

    W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:24焦点深度[±μm]

    SPL M5XSPL M10XSPL M20XSPL M50XSPL M100X

    4545454545

    100100115110120

    0.120.25 0.40 0.75 0.90

    9.09.52.91.51.0

    50.024.9712.6005.002.5

    2.81.30.80.50.4

    4.82.41.20.480.24

    19.104.401.720.490.34

  • 5

    NPL3X NPL5X NPL10X NPL20X NPL40X

    210210210210210

    045045045045045

    8065507070

    0.08 0.1 0.23 0.350.40

    1017.221.01515

    65.7939.4619.8510.075.40

    4.23.41.51.00.8

    8.04.82.41.20.6

    42.9727.505.202.241.72

    プランアポクロマート対物レンズ(L=210)NPLシリーズ

    ■測定顕微鏡に適した長作動距離で最高級のプランアポクロマ-ト対物レンズです。■全ての収差が良好に補正されており、高コントラストな像が得られます。

    φ25

    36山/イ

    200(像面迄)

    45

    1035

    4.5

    NPL/0.08

    210 / 0M3

    φ25

    36山/イ

    200(像面迄)

    45

    17.2

    27.8

    4.5

    NPL/0.1

    210 / 0M5

    φ25

    36山/イ

    200(像面迄)

    45

    1530

    4.5

    NPL/0.4 210 / 0M40

    φ25

    36山/イ

    200(像面迄)

    45

    2124

    4.5

    NPL/0.23 210 / 0M10

    φ25

    36山/イ

    200(像面迄)

    45

    1530

    4.5

    NPL/0.35 210 / 0M20

    名称 MTL[mm]同焦点距離[mm]

    質量[g]N.A.

    W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:24焦点深度[±μm]

  • 6

    アクロマート対物レンズ(L=170)Mシリーズ

    ■明視野観察用の有限筒長対物レンズです。

    ■色のにじみが少なく、高コントラストな像が得られます。

    170M5 /0.10

    φ16.5

    φ24(筋目ローレット)�

    φ20.32 �36山/インチ�

    156(像面迄)�

    36

    1125

    3.5

    3XMeasuring

    φ16.5

    φ24(筋目ローレット)�

    φ20.32 �36山/インチ�

    156(像面迄)�

    68.8

    49.8

    194.5

    名称MTL[mm]

    同焦点距離[mm]

    質量[g]

    N.A.W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:18

    焦点深度[±μm]

    M3X

    M5X

    170

    170

    69

    36

    35

    35

    0.1

    0.1

    49.8

    11.6

    41.72

    26.53

    3.36

    3.36

    6

    3.6

    27.5

    27.5

  • 7

    セミプランアクロマート対物レンズ(L=170)MFシリーズ

    ■明視野観察用の有限筒長対物レンズです。■像面の湾曲や色のにじみが少なく、高コントラストな像が得られます。

    MF5170/0.12

    φ19

    36

    7.5

    28.5

    4.7

    MF10170/0.25

    φ19

    φ24(筋目ローレット)

    36

    6.18

    29.82

    4.7

    MF20170/0.40

    φ19

    36

    2.02

    33.98

    4.5

    MF40170/0.65

    φ19

    36

    0.3

    35.7

    4.5

    名称 MTL[mm]同焦点距離[mm]

    質量[g]N.A.

    W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:18焦点深度[±μm]

    MF5XMF10XMF20XMF40X

    170170170170

    36363636

    50506065

    0.120.250.4 0.65

    7.56.22.10.34

    33.1815.748.384.23

    2.801.340.840.52

    3.61.80.90.45

    19.104.401.720.65

  • 8

    プランアクロマート対物レンズ(L=170)Planシリーズ

    ■明視野観察用の有限筒長対物レンズです。■MFシリーズより更に高次の収差補正を行い、像の平坦性を実現しています。

    36

    0.63

    35.37

    4.5

    170

    Plan

    0.65

    36

    1.1

    34.9

    4.5

    170

    Plan

    0.40

    φ19

    36

    5.75

    30.25

    4.7

    170

    Plan

    0.20

    名称 MTL[mm]同焦点距離[mm]

    質量[g]N.A.

