CNC 화상 측정기 퀵 비전 시리즈 · 대물렌즈 측정물의 표면 z축 자동 추종 측정물의 높이 변화에 따라 연속적으로 포커스하는 기능입니다

카탈로그 번호 K14007(12)

퀵 비전 시리즈CNC 화상 측정기

1803(1)A-(HA)PT

화상 측정기

1

진정한 솔루션을 향해 진화하는

퀵 비전 시리즈

Evolution ~ 계속해서 진화하다 ~

리니어 스케일 제조 길이용 633nm 요오드 분자 흡수선 파장 안정화 He-Ne 레이저 장치

Traceability

고도의 엣지 검출 능력과 조명 기능, 조작성이 뛰어난 고성능의 소프트웨어를 갖추고 있습니다.

소형 모델에서부터 고정도, 높은 작업 처리량까지 다양한 비접촉 치수 측정의 기대에 부응합니다.

Software

측정용 소프트웨어 QVPAK은 항상 진화하고 있습니다.

QVPAK과 각종 애플리케이션 소프트웨어로 다기능 해석과 고속 처리, 간단 조작을 가능케 합니다.

퀵 비전을 제어하는 베이스 소프트웨어

미쓰도요는 퀵 비전 시리즈를 비롯한 CNC 화상 측정기를 1980년대 중반부터 판매하고 있기 때문에 일본 국내 최대의 납입 실적을

자랑합니다.

현대의 측정 환경은 고정도화, 미세화, 경량화 등 점점 고도화되어 가고 있습니다.

미쓰도요에서 지금까지 개발해 온 「화상 측정 기술」, 「광학 기술」, 「센싱 기술」, 「소프트웨어 기술」을 고도로 융합한 퀵 비전

시리즈가 고객 여러분의 과제 해결을 강력하게 서포트해 드립니다.

미쓰도요는 길이 3분야(길이 측정용 레이저 광원, 단도기, 선도기)의 인정 사업자로서 교정 서비스가 가능합니다. 또한 정밀 측정기의 종합 메이커로서 화상 측정기 외에도 3차원 측정기, 광학 측정기, 형상 측정기 등 국가 표준 기반의 측정기를 다수 생산하고 있습니다.

Optics퀵 비전에 사용하고 있는 광학계는 미쓰도요가 오랫동안 축적한 광학 기술을 바탕으로

만들었습니다.

시야 전체에 걸쳐 상이 평탄하고 플레어가 적은 이상적 광학계 입니다.

렌즈 설계 · 제조

카와사키 공장

2

퀵 비전 시리즈

Active

3

터치 트리거 프로브Touch Tr igger Probe

화상 측정Vis ion Measur ing

트래킹 오토 포커스 TAF

레이저 변위 센서L aser Probe

크로매틱 포인트 센서CPS Probe

세련된 멀티 센서를 탑재하여 고차원 3D 측정 실현고정도, 고합리화 측정을 제공합니다.

터치 트리거 프로브와의 병용으로 화상만으로 측정이 어려운 측면이나

임의의 높이에서의 치수 측정 등 입체물 측정 대응이 가능합니다.

광학 렌즈로 확대된 화상을 카메라로 촬영하고 화상 처리 기술을

이용하여 엣지 검출이나 오토 포커스에 의한 치수 측정이 가능합니다.

레이저의 합초점 방식을 사용한 비접촉 변위 센서로 스캐닝 기능에 의해

극소 단차나 곡면 형상의 고속 측정이 가능합니다.

백색 광원의 축상 색수차를 이용한 파장 공초점(confocal) 방식의 비접촉

변위 센서로 스캐닝 기능에 의해 미소 단차나 곡면 형상을 고속으로

측정할 수 있습니다.

동초점

동초점

대물렌즈

측정물의 표면

Z축 자동 추종

측정물의 높이 변화에 따라 연속적으로 포커스하는 기능입니다.

표면의 굴곡·휘어짐(Z축 높이 방향)을 자동으로 추종하여 측정의

효율성 향상을 실현합니다.

또한 수동 측정시에도 번거로운 핀트 조절의 조작이 줄어 측정

작업자의 부담이 경감됩니다.

주) 변위의 연속 측정을 할 수 없습니다.

4

QV 인덱스 테이블QV Index

UMAP 프로브UMAP Probe

세련된 멀티 센서를 탑재하여 고차원 3D 측정 실현고정도, 고합리화 측정을 제공합니다.

PFFPoints From Focus

필터를 이용한 화상 엣지 검출

연료 분사 노즐 홀 형상 측정

렌즈 배럴 형상 측정

화상 오토 포커스에 의한 고정도 높이 측정

독자 센싱 기술에 의한 높은 종횡비의 극소

스타일러스를 이용하여, 극소 부위의 접촉 측정이

가능합니다.

백색 간섭계White L ight Interferometer

WL I 광학 헤드

화상 광학 헤드

금속 수지

백색 간섭계로 미세 영역의 표면

해석이나 작은 구멍 깊이, 기판의

라인&스페이스 측정 등 고정도

3D 측정이 가능합니다.

퀵 비전에서 촬영한 높이가 다른 화상에서 콘트라스트(대비)

정보를 이용하여 3차원 형상 데이터를 얻을 수 있습니다.

QV 인덱스에서

측정물을 회전시켜

한 번의 작업으로

다면의 자동 측정이

가능합니다.

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고정도 대응의 본체 구조와 고성능 오토 포커스로X, Y, Z축에서 최고의 비접촉 측정을 실현

퀵 비전의 특징

고정도 측정에 적합한 본체 구조

다채로운 측정 범위 · 정도별 라인업

풍부한 바리에이션의 고기능 조명 유닛

퀵 비전은 광학 렌즈로 확대한 영상을 카메라로 촬영한 후 화상 처리 기술을 이용, 측정물의 엣지를 검출하여 비접촉으로 치수를 측정하는

시스템입니다.

본체부 기본 구조에 고정 브릿지 Y테이블 이동형 구조를 사용하고 있습니다. 각

축의 이동에 의한 본체의 변형이 적은 구조이기 때문에 공간적인 좌표의 왜곡이

발생하기 어려워 고정도로 측정할 수 있습니다.(ACCEL 제외)

QV 시리즈는 소형 모델에서부터 대형 모델, 범용 정도 모델부터 초고정도 모델까지

다양한 시리즈를 갖추고 있어 제조업의 측정 요구에 대응할 수 있습니다.

・QV-PRO 모델에는 투과·낙사·프로그램 제어 링 조명의 모든 광원에 LED 광원을 사용했습니다.

・높은 레벨로 달성한 조명의 일정성과 QV 여러 대 간의 파트 프로그램의 호환성이 뛰어납니다.

・응답성이 뛰어난 LED 광원으로 측정 처리량이 향상되었습니다.

・할로겐 광원과 비교했을 때 수명이 길기 때문에 광량 변동이 적고 광량 변화에 의한 에러 발생을 최소화시킬 수 있습니다.

◇광학 렌즈로 확대하여 측정하기 때문에 미세 형상의 치수 측정이 가능합니다.

얇고 정밀한 전자·반도체 부품이나 정밀 가공품, 의료 기기 부품 등 미소 측정물 측정에서 위력을

발휘합니다.

◇비접촉이기 때문에 측정물에 대한 파손·변형·오염 등의 걱정이 없습니다. 청결도를 유지해야 하는 전자

·반도체 부품의 측정 외에도 수지 성형품과 같은 연질물, 프레스 성형품 등의 얇은 측정물의 측정에도

적합합니다.

◇촬영 구역 내의 화상 정보로 고속 다점 측정이 가능합니다.

화상 처리 기술과 고속 스테이지 제어에 의해 높은 처리 능력을 실현하였고, 측정할 곳이 많은

측정물이나 양산품의 공정 관리에 최적화 되어있습니다.

◇고정도의 비접촉 높이 측정이 가능합니다.

화상 오토 포커스나 비접촉 변위 센서를 이용하여 고정도의 높이 측정이 가능합니다.

FEM 구조 해석 시뮬레이션

수직 낙사 조명

프로그램 제어 링 조명

투과 조명

스테이지 글래스투과 조명 수직 낙사 조명 프로그램 제어 링 조명

화상 측정기 접촉식 측정기

명칭 사이즈 측정 범위 (mm)

QV Active 202 250× 200×150404 400× 400×200

QV ApexHyper QVQV STREAM PLUS

302 300× 200×200404 400× 400×250606 600× 650×250

QV ACCEL 808 800× 800×1501010 1000×1000×150

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고기능의 조명이 확실한 엣지 검출과 자동 측정을 실현

프로그램 제어 링 조명 (PRL)2개의 곡면 미러의 위치를 변경하여 링 조명의 반사 각도를 30°~80°의 범위에서 임의 설정할 수 있으며

경사면이나 미세 단차의 엣지 강조에 효과적입니다.

그리고 PRL 조명은 전후좌우 빛에 대한 독립 설정이 가능하여 측정 위치에 따라 풍부한 바리에이션의

조명 설정이 가능합니다. 주) QV-Active 이외의 모델에 라인업

대물렌즈

조명

IC 패키지 메털라이즈 Top&Bottom 폭 측정

4분할 LED 조명

파라볼릭 미러

트로이달 미러

측정물 표면

대물렌즈

독립 조도 제어가 가능한4분할 LED 광원으로균일한 조명 가능

Z축과 독립으로 가동하는 2종류의미러의 위치 제어로 조사 각도 설정 가능

Top

Bottom

RightLeft

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Bottom

RightLeft

Top

Bottom

RightLeft

트래킹 오토 포커스 (TAF)측정물의 높이 변화에 따라 연속적으로 포커싱할 수 있는 기능입니다.

표면의 굴곡·휘어짐(Z축 높이 방향)에 따라 자동 추종하여 측정의 처리 능력이 향상됩니다.

또한 수동으로 측정할 때에도 번거로운 포커싱 작업이 줄어들어 측정자의 부담도 줄어듭니다.

레이저 오토 포커스(LAF) 기능으로 높이 측정이 가능합니다.주) 변위의 연속 측정은 불가합니다. QV-Active 이외의 모델에 라인업

레이저 광원 반도체 레이저 피크 파장 690nm레이저 안전성 Class2 (JIS C6802:2011, EN/IEC60825-1:2007)에 따름

오토 포커스 방식 대물렌즈 동축 방식 (나이프엣지법)

적용 대물렌즈 QV-HR1x QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-5x

트래킹 범위 ※ 6.3mm（±3.15mm）

6.3mm（±3.15mm）

1mm（±0.5mm）

1mm（±0.5mm）

0.25mm（±0.125mm）

※ 트래킹 오토 포커스를 실행할 때에는 측정물과의 충돌을 방지하기 위해 반드시 상하한 소프트웨어 리미트를 설정해 주십시오. 트래킹 범위는 측정물의 표면 성상 및 반사율에 따라 달라집니다.

