低真空ポンプ

真空ポンプ　オプション部品

低真空ポンプ

20/01/29 15:49:23

真空ポンプのメンテナンス周期を長くする目的から、ULVACでは用途に合わせた外部オプション部品を用意しております。ダストやガラス粉、溶剤、水蒸気、高温蒸気などの排気時にご利用ください。

SUN-3SPWE

排気するもの ポンプ外部での対策 ポンプ内部での対策

ダスト（粉体）ダストフィルタ DS

オイルクリーナーSUN

ーオイルトラップ OT粉体吸着トラップ TRO

溶剤 コールドトラップ CT ガスバラスト、表面処理、シール材質変更水蒸気 ー

油水分離機ガスバラスト、表面処理、シール材質変更

高温蒸気 水冷トラップ WT ガスバラスト、表面処理、シール材質変更腐食性ガス ステンレス配管 表面処理引火性ガス 導電性配管、N2パージ Heタイト、防爆モータ昇華性ガス 配管ヒーター 温度コントロール

セレクションガイド

DS-20

SUN-100B

■ポンプ対策　油回転真空ポンプ→油交換、油種変更の検討、オイルクリーナー追加■吸気側対策　ダストトラップ■排気側対策　ダストによる閉塞での加圧破裂危険の防止

■ポンプ対策　油回転真空ポンプ→ガスバラストバルブ、油交換、油水分離機　ドライ真空ポンプ→ガスバラスト使用　　■吸気側対策　高温蒸気の場合は水冷トラップ■排気側対策　ポンプに水が戻らないための配管形状

＜注意事項＞・異物かみこみ・配管閉塞

＜注意事項＞・水分凝縮・オイル劣化

ダストを伴う排気の例と注意事項 水蒸気排気の例と注意事項

吸気

排気水冷トラップ

油水分離機

導電性配管導電性配管吸気

排気ダストフィルター

オイルクリーナー

2

真空ポンプ　オプション部品

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1/29

15:

50:5

4

仕様表 （単位：mm）

型式 DS-20 DS-25 DS-40 DS-50 DS-2 DS-3 DS-4A 90 140 200 220B 90 195 290 530 583C (吸気口) VG20 VG25 VG40 VG50 VG50 VG80 VG100D (排気口) VF20 VF25 VF40 VF50 VF50 VF80 VF100材質 本体：ステンレス、ガスケット：フッ素ゴム、フィルタ

仕様表

型式 TRO-50 TRO-80 TRO-100油量 （L） 2.5 8 19推奨油 ULVOIL R-4吸気口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 排気口 VG50相当 VG80相当 VG100相当 適応ポンプ容量 （L/min） ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000 適応ポンプ例 VDシリーズ、PKS-016 VSシリーズ、PKS-030 PKS-070 質量 [kg] 30 75 130使用電動機 （W） 25 60 90材質 本体：ステンレス、ガスケット：フッ素ゴム

※ AC200V 3 相 50/60Hz

寸法表 （単位：mm）

型式 TRO-50 TRO-80 TRO-100A 390 600 740B 290 440 550C 135 190 240D 190 200 320E 260 370 470F 127 160 210G 120 200 250H 140 200 260I 465 631 741J 40 50 55K 140 195 240L VG50 VG80 VG100M VG50 VG80 VG100

概 要 ／ 特 長

ダストやガラス等の粉体除去用前段トラップです。 フィルタエレメントの交換が容易です。 粒子径：10μm以上の粉体を含む気体の排気（乾燥状態）に最適です。

寸法図

寸法図

取付要領図

取付要領図概 要 ／ 特 長

回転ドラムと油を使用した特殊トラップ方式により、プロセスで発生した粉体を効率良く吸着する前段トラップです。 フィルタ式粉体トラップのような、粉体の吸着に伴うコンダクタンスの減少がありません。 油回転真空ポンプからの油の逆流を抑える効果があります。 保守は油交換だけでよく、大型の覗き窓から粉体を吸着した油の状態を監視できます。

