15
配布用取扱説明 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変する場合がございます 取扱説明 取扱説明 取扱説明 取扱説明 発生 発生 発生 発生器 ED ED ED ED-OG OG OG OG-S4 重要 重要 重要 重要 ご使用前にこの取扱い説明くお読みのうえ、正しくお使い下さい。 もくじ もくじ もくじ もくじ 安全 安全 安全 安全のために のために のために のために P1 P1 P1 P1 仕様 仕様 仕様 仕様 P3 P3 P3 P3 発生原理 標準仕様 各部の名称(装置説明用図面) 使用前 使用前 使用前 使用前の準備 準備 準備 準備 P6 P6 P6 P6 設置前に準備すもの 設置 配管接続 電源の接続 運転手順 運転手順 運転手順 運転手順 P10 10 10 10 酸素の供給 電力の供給 の発生 運転 運転 運転 運転終了手順 終了手順 終了手順 終了手順 P12 12 12 12 冷却水 冷却水 冷却水 冷却水の補給 補給 補給 補給について について について について P1 P1 P1 P13 対応す補給水の種 冷却水補給手順 運転 運転 運転 運転の 対策 対策 対策 対策 P14 P14 P14 P14

EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

  • Upload
    others

  • View
    0

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

取扱説明書取扱説明書取扱説明書取扱説明書 システムシステムシステムシステム用用用用オゾンオゾンオゾンオゾン発生発生発生発生器器器器

EDEDEDED----OGOGOGOG----SSSS4444

重要重要重要重要 ご使用前にこの取り扱い説明書をよくお読みのうえ、正しくお使い下さい。

もくじもくじもくじもくじ

安全安全安全安全のためにのためにのためにのために・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P1P1P1P1

仕様仕様仕様仕様・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P3P3P3P3

オゾン発生原理

標準仕様

各部の名称(装置説明用図面)

使用前使用前使用前使用前のののの準備準備準備準備・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P6P6P6P6

設置前に準備するもの

設置

配管接続

電源の接続

運転手順運転手順運転手順運転手順・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ PPPP10101010

酸素の供給

電力の供給

オゾンの発生

運転運転運転運転終了手順終了手順終了手順終了手順・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ PPPP12121212

冷却水冷却水冷却水冷却水のののの補給補給補給補給についてについてについてについて・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P1P1P1P13333

対応する補給水の種類

冷却水補給手順

運転時運転時運転時運転時ののののトラブルトラブルトラブルトラブル対策対策対策対策・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P14P14P14P14

Page 2: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

1

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

安全安全安全安全のためにのためにのためにのために

((((1111))))取扱説明書取扱説明書取扱説明書取扱説明書についてのおについてのおについてのおについてのお願願願願いいいい

■取扱説明書は、始動時だけではなく、運転停止、保守時にも必要です。いつもお手元に置いて

ご活用下さい。

■取扱説明書を紛失または汚損したときには、販売店または当社へ発注して取り寄せてください。

■取扱説明書の内容に不審な点、誤り、記載漏れなどがあるときは、ご面倒をおかけしますが、

販売店または当社までお知らせくださるようお願い申し上げます。

■取扱説明書の内容は予告なしに変更することがありますのでご了承下さい。

■取扱説明書の知的所有権は当社に帰属します。当社に無断で、全部または一部を第三者に公開、

または複製等を行うことはおやめ下さい。

((((2222))))マークマークマークマーク類類類類のののの意味意味意味意味

本説明書本説明書本説明書本説明書はははは下記下記下記下記ののののマークマークマークマークによりによりによりにより、、、、安全安全安全安全のためにのためにのためにのために特特特特にににに注意注意注意注意すべきすべきすべきすべき点点点点をををを示示示示しておりますしておりますしておりますしております。。。。