동초점

동초점

대물렌즈

측정물의 표면

Z축 자동 추종

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프로그램 제어 파워 터릿 (Apex, Hyper, STREAM PLUS, ACCEL, ULTRA, QVTP, HYBRID 모델 )

줌 렌즈 유닛 (Active)

PPT1 ×시야 2.49×1.86mm

QV-HR2.5 ×

PPT2 ×시야 1.24×0.93mm

PPT6 ×시야 0.41×0.31mm

PPT1 ×시야 6.27×4.70mm

QV-HR1 ×

PPT2 ×시야 3.13×2.35mm

PPT6 ×시야 1.04×0.78mm

PPT1 ×시야 1.24×0.93mm

QV-5 ×

PPT2 ×시야 0.62×0.47mm

PPT6 ×시야 0.20×0.15mm

QV-HR10 ×

PPT1 ×시야 0.62×0.47mm

PPT2 ×시야 0.31×0.23mm

PPT6 ×시야 0.10×0.07mm

QV 프로그램 제어 파워 터릿은 배율 재현성이 뛰어나 고정도

측정에 적합합니다. 표준 사양은 1×, 2×, 6×의 3단계의 배율 변형이

가능※1합니다. 또한 대물렌즈도 0.5배~25배의 다양한 라인 업으로

측정 대상물에 맞춰 최적의 광학계를 선택할 수 있습니다.

대물렌즈는 본체 도입 이후에도 추가 구입 가능 합니다.

※1: 특주 사양으로 1×, 2×, 4×의 3단계 또는 1×, 2×, 4×, 6×의 4단계로

변경할 수 있습니다.

QV 용 각종 대물렌즈

Z-objective 1 ×

0.5× 2× 3.5×

Z-objective 1.5 ×

0.75× 3× 5.25×

Z-objective 2 ×

1× 4× 7×

Z-objective 1×(옵션）

Z-objective 1.5×（표준 악세서리)

Z-objective 2×(옵션)

줌 렌즈는 대물렌즈 교환으로 최대 줌비 14배를 달성했습니다.효율을 중시한 저배 광시야 측정부터 고배 미세 부위 측정까지 폭넓은 측정이 가능합니다.

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관찰 기능을 높인 컬러 카메라 사양 (PRO3, Active)

관찰 기능을 높이기 위해 컬러 카메라를 탑재한 PRO3 사양 및 Active를 라인업했습니다.

프린트 기판 QFP 패키지 리드 IC 패키지 LCD 컬러 필터 수지 성형품

다기능 컨트롤 박스

사용하기 쉬운 다기능 컨트롤 박스입니다.

비상 스위치

4 자리 상태 LED

스피드 가변 볼륨

ISO10360-7의 정도 보증 대응 가능

퀵 비전은 일부 기종에서 ISO10360-7:2011의 정도의 보증이

가능합니다.(Active, ACCEL 제외)

정도 보증 항목

· 길이 측정 오차 EU,MPE

· 프로빙 오차 PF2D,MPE

수지 성형품 IC 패키지 가공면의 모따기

QV 시리즈는 고성능 화상 오토 포커스가 표준으로 장비되어 있어, 화상 오토 포커스로 정도를 보증합니다.

다채로운 오토 포커스 툴로 표면 성상이나 측정 부위마다 최적의 포커스를 선택할 수 있어서 높은 신뢰도로 높이 측정이 가능합니다.

또한 오토 포커스 스피드도 매우 빨라 전체 측정 처리량이 향상되었습니다.

고성능 멀티 오토 포커스

표면 포커스화상 오토 포커스는 임의 영역의 높

이 측정이 가능하여 절삭 가공면 등

도 표면 조도의 영향을 쉽게 받지 않

는 안정된 높이 측정이 가능합니다.

패턴 포커스광로 내에 배치된 패턴을 투사하여

콘트라스트(대비)가 낮은 필름이나

유리와 같은 투명체나 경면도 오토

포커스가 가능합니다.(Active 제외)

엣지 포커스C면이나 코너 R이 있는 엣지부의

포커스에 적합하고 엣지 검출 전에

사용하면 엣지 검출 재현성이 높아

집니다.

멀티 포인트 오토 포커스멀티 포인트 오토 포커스는 여러 개의 포커스 위치나 사이즈, 각도를 임의로 설정할 수 있습니다. 포커스 동작 한 번으로 여러 점의 높이 정보를 얻을 수 있고 높이 측정이나 평면도의 고효율 측정이 가능합니다.

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QV Active

CNC 화상 측정기

퀵 비전

QV Active

■사양

QV Active 202

● 간단 조작과 높은 기능, 공간 절약으로 다양한 요구를 충족시키는

새로운 엔트리 모델입니다.

● 250×200mm, 400×400mm의 2가지 사이즈 라인업.

폭넓은 측정물에 대응할 수 있습니다.

● 새로운 설계의 대물렌즈 교환으로 최대 줌비 14배를 달성하였습니다.

저배의 광시야 측정에서 고배의 미세 측정까지 폭넓게 대응합니다.

● 고화소 컬러 카메라의 탑재로 현미경 등의 관찰 장치와도 손색이

없는 화상으로 보다 사용하기 쉬워졌습니다.

명칭 QV Active 202 QV Active 404

주문번호 363-109-10 363-110-10

제품번호 QV-L202Z1L-D QV-L404Z1L-D

측정 범위 （X×Y×Z） 250×200×150mm（250×200×118mm:대물렌즈 Z-objective 1×사용 시）

400×400×200mm（400×400×168mm:대물렌즈 Z-objective 1×사용 시）

분해능 0.1µm

측장 유닛 리니어 엔코더

관찰 장치 Zoom 유닛（8 포지션）

촬상 소자 CMOS 컬러 카메라

조명 장치

수직 낙사 조명 백색 LED

투과 조명 백색 LED

링 조명 4 분할 고정식 백색 LED

화상 측정 정도※1

E1X, E1Y （2+3L/1000)µm

E1Z （3+5L/1000)µm

E2 （2.5+4L/1000)µm

정도 보증 광학 조건 대물렌즈 Z-objective 1.5×／줌 배율5.25×

정도 보증 온도 20±1˚C

스테이지 글래스 크기 311×269mm 466×480mm

측정물의 최대 적재 무게※2 10kg 20kg

본체 외관 치수 570×767×1468mm 776×1303×1529mm

본체 무게（설치대 포함） 155kg 324kg

※1 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수（mm)※2 극단적인 편하중, 집중 하중 제외

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QV Apex

스탠다드 CNC 화상 측정기퀵 비전

QV Apex

QV Apex 302PRO3

● 소형 모델부터 대형 모델까지 갖춘 QV 시리즈의 스탠다드

모델입니다.

● 측정물 높이 변화에 맞춰 연속적으로 초점을 맞추는 트래킹

오토 포커스를 탑재한 기종도 있으며 측정 처리량의 향상을

실현했습니다.

● 컬러 CCD 카메라를 탑재한 PRO3 모델 등 다양한 요구에 대응

가능합니다.

● 404/606의 XY축 구동 속도 400mm/s를 실현했습니다.

특히 이동량이 큰 측정물의 측정 처리량이 향상되었습니다.

● ISO 10360-7:2011의 정도를 보증합니다. (PRO기종만)

■사양

※1 1×, 2×, 4× 또는 1×, 2×, 4×, 6×의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※2 컬러 LED 조명, 할로겐 조명 사양은 특주로 대응이 가능합니다.※3 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※4 측정물：교정용 차트 크롬면, 대물 렌즈：QV-HR2.5X, 탐색 속도：10mm/sec, 탐색 범위：2mm일 때※5 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ISO10360-7:2011정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오.（PRO기종만）

명칭 QV Apex 302 QV Apex 404 QV Apex 606제품번호 QV-X302P1L-D QV-X302T1L-D QV-X302P3L-D QV-X302T3L-D QV-X404P1L-D QV-X404T1L-D QV-X404P3L-D QV-X404T3L-D QV-X606P1L-D QV-X606T1L-D QV-X606P3L-D QV-X606T3L-D주문번호 363-170-10 363-174-10 363-171-10 363-175-10 363-180-10 363-184-10 363-181-10 363-185-10 363-190-10 363-194-10 363-191-10 363-195-10광학 시스템 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3트래킹 오토 포커스 장치 — ● — ● — ● — ● — ● — ●

측정 범위 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm분해능/측장 유닛 0.1µm／리니어 엔코더

관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러

조명 장치※2

수직 낙사 조명 백색 LED투과 조명 백색 LED프로그램 제어 링 조명

백색 LED

측정 정도※3

E1 XY축 (1.5+3L/1000)µmE1 Z축 (1.5+4L/1000)µmE2 XY평면 (2.0+4L/1000)µm정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈 (QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X) ＋ 중배율 튜브 렌즈

정도보증 온도

환경 온도 20±1˚C온도 변화 2˚C/8H

LAF 반복 정도※4 — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm스테이지 글래스 크기 399×271mm 493×551mm 697×758mm측정물의 최대 무게※5 20kg 40kg 50kg본체 외관 치수 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm본체 무게 (설치대 포함) 360kg 579kg 1450kg

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고정도 CNC 화상 측정기퀵 비전

Hyper QV

Hyper QVHyper QV 404PRO

● Hyper QV는 고분해능, 고정도 스케일을 탑재한 고정도

모델입니다.

● QV Apex와 마찬가지로 소형 모델부터 대형 모델까지 갖추고

있어 측정물의 크기에 따라 최적의 기종을 선택할 수 있습니다.

● 측정물의 높이 변화에 따라 연속적으로 초점을 맞추는

트래킹 오토 포커스가 탑재된 기종도 있어 측정의 효율성을

향상시킵니다.

● 측정기 본체 온도 센서와 측정물용 온도 센서를 이용한 자동

온도 보정 기능이 표준 탑재되어 있습니다. 정도 보증 온도는

18~23°C입니다. 온도 변화에 의한 불확도를 저감시켜 안정된

측정 결과를 얻을 수 있습니다.

● ISO 10360-7:2011의 정도를 보증합니다.

■사양

※1 1×, 2×, 4× 또는 1×, 2×, 4×, 6×의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※2 컬러 LED 조명, 할로겐 조명 사양은 특주로 대응 가능합니다.※3 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수（mm）※4 측정물：교정용 차트의 크롬면, 대물렌즈：QV-HR2.5X, 탐색 속도：10mm/sec, 탐색 범위：2mm일 때※5 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ISO10360-7:2011정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오.