ダストフィルタ　DS シリーズ

粉体吸着トラップ　TRO シリーズ

RP

OUT

IN

RP

OUTI N

油回転真空ポンプ

給油口 F G

L

M

HI

（K）

吊り穴（TRO-50は吊り穴なし）

排油口バルブ（1/2B）

φ18

D

E

4-φ12

AC

D

B

CA

J

B

3

20/01/29 15:51:18

仕様表 （単位：mm）

型式 OT-50 OT-80 OT-100A 150 160 185B 83 106 121C 300 366 401D 490 556 591E 180 180 185F Φ140 Φ165 Φ216 G VF50 VF80 VF100 H VG50 VG80 VG100I Rc1 Rc1 Rc1 材質 本体：ステンレス

仕様表 （単位：mm）

型式 WT-25 WT-50 WT-80 WT-100A 93 150 150 200B 100 150 150 200C 100 100 140 180D 160 175 250 290E 550 550 705 815F Φ60.5 Φ114 Φ165 Φ216 G Φ120 Φ185 Φ235 Φ300 H （排気口） VG25 VG50 VG80 VG100I （吸気口） VG25 VG50 VG80 VG100 材質 本体：ステンレス

仕様表 （単位：mm）

型式 CT-25 CT-40 CT-50 CT-80 CT-100A 100 110 125 140 155B 96 88 99 114 131C 276 288 314 364 396D VF25 VF40 VF50 VF80 VF100 E VG25 VG40 VG50 VG80 VG100 材質 本体：ステンレス

概 要 ／ 特 長

配管を通して粉体を油に吸着させる前段トラップです。 蒸気圧の低い真空ポンプ油（ULVOIL R-4）を使用します。

概 要 ／ 特 長

冷却水を利用して、通過するガスを冷やして液化させる前段トラップです。 溶剤等の高い蒸気圧物質排気や高温ガスの排気時にご使用下さい。

概 要 ／ 特 長

液体窒素を用いて溶剤や水分を吸着させる前段トラップです。 高い吸入圧で使用すると液体窒素の消耗が激しくなります。 バイパス配管で排気したのち、圧力が低くなってから接続してください。

寸法図

寸法図

寸法図

取付要領図

取付要領図

取付要領図

オイル式トラップ　OT シリーズ

水冷式トラップ　WT シリーズ

コールドトラップ　CT シリーズ

RP

OUT

I N

RP

I N

OUT

I N

OUT

RP

E

のぞき窓

オイル・ドレーン

冷却水入口

冷却水出口

A

D

E

B

C

A

H

I GB

（Rc1/8）

φ F（Rc1/8）

H

I

F

G

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ

A

BE

DC

D

C

4

真空ポンプ　オプション部品

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15:

52:1

4

セレクションガイド

排気量 真空ポンプ

➡

油水分離機 オイルクリーナー水分の分離 パーティクル除去

100m3／h 以下 PVDシリーズ SUN-3SPWE SUN-100B

VDシリーズ

100～300m3／h ➡VSシリーズ SUN-6SPW SUN-230

PKS-030

300m3／h 以上 ➡PKS-070 SUN-3000 SUN-490

VS650A

油水分離機使用例

項目

油水分離用フィルタ なし あり使用期間 7日 3ヶ月オイル R-7プロセス 真空乾燥汚染度（mg/10ml） 14.8 0全酸化（KOH/10mg） 0.2 0.1水分（ppm） 15,000 170

オイルクリーナー使用例

項目

オイルクリーナー用フィルタ なし あり使用期間 1か月 6か月オイル R-7プロセス 真空熱処理炉汚染度（mg/10ml） 35.5 0.1全酸化（KOH/10mg） 0.8 0.2水分（ppm） 250 100

油水分離機／オイルクリーナー

概 要

真空ポンプオイルから水分やパーティクルを自動的に処理するシステムです。オイル交換周期の延長、新油の状態を維持することにより、真空ポンプの性能劣化を防止します。

5

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仕様表

タイプ 油水分離機 オイルクリーナー型式 SUN-3SPWE SUN-6SPW SUN-3000 SUN-100B SUN-230 SUN-490流量　50／60 Hz（L/min） 0.6／0.7 2.2／2.7 3.7／4.5 1.2／1.4 2.2／2.7 6.7／8.0最高使用圧力（Mpa） 0.5 0.5圧力スイッチ設定値（Mpa） 0.3 0.4 0.4使用油温範囲（℃） 15～60 15～70 15～60電源／モータ出力（異電圧にも対応） AC100V／25W AC100V／75W AC100V／200W AC100V／75W AC100V／200W寸法（W×L×H mm） 308×305×425 400×380×910 470×320×1060 200×280×425 365×440×850 365×440×1050質量（kg） 15 50 75 18 55 65エレメントプレフィルタ S-1-10-10 S-1-10-20 S-1-10-20×3 －エレメント油水分離用 A A×2 A×3 －エレメントオイルクリーナー用 － J（K、Z） HJD HJD×2ハウジング容量（L） 1.5+1.5 4.5+8.5 21+21 3.5 14.0 40.0