警告警告警告警告 取り扱いを誤ると、人人人人がががが死亡死亡死亡死亡またはまたはまたはまたは重症重症重症重症を負う可能性がある内容を表しています。

注意注意注意注意 取り扱いを誤ると、傷害傷害傷害傷害またはまたはまたはまたは物的損害物的損害物的損害物的損害が発生する可能性がある内容を表しています。

((((3333))))安全上安全上安全上安全上のごのごのごのご注意注意注意注意

警告警告警告警告

このこのこのこの項目項目項目項目のののの表示表示表示表示をををを無視無視無視無視

してしてしてして誤誤誤誤ったったったった取取取取りりりり扱扱扱扱いをいをいをいを

したしたしたした場合場合場合場合、、、、死亡死亡死亡死亡またはまたはまたはまたは

重症重症重症重症をををを招招招招くくくく可能性可能性可能性可能性がががが生生生生

じますじますじますじます。。。。

■ 分解禁止分解禁止分解禁止分解禁止

本機本機本機本機のののの分解分解分解分解、、、、改造改造改造改造はははは絶対絶対絶対絶対にしないでにしないでにしないでにしないで下下下下さいさいさいさい。。。。火災火災火災火災やややや感電事故感電事故感電事故感電事故、、、、およびおよびおよびおよび故障故障故障故障のののの原因原因原因原因となりますとなりますとなりますとなります。。。。

■ 高電圧注意高電圧注意高電圧注意高電圧注意

本装置本装置本装置本装置のののの本体内部本体内部本体内部本体内部にはにはにはには常時通電状態常時通電状態常時通電状態常時通電状態となるとなるとなるとなる箇所箇所箇所箇所やややや、、、、運転中運転中運転中運転中にににに高電圧高電圧高電圧高電圧となるとなるとなるとなる箇所箇所箇所箇所がありますがありますがありますがあります。。。。点検点検点検点検

ややややメンテナンスメンテナンスメンテナンスメンテナンス等等等等のののの理由理由理由理由によりによりによりにより外面外面外面外面カバーカバーカバーカバーをををを外外外外すすすす必要必要必要必要があるがあるがあるがある場合場合場合場合にはにはにはには、、、、必必必必ずずずず電源電源電源電源コードコードコードコードをををを抜抜抜抜いたいたいたいた

状態状態状態状態でででで作業作業作業作業をををを行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。通電通電通電通電したしたしたした状態状態状態状態でででで内部内部内部内部にににに触触触触れるとれるとれるとれると、、、、感電事故感電事故感電事故感電事故につながるにつながるにつながるにつながる恐恐恐恐れがありれがありれがありれがあり

ますますますます。。。。

■ 電源電源電源電源プラグプラグプラグプラグ・・・・コードコードコードコードのののの取取取取りりりり扱扱扱扱いいいい

電源電源電源電源プラグプラグプラグプラグのののの抜抜抜抜きききき差差差差しはしはしはしは、、、、プラグプラグプラグプラグ部分部分部分部分をををを持持持持ってってってって行行行行いいいい、、、、コードコードコードコード部分部分部分部分をををを引引引引っっっっ張張張張るなどるなどるなどるなど破損破損破損破損につながるにつながるにつながるにつながる

ようなようなようなような行為行為行為行為はしないではしないではしないではしないで下下下下さいさいさいさい。。。。差差差差しししし込込込込むむむむ際際際際はははは手手手手ややややプラグプラグプラグプラグ本体本体本体本体、、、、装置本体等装置本体等装置本体等装置本体等にににに水濡水濡水濡水濡れがれがれがれが無無無無いことをいことをいことをいことを

確認確認確認確認しししし、、、、根元根元根元根元までまでまでまで確実確実確実確実にににに差差差差しししし込込込込んでくださいんでくださいんでくださいんでください。。。。差込差込差込差込がががが不十分不十分不十分不十分なななな場合場合場合場合、、、、感電感電感電感電やややや火災火災火災火災につながるにつながるにつながるにつながる恐恐恐恐れれれれ