    W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:18焦点深度[±μm]

    PlanM10XPlanM20XPlanM40X

    170170170

    363636

    506060

    0.2 0.4 0.65

    5.8 1.1 0.71

    16.447.634.06

    1.680.840.52

    1.80.90.45

    6.881.720.65

  • 9

    ガラス厚補正機構付対物レンズ(∞)PL LWDCシリーズ

    LCD基板などのガラスの下の物体を観察したいときに高 N.A.の対物レンズでは像のコントラストが低

    下し、観察が困難になります。しかし、球面収差補正をガラスの厚さに応じて可変出来れば観察は可能

    となります。その特殊対物レンズがPLLWDCシリーズです。PLLWDC20Xでは2.5mm、PLL-

    WDC40では2.0mm迄のガラス厚に対して対物ローレットを回すだけで対応が出来ます。

    ■明視野観察用の無限遠補正対物レンズです。

    ■ガラス厚が変化してもローレットを合わせれば対応可能。

    ■当社段差測定器DHシリーズと組み合わせればガラスを透かした段差測定が可能になります。

    ■ガラスを透かした物体の観察が可能になります。

    ∞�

    PLLWDC200.40 /0-2.5∞�

    φ29(特殊ローレット12等分)�

    φ20.32 �36山/インチ�

    50

    11.2

    38.8

    4.5

    (特殊ローレット24等分)�

    0 0.5 1� 2.521.5 0 0.5 1� 21.5

    ∞�

    PLLWDC400.50 /0-2.0∞�

    φ29(特殊ローレット12等分)�

    φ20.32 �36山/インチ�

    50

    1040

    4.5

    (特殊ローレット24等分)�

    名称MTL[mm]

    同焦点距離[mm]

    N.A.W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:24

    焦点深度[±μm]備 考

    PL LWDC20X

    PL LWDC40X

    50

    50

    0.4

    0.5

    11.2

    10.0

    12.47

    6.52

    質量[g]

    135

    140

    0.8

    0.7

    1.2

    0.6

    1.72

    1.10

    ガラス補正付き(0~2.5mm)

    ガラス補正付き(0~2mm)

  • 10

    紫外線用対物レンズ(∞)UVシリーズ

    紫外線用対物レンズ、UVシリーズは365nm~600nmまで広範囲に使用が可能です。

    e線(546nm)の可視覚でアライメントを行い、i線(365nm)で観察することを主目的に開発されま

    した。紫外線の使用により高分解能・非熱加工が可能です。

    ■e線(546nm)でアライメントが可能。(可視カメラで観察可能)

    ■i線(365nm)で観察が可能です。

    ■100Xでも作業性を重視したW.D.2.5mmを実現。

    ■同焦45mmの顕微鏡に搭載が可能。(100Xのみ専用マウントが必要)

    ■明視野観察用の無限遠補正対物レンズです。

    ■専用結像レンズが必要です。

    ∞�

    φ26

    φ20.32 �36threads/inch

    45

    1332

    4.5

    UVM10/�0.20 ∞�

    ∞�

    φ26

    φ20.32 �36threads/inch

    45

    9.5

    35.5

    4.5

    UVM20/�0.40 ∞�

    ∞�

    φ26

    φ20.32 �36threads/inch

    45

    42.5

    4.5

    / 0

    UVM40/�0.8∞�

    ∞�

    φ34

    M28xP0.75

    45

    2.5

    42.5

    4.5

    / 0

    UVM100/�0.8∞� 14.5

    4.510

    φ20.32 �

    36threads/inch

    φ32

    M28xP0.75

    14.5

    4.510

    φ20.32 �

    36threads/inch

    φ24

    φ20.32 �

    36threads/inch

    名称MTL[mm]

    同焦点距離[mm]

    質量[g]

    N.A.W.D.[mm]

    f[mm]

    分解能[μm] 実視野[mm]