標準付属品

ポンプ型式付属品

油水分離機型式① ② ③ ④

PVD-180/360 M 12 3/8 3/8 9×15φ SUN-3SPWEVD151 M 12 3/4 3/8 9×15φ SUN-3SPWEVD201 3/8 3/4 3/8 9×15φ SUN-3SPWEVD30C/40C/60C/90C 1/2 1 3/8 9×15φ SUN-3SPWEPKS-016 3/8 3/4 3/8 9×15φ SUN-3SPWEVS1501/2401 3/8 3/8 3/8 12×18φ SUN-6SPWPKS-030 1/2 3/4 3/8 12×18φ SUN-6SPWPKS-070B 3/4 1･1/4 3/8 12×18φ SUN-3000VS650B 1 1 3/8 12×18φ SUN-3000

ポンプ型式付属品

オイルクリーナー型式① ② ③ ④

PVD-180/360 M 12 3/8 3/8 12×18φ SUN-100BVD151 M 12 3/4 3/8 12×18φ SUN-100BVD201 3/8 3/4 3/8 12×18φ SUN-100BVD30C/40C/60C/90C 1/2 1 3/8 12×18φ SUN-100BPKS-016 3/8 3/4 3/8 12×18φ SUN-100BVS1501/2401 3/8 3/8 3/8 12×18φ SUN-230PKS-030 1/2 3/4 3/8 12×18φ SUN-230PKS-070B 3/4 1･1/4 1/2 19×26φ SUN-490VS650B 1 1 1/2 19×26φ SUN-490

仕様表（フィルター）

タイプ プレフィルタ 油水分離用 オイルクリーナー用

型式 S-1-10-10S-1-10-20 A J K（オプション） Z（オプション） HJD

外観

水分 － ○ ○ △ ◎ ○酸 － － ○ △ ◎ ○パーティクル ○ － ○ ◎ △ ○

取付図

4

4

3

3

2

1

給油口

ドレインバルブ

① 排油口継手② 給油口継手③ 付属品継手（ドレンバルブ×1個付）④ 接続ホース（1.5m×2本）

※ 油水分離機及びオイルクリーナーは大成技研株式会社の製品です。

※ 油水分離機及びオイルクリーナーには真空ポンプ油が付属されません。 ご使用に際し、各製品のハウジング容量＋1L 程度の真空ポンプ油をご準備下さい。

6

真空ポンプ　オプション部品

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15:

53:3

6

ゲージポート付短管　TP シリーズ 寸法表 （単位：mm）

品番 φD φｄ φｐ ｔTP-20 80 27.2 60 8TP-25 90 34.0 70TP-40 105 48.6 85 10TP-50 120 60.5 100

※材質：ステンレス／フッ素ゴム

ベローズジョイント　BJシリーズ 真空ゴムホース 寸法表 （単位：mm）

品番 A φDBJ-25A 65 90 BJ-40A 90 105 BJ-50A 105 120 BJ-80A 110 160 BJ-100A 110 185 BJ-150A 100 235

※材質：ステンレス／フッ素ゴム

寸法表 （単位：mm）

品番 φｄ φD L 適用配管R-5 4.5 18

1000

-R-9 9 24 3/8BR-15 15 36 1/2BR-18 18 42 3/4BR-25 25 55 1B

※材質：天然ゴム

L 型管／ T 型管 寸法表 （単位：mm）

品番 φD φｄ A BT-20 80 27.2 50 100T-25 90 34.0 55T-40 105 48.6 60 130T-50 120 60.5 150

※材質：ステンレス／フッ素ゴム品番 φD φｄ A TL-20 80 27.2 60 8L-25 90 34.0 65L-40 105 48.6 80 10L-50 120 60.5 90