명칭 Hyper QV 302 Hyper QV 404 Hyper QV 606제품번호 QV-H302P1L-D QV-H302T1L-D QV-H404P1L-D QV-H404T1L-D QV-H606P1L-D QV-H606T1L-D주문번호 363-173-10 363-177-10 363-183-10 363-187-10 363-193-10 363-197-10광학 시스템 PRO PRO PRO트래킹 오토 포커스 장치 — ● — ● — ●


관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD

조명 장치※2

수직 낙사 조명 백색 LED투과 조명 백색 LED프로그램 제어 링 조명 백색 LED

측정 정도※3

E1 XY축 （0.8+2L/1000）µmE1 Z축 （1.5+2L/1000）µmE2 XY평면 （1.4+3L/1000）µm정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈

정도 보증온도

환경 온도 18〜23˚C온도 변화 0.5˚C/1H 또는 1˚C/24H

LAF 반복 정도※4 — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm스테이지 글래스 크기 399×271mm 493×551mm 697×758mm측정물의 최대 무게※5 15kg 30kg 40kg본체 외관 치수 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm본체 무게（설치대 포함） 360kg 579kg 1450kg온도 보정 기능 자동 온도 보정

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QV STREAM PLUS

논스톱 CNC 화상 측정기퀵 비전

QV STREAM PLUS

이동 촬영 이동 촬영 이동 촬영 촬영 종료 후 일괄 측정

카메라 연속 이동 카메라

● QV STREAM PLUS는 XY 본체 구동과 스트로브 조명을

동기화시켜 스테이지를 멈추지 않고 측정이 가능한 혁신적인

화상 측정기입니다.

기존의 화상 측정기는 이동→정지→측정→이동의 반복

동작으로 측정 처리량에 제한이 있었습니다.

QV STREAM PLUS는 가속 및 감속, 정지하는데 소요되는 시간을

제거한 논스톱 화상 측정(스트림 모드)으로 측정 시간이

비약적으로 단축되었습니다.



향상시킵니다.

● QV Apex와 마찬가지로 소형 모델부터 대형 모델까지

갖추고 있어 측정물의 크기에 따라 최적의 기종을 선택할 수

있습니다.

QV STREAM PLUS 606PRO

■사양

※1 1×, 2×, 4×또는 1×, 2×, 4×, 6×의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※2 STREAM 모드의 조명 기능（투과, 낙사, PRL）은 단체 설정만, PRL은 모든 점등（4방향）또는 1방향에서만 가능합니다.※3 STREAM 모드에서는 청색의 조명만 가능합니다.※4 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수（mm）※5 측정물：교정용 차트의 크롬면, 대물렌즈：QV-HR2.5X, 탐색 속도：10mm/sec, 탐색 범위：2mm일 때※6 극단적인 편하중, 집중 하중 제외

명칭 QV STREAM PLUS 302 QV STREAM PLUS 404 QV STREAM PLUS 606제품번호 QV-X302P1S-D QV-X302T1S-D QV-X404P1S-D QV-X404T1S-D QV-X606P1S-D QV-X606T1S-D주문번호 363-172-10 363-176-10 363-182-10 363-186-10 363-192-10 363-196-10광학 시스템 PRO PRO PRO트래킹 오토 포커스 장치 — ● — ● — ●


관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD

조명 장치※2

수직 낙사 조명※3 컬러 LED투과 조명 청색 LED프로그램 제어 링 조명※3 컬러 LED

측정 정도※4

E1 XY축 （1.5+3L/1000)µmE1 Z축 （1.5+4L/1000)µmE2 XY평면 （2.0+4L/1000)µm정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈

정도 보증온도

환경 온도 20±1 ˚C온도 변화 2˚C/8H

LAF 반복 정도※5 — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm스테이지 글래스 크기 399×271mm 493×551mm 697×758mm측정물의 최대 무게※6 20kg 40kg 50kg본체 외관 치수 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm본체 무게 (설치대 포함） 360kg 579kg 1450kg

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대형 CNC 화상 측정기퀵 비전

QV ACCEL

● 측정물의 높이 변화에 따라 연속적으로 초점을 맞추는 트래킹 오토 포커스가 탑재된 기종도 있어 측정의 효율성을 향상시킵니다.

● 3CCD컬러 카메라 탑재 기종, 트래킹 오토 포커스 탑재 기종, QV ACCEL 1212 （측정범위：1250×1250×100mm）, QV ACCEL 1517 （측정범위：1500×1750×100mm）는 특주 문의 바랍니다.

QV ACCEL● QV ACCEL 시리즈의 이동 브릿지 타입 구조는 스테이지가 움직이지 않아

측정물의 고정 지그를 단순화 할 수 있습니다. 따라서 지그의 구성 및 검사에 필요한 인력을 최대한 줄이고 짧은

라이프 사이클의 측정물이나 얇고 가벼운 측정물의 측정에 적합합니다.● 고밀도·고세밀화가 요구되는 프린트 기판이나 메탈 마스크, 스크린

제판의 측정 또는 디스플레이 패널의 글래스 기판, 필름 등의 측정에 적합합니다.

● 고기능 엣지 검출과 함께 화상 오토 포커스에 의한 고정도 높이 측정이 가능합니다. 화상 오토 포커스에는 필름이나 글래스 등 투명체에도 초점을 맞출 수 있는 패턴 포커스(표준 기능)가 있습니다.

■사양

※ 1 1X, 2X, 4X 또는 1X, 2X, 4X, 6X의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※ 2 컬러 LED 조명, 할로겐 조명 사양은 특주로 대응 가능합니다.※ 3 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※ 4 극단적인 편하중, 집중 하중 제외

QV ACCEL 808PRO

명칭 QV ACCEL 808 QV ACCEL 1010광학 시스템 PRO PRO

표준 모델제품번호 QV-A808P1L-D QV-A1010P1L-D주문번호 363-315-10 363-335-10

측정 범위 800×800×150mm 1000×1000×150mm분해능/측장 유닛 0.1µm／리니어 엔코더

관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD B&W CCD

조명 장치※2


측정 정도※3

E1 XY축 （1.5+3L/1000)µmE1 Z축 （1.5+4L/1000)µmE2 XY평면 （2.5+4L/1000)µm정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 저배율 튜브 렌즈

반복 정도※3 짧은 치수XY축

3σ=0.2µm긴 치수 3σ=0.7µm

정도 보증온도

환경 온도 20±1 ˚C온도 변화 2˚C/8H

스테이지 글래스 크기 883×958mm 1186×1186mm측정물의 최대 무게※4 10kg 30kg본체 외관 치수 1475×1860×1578mm 1912×2141×1603mm본체 무게 2050kg 2950kg

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ULTRA QV 404

초고정도 CNC 화상 측정기울트라 퀵 비전

ULTRA QV 404

● ULTRA QV404는 측정 정도 E1XY=(0.25+L/1000)µm를 실현한

초고정도 CNC 화상 측정기입니다.

● 각 축의 운동 성능을 높이기 위해 안내 방식에는 고정도 3차원 측정기에서도 사용된 정압 에어 베어링을 X, Y, Z 3축에

사용하였습니다.

● 측정기 본체 온도 센서와 측정물용 온도 센서를 이용한 자동

온도 보정 기능이 표준 장비되어 있습니다. 정도 보증 온도는 19~23°C입니다. 온도 변화에 의한 불확도를 저감시켜 안정된

측정 결과를 얻을 수 있습니다.



향상시킵니다.

● ISO10360-7:2011의 정도를 보증합니다.■사양명칭 ULTRA QV 404제품번호 QV-U404P1N-D QV-U404T1N-D주문번호 363-518-10 363-519-10광학 시스템 PRO트래킹 오토 포커스 장치 — ●

측정 범위 400×400×200mm분해능/측장 유닛 0.01µm／리니어 엔코더

관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD　

조명 장치

수직 낙사 조명 할로겐

투과 조명 할로겐

프로그램 제어 링 조명 할로겐

측정 정도※2

E1 XY축 （0.25+L/1000）µmE1 Z축※3（50mm스트로크）（1.0+2L/1000）µmE1 Z축（풀 스트로크）（1.5+2L/1000）µmE2 XY평면 （0.5+2L/1000）µm정도 보증 광학 조건 5배 대물렌즈 ＋ 중배율 튜브 렌즈

화면 내 반복 정도 3σ=0.2µm오토 포커스 반복 정도 σ＝0.4µm

정도 보증온도


LAF 반복 정도※4 — σ≦0.8µm스테이지 글래스 크기 493×551mm측정물 최대 무게※5 40kg본체 외관 치수 1172×1735×1910mm본체 무게 (설치대 포함） 2025kg사용 공기압 0.4MPa※6

공급 공기량 300L/min（ANR）※7

온도 보정 기능 자동 온도 보정

※1 1X, 2X, 4X 또는 1X, 2X, 4X, 6X의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※2 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※3 공장 출하 검사 시에만 실시※4 측정물：교정용 차트의 크롬면, 대물렌즈：QV-HR2.5X, 탐색 속도：10mm/sec, 탐색 범위：2mm일 때※5 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※6 공기원 원압은 0.5〜0.9MPa가 필요합니다.※7 표준 상태에서의 유입량을 나타냅니다.※ISO10360-7:2011 정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오.

ULTRA QV 404PRO

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QV 터치 트리거 프로브

터치 트리거 프로브 사양 CNC 화상 측정기

QV TP

● 1대로 비접촉 측정과 접촉 측정이 가능 QV-TP 시리즈는 화상 측정 기능과 터치 트리거 프로브를 이용한 접촉 측정이 가능합니다.● 입체적인 측정물 측정에 대응 가능 프레스 성형품이나 수지 성형품, 절삭 가공품 등 지금까지 화상 처리만으로는 측정할 수 없었던 입체적 측정이 가능합니다.● 프로브 모듈 체인지 랙 프로브 모듈 체인지 랙을 이용하면 일련의 자동 측정 작업 중에 화상 측정과 터치 트리거 프로브 측정의 변환이 가능합니다. 또한 서로 다른 여러 개의 스타일러스를 등록하면 다면 측정도 가능합니다.● ISO10360-7:2011의 정도를 보증합니다. (QV Active, QV ACCEL 제외)● QVTP ACCEL 시리즈는 특주 문의 바랍니다.

QVTP Apex 302PRO

■사양QVTP Active명칭 QVTP Active제품번호 QVT1-L202Z1L-D QVT1-L404Z1L-D주문번호 364-109-10 364-110-10

측정 범위※1 화상250×200×150mm

（250×200×118mm: 대물렌즈 Z-objective 1×사용 시）400×400×200mm

（400×400×168mm: 대물렌즈 Z-objective 1×사용 시）

화상 터치 프로브 공통 184×200×150mm 334×400×200mm분해능/측장 유닛 0.1µm／리니어 엔코더관찰 장치 Zoom 유닛（8포지션）촬상 소자 CMOS 컬러 카메라

조명 장치수직 낙사 조명 백색 LED투과 조명 백색 LED링 조명 4분할 고정식 백색 LED

측정 정도※2화상

E1 XY축 （2.0＋3L/1000）µmE1 Z축 （3.0＋5L/1000）µm

정도 보증 광학 조건 대물렌즈 Z-objective 1.5× / 중배율 5.25×터치 프로브 E1 XYZ축 （2.4＋3L/1000）µm

정도 보증 온도


스테이지 글래스 크기 311×269mm 466×480mm측정물의 최대 무게※3 10kg 20kg본체 외관 치수 570×767×1468mm 776×1303×1529mm본체 무게 (설치대 포함） 155kg 324kg온도 보정 기능 수동 온도 보정

※1 모듈 체인지 랙 및 마스터 볼, 캘리브레이션 링을 장착한 경우의 측정 범위는 기입된 치수보다 작아집니다.※2 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※3 극단적인 편하중, 집중 하중 제외

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주의 : 본 장비에는 예상치 못한 진동이 가해지거나 장비를 이동한 경우에 작동을 중단 시키는 본체 기동 시스템(이설 감지 시스템)을 갖추고 있습니다. 초기 설치 후 본 장비를 이동하기 전에 반드시 당사 영업부로 연락 부탁 드립니다.