がありますがありますがありますがあります。。。。

またまたまたまた、、、、電源電源電源電源プラグプラグプラグプラグはははは定期的定期的定期的定期的ににににゴミゴミゴミゴミややややホコリホコリホコリホコリなどをなどをなどをなどを取取取取りりりり除除除除いてくださいいてくださいいてくださいいてください。。。。

■ アースアースアースアースのののの接地接地接地接地

電源電源電源電源プラグプラグプラグプラグにににに付随付随付随付随しているしているしているしているアースアースアースアースのののの接地接地接地接地をををを確実確実確実確実にににに行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。接地接地接地接地されていないされていないされていないされていない場合場合場合場合、、、、感電感電感電感電

事故事故事故事故につながるにつながるにつながるにつながる恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

■ 水濡水濡水濡水濡れれれれ注意注意注意注意

Page 3: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

2

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

オゾンオゾンオゾンオゾン利用利用利用利用についてのについてのについてのについての注意点注意点注意点注意点

警告警告警告警告

このこのこのこの項目項目項目項目のののの表示表示表示表示をををを無視無視無視無視

してしてしてして誤誤誤誤ったったったった取取取取りりりり扱扱扱扱いをいをいをいを

したしたしたした場合場合場合場合、、、、死亡死亡死亡死亡またはまたはまたはまたは

重症重症重症重症をををを招招招招くくくく可能性可能性可能性可能性がががが生生生生

じますじますじますじます。。。。

■■■■ 有機物有機物有機物有機物とのとのとのとの接触接触接触接触

有機物有機物有機物有機物とととと高濃度高濃度高濃度高濃度オゾンオゾンオゾンオゾンをををを長時間接触長時間接触長時間接触長時間接触させることによりさせることによりさせることによりさせることにより、、、、火災火災火災火災やややや爆発等爆発等爆発等爆発等がががが起起起起きるきるきるきる恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

有機物等有機物等有機物等有機物等ののののオゾンオゾンオゾンオゾン処理処理処理処理をををを行行行行うううう場合場合場合場合はははは、、、、安全性安全性安全性安全性についてについてについてについて十分十分十分十分にににに検証検証検証検証したしたしたした上上上上でででで行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。

■■■■ 廃廃廃廃オゾンオゾンオゾンオゾンのののの分解分解分解分解にはにはにはには活性炭活性炭活性炭活性炭はははは使用使用使用使用せずせずせずせず、、、、必必必必ずずずずオゾンオゾンオゾンオゾン用用用用のののの除去触媒等除去触媒等除去触媒等除去触媒等をををを用用用用いてくださいてくださいてくださいてくださ

いいいい。。。。材質材質材質材質によりによりによりにより、、、、高濃度高濃度高濃度高濃度ののののオゾンオゾンオゾンオゾンをををを長期間導入長期間導入長期間導入長期間導入することですることですることですることで火災火災火災火災やややや爆発爆発爆発爆発にににに至至至至るるるる危険性危険性危険性危険性がががが

ありますありますありますあります。。。。

注意注意注意注意

このこのこのこの項目項目項目項目のののの表示表示表示表示をををを無視無視無視無視

してしてしてして誤誤誤誤ったったったった取取取取りりりり扱扱扱扱いをいをいをいを

したしたしたした場合場合場合場合、、、、傷害傷害傷害傷害またはまたはまたはまたは

物的損害物的損害物的損害物的損害がががが発生発生発生発生するするするする可可可可

能性能性能性能性があるがあるがあるがある内容内容内容内容をををを表表表表しししし

ていますていますていますています。。。。

■■■■ 人体人体人体人体へのへのへのへの悪影響悪影響悪影響悪影響

高濃度高濃度高濃度高濃度ののののオゾンオゾンオゾンオゾンのののの吸引吸引吸引吸引はははは、、、、呼吸器呼吸器呼吸器呼吸器やややや粘膜等粘膜等粘膜等粘膜等にににに悪影響悪影響悪影響悪影響をををを与与与与えますえますえますえます。。。。有人空間有人空間有人空間有人空間ににににオゾンガスオゾンガスオゾンガスオゾンガスがががが漏洩漏洩漏洩漏洩すすすす