    接眼レンズ視野数:24

    焦点深度[±μm]備 考

    UV10X

    UV20X

    UV40X

    UV100X

    45

    45

    45

    45

    100

    110

    120

    200

    0.20

    0.40

    0.65

    0.80

    12.99

    9.52

    2.50

    2.50

    e25.1

    e12.69

    e6.36

    e2.58

    1.67

    0.84

    0.52

    0.42

    2.4

    1.2

    0.6

    0.24

    6.88

    1.72

    0.65

    0.43

    分解能 i =1.1μm

    分解能 i =0.56μm

    分解能 i =0.34μm

    分解能 i =0.28μm

    UV100X用マウント UV10X-40X用マウント

    ※分解能の焦点深度はe線時

  • 11

    各種チューブレンズ

    PLLWDシリーズ、EPi LWDシリーズ、SPLシリーズ、EPi SPLシリーズでは無限遠補正型対物レンズ

    なので、専用チューブレンズ(結像レンズ)が必要です。

    ■SPLチューブレンズ ………… SPLシリーズ

    ■IPLチューブレンズ ………… PL LWDシリーズ、EPi LWDシリーズ、PL LWDCシリーズ

    ■UV用チューブレンズ ……… UVシリーズ

    UV f: 250mm

    φ24

    約100

    58.5

    847.5

    3

    M33xP0.5

    φ39

    M28x �P0.75

    114 有効光束�

    対物取付面�

    SPL f:250mm

    φ24

    約100

    44

    635

    3

    M33xP0.5

    φ39

    M28x �P0.75

    219

    有効光束�

    対物取付面�

    (105+114)�

    IPL f:250mm

    φ24

    約100

    59.5

    947.5

    3

    M33xP0.5

    φ39

    M28x �P0.75

    114 有効光束�

    対物取付面�

  • 12

    PLLM3X ∞ ○PLLWDM10X ∞ ○PLLWDM20X ∞ ○PLLWDM40X ∞ ○PLLWDM100X ∞ ○PLM3X ∞ ○PLM5X ∞ ○PLM10X ∞ ○SPLM5X ∞ ○ ○SPLM10X ∞ ○ ○SPLM20X ∞ ○ ○SPLM50X ∞ ○ ○SPLM100X ∞ ○ ○NPLM3X 210 ○NPLM5X 210 ○NPLM10X 210 ○NPLM20X 210 ○NPLM40X 210 ○M3X 170M5X 170MF5X 170MF10X 170MF20X 170MF40X 170PlanM10X 170PlanM20X 170PlanM40X 170PLLWDC20X ∞ ○PLLWDC40X ∞ ○UV10X ∞ ○UV20X ∞ ○UV40X ∞ ○UV100X ∞ ○

    対物レンズ MTL 明視野 暗視野 偏光 ノマルスキー 当社の適合機種微分干渉

    ■顕微鏡 • 測定機一覧■対物レンズ適合表

    DH2,DH2-150IMS,IMW,IMHSG-V

    (明視野)

    VERSAMET-3(明視野)

    NSM

    MCB-1

    DH2,DH2-150IMS,IMW,IMH,SG-V

    (IMS・IMW)※ご相談ください

    顕微鏡

    測定機

    MCV

    NMR

    IMS

    IMH

    DH2

    NSM

    SG-V

  • 13

    各種接眼レンズUWシリーズ/SUWシリーズ/NWFシリーズ

    ハイアイポイント型

    UWシリーズハイアイポイント型

    SUWシリーズハイアイポイント型

    NWFシリーズ

    UW10X

    φ30

    64.1

    14

    44

    φ30

    14

    UW15X

    φ30

    39

    14

    φ30

    10

    61

    SUW10X

    SUW15X

    φ35.4

    10

    48

    φ30

    φ30-00.033

    42.5

    10

    TOKYO

    NWF10X

    φ23.2

    14

    56

    14

    φ23.2

    39.1

    φ23.2

    14 23.5

    名称L[mm]

    視野数[mm]

    備 考f[mm]

    倍率前側焦点距離[mm]

    視度調整量D(ディオプトリー)[mm]