Hyper QVTP명칭 Hyper QVTP 302 Hyper QVTP 404 Hyper QVTP 606제품번호 QVT1-H302P1L-D QVT1-H302T1L-D QVT1-H404P1L-D QVT1-H404T1L-D QVT1-H606P1L-D QVT1-H606T1L-D주문번호 364-173-10 364-177-10 364-183-10 364-187-10 364-193-10 364-197-10광학 시스템 PRO PRO PRO트래킹 오토 포커스 장치 － ● － ● － ●분해능/측장 유닛 0.02µｍ／리니어 엔코더


E1 XY축 （0.8＋2L/1000）µmE1 Z축 （1.5＋2L/1000）µmE2 XY평면 （1.4＋3L/1000）µm

정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈터치 프로브 E1 XYZ축 （1.7＋3L/1000）µm

정도 보증온도


LAF 반복 정도※2 - σ≦0.8µm - σ≦0.8µm - σ≦0.8µm측정물의 최대 무게※3 15kg 30kg 40kg온도 보정 기능 자동 온도 보정 그 외의 사양은 QVTP Apex와 동일합니다.※ 1 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※ 2 측정물: 교정용 차트의 크롬면, 대물렌즈: QV-HR2.5X, 탐색 속도: 10mm/sec, 탐색 범위: 2mm일 때※ 3 극단적인 편하중, 집중 하중 제외

※1 모듈 체인지 랙 및 마스터 볼, 캘리브레이션 링을 장착한 경우의 측정 범위는 기입된 치수보다 작아집니다.※2 1X, 2X, 4X 또는 1X, 2X, 4X, 6X의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※3 컬러 LED 조명, 할로겐 조명 사양은 특주로 대응 가능합니다.※4 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※5 측정물：교정용 차트의 크롬면, 대물렌즈：QV-HR2.5X, 탐색 속도：10mm/sec, 탐색 범위：2mm일 때※6 트래킹 오토 포커스 장치 탑재 기종만 해당됩니다.※7 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ISO10360-7:2011정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오.（PRO기종만）

■사양QVTP Apex명칭 QVTP Apex 302 QVTP Apex 404 QVTP Apex 606광학 시스템 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3

표준 모델제품번호 QVT1-X302P1L-D QVT1-X302P3L-D QVT1-X404P1L-D QVT1-X404P3L-D QVT1-X606P1L-D QVT1-X606P3L-D주문번호 364-170-10 364-171-10 364-180-10 364-181-10 364-190-10 364-191-10제품번호 QVT1-X302T1L-D QVT1-X302T3L-D QVT1-X404T1L-D QVT1-X404T3L-D QVT1-X606T1L-D QVT1-X606T3L-D주문번호 364-174-10 364-175-10 364-184-10 364-185-10 364-194-10 364-195-10

측정 범위※1 화상 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm화상 터치 프로브 공통 234×200×200mm 334×400×250mm 534×650×250mm

분해능/측장 유닛 0.1µm／리니어 엔코더관찰 장치※2 프로그램 제어 파워 터릿 1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러

조명 장치※3수직 낙사 조명 백색 LED투과 조명 백색 LED프로그램 제어 링 조명 백색 LED



정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X ＋ 중배율 튜브 렌즈터치 프로브 E1 XYZ축 （1.8＋3L/1000）µm



LAF 반복 정도※5 σ≦0.8µm※6

스테이지 글래스 크기 399×271mm 493×551mm 697×758mm측정물의 최대 무게※7 20kg 40kg 50kg본체 외관 치수 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm본체 무게 (설치대 포함） 360kg 579kg 1450kg온도 보정 기능 수동 온도 보정

트래킹 오토 포커스 장치

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● QV HYBRID TYPE1은 화상 측정기와 비접촉 변위 센서의 스캐닝 기능으로 미소 단차나 곡면 형상을 빠르게 비접촉 측정이 가능한 복합 측정기입니다.

● 변위 센서의 검출 방식은 미쓰도요의 독자적인 더블 핀 홀 방식입니다. 이 방식은 나이프 엣지나 삼각 측량 방식과 비교했을 때 레이저의 방향성이 적은 특징을 가집니다.

● 합초점 방식이기 때문에 측정물의 색 등의 영향이 적습니다.● 레이저 스팟의 지름이 약 ø2µm라서 협소 부위의 측정이 가능합니다. ● 변위 센서로 측정 범위가 ±0.5mm로 넓으며 굴곡이 많은 넓은 형상을 측정할

수 있습니다. ±0.5mm이상의 변위에 대해서는 본체 Z축 추종으로 스캐닝 할 수 있습니다.

● ISO10360-7:2011의 정도를 보증합니다. (QV ACCEL / QV STREAM PLUS 제외)● QV ACCEL HYBRID TYPE1시리즈는 특주 문의 바랍니다.

QV HYBRID TYPE 1

비접촉 변위 센서 탑재 CNC 화상 측정기퀵 비전 하이브리드

QV HYBRID TYPE1

스캐닝 측정 시 필터 설정이나 연산 항목을

확인하면서 간단 설정이 가능한 뷰어 기능을

TYPE1, 4 표준 탑재

뷰어로 사전 확인측정물: 프린트 기판뷰어 기능

선·십자·원·나선 등 다채로운 스캐닝 툴을 TYPE1, 4 표준 탑재

다채로운 스캐닝 툴

측정 화상에서 트레이스 루트를 생성할 수 있습니다.

복잡한 영역의 측정에 적합합니다.

화상에서 트레이스 루트 작성 가능

FORMPAK-QV 에서 단면 평가 해석

FORMTRACEPAK-AP 에서 형상 해석

영역영역

어플리케이션

QV TraceMaker

핀 홀(앞)

반도체 레이저

빔 스플리터

조준 렌즈

대물렌즈

핀 홀(뒤)

포토 다이오드 A

스케일&렌즈 구동부

포토 다이오드 B

Hyper QVH1 404PRO

레이저광에 대해 안전상의 주의 본 장치는 측정용으로 저출력의 비가시 레이저광(780mm)을 사용하고 있으며 JIS C 6802 「레이저 제품의 방사 안전 기준」의 클래스 1(비가시광)에 상응합니다. 본체에는 상기 그림과 같이 클래스1의 경고, 설명 라벨이 부착되어 있습니다.

클래스 1 레이저 제품CLASS 1 LASER PRODUCT

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Hyper QV HYBRID TYPE 1명칭 Hyper QVH1 302 Hyper QVH1 404 Hyper QVH1 606제품번호 QVH1-H302P1L-D QVH1-H404P1L-D QVH1-H606P1L-D주문번호 365-173-10 365-183-10 365-193-10 광학 시스템 PRO PRO PRO분해능/측장 유닛 0.02µｍ／리니어 엔코더



정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈변위 센서 E1 Z축 （1.5＋2L/1000）µm

정도 보증온도


온도 보정 기능 자동 온도 보정측정물의 최대 무게※2 15kg 30kg 40kg그 외의 사양은 QVH1 Apex와 동일합니다. ※1 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm) ※2 극단적인 편하중, 집중 하중 제외

주의 : 본 장비에는 예상치 못한 진동이 가해지거나 장비를 이동한 경우에 작동을 중단 시키는 본체 기동 시스템(이설 감지 시스템)을 갖추고 있습니다.

초기 설치 후 본 장비를 이동하기 전에 반드시 당사 영업부로 연락 부탁 드립니다.

■사양QV Apex HYBRID TYPE 1명칭 QVH1 Apex 302 QVH1 Apex 404 QVH1 Apex 606제품번호 QVH1-X302P1L-D QVH1-X302P3L-D QVH1-X404P1L-D QVH1-X404P3L-D QVH1-X606P1L-D QVH1-X606P3L-D주문번호 365-170-10 365-171-10 365-180-10 365-181-10 365-190-10 365-191-10광학 시스템 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3측정 범위 화상 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm

화상 변위 센서 180×200×200mm 280×400×250mm 480×650×250mm분해능/측장 유닛 0.1µm／리니어 엔코더관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러





변위 센서

개별 검출 범위 ±0.5mm세로 분해능 10nm스팟 경 (가로 분해능) 약 ø2µm작동 거리(충돌 방지 장치 포함） 5mm



스테이지 글래스 크기 399×271mm 493×551mm 697×758mm측정물의 최대 무게※4 20kg 40kg 50kg본체 외관 치수 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm본체 무게（설치대 포함） 370kg 589kg 1460kg

QV STREAM PLUS HYBRID TYPE 1명칭 QVH1 STREAM 302 QVH1 STREAM 404 QVH1 STREAM 606제품번호 QVH1-X302P1S-D QVH1-X404P1S-D QVH1-X606P1S-D주문번호 365-172-10 365-182-10 365-192-10광학 시스템 PRO PRO PRO촬상 소자 B&W CCD

조명 장치수직 낙사 조명 컬러 LED투과 조명 청색 LED프로그램 제어 링 조명 컬러 LED



정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈변위센서 E1 Z축 （1.5＋4L/1000）µm



그 외의 사양은 QVH1 Apex와 동일합니다. ※1 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)

※1 1X, 2X, 4X 또는 1X, 2X, 4X, 6X의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※2 컬러 LED 조명, 할로겐 조명 사양은 특주로 대응 가능합니다.※3 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※4 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ISO10360-7:2011정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오.（PRO기종만）

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비접촉 변위 센서 탑재 CNC 화상 측정기

퀵 비전 하이브리드

QV HYBRID TYPE4

QV HYBRID TYPE4● 축상색수차를 이용하여 높이 방향의 위치를 검출하는 컨포컬

방식의 CPS(Chromatic Point Sensor)를 탑재하고 있습니다.

● QV HYBRID TYPE4는 화상 측정기와 비접촉 변위 센서의 스캐닝

기능으로 미소 단차나 곡면 형상을 빠르게 비접촉 측정이

가능한 복합 측정기입니다.

● 변위 센서는 백색 광원의 축상 색수차를 이용한 파장 컨포컬

방식입니다. 센서의 측정 범위가 넓고, 경면 및 확산면은 높은

경사 추종 성능을 가지고 있습니다.

측정 원리

분광기

분광기

핀 홀회절 격자

백색 광원

크로매틱 렌즈

측정물의 높이가 변하면피크의 위치가 변함

측정물 표면

리니어 센서

핀 홀

Hyper QVH4 606PRO

● 광원에 LED를 사용하여 자동 조광 기능에 의해 측정물의

반사율 변화에 영향이 없는 측정이 가능합니다.

● 측정 범위 내에서 2개의 면 높이를 동시에 검출하여 얇은

투명체의 두께 측정도 가능합니다.

● ISO10360-7:2011의 정도를 보증합니다.

● QV ACCEL HYBRID TYPE 4A 시리즈는 특주 문의 바랍니다.