ることのることのることのることの無無無無いようにごいようにごいようにごいようにご注意下注意下注意下注意下さいさいさいさい。。。。使用中使用中使用中使用中にににに強強強強いいいいオゾンガスオゾンガスオゾンガスオゾンガスのののの臭臭臭臭いをいをいをいを感感感感じたじたじたじた場合場合場合場合はははは、、、、すぐにすぐにすぐにすぐに使用使用使用使用

をををを中止中止中止中止しししし、、、、十分十分十分十分なななな換気換気換気換気をををを行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。

■■■■ 材料材料材料材料へのへのへのへの悪影響悪影響悪影響悪影響

オゾンオゾンオゾンオゾンはははは強強強強いいいい酸化力酸化力酸化力酸化力をををを持持持持ちちちち、、、、鉄鉄鉄鉄ややややゴムゴムゴムゴム等等等等をををを劣化劣化劣化劣化させることがありますさせることがありますさせることがありますさせることがあります。。。。

高濃度高濃度高濃度高濃度オゾンオゾンオゾンオゾンをををを使用使用使用使用するするするする際際際際にはにはにはには、、、、使用系統使用系統使用系統使用系統はははは耐耐耐耐オゾンオゾンオゾンオゾン性性性性のののの材質材質材質材質でででで構成構成構成構成してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。

警告警告警告警告

このこのこのこの項目項目項目項目のののの表示表示表示表示をををを無視無視無視無視

してしてしてして誤誤誤誤ったったったった取取取取りりりり扱扱扱扱いをいをいをいを

したしたしたした場合場合場合場合、、、、死亡死亡死亡死亡またはまたはまたはまたは

重症重症重症重症をををを招招招招くくくく可能性可能性可能性可能性がががが生生生生

じますじますじますじます。。。。

本装置本装置本装置本装置はははは、、、、液体液体液体液体がががが付着付着付着付着しないようにしないようにしないようにしないように細心細心細心細心のののの注意注意注意注意をををを払払払払ってってってって設置設置設置設置・・・・使用使用使用使用してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。水水水水にににに濡濡濡濡れたれたれたれた状状状状

態態態態でででで使用使用使用使用することはすることはすることはすることは、、、、感電感電感電感電やややや火災等火災等火災等火災等、、、、思思思思わぬわぬわぬわぬ事故事故事故事故につながるにつながるにつながるにつながる恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

■ 火気注意火気注意火気注意火気注意

本装置本装置本装置本装置はははは火気火気火気火気やややや有害有害有害有害ガスガスガスガスのそばにのそばにのそばにのそばに設置設置設置設置しないでしないでしないでしないで下下下下さいさいさいさい。。。。

■ 高温注意高温注意高温注意高温注意

本装置本装置本装置本装置をををを 40404040℃℃℃℃以上以上以上以上にににに温度上昇温度上昇温度上昇温度上昇するするするする可能可能可能可能でのあるでのあるでのあるでのある場所場所場所場所でのでのでのでの使用使用使用使用をををを避避避避けてくださいけてくださいけてくださいけてください。。。。電源電源電源電源のののの加熱等加熱等加熱等加熱等

によりによりによりにより重大重大重大重大なななな事故事故事故事故につながるにつながるにつながるにつながる恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

■ 電圧遵守電圧遵守電圧遵守電圧遵守

本装置本装置本装置本装置のののの運転運転運転運転はははは、、、、かならずかならずかならずかならず仕様書仕様書仕様書仕様書にににに定定定定められためられためられためられた入力電圧入力電圧入力電圧入力電圧でででで使用使用使用使用してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。仕様仕様仕様仕様からからからから外外外外れたれたれたれた電電電電

圧圧圧圧でででで使用使用使用使用するとするとするとすると、、、、火災火災火災火災やややや感電感電感電感電のののの原因原因原因原因となるとなるとなるとなる恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