    UW 10X

    UW 15X

    UW 20X

    SUW 10X

    SUW 15X

    SUW 20X

    NWF 10X

    NWF 15X

    WF 20X

    19.7

    15.0

    13.0

    19.0

    14.0

    13.0

    21.0

    16.0

    8.0

    φ24

    φ16

    φ11.5

    φ24

    φ16

    φ11.5

    φ18

    φ12

    φ9

    指標目盛有

    指標目盛有

    指標目盛有

    指標目盛有

    指標目盛有

    指標目盛有

    機械により視野数変更あり

    24.95

    16.66

    12.5

    24.96

    16.66

    12.5

    18.0

    11.0

    12.5

    10.0×

    15.0×

    20.0×

    10.0×

    15.0×

    20.0×

    10.0×

    15.0×

    20.0×

    -6D ~ +4D

    -8D ~ +6D

    -6D ~ +4D

    -8D ~ +6D

    -8D ~ +6D

    -6D ~ +6D

    -6D ~ +6D

    -8D ~ +6D

    -8D ~ +6D

    14

    14

    14

    10

    10

    10

    14

    14

    14

    UW10X SUW10X NWF10X

    UW15X SUW15X NWF15X

    UW20X SUW20X WF20X

  • 14

    U11-000416�0.5×鏡筒�

    U11-000421�L型照明�

    U11-000420�V型照明�

    U11-000415�1×鏡筒�

    U11-000419�2.5×TVマウント�

    U11-000417�1×TVマウント�U11-000418�

    1.5×TVマウント�

    N4R�レボルバ� NCL-2�

    ライトガイド光源装置�

    U11-000429�絞付照明�

    IMS組合せコード

    システムダイヤグラム

    なし:無記入

    A:L型照明B:V型照明C:絞付照明

    05:0.5X10:1.0X15:1.5X25:2.5X

    レボルバー

    照明ユニット

    結像・中間レンズ

    I M S - 0 5 A R

    イメ-ジマイクロスコープIMS・IMWシリーズ

    ■装置取付に最適なコンパクト・軽量・ローコストのマイクロスコープです。

    ■明視野無限遠補正対物レンズの全てが取り付きます。

    ■様々な結像・中間レンズ倍率、照明ユニットを選択できる上に、対物レンズを4ケ迄装置可能なレボ

    ルバー、2種類の結像・中間レンズを同時使用できるIMWシリーズなど、用途に合わせた組合わせが

    自由です。

  • 15

    0.5X

    1X

    600

    0.5X

    1X

    600

    1X

    1X

    690

    1X

    1X

    690

    1X

    1X

    850

    可視(400~700)

    Cマウント

    垂直方向

    ケーラー照明(同軸落射・テレセントリック)

    ファイバー照明 150W、他

    PL、SPL、PLLWD、PLLWDCシリーズ

    4

    1X

    1.5X

    740

    1X

    1.5X

    740

    1X

    1.5X

    900

    1X

    2.5X

    890

    1X

    2.5X

    890

    1X

    2.5X

    1050

    0.3X・1X

    3

    900

    機種名 IMS-05A

    波長域

    マウント

    カメラ取付け方向

    本体(結像レンズ)

    中間変倍

    照明光学系

    照明ユニット

    適用対物レンズ群

    取付面の数

    質量(g)

    IMS-05B IMS-10A IMS-10B IMS-10C IMS-15A IMS-15B IMS-15C IMS-25A IMS-25B IMS-25C IMW(0.3-1x)