Z축의 이동에 따른 자율 모방 측정 FORMTRACEPAK-PRO 해석 예

색 채우기 표시

쉐이딩 표시

CPS 프로브

20

■사양

QV Apex HYBRID TYPE 4A명칭 QVH4A Apex 302 QVH4A Apex 404 QVH4A Apex 606제품번호 QVH4A-X302P1L-D QVH4A-X302P3L-D QVH4A-X404P1L-D QVH4A-X404P3L-D QVH4A-X606P1L-D QVH4A-X606P3L-D주문번호 365-413-10 365-414-10 365-433-10 365-434-10 365-453-10 365-454-10광학 시스템 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3

측정 범위화상 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm화상 변위 센서 176×200×200mm 276×400×250mm 476×650×250mm

분해능/측장 유닛 0.1µｍ／리니어 엔코더

관찰 장치※1 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러 B&W CCD 3CCD 컬러




정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈

변위 센서 E1 Z축 （1.5＋4L/1000）µm

변위 센서

개별 검출 범위 ±0.6mm 세로 분해능 25nm스팟 경 (가로 분해능） 약 ø4µm작동 거리 (충돌 방지 장치 포함） 21mm



스테이지 글래스 크기 339×271mm 493×551mm 697×758mm측정물의 최대 무게※4 20kg 40kg 50kg본체 외관 치수 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm본체 무게（설치대 포함） 370kg 589kg 1460kg

※1 1X, 2X, 4X 또는 1X, 2X, 4X, 6X의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※2 컬러 LED 조명, 할로겐 조명 사양은 특주로 대응 가능합니다.※3 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm) ※4 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ISO10360-7:2011 정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오.（PRO기종만)

Hyper QV HYBRID TYPE 4A명칭 Hyper QVH4A 302 Hyper QVH4A 404 Hyper QVH4A 606제품번호 QVH4A-H302P1L-D QVH4A-H404P1L-D QVH4A-H606P1L-D주문번호 365-416-10 365-436-10 365-456-10광학 시스템 PRO PRO PRO분해능/측장 유닛 0.02µｍ／리니어 엔코더


E1 XY축 （0.8＋2L/1000）µmE1 Z축 （1.5＋2L/1000）µmE2 X평면 （1.4＋3L/1000）µm

정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈（QV-HR2.5X 또는 QV-SL2.5X）＋ 중배율 튜브 렌즈

변위 센서 E1 Z축 （1.5＋2L/1000）µm정도 보증 온도


온도 보정 기능 자동 온도 보정

측정물의 최대 무게※2 15kg 30kg 40kg

그 외의 사양은 QVH4 Apex와 동일합니다.※1 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm) ※2 극단적인 편하중, 집중 하중 제외



QV STREAM PLUS HYBRID TYPE 4A명칭 QVH4A STREAM 302 QVH4A STREAM 404 QVH4A STREAM 606제품번호 QVH4A-X302P1S-D QVH4A-X404P1S-D QVH4A-X606P1S-D주문번호 365-415-10 365-435-10 365-455-10 광학 시스템 PRO PRO PRO촬상 소자 B&W CCD

조명 장치수직 낙사 조명 컬러 LED투과 조명 청색 LED프로그램 제어 링 조명 컬러 LED






그 외의 사양은 QVH4 Apex와 동일합니다. ※1 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)

21

미세 형상 측정 시스템

UMAP 비전 시스템

UMAP Vision System TYPE2

스타일러스 라인 업

연료 분사 노즐 홀 형상 측정 렌즈 배럴 형상 측정

軸呼び径

先端球呼び径

미세 프로브 UMAP

축 공칭 지름

팁 볼 공칭 지름

UMAP101Stylus

UMAP103 Stylus

2mm

ø30µ m

ø100µ m

ø30µ m

16m

m

ø300µ m

ø15µ m

ø300µ m

ø70µ m

10m

m

9.5m

m

ø100µ m

0.2m

m

ø15µ m

UMAP110 Stylus

UMAP130 Stylus

UMAP107 Stylus

5mm

ø70µ m

축 공칭 지름ø200µ m축 공칭 지름

ø80µ m축 공칭 지름ø53µ m

축 공칭 지름ø24µ m

축 공칭 지름ø9µ m

6.5m

m

측정 예

UMAP Vision System TYPE2● UMAP Vision System은 독자적 센싱 기술을 이용한 초 저측정력 프로브를 탑재한 화상 측정기입니다.

ø15µｍ〜ø300µｍ의 극소 스타일러스를 이용하여 기존의 접촉식으로 측정이 어려웠던 미세 형상 치수의 측정이 가능합니다.

■사양명칭 Hyper UMAP 302 ULTRA UMAP 404제품번호 UVS2-H302P1L-D UVS2-U404P1N-D주문번호 364-713-10 364-717-10광학 시스템 PRO PRO

측정 범위 300×200×200mm 400×400×200mm글래스 윗면의 유효 측정 범위：360×400×200mm※1

유효 측정 범위（화상, UMAP103 공통） 185×200×175mm 285×400×175mm분해능/측장 유닛 0.02µm／리니어 엔코더 0.01µm／리니어 엔코더관찰 장치※2 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD

조명 장치수직 낙사 조명 백색 LED 할로겐투과 조명 백색 LED 할로겐프로그램 제어 링 조명 백색 LED 할로겐

측정 정도※3 화상

E1 XY축 （0.8＋2L/1000）µm （0.25＋L/1000）µmE1 Z축※5(50mm 스트로크）－（1.0＋2L/1000）µmE1 Z축(풀 스트로크）（1.5＋2L/1000）µm （1.5＋2L/1000）µmE2 XY평면 （1.4＋3L/1000）µm （0.5＋2L/1000）µm정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈 ＋ 중배율 튜브 렌즈 5배 대물렌즈 ＋ 중배율 튜브 렌즈

UMAP E1 XY축(UMAP110)※5 （1.7＋3L/1000）µm （1.5＋3L/1000）µm

UMAP 반복 정도※3 UMAP101, 103, 107 σ=0.1µm σ=0.08µmUMAP110, 130 σ=0.15µm σ=0.12µm

정도 보증 온도환경 온도 18〜23˚C 19〜23˚C온도 변화 0.5˚C/1H 또는 1˚C/24H

측정물의 최대 무게※6 15kg 40kg사용 공기압 0.4MPa공급 공기량 － 300L/min（ANR）온도 보정 기능 자동 온도 보정

※1 투과 조명을 사용한 경우의 유효 측정 범위※2 1×, 2×, 4×또는 1×, 2×, 4×, 6×의 조합 사양은 특주로 대응 가능합니다.※3 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수（mm）※4 공장 출하 검사 시에만 실시※5 UMAP의 정도 보증은 UMAP110을 사용하여 측정 속도가10µm/s의 경우의 정도※6 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ISO10360-7:2011정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주심시오.（PRO기종만）



■사양명칭 Hyper QV WLI 302 Hyper QV WLI 404 Hyper QV WLI 606제품번호 QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D주문번호 363-713-10 363-714-10 363-715-10광학 시스템 PRO■WLI광학 헤드부

측정 범위※1 215×200×190mm 315×400×240mm 515×650×220mm촬상 소자 B&W CCD

조명 장치 수직 낙사 조명 할로겐

최대 Z측정 범위 QVWLI A-5x : 3.6mm, QVWLI A-10x : 3.6mm, QVWLI A-25x : 2.2mmZ축 반복 정도 2σ≦0.08µm■화상 광학 헤드부


관찰 장치 프로그램 제어 파워 터릿　1×-2×-6×촬상 소자 B&W CCD

조명 장치


측정 정도※2

E1 XY축 （0.8＋2L/1000）µmE1 Z축 （1.5＋2L/1000）µmE2 XY평면 （1.4＋3L/1000）µm정도 보증 광학 조건 2.5배 대물렌즈 ＋ 중배율 튜브 렌즈

정도 보증 온도환경 온도 20±1˚C온도 변화 0.5˚C/1H

스테이지 글래스 크기 399×271mm 493×551mm 697×785mm측정물의 최대 무게※3 15kg 25kg 35kg본체 외관 치수 859×950×1606mm 1027×1407×1781mm 1309×1985×1792mm본체 무게 (설치대 포함) 490kg 1160kg 2275kg사용 공기압 0.4MPa온도 보정 기능 자동 온도 보정

※ 1 WLI 광학 헤드의 가동 범위입니다. ※ 2 당사 검사 방법에 의함. L은 임의의 2점간의 치수(mm)※ 3 극단적인 편하중, 집중 하중 제외※ ISO10360-7:2011 정도 보증 대응 모델은 주문번호의 끝에 S를 붙여서 문의해 주십시오. ※ Hyper QV WLI는 QVPAK의 Easy Editor 기능 사용이 불가합니다.

22

비접촉 3D 계측 시스템

Hyper QV WLI

백색광을 간섭 대물 렌즈 안의 참조 미러와 측정 샘플에 광속으로 2분할 시킵니다.

간섭 대물 렌즈를 Z축 방향으로 주사시키면 측정 샘플에 핀트가

맞은 곳에만 백색 간섭 무늬가 생깁니다.

이 간섭 무늬 강도의 피크 위치를 CCD 카메라의 각 픽셀 위치에서

검출하면 측정물의 3차원 형상을 산출할 수 있게 됩니다.

빔 스플리터

간섭 대물 렌즈

백색광

CCD 카메라

참조 미러

빔 스필리터

측정물

WLI의 광학계 헤드

측정물

간섭 무늬

간섭 무늬와 강도 이미지

Z축 스캔

측정 원리

Hyper QV WLI● Hyper QV WLI는 백색 간섭계(White Light Interferometer: WLI) 광학

헤드를 탑재한 고정도 듀얼 헤드 측정 시스템입니다.

● 화상 측정기에 백색 간섭계(WLI 광학 헤드)를 사용하여 2차원

좌표·치수 측정에서부터 미세 영역까지 표면 해석이나 소형 홀의

깊이, 기판의 배선 치수 등 고정도 3D 측정에 위력을 발휘합니다.