■ 排気口確保排気口確保排気口確保排気口確保

本体側面本体側面本体側面本体側面のののの排気口排気口排気口排気口をををを塞塞塞塞いだいだいだいだ状態状態状態状態でででで運転運転運転運転しないでくださいしないでくださいしないでくださいしないでください。。。。

またまたまたまた、、、、本体本体本体本体はははは必必必必ずずずず周囲周囲周囲周囲のののの壁等壁等壁等壁等からからからから10101010センチメートルセンチメートルセンチメートルセンチメートル以上離以上離以上離以上離したしたしたした状態状態状態状態でででで設置設置設置設置してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。内部内部内部内部

のののの加熱加熱加熱加熱によりによりによりにより重大重大重大重大なななな事故事故事故事故につながるにつながるにつながるにつながる恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

■ 配管配管配管配管

各配管各配管各配管各配管はははは、、、、当当当当マニュアルマニュアルマニュアルマニュアルのののの項目項目項目項目にににに従従従従いいいい、、、、確実確実確実確実にににに行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。配管配管配管配管にににに漏漏漏漏れがあるれがあるれがあるれがある場合場合場合場合、、、、漏電漏電漏電漏電やややや

オゾンガスオゾンガスオゾンガスオゾンガス漏洩漏洩漏洩漏洩によりによりによりにより思思思思わぬわぬわぬわぬ事故事故事故事故がががが発生発生発生発生するするするする恐恐恐恐れがありますれがありますれがありますれがあります。。。。

Page 4: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

3

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

仕様 概要 オゾン発生原理

仕様仕様仕様仕様

((((1111)))) 概要概要概要概要

・オゾン発生器 ED-OG-S4 は酸素及び空気を原料としてオゾンガスを発生させるための装置です。

・酸素原料で 1時間に約 25g、乾燥空気原料で 1時間に 10g/hr のオゾンを発生可能です。

・オゾン濃度はデジタル式の濃度調節器により広範囲で自由に変えることが出来ます。

・準密閉構造となっており、高い耐久性を持っております。

((((2222)))) オゾンオゾンオゾンオゾン発生原理発生原理発生原理発生原理

本装置のオゾン発生部は、石英ガラス 2 重管の間隙に生じさせた細かい無数の放電(無声放電)の中へ原

料ガス(酸素、空気)を流すことにより、原料ガス中にオゾンを発生させる構造です。無声放電中を通る

酸素分子[O2]は放電により酸素原子[O]に分解します。分解した酸素原子同士は再度結合して分子に戻ろう

としますが、その際に [O]と[O2]が結合し、オゾン分子[O3]が生成されます。

Page 5: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

4

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

仕様 系統構成図 標準仕様

((((3333)))) 標準仕様標準仕様標準仕様標準仕様

名 称 システム用オゾン発生器

型 式 ED-OG-S4

オ ゾ ン 発 生 方 式 無声放電法

原 料 ガ ス ボンベ酸素、PSA 酸素、乾燥空気、室内空気

放電管 ・電源冷却方式 内蔵ラジエータ式水冷

オ ゾ ン 発 生 量 25g/hr(ボンベ酸素原料) 10g/hr(乾燥空気原料)

外 形 寸 法 350W×450D×470H(突起部は含みません)