    仕様

    外観図

    PL/0.20∞�M10

    PL10M /0.20∞�

    Cマウント�

    Cマウント�

    2.5x

    1.5x1.0x取付穴�

    Cマウント�

    4面x4-M4

    レボルバー�

    IMS-10C/15C/25C IMW(0.3-1X)�

    ※4ヶレボルバ付の場合は、記号の最後尾に「R」が付きます。�

    80

    φ44

    17.5

    17.5

    39.6

    3030

    40

    60

    19.8

    45

    220.2

    203.6

    78

    196

    17.5

    299.2

    7840

    /0.20∞�10MPL

    PLM10 /0.20∞�

    2.5x

    1.5x1.0x

    レボルバー�

    V型照明�

    L型照明�

    IMS-10A/15A/25A�10B/15B/25B

    Cマウント�

    Cマウント�

    取付穴�

    Cマウント�

    4面x4-M4

    17.5

    299.2

    220.2

    17.5

    196

    17.5

    203.6

    30

    36.8

    60

    19.8 19.8

    51

    27

    30

    4078 78

    4539.6

    40

    PLM10 /0.20∞�

    PL/0.20∞�M10

    レボルバー�

    L型照明�

    V型照明�

    Cマウント�

    IMS-05A/05B

    取付穴�4面x4-M4

    30

    4078

    39.6

    45

    51

    2719.819.8

    60

    36.8

    30

    4078

    17.5

    151

    � � � � �

    � � � � �

    33.8

    44.6

    59.5

    6040

    7

    3面x8-M4

    17.5

    242.6

    40

    45

    Cマウント�

    取付用タップ�

    Cマウント�

    30

    φ14

    17.5

    102.4

    11.2

    76.519.8

    20PL-LWD M /0.40∞�

  • 16

    θ�

    対物レンズ�

    試料面�

    空気(n=1)�

    W.D.同焦点距離�

    フランジ面�

    焦点深度�

    試料面(ピント面)�

    入射瞳� 絞り� 射出瞳�

    接眼レンズ�

    同焦点距離�試料面�

    対物レンズ取付面�

    W.D.

    機械筒長�

    接眼レンズ取付面�

    1. 開口数(N.A.= Numerical Aperture)�

    <光学 用語豆知識>�

    N.A.は顕微鏡の対物レンズの分解能や明るさ、焦点深度等を決める重要な値です。N.A.は、次の式で求められます。�

    N.A. = n sinθ�n=試料からレンズまでの媒質の屈折率� (空気の場合 n=1)�θ=光軸とレンズの最大有効径を通る光線とがなす角度。 �

    N.A.が大きくなるにつれ分解能が良く、明るい像が得られますが、その反面焦点深度は浅くなります。�

    2. 分解能�

    2点間もしくは2線間を見分ける能力で、目安として次の式で求められます。�(λ : 使用する波長、一般的にはλ=0.55μm)�

    (k : 0.61)�

    3. 収 差�

    光学系によって結像する場合、理想像からの光学的なずれ。球面収差、コマ収差、非点収差、像面湾曲、ディストーション、色収差などがあります。�

    4. 作動距離(W.D. = Working Distance)�

    焦点を合わせたときの対物レンズ先端から試料面までの距離のことを指します。�

    5. 同焦点距離�

    焦点を合わせたときの対物レンズのフランジ面から試料面までの距離のことを指します。�

    <光学系断面図>�

    6. 機械筒長(MTL)�

    直筒型顕微鏡において、対物レンズの取付け面と接眼レンズの取り付け面との距離です。対物レンズと接眼レンズの間に中間光学系がある場合は、その光学系による光路の増加量を差し引いた距離になります。�

    7. 対物レンズの焦点距離と対物レンズの倍率の関係�

    無限補正光学系の対物レンズの場合、対物レンズの倍率は次の式で求められます。�

    8. 焦点深度�

    試料を観察した際、焦点を合わせた位置から焦点をずらした場合に、鮮明に見ることのできる範囲を指します。この範囲は個人差や観察方法によって変化しますが、一般的には次の式により求められます。��≪接眼レンズを使用して観察した場合の焦点深度≫���

    ω : 目の分解能 0.0014(目の視角を5分とした場合)�M : 総合倍率(対物レンズの倍率×接眼レンズの倍率)�

    �≪写真の場合≫����≪TVカメラの場合≫�TVカメラの場合には、写真の場合と同様に求められますが、CCDの種類・光学系の倍率・N.A.によって異なるのであくまでも目安にしかなりません。�

    e=k・�λ�N.A.

    対物レンズの倍率=�結像レンズの焦点距離�対物レンズの焦点距離�

    λ�2・(N.A.)2

    ω・250,000�N.A.・M

    ±D(μm)=

    λ�2・(N.A.)2

    ±D(μm)=

    +�

  • 17

    対物レンズ�結像レンズ�

    像側焦点� 物体側焦点�

    対物レンズ�

    像側焦点� 物体側焦点�

    物体�像�

    主光線�

    絞り�

    対角長�対角長�

    TVモニター� CCD

    9インチモニターTV�

    12インチモニターTV�

    14インチモニターTV

    2/3インチCCD 1/2インチCCD 1/3インチCCD 1/4インチCCD

    約 21.8X�

    約 28X�

    約 35X

    約 29X�

    約 39X�

    約 46X

    約 40X�

    約 51X�

    約 64X

    約 52X�

    約 66X�

    約 83X

    10. 視野数�

    対物レンズによって拡大された像を接眼レンズで観察した際に、観察できる像の直径をmmで表したものです。この数値は接眼レンズ、若しくは接眼レンズに使用するレチクルにより変化します。�

    15. ケーラー照明�

    照明用の光源の像を対物レンズ瞳位置に結像させ、試料面上にむらなく照明させる方式です。�

    18. 観察方法�

    ≪明視野観察≫�・同軸落射照明�ハーフミラーを用い、試料に照射する照明の光軸と、観察するカメラの光軸を一致させ、試料表面からの正反射光を観察する照明方式です。�・斜光照明�対物レンズの外側から物体表面を斜めに直接照明する方法で、粗面に陰影がつきコントラストの良い像が観察できる照明方法です。��≪暗視野観察≫�対物レンズの周囲から環状に光線を照射し、平らな試料面からの反射光が対物レンズに直接入射しないようにして、散乱光や回折光を観察する方法です。��≪ノマルスキー微分干渉観察≫�ノマルスキープリズムと2枚の偏光板を使用することにより、波長オーダーの微小な段差に対して干渉を起こさせ、その段差を干渉色の違いによって識別する観察方法です。��≪偏光観察≫�通常2枚の偏光フィルタ(アナライザ・ポラライザ)を互いに直交方向に配置し観察をします。試料の偏光特性に応じたコントラストが得られます。�

    19. TVモニター倍率�

    17. 対物レンズの種類�

    ≪アクロマート対物レンズ≫�球面収差、コマ収差、非点収差と色収差におけるC線(赤)とF線(青)を補正した対物レンズです。��≪アポクロマート対物レンズ≫�特殊な異常分散ガラスを使用し、より色収差を補正した対物レンズで、アクロマートより高性能な対物レンズです。��≪プラン対物レンズ≫�主に像面湾曲収差を補正し、視野全面でのピントが合う様に補正した対物レンズです。��≪プランアポクロマート対物レンズ≫�アポクロマート対物とプラン対物の両特性を併せ持つ最も高性能な対物レンズです。��≪ガラス厚補正機構付対物レンズ≫�対物レンズと観察試料の間にガラスが入っていると、得られた像のコントラストが低下する場合があります。このコントラストの低下を防ぐための調整機構が付いた対物レンズを指します。�

    11. 視 度�

    接眼レンズを使用して観察を行う場合に、個人差による見え具合の調節に使用する値で、単位をディオプター(m-1)で表します。�

    12. アイポイント�

    全視野がケラレなく観察できる、接眼レンズに対する目の位置を表します。�

    13. 無限補正光学系と有限補正光学系�

    ≪無限補正光学系≫�

    14. テレセントリック光学系�

    入射瞳の位置が無限遠にある光学系、即ち主光線が光学系の射出瞳位置にて光軸と交わるように配置された光学系です。焦点合わせ誤差があっても倍率精度が保持できる特徴を持ってます。�

    対物レンズと結像レンズを用い像を結ぶ光学系。光路中にハーフミラーなどの光学素子を挿入しても二重像等が発生しないメリットがあります。�

    ≪有限補正光学系≫�

    対物レンズ自身で有限な位置に像を結ぶ光学系です。�

    9. 実視野�

    ≪顕微鏡で観察できる試料の範囲≫����≪TVモニタで観察できる試料の範囲≫�

    TVモニター倍率=�

    TVモニターでの�総 合 倍 率�=対物レンズ倍率×TVモニター倍率�

    TVモニター倍率�

    ※モニターインチサイズにより異なります。又、モニターメーカーによってはサイズ� が異なるため、倍率は目安程度となります。�

    TVモニターの対角長�CCDの対角長�

    16. ズーム式�

    光学系の一部を光軸に沿って移動させる事によって、像点の位置を変えることなく、連続的に焦点距離、又は倍率を変える方法です。�

    実視野(mm)=�接眼レンズの視野数�対物レンズ倍率�

    実視野(mm)=�CCDイメージサイズ�対物レンズ倍率�

  • S000000AA1 印刷 2000年00月 0000部�

    〒175-0081 東京都板橋区新河岸2-22-4

    ●本カタログの仕様については予告なく変更することがあります。�

    ユニオン光学株式会社販売店�

    TEL.03-5997-8531 FAX.03-5997-8532 �

    URL ; http://www.union.co.jp E-mail ; [email protected]