※材質：ステンレス／フッ素ゴム

I 型管 寸法表 （単位：mm）

品番 φD1 φD2 φｄ AI-VF20×VG20

80

80

27.2

100

VG25 90 VG40 105 VG50 120

I-VF25×VG2590

90 34.0 VG40 105

VG50 120 I-VF40×VG40 105 105 48.6 VG50 120 I-VF50×VG50 120 120 60.5 ※材質：ステンレス／フッ素ゴム

フレキシブルホース 寸法表 （単位：mm）

品番 D L T 品番 D LVFH-20- 200

500 1000

80200

8

-

40

-500 1000

VFH-25- 200 500 1000

90200 KFH-25-200 200500 500 5001000 1000 1000

VFH-40- 500 1000 2000

105 500

10

KFH-40-50055

5001000 1000 1000

120 2000 2000 2000VFH-50- 500

1000 2000

120500 KFH-50-500

75500

1000 1000 10002000 2000 2000

※材質：ステンレス

寸法図

寸法図

寸法図

寸法図

寸法図 寸法図

φ18

φ10

ttφ

D

φD

φD

φd

φD

φD

φd

A

φD1

φD

φD

A

A

LLt

L=1000

B

φ d

φ d

φ d

A

A

T

T

φd

4-φ10

4-φ10

φD2

φp

φ d

VGVF

VF

VF VF

VF

VF

VG

VGVG

VG

VG

VG

T型管

JIS規格真空フランジ型 ISO規格KFフランジ型

L型管

ゲージポートφ18（標準）

リークポート100

7

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吸気管付フランジ

ゲージポート付フランジ 寸法表 （単位：mm）

品番 φD A TGF-20 80 60 8GF-25 90GF-40 105 62 10GF-50 120GF-80 160 64 12GF-100 185※材質：ステンレス

寸法表 （単位：mm）

品番 P φD T φｄ1［外径］ φｄ2［内径］ ｄ3 適用ゴムホースVF20×�15A�

20A�25A

60 80 821.7 16.1 18 φ15×φ3627.2 21.4 24 φ18×φ4234.0 27.2 30 φ25×φ55

VF25�15A�20A�25A

70 90 821.7 16.1 18 φ15×φ3627.2 21.4 24 φ18×φ4234.0 27.2 30 φ25×φ55

VF40�15A�20A�25A

80 105 1021.7 16.1 18 φ15×φ3627.2 21.4 24 φ18×φ4234.0 27.2 30 φ25×φ55

VF50�15A�20A�25A

100 120 1021.7 16.1 18 φ15×φ3627.2 21.4 24 φ18×φ4234.0 27.2 30 φ25×φ55

※材質：ステンレス

ルーズ式・フランジ付吸気管　RFシリーズ ルーズ式・フランジ付排気管　RFシリーズ

寸法表 （単位：mm）

品番 適用機種　　　寸法 A B HRF-1 PVD-180型 φ80 72 315RF-2 PVD-180型TMX付 235 478RF-3 PVD-360型

φ90

72 315

RF-4 D-330K型 220 419D-330DK型 425

RF-5 PVD-360型TMX型 285 528

RF-6 D-330K型TMX付 310 509D-330DK型TMX付 515

※材質：ステンレス／フッ素ゴム※フランジ規格JIS�B2290による。※Hは取付要領図をご参照ください。

寸法表 （単位：mm）

品番 適用機種　　　寸法 A B C HRF-7 PVD-180型 φ80 PF3/4" 50 314RF-8 PVD-360型 φ90 PF1" 80 344RF-9 PVD-180型TMX付 φ80

PF1・1/2"50

507

RF-10PVD-360型TMX型

φ90D-330K型TMX付 383(486)D-330DK型TMX付 389(492)

RF-11 D-650K型TMX付 φ105 383(486)D-650DK型TMX付 389(492)

RF-12 D-950K型TMX付 φ120 PF2" 383(491)D-950DK型TMX付 389(497)

※材質：ステンレス／フッ素ゴム※フランジ規格JIS�B2290による。※Hは取付要領図をご参照ください。

寸法図

寸法図

取付要領図 取付要領図

寸法図

φd3

φd2

φd1

PφD

φD

φA φA

φ18

B

C

T

T

OリングULVAC�No5

PF3/4（PVD180）

H

H

H

H

排気

排気

排気

排気

TMX TMX

吸気

吸気

吸気 吸気

RP RP RP RP

M M M M

（床面） （床面） 床面ヨリ 床面ヨリベース下部ヨリ吸気管はすべてネジ込みです。 吸気管はすべてネジ込みです。

ベース下部ヨリ

RF1,3,4

RF2,5,6

RF7,8

RF9〜12

PF1（PVD360）

内部構造A

804-φ10

VF

VG VG

B Oリング

真空ポンプ　オプション部品

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

■規格品事業部

国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5769-5511（代）TEL 06-6397-2281（代）