重 量 23kg

電 源 電 圧 AC100V 50/60Hz

消 費 電 力 800W

使 用 圧 力 範 囲 0.05~0.15MpaG

原 料 ガ ス 接 続 口 6mm×4mm チューブ用 SUS 継ぎ手

オ ゾ ン ガ ス 出 口 6mm×4mm チューブ用 SUS 継ぎ手

外 装 ボ ッ ク ス 材質: SUS304

使 用 環 境 条 件 気温 5~40℃、湿度 90%R.H.以下 屋内

ア ラ ー ム 信 号 端子台に接点信号(容量 MAX10A)を出力

Page 6: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

5

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

仕様 各部の名称

((((4444)))) 各部各部各部各部のののの名称名称名称名称

番号 名称 機能

1 メインランプ スイッチ切替により点灯。POWER、ON、OZONE ランプ

2 アラームランプ 異常時に点灯、冷却水異常、電源異常、放電異常

3 オゾン濃度調節器 オゾン発生出力を 0~99%の間で調節

4 電流計 オゾン発生器の電流値を表示

5 モード切り替えスイッチ フル出力運転と制御運転の切り替えスイッチ

6 ガス流量計 オゾンガスの流量を監視

7 圧力計 オゾン発生部内部圧力の監視

8 ガス流量調節弁 オゾンガスの流量を調節

9 放電管監視窓 放電状況を監視。

10 メインスイッチ 冷却水循環、オゾン発生の ON、OFF の切り替え

11 アワーメータ オゾン発生積算時間を表示

12 原料ガス入口 原料ガスの入り口。

13 オゾンガス出口 オゾンガスの出口

14 冷却水タンク覗き窓 冷却水の残量を確認

15 冷却水ガス抜き口 冷却水の水抜き用

16 冷却水補給口 冷却水の補給用

17 排気口 ラジエータ冷却ファンの排気

18 8 極端子台 オプションにて警報出力等可能

19 冷却水排出口 冷却水交換時の冷却水排出に使う

20 吸気口 ラジエータ冷却空気の吸気口

21 電源コネクタ AC100V 電源の導入

Page 7: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

6

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

使用前の準備 設置前設置前設置前設置前にににに準備準備準備準備するものするものするものするもの⇒設置⇒配管接続⇒電源の接続

使用前使用前使用前使用前のののの準備準備準備準備

((((1111))))設置前設置前設置前設置前にににに準備準備準備準備するものするものするものするもの

■原料ガス

・ボンベ酸素※、PSA 酸素、乾燥空気、室内空気(コンプレッサ等)

いずれも圧力は 0.1Mpa を推奨

※※※※酸素酸素酸素酸素のののの濃度濃度濃度濃度についてについてについてについて

超高濃度のオゾンガスを利用したい場合、酸素ガス純度は 99.5~99.9%を推奨いたします。

純度が低い場合、または高すぎる場合でもオゾンガス濃度が上がり辛くなることがございます。

■配管

用途用途用途用途 チチチチューブューブューブューブ径径径径 推奨配管材質推奨配管材質推奨配管材質推奨配管材質※※※※

原料原料原料原料ガスラインガスラインガスラインガスライン 外径外径外径外径 6mm 6mm 6mm 6mm 肉厚肉厚肉厚肉厚 1mm 1mm 1mm 1mm PFAPFAPFAPFA、、、、PTFEPTFEPTFEPTFE

オゾンガスラインオゾンガスラインオゾンガスラインオゾンガスライン 外径外径外径外径 6mm 6mm 6mm 6mm 肉厚肉厚肉厚肉厚 1mm1mm1mm1mm PFAPFAPFAPFA、、、、PTFEPTFEPTFEPTFE

※※※※ガスラインガスラインガスラインガスラインのののの配管材質配管材質配管材質配管材質についてについてについてについて

酸素原料でオゾンガスを発生させる場合、原料酸素の配管等から微量に放出される物質が、オゾンの発生

濃度に悪影響を及ぼすことがあります。この現象は、特に 2L/min 以下の低流量で顕著です。低流量で超

高濃度のオゾンガスを利用するためには、原料ガスが流れるライン中においても極力テフロン系の材質を

使用することを推奨いたします。

■廃オゾン系統

・廃オゾン分解器

・排気設備 等

警告警告警告警告

・・・・使用使用使用使用するするするする系統内系統内系統内系統内ででででオゾンオゾンオゾンオゾンがががが有人空間有人空間有人空間有人空間にににに漏洩漏洩漏洩漏洩するするするする恐恐恐恐れのあるれのあるれのあるれのある場合場合場合場合はははは、、、、必必必必ずずずず廃廃廃廃オゾンオゾンオゾンオゾン分解分解分解分解