23

외관 치수도 · 측정 테이블 치수

■외관 치수도 ■측정 테이블 치수 단위：mm단위：mm

QV Active202200（Y축 측정 범위）250（X축 측정 범위）

767535

570421

177

1468

74.5 99.5

1900

1200

132.5

800

700

150 （

Z축 측정 범위）

623

845

74.5

10 1042601206042

5020

0（측정 범위）

50

921

6060

6060

219

1526

916

LC

CL

지그 부착면에서 글래스면까지의 치수

18-M6 깊이 12

（지그 고정용 탭홀）

16.5 16.5

344

311

스테이지 글래스삽입부 치수

250（측정 범위）2～3

47 47

（）（）

QV Active404

1303776

285

400（X축 측정 범위） 400（Y축 측정 범위）

810

200（

Z축 측정 범위）

1529

525

1004

120 120

1200

536 287 294722

2100

700

LC

CL

지그 부착면에서 글래스면까지의 치수

24-M6 깊이12(지그 고정용 탭홀)

스테이지 글래스삽입부 치수

50 50400（측정 범위）

16 16500

2424

8650

8650

8650

86

3030

482

6379


10 1079508650865079

2～3

468（）（）

24

QV302

QV404

QV606

(레벨 조정용 볼트)컬럼 컬럼

측정 범위 (측정 범위)

19-M6 깊이 12 (지그 고정용 탭 홀)

(측정 범위)

(컬럼간의 치수)

(레벨 조정용 볼트)컬럼 컬럼 (측

정 범위)


(측정 범위)


컬럼 컬럼

(측정 범위)

측정범위


(레벨 조정용 볼트)

(측정 범위)


■외관 치수도 ■측정 테이블 치수 단위：mm

( )안은 PRO3, QV STREAM PLUS모델



단위：mm

25

ULTRA QV

■외관 치수도 ■측정 테이블 치수 단위：mm단위：mm

컬럼

컬럼컬럼

컬럼측정 범위

측정 범위

649

585

5~7

200

11.5 11.511127611190 7.57.5 90 50 50885088

46.5

46.5

124

308

124

103

42.5

42.5

103

5050

104

5010

4

4848

553

92.5

156.

540

0

32 3252113 13495

60.5 60.5400

ø7M6 12

외관 치수도 · 측정 테이블 치수

QV ACCEL808

QV ACCEL1010

125 86.550

1255050

12550

12550

86.5

61.561.5 800（측정 범위）

측정 범위

99059

923

125

5012

550

125

5012

550

125

5012

5

100


100

10.5

10.5

1000979

40-M6 깊이(지그 고정용 탭 홀)

컬럼 컬럼

컬럼 컬럼

24-M6(고정 위치 이동형)

1282

1282

7.5

7.5

1267

7.57.5 1267141141

141

141

1000 (측정 범위)

측정 범위

지그 부착용 레일

1000 (측정 범위)

1475

1578

800

18603000

1200 8931196

408408

700

150

830

1603

211616371200 984544 544

3600

1912

700

150

400400

200

890

1910

1102 7028

1200

280325 325 215 215 1200

650

850

1735

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옵션대물렌즈·하드웨어

항목 사양

최대 측정물 사이즈 ø140mm （Max）최대 측정물 무게 2kg （Max）분해능 0.1˚회전 위치 결정 정도 ±0.5˚회전 속도 10r.p.m외관 치수(W×D×H) 118×150×105mm

교정용 차트&QV보정용 차트

교정용 차트

촬상 소자의 픽셀 사이즈 보정이나 변배 위치 PPT의 각 배율 시의 오토 포커스 정도와 광축 옵셋 보정에 사용합니다.

한 번의 작업으로 측면이나 뒷면의 연속 자동 측정이 가능합니다.

공정 수가 줄어 들어 측정의 효율이 향상됩니다.

대응 기종：QV302, 404, 606대응 QVPAK 버전：V7.356 이후

QV 인덱스 테이블

QV 보정용 차트※

광학계가 가진 화면 내의 왜곡을 보정하기 위한 화면 내 보정과 피사체의 패턴이나 텍스처의 차이에서 발생하는 오토 포커스의 불규칙적 분포를 저감하는 오토 포커스 보정을 위한 글래스 차트입니다 . (Active 제외）

주) 렌즈에 따라 기능에 사용 제한이 있습니다.

상세한 내용은 당사 영업부로 문의 부탁 드립니다.주） 렌즈에 따라 기능에 사용 제한이 있습니다.

상세한 내용은 당사 영업부로 문의해 주시기 바랍니다.

QV 대물렌즈

Active 전용 대물렌즈

QV 대물렌즈대물렌즈 QV-SL0.5×※ QV-HR1× QV-SL1× QV-HR2.5× QV-SL2.5× QV-5× QV-HR10×※ QV-10×※ QV-25×※주문번호 02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020작동 거리 30.5mm 40.6mm 52.5mm 40.6mm 60mm 33.5mm 20mm 30.5mm 13mmPRO모델 촬상 시야 ［(H)mm × (V)mm]

터릿1× 12.54×9.4 6.27×4.7 2.49×1.86 1.24×0.93 0.62×0.47 0.25×0.18터릿2× 6.27×4.7 3.13×2.35 1.24×0.93 0.62×0.47 0.31×0.23 0.10×0.07터릿6× 2.09×1.56 1.04×0.78 0.41×0.31 0.20×0.15 0.10×0.07 0.04×0.03

PRO3모델 촬상 시야 ［(H)mm × (V)mm]

터릿1× 9.4×7.04 4.7×3.52 1.87×1.41 0.93×0.7 0.46×0.34 0.18×0.14터릿2× 4.7×3.52 2.35×1.76 0.94×0.7 0.47×0.35 0.23×0.17 0.09×0.07터릿6× 1.56×1.17 0.78×0.59 0.31×0.24 0.16×0.12 0.08×0.06 0.03×0.02

※대물 렌즈「QV-SL0.5×」「QV-HR10×」「QV-10×」「QV-25×」를 사용하는 경우는 측정물에 따라 조도 부족 등 일부 제한이 발생할 수 있습니다.

PFF 대응 대물렌즈

대물렌즈 QV-HR2.5×대물렌즈 세트 QV-5×대물렌즈 세트 QV-HR10×대물렌즈 세트 QV-25×대물렌즈 세트주문번호 02AKX895 02AKX900 02AKX905 02AKX910※ 작동 거리 및 촬상 시야는 상기의 QV 대물렌즈와 동일합니다.

※ 대응 기종에 대한 자세한 내용은 37페이지의 "PFF(Points From Focus)의 기능에 대해"를 참조하시기 바랍니다.※ PFF기능 및 일반 측정도 대물렌즈 세트로 대응할 수 있습니다.

※ 작동 거리는 상기의 QV 대물렌즈 배율과 동일, 촬상 시야는 PRO모델과 동일합니다.

PRO 모델프로그램 제어 파워 터릿

모니터 배율※1 15× 29× 58× 72× 87× 144× 173× 290× 430× 580× 720× 870× 1440× 1730× 4300×시야（mm） 12.54×9.40 6.27×4.70 3.13×2.35 2.49×1.86 2.09×1.56 1.24×0.93 1.04×0.78 0.62×0.47 0.41×0.31 0.31×0.23 0.25×0.18 0.20×0.15 0.12×0.09 0.10×0.07 0.04×0.03대물렌즈 0.5배 ● ● ●대물렌즈 1배 ● ● ●대물렌즈 2.5배 ● ● ●대물렌즈 5배 ● ● ●대물렌즈 10배※2 ● ● ●대물렌즈 25배※2 ● ● ●

※1 QVPAK 10 버전 이후부터는 비디오 윈도우의 크기를 변경할 수 있습니다. 모니터 배율은 22인치 와이드 액정 모니터 사용 시 등배 표시된 기준입니다.※2 대물렌즈 10배, 25배와 파워 터릿 2×, 6×과 조합할 경우 측정물에 따라 밝기가 불안정 할 수 있습니다.※3 PRO3 모델은 PRO 모델에 비해 모니터 배율 1.34배, 시야는 약 0.75배가 됩니다.

명칭 Z-objective 1× Z-objective 1.5× Z-objective 2×주문번호 02AVA410 02AVA430 02AVA450작동거리(mm) 74 42 42

광학 배율 0.5 × 0.65 × 0.75 × 0.85 × 0.98 × 1 × 1.28 × 1.3 × 1.5 × 1.7 × 2 × 2.25 × 2.5 × 3 × 3.5 × 3.75 × 4 × 5 × 5.25 × 7 ×시야(mm)

가로 （H） 13.60 10.46 9.07 8.00 6.94 6.80 5.31 5.23 4.53 4.00 3.40 3.02 2.72 2.27 1.94 1.81 1.70 1.36 1.30 0.97 세로 （V） 10.80 8.31 7.20 6.35 5.51 5.40 4.22 4.15 3.60 3.18 2.70 2.40 2.16 1.80 1.54 1.44 1.35 1.08 1.03 0.77

종합 （모니터상） 배율 13.20 17.10 19.80 22.40 25.80 26.40 33.70 34.30 39.50 44.80 52.70 59.30 65.90 79.10 92.30 98.90 105.50 131.80 138.40 184.50Z-objective 1 ×작동 거리

● ● ● ● ● ● ● ●74mm

Z-objective 1.5 × 작동 거리

● ● ● ● ● ● ● ●42mm

Z-objective 2 ×작동 거리

● ● ● ● ● ● ● ●42mm

대물

렌즈

※종합 배율은 QVPAK 비디오 윈도우가 178.8×143.0 mm （디폴트 사이즈）경우의 모니터상의 배율입니다.

27

원 툴

최소 1화소 간격으로

원상의 엣지를 검출합니다.

엣지는 원 클릭으로 간단히 지정할

수 있습니다.

선 툴

최소 1화소 간격으로 직선상의 엣지를 검출합니다. 점 툴과 비교했을 때 평균화나 이상점 제거가 가능하여 안정된 측정을 할 수 있습니다.

패턴 서치 툴

패턴 매칭으로 위치를 검출

합니다. 위치 조정 마크의 위치 검출

등에 적합합니다.

영역 중심 검출 툴

형상의 중심 위치를 검출

합니다. 이상 형상의 위치 결정에

적합합니다.

소프트웨어Easy Editor의 탑재로 더욱 쾌적하고 파워풀하게 진화한 QVPAK

오토 트레이스 툴

개시점과 종료점을 입력

하면 윤곽을 자동으로 추종하는 형상

측정용 툴입니다.

다채로운 엣지 검출 툴

원호 툴

원호 검출, 코너 R 검출에

적합합니다.

최대·최소 툴

범위 내의 최대·최소점을

검출합니다.

점 툴

1점 검출용의

기본 툴입니다.

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밝기 툴 듀얼 에어리어

콘트라스트 툴

AI 조명 툴순서 작성 시 최적의 광량 조정이 가능한 듀얼 에어리어 콘트라스트 툴과 프로그램 작성 시 광량을 자동 보정하는 밝기 툴이 있습니다. 리피트 측정 시의 광량 안정화가 가능하여 엣지 검출의 재현성을 높이고 광량 변화에 따른 엣지 검출 에러의 발생을 줄입니다.

측정 툴의 배치는 원 클릭

조명 위저드

측정 툴은 측정 위치와 가까운 곳을 한 번 클릭하면 툴 사이즈, 방향,

기준치가 자동 설정됩니다.

텍스처 해석

다채로운 오토 포커스 기능 표준 탑재

엣지 검출 능력 향상

밝기 해석

표면 포커스

마우스로 지정한 임의 영역에서 화상 오토 포커스가 가능합니다. 수지 성형품이나 기계 가공면 등도 표면 조도의 영향을 쉽게 받지 않는 안정된 고정도 높이 측정이 가능합니다.

패턴 포커스

광로 내에 배치된 패턴을

투사하여 콘트라스트가

낮은 경면이나 투명체에서도 포커스가

가능합니다. 플렉시블 프린트 기판이나

필름의 높이 등의 측정에서도 효력을

발휘합니다.(Active제외）

엣지 포커스

모따기부의 포커스에

적합합니다.