TEL +81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

1176J/2020012000SP

d

VFまたはVG

φD1

φd1

φd2

φD2

φD

φD

φB

φB

φD

φ5

B

d

h

h

ff

g

g

G1

G1

G2

G2

C

C

D

D

T

45

3.9

8

AC

H

40

T

SS

20/0

1/29

15:

49:5

4

クイックカップリング接続アダプタ

真空フランジ　ISO 規格　クイックカップリングフランジ

真空フランジ　JIS B 2290寸 法 図

寸 法 図

寸 法 図

寸 法 図

寸 法 図

寸 法 図

寸 法 表 （単位：mm）

品番 D1 D2 呼び径 KCG KCFKCG-10 KCF-10 30 80 KF10 VG20 VF20KCG-16 KCF-16 KF16KCG-25 KCF-25 40 90 KF25 VG25 VF25KCG-40 KCF-40 55 105 KF40 VG40 VF40KCG-50 KCF-50 75 120 KF50 VG50 VF50

※材質：ステンレス

寸 法 表 （単位：mm）

品番 呼び径 A B C φDKQC-16 KF10/16 45 61 16 22KQC-25 KF25 55 75 16 32KQC-40 KF40 70 90 16 47KQC-50 KF50 95 123 25 62

※材質：アルミニウム合金

寸 法 表 （単位：mm）

品番 呼び径 φｄ1 φｄ2NBR-10 KF10 10 12NBR-16 KF16 16 17NBR-25 KF25 25 26NBR-40 KF40 40 41NBR-50 KF50 50 52

※材質：ステンレス／フッ素ゴム

クランプ

カップリング（ショート）

Ｏリング座／Ｏリング

寸 法 表 （単位：mm）

品番 呼び径 φB φDKLC-10 KF10 15 30KLC-16 KF16 20KLC-25 KF25 30 40KLC-40 KF40 45 55

※材質：ステンレス

寸 法 表 （単位：mm）

品番 呼び径 φB φD HKSC-10 KF10 15 30 16KSC-16 KF16 20KSC-25 KF25 30 40

20KSC-40 KF40 45 55KSC-50 KF50 56 75

※材質：ステンレス

寸 法 表 （単位：mm）

呼び径適用する鋼管の外径d

フランジ外径D鋳造製

フランジの外部寸法 ボルト穴 ボルト呼び

ガスケットの溝フランジの厚さT ｆ ｇ 中心円の

径C 数 径ｈ 内径G1 外径G2 呼びS鋳造フランジ その他10 17.3 70 10 8 1 38 50 4 10 M8 24 34 320 27.2 80 10 8 1 48 60 4 10 M8 34 44 325 34 90 10 8 1 58 70 4 10 M8 40 50 340 48.6 105 12 10 1 72 85 4 10 M8 55 65 350 60.5 120 12 10 1 88 100 4 10 M8 70 80 365 76.3 145 12 10 1 105 120 4 12 M10 85 95 380 89.1 160 14 12 2 120 135 4 12 M10 100 110 3100 114.3 185 14 12 2 145 160 8 12 M10 120 130 3125 139.8 210 14 12 2 170 185 8 12 M10 150 160 3150 165.2 235 14 12 2 195 210 8 12 M10 175 185 3200 216.3 300 18 16 2 252 270 8 15 M12 225 241 4.5250 267.4 350 18 16 2 302 320 12 15 M12 275 291 4.5300 318.5 400 18 16 2 352 370 12 15 M12 325 341 4.5350 355.6 450 - 20 2 402 420 12 15 M12 380 396 4.5400 406.4 520 - 20 2 458 480 12 19 M16 430 446 4.5450 457.2 575 - 20 2 511 535 16 19 M16 480 504 7500 508 625 - 22 2 561 585 16 19 M16 530 554 7550 558.8 680 - 24 2 616 640 16 19 M16 58 609 7

カップリング（ロング）