멀티 포인트 포커스

멀티 포인트 오토 포커스는 복수의

포커스 위치나 사이즈, 각도를 임의로

설정할 수 있습니다. 포커스 동작 한

번으로 여러 점의 높이 정보를 얻을 수

있고 높이 측정이나 평면도의 고효율

측정이 가능합니다.

절삭 가공 샘플 등은 컷터 마크나 거친 표면 가공이 노이즈가 되어 일반

화상 처리 만으로 정확하게 측정할 수 없는 경우가 있습니다. QVPAK의

필터 기능으로 이러한 노이즈를 제거하면 고정도 측정이 가능합니다.

요철 정보(Morphlogy) 필터 프리뷰 화면 요철 정보(Morphlogy) 필터를 이용한 엣지 검출

투과·수직 낙사 조명에서부터 PRL 조명의 반사 방향, 조사 각도까지 복수의

조합에서 최적의 조명 조건을 자동 설정할 수 있는 기능입니다.

측정하는 엣지

투과 조명

낙사 조명

PRL 조명

조사 방향 왼쪽 60˚

PRL 조명

조사 방향 오른쪽 45˚

결정

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편리함과 영리함을 공존시킨 최강의 소프트웨어 에러 아이콘과 오토 스크롤 기능으로 프로그램 수정 위치를 재빠르게 파악프로그램 리스트에 에러 아이콘이 표시되어 수정해야 할 곳을 재빠르게 찾아낼 수 있습니다.

프로그램 리스트, 측정 결과, 그래픽 뷰는 오토 스크롤 기능과

연동되어 프로그램 수정 위치의 파악에 용이합니다.

측정 결과 윈도우에서 공차 외의 측정 결과가 붉은색으로 표시되어

문제점을 쉽게 파악할 수 있습니다.

프로그램 작성 예) 원-원 측정 거리

QV EasyEditor QV BasicEditor・전문적인 프로그래밍 언어 지식이 필요 없습니다.

・측정물 형상의 변경에 따른 순서 수정이 간단합니다.

・비디오 윈도우상의 엣지 검출 툴의 수정이 가능합니다.

・프로그램 작성에 미스가 있어도 바로 수정 가능합니다.

・리피트 실행 중의 에러도 바로 간단히 수정 가능합니다.

・인수나 반환값을 갖는 서브 루틴이나

로컬 변수가 사용 가능하며 고도의

프로그래밍에 적합합니다.

・”IF・・・THEN・・・ELSE”등의 모든 플로우 제어문을

사용할 수 있습니다.

・텍스트 파일에서 데이터를 읽고 쓸 수 있습니다.

・유저가 독자적으로 다이얼로그 박스를

작성할 수 있습니다.

그래픽 뷰

측정 결과 프로그램 리스트

엣지 검출 에러 아이콘

공차 외 판정 아이콘

요소 측정 에러 아이콘

QVEasyEditor ： 전문 지식이 필요 없는 간단 조작QVBasicEditor： 소프트웨어 개발자도 만족하는 충실한 기능

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기록 모드나 파트 프로그램 실행 중 에러가 발생해도 간단히 프로그램 수정 가능

측정 프로그램의 부분 실행 가능 반복 실행(스텝&리피트)으로 손쉬운 프로그래밍 가능

프로그램 작성 미스나 측정물의 설계 변경

등으로 프로그램 실행 중 에러 발생

오류수정(error recovery) 모드에서 수정한

내용을 기록

툴의 편집

기록 모드 중에도 순서의 삽입 · 삭제 · 변경이 쉽습니다.

요소가 많은 파트 프로그램에서도 부분적으로 실행하여 측정 시간이 단축됩니다.또한 공차 외 등 NG 위치의 부분 실행이 가능하여 불량 원인의 파악에 용이합니다.

반복 명령은 그래픽 표시로 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 빠트린 부분이 있어도 간단하게 스텝 삭제가 가능합니다.

파트 프로그램 실행 중에 엣지 검출 에러나 오토 포커스 에러가 발생한 경우 오류수정(error recovery) 모드에서 프로그램 갱신이 가능합니다.

점 측정

선 측정 면 측정 스텝 원통 원추 측정 각도 교점 중점 단차선 단면

원 측정 구 측정 원통 측정 버퍼 거리 교선 중선 단차면

연산 기능의 예

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또한 QV 그래픽스에는 선 · 원 · 면 · 원통 · 구의 기하 편차도 작성 기능이 있습니다.


QV 그래픽스측정 결과의 리포트로 이용할 수 있으며 도형을 마우스로 선택하여 요소간 연산이나 PCD 측정 등 고도의 연산이 가능합니다.또한 그래픽 기능을 이용하여 간단하게 파트 프로그램 편집을 할 수 있으며 현재의 측정물 좌표계의 확인이나 측정 여부의 체크 등도 가능합니다.

화상 합성높이가 다른 여러 개의 화상을 합성하여 광범위하게 핀트가 맞는 화상을 작성합니다.

QV 내비게이터

유저 매크로 작성 기능

파트 프로그램 등록 예유저 매크로

원본 데이터 합성한 데이터

요소간 계산이나 좌표계 설정 패턴의 순서를 표시합니다. 사용빈도가 높은 측정 패턴의 매크로가 준비되어 있습니다. 유저 매크로 작성 기능에서는 복잡한 패턴에서도 자유롭게 커스터마이즈 할 수 있습니다.

파트 프로그램을 측정물 화상과 함께 등록할 수 있어 반복 측정의 작업성이 향상됩니다.

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QV Trace PlannerQV Trace Planner는 엣지 검출에 의한 윤곽 형상 측정 어플리케이션입니다.

높이가 바뀌는 형상이나 조명 조건의 변경이 필요한 형상도 트레이스

루트를 간단하게 생성할 수 있습니다.

또한 측정 후 FORMTRACEPAK-AP(옵션)의 자동 기동, 자동 해석이 가능하여

조작성이 뛰어납니다.

헬프 기능그래픽을 이용한 알기 쉬운 헬프 기능이 있습니다.

토픽에서 쉽게 검색할 수 있고 작업자의 궁금한 점을 빠르게 해결합니다.

베스트피트 기능

측정물의 비틀림이나 신축 등을 고려하여 좌표계를 설정한 베스트피트

기능이 추가되었습니다. 원점, 기준축을 복수의 요소에서 결정하여 보다

최적화된 좌표계로 측정이 가능합니다.

기존의 좌표계 설정 베스트피트 좌표계 설정

좌표계 설정의 고려가 되지 않은 마크

원점원점 X축 X축

원점과 축을 각각 1요소에서 결정위치 조정 마크의 위치 어긋남 오차가 최소화 되도록 좌표계 설정

스마트 보정(Smart recovery)기능스마트 보정 기능은 고르지 못한 측정물, 어긋난 세팅 등으로 인해 발생된

엣지 검출, 오토 포커스 에러 시에 조명 조건 및 툴의 위치를 자동 보정

하여 재측정하는 기능입니다.

원래 측정 위치에 측정물이 없는 경우 툴을 자동 보정하여 재측정

요소 기준의 이상점 제거 기능 툴 마다 이상점 제거 기능이 있어, 요소 단위의 이상점 제거도 가능합니다.

복수 화면 측정의 경우에도 그래픽 화면을 보면서 간단하게 이상점 제거

설정이 가능합니다.

QV Trace Planner에서 작성한

트레이스 루트 이미지

(실제 동작은 1툴씩 실행됩니다)

FORMTRACEPAK-AP 해석 사례

멀티 포인트 오토 포커스오토 포커스 툴을 세분화하거나 복수의 오토 포커스 툴을 임의의 크기,

위치, 각도에서 배치할 수 있습니다.

1회 포커스 동작으로 다점 데이터 취득이 가능하여 효율 높은 높이

측정이 가능하고, 취득한 데이터에서 최대점, 최소점, 평균점을 구할 수

있습니다.

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옵션어플리케이션 소프트웨어

QV의 오토 트레이스 툴이나 비접촉 변위 센서, HQV-WLI, PFF에서 얻은 형상 데이터에서 설계값 조합 및 형상 해석을 할 수 있습니다.

FORMTRACEPAK-AP 폼 트레이스 팩 AP

QVTraceMaker QV 트레이스 메이커

QV 트레이스 메이커는 퀵 비전에서 얻은 화상을 토대로 비접촉 변위 센서의 스캐닝 루트를 생성하는 소프트웨어입니다 .

FORMTRACEPAK-PRO나 MSHAPE-QV와 조합하여 고정도의 3D 형상 측정이 가능합니다.화상 취득 시, 시야 외의 자동 합성이 가능하여 광역의 트레이스 루트 생성이 가능하고 복잡하게 얽힌 이상 형상 에어리어의 트레이스 루트를 쉽게

생성할 수 있습니다.

대상 에어리어 화상 합성 측정 에어리어 지정 트레이스 조건의 설정 MSHAPE-QV 평가 예

윤곽 조합 기능

・ 설계 데이터 작성

CAD 데이터 변환, 마스터 측정물 변환, 함수 지정, 텍스트 파일

변환, 비구면 설계값 작성

・ 설계값 조합

법선 방향 조합, 축 방향 조합, 베스트피트 조합

・ 결과 표시

결과 일람 표시, 오차선도, 오차전개도, 오차 좌표값 표시 기능,

해석 결과 표시

미세 형상 해석

・ 해석 항목: 점 측정, 선 측정, 원 측정, 거리 측정, 교점 측정, 각도

측정, 원점 설정, 축 회전

・ 연산 항목: 최대값, 최소값, 평균값, 표준편차, 면적

보고서 작성 기능

・ 측정 결과, 오차선도, 오차전개도

그 외 기능

・ 해석 순서의 기록/실행

・ 외부 출력 기능

CSV 형식출력, 텍스트 출력, DXF/IGES 형식출력

・ 페어링 처리

・ 2차 곡선 적용 기능

・ 유사 조도 해석 기능

설계값 조합 예 HQV-WLI에 의한 프린트 기판의 라인&스페이스 및 도체 두께 측정 예

형상 평가·해석 소프트웨어

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PFF를 통한 몰드 부품 측정 예

FORMTRACEPAK-PRO 폼 트레이스 팩 프로

FORMTRACEPAK-PRO는 비접촉 변위 센서나 HQV-WLI, PFF에서 얻은

데이터에서 3D 해석 처리가 가능한 소프트웨어입니다.

주요 기능

・3차원 표시

와이어 프레임, 쉐이딩, 등고선, 등고선 칠하기

・트렌드 보정, 필터 처리

평면, 구면, 원통면, 다면체에 의한 트렌드 보정

프로파일마다 1차원 디지털 필터, 2차원 디지털 필터

・풍부한 표면 성상 수치화, 디지털화

상대 부하 곡선이나 면적 분포 곡선에서 마모나 액체류의 도포 상태

평가가 가능합니다.

스펙트럼 해석, 절단 면적이나 체적의 해석, 산과 골의 경사각

산출·골입구의 히스토그램 산출이 가능합니다.

・측정 데이터의 특징 추출 기능

임의 단면의 추출, 슬로프(경사면) 강조, 절단면의 산· 골짜기 동시

해석이 가능합니다.

절단면 해석 예 쉐이딩 표시 와이어 프레임 표시

QVH4의 아크릴 렌즈아이 측정 예 HQV-WLI의 기판의 라인&스페이스 측정 예

QV Hybrid나 HQV-WLI/PFF 등에서 취득한 3D 형상 표면의

데이터에서 기하 요소의 추출, 자유 곡면 및 단면의 평가,

마스터 데이터와 비교 대조가 가능합니다.

※MSURF-I의 해석을 위해서는 별도의 PC가 필요합니다.

MSURF-I

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Measure Report-QV 메저 레포트 QV

검사표 작성 소프트웨어

특징

・ 일반 표 계산 소프트웨어 MicrosoftExcel을 베이스로 하여 검사표의 커스터마이즈도

용이합니다.

・ 퀵 비전의 데이터 이외에 캘리퍼스,

마이크로미터 등 여러 개의 측정기에서

데이터를 불러 올 수 있습니다.


2차원 CAD 데이터를 이용하여 오프라인 QVPAK 파트 프로그램을 생성할 수 있습니다.파트 프로그램 작성 공수가 줄고 리드 타임이 단축됩니다.

EASYPAG-PRO 이지 팩 프로

오프라인 티칭 조작화면 점과 선의 거리 측정

DXF IGES 거버 데이터

오프라인 티칭 소프트웨어

MeasurLink Real-Time Professional 메저 링크

측정 결과에서 다양한 통계 연산 처리가 가능한 공정 관리 프로그램(SPC)

입니다. 실시간으로 관리도를 표시하며 가공 이상을 조기에 발견하고

불량 발생을 방지하는 등의 효과를 발휘합니다. 복수의 측정물을 측정

스테이지에 놓고 연속으로 측정한 결과를 MeasurLink에서 통계 처리할 경우,

별도의 QVPartManager가 필요합니다.

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QV3DCAD-OnLine QV3DCAD 온라인

3D CAD 모델을 이용하여 QVPAK의 파트 프로그램 작성이 간단합니다.CAD 모델 상의 요소를 지정하여 QV 측정이 가능하며 조이스틱으로 조작하여 티칭하는 것보다 프로그램 작성 효율이 높습니다.

QV3DCAD-OnLine에서는 실제 화상에서 정확한 조명 조건이나 엣지

검출의 변환 기준치를 티칭하여 작성한 프로그램 패스는 바로 동작

확인이 가능합니다. 프로그램 완성 후의 동작 체크나 프로그램 편집이

최소화됩니다.

[대응 CAD 형식]

온라인으로 조명 조건이나 엣지 검출의 변환 기준치를 확실하게 티칭 시뮬레이션이나 간섭 체크 기능으로 안심 조작

온라인 티칭 소프트웨어

프라이머리 디스플레이 “QVPAK” 세컨더리 디스플레이 “QV3DCAD-OnLine”

온라인 접속 간섭 체크 기능으로 대물렌즈나

프로브의 충돌에 의한 트러블을

미연에 방지합니다.

유사 비디오 윈도우에서

엣지 검출 툴의 시뮬레이션이

가능합니다.

DXF IGESQV-CAD I/F QV-CAD 인터페이스

QV-CAD I/F는 그래픽 윈도우상에 CAD 데이터를 표시하여 측정 조작성을 향상시킵니다.

기능

· CAD 데이터를 이용한 내비게이션 기능(Import 기능)과 측정 결과의 데이터 출력(Export 기능)이 있습니다.

· CAD 데이터에서 설계값 정보를 참조할 수 있어서 공차 조합 시의 설계값의 키 입력이 불필요합니다.

· 3D CAD Import 기능에서는 3D CAD 데이터의 표시, 평면도 표시의 에어리어 설정으로 이용할 수 있습니다.

3D CAD Import 기능

3D CAD 데이터 표시 3D CAD 데이터를 이용한 평면도

작성

출력된 CAD 모델

CAD Export 기능

측정 결과의 그래픽 생성

형식 대응 버전

SAT Ver19 까지 대응

STEP※ AP203, AP214（도형만）대응

IGES※ IGESV5.3 까지 대응

Parasolid※ ParasolidV10 부터 V18 까지 대응

Unigraphics※ UnigraphicsV11 부터 V18, NX1 부터 NX7 까지 대응

SolidWorks※ SolidWorks98 부터 2006 까지 대응

※은 옵션

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PFF(Points From Focus)는 퀵 비전 시리즈의 화상 콘트라스트를 이용하여 비접촉 3차원 형상 측정이 가능한 어플리케이션입니다. 당사의 검사 방법으로 Z방향 반복 정도를 보증하여 고정도의 형상 측정이 가능합니다.

PFF의 원리

PFF의 측정 예

PFF의 측정 성능

PFF(Points From Focus) 기능에 대해

QV광학계

몰드품의 파티션 라인

스캔화상 연속 취득 콘트라스트

IC패키지 BGA

QV3DPAK을 이용한

3차원 형상 데이터 합성

측정물: 크라운 기어

PFF는 당사 검사 방법으로 Z방향 반복 정도를 보증합니다.

QV Apex/QV ACCEL Hyper QV ULTRA QVZ방향 반복 정도 2σ≦1.5µm 2σ≦1.5µm 2σ≦0.7µm

정도 보증 광학 배율 QV-HR2.5× + PT2× QV-HR2.5× + PT2× QV-5× + PT2×


※ PFF 기능을 사용하실 경우, QV3DPAK 및 PFF 대응 대물렌즈(26페이지 게재)를 사용해 주십시오. PT4x는 사용 불가능합니다.

※ PFF 대응 모델은 상기 모델(TP모델, HYBRID모델, UMAP모델, WLI 모델 포함)중 PRO모델이 대응 가능합니다.

QV3DPAK은 PFF(Points From Focus)나 WLI(백색 간섭계)의 데이터에서 3차원 형상을 합성하는 소프트웨어입니다.

1시야의 측정에서 측정 대상의 영역을 커버할 수

없는 경우, 복수 시야의 3차원 형상 데이터를 연결할

수 있습니다. 3D 프로파일 스티칭은 고분해능을

유지하면서 넓은 범위의 측정 및 해석이 가능합니다.

주요 기능

3차원 형상 데이터 합성

・ QV-WLI의 3차원 형상 데이터 합성

・ PFF의 3차원 형상 데이터 합성

・ 형상 데이터 노이즈 제거

・ 형상 데이터 가우시안 필터 처리

3차원 형상 데이터 외부 출력

・ 추출 데이터의 QVPAK 전송

・ 추출 데이터의 FORMTRACEPAK-AP 전송

・ 추출 데이터의 FORMTRACEPAK-PRO 전송

QV3DPAK

3D 프로파일 스티칭

QV3DPAK

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QVEio-PLC QVEio-PC

QVEio-Signal

QVEio-PLC는 PLC와의 RS-232 통신으로 QV의 외부 실행 지령이나 실행 지령에 대한 상태 통지가 가능한 소프트웨어입니다.

자동 반송 로봇과의 연결 등 QV의 자동화 시스템 구축이 간단합니다.

QVEio-PC는 외부 PC와의 RS-232 통신에 의한 제어는 물론, 측정 결과의 출력이나 QV에 발생한 에러 상태의 출력이 가능, 효율적인 QV의 제어가

가능합니다. 외부 PC의 전용 GUI에서 QV를 제어하는데 최적입니다.

QVEio-Signal은 QV 가동 상태를 PLC로 통지합니다.

QV의 가동 상태를 시그널 타워 등에 표시하는 경우에 적합합니다.

전용 지그상에 나열된 측정물

외부 통신 소프트웨어

외부 PC

QV 파트 매니저 화면

다양한 측정물 등록 가능

정피치에 나열되지 않아도 가능 일렬(행)로 다양한 측정물의 배치도 가능

QVPartManager QV 파트 매니저

QVEio QV 이아이오

QV 파트 매니저는 측정 스테이지상에 나열된 여러 개의 측정물의 파트 프로그램 실행 관리 소프트웨어입니다.

측정물마다 실행 상황이나 합불 판정 결과의 맵 표시가 가능하여 공차가 어긋나거나 에러 발생 시, 재시도 기능이나 패스 기능이 있어서

리피트 실행 시 조작이 간단합니다.

QVEio는 QV의 외부 제어용 클라이언트 어플리케이션 소프트웨어입니다.용도에 따라 QVEio-PLC/QVEio-PC/QVEio-Signal 3종류가 있습니다.

※ 이 기능은 QVBasic 언어 커맨드를 사용합니다.

주요 제어 커맨드

PLC QVEio-PLC・ ABS 기동 지령 ⇄ ・ ABS 완료・ 측정 기동 지령 ⇄ ・ 측정 완료・ 측정 중지 지령 ⇄ ・ 측정 중지 완료

← ・ 측정 결과 OK/NG 판정・ X,Y,Z축 이동 지령 ⇄ ・ X,Y,Z축 이동 완료

← ・ 디바이스 정보 읽기/쓰기

QVEio-PLC 대응 사례 QVEio-PC 대응 사례

주요 제어 커맨드

외부PC QVEio-PC・ QV 가동 상태 읽기 ⇄ ・ 가동 상태 출력

・ ABS 실행 지령 ⇄ ・ ABS 실행 중/종료

・ 측정 개시 지령 ⇄ ・ 측정 중/종료

・ 측정 결과 파일 읽기 ⇄ ・ 측정 결과 파일 출력

・ X,Y,Z축 이동 지령 ⇄ ・ X,Y,Z축 이동중/종료 ・ 스테이지 위치정보 읽기 ⇄ ・ 스테이지 위치 정보 출력

・ 각 커맨드 지령 ⇄ ・ 에러 코드 출력

측정 상태 출력 예 ・ 측정 완료 (대기 중) ・ 측정 처리 중・ 에러 발생・ 측정 완료 메시지 표시 ・ 비상 정지 에러 발생・ 비트 디바이스 데이터 읽기/쓰기

QV용 PC

QV 본체

위치 결정 지그

QVPAK

QVEio-PLC

측정기QV

측정 기동 지령 etc.

측정 결과 판정 etc.

제어용 PLC

반송 로봇

데이터베이스

조작판

비상 정지 회로

안전 펜스

QVPAK

QVEio-PC

・ABS 실행・측정 개시 지령・강제 종료

・측정 결과 출력・가동 상태 출력・에러 코드 출력

QVPAK

QVEio-Signal PLC(FX1S)측정 상태

RS-232C

QV 시스템

QV

카탈로그 번호 K14007(12)

퀵 비전 시리즈CNC화상 측정기

1905(3)A-(HA)PT

화상 측정기

Documents

CNC 화상 측정기 퀵 비전 시리즈 · 대물렌즈 측정물의 표면 z축 자동 추종 측정물의 높이 변화에 따라 연속적으로 포커스하는 기능입니다