器器器器のののの使用使用使用使用やややや排気設備排気設備排気設備排気設備へのへのへのへの接続等接続等接続等接続等によりによりによりにより対策対策対策対策をををを行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。

・・・・廃廃廃廃オゾンオゾンオゾンオゾンのののの分解分解分解分解にはにはにはには活性炭活性炭活性炭活性炭はははは使用使用使用使用せずせずせずせず、、、、必必必必ずずずずオゾンオゾンオゾンオゾン用用用用のののの除去触媒等除去触媒等除去触媒等除去触媒等をををを用用用用いてくださいいてくださいいてくださいいてください。。。。

材質材質材質材質によりによりによりにより、、、、高濃度高濃度高濃度高濃度ののののオゾンオゾンオゾンオゾンをををを長期間導入長期間導入長期間導入長期間導入することですることですることですることで爆発爆発爆発爆発にににに至至至至るるるる危険性危険性危険性危険性がありますがありますがありますがあります。。。。

Page 8: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

7

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

使用前の準備 設置前に準備するもの⇒設置設置設置設置⇒配管接続⇒電源の接続

((((2222))))設置設置設置設置

下記条件を良く読み、設置してください。

移動は本体側面の取っ手を持ち、倒さないように慎重に行ってください。

周囲環境条件周囲環境条件周囲環境条件周囲環境条件 ・ 本装置本装置本装置本装置はははは屋内用屋内用屋内用屋内用ですですですです。。。。直射日光直射日光直射日光直射日光やややや雨風雨風雨風雨風のかかるのかかるのかかるのかかる場場場場

所所所所にはにはにはには設置設置設置設置しないでしないでしないでしないで下下下下さいさいさいさい。。。。またまたまたまた、、、、必要必要必要必要にににに応応応応じてじてじてじて

防水防水防水防水、、、、防滴対策防滴対策防滴対策防滴対策をををを行行行行ってくださいってくださいってくださいってください。。。。

・ 本装置本装置本装置本装置はははは内部内部内部内部にににに周囲空気周囲空気周囲空気周囲空気をををを吸引吸引吸引吸引してしてしてして冷却冷却冷却冷却するするするする構造構造構造構造

になっているためになっているためになっているためになっているため、、、、粉塵等粉塵等粉塵等粉塵等のあるのあるのあるのある場所場所場所場所にはにはにはには設置設置設置設置しししし

ないでないでないでないで下下下下さいさいさいさい。。。。

・ 火気火気火気火気やややや有毒有毒有毒有毒ガスガスガスガスのそばにのそばにのそばにのそばに設置設置設置設置しないでしないでしないでしないで下下下下さいさいさいさい。。。。

設置場所設置場所設置場所設置場所

そのそのそのその他注意点他注意点他注意点他注意点

・ 本装置本装置本装置本装置のののの上部上部上部上部にににに物物物物をををを置置置置かないでかないでかないでかないで下下下下さいさいさいさい。。。。

・ 本装置本装置本装置本装置はははは壁壁壁壁やややや設置物等設置物等設置物等設置物等からからからから 10cm10cm10cm10cm 以上離以上離以上離以上離れたれたれたれた場所場所場所場所

にににに設置設置設置設置してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。

・ 出来出来出来出来るるるる限限限限りりりり水平水平水平水平かつかつかつかつ安定安定安定安定したしたしたした場所場所場所場所設置設置設置設置してくださしてくださしてくださしてくださ

いいいい。。。。

Page 9: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

8

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

使用前の準備 設置前に準備するもの⇒設置⇒配管接続配管接続配管接続配管接続⇒電源の接続

((((3333))))配管配管配管配管のののの接続接続接続接続

本体側の継ぎ手は全てステンレスの継ぎ手です。継ぎ手配管手順を正しく守って、リークの起きない

ように確実に配管してください。

・配管種類

継継継継ぎぎぎぎ手用途手用途手用途手用途 適合適合適合適合チューブチューブチューブチューブ径径径径 推奨配管材質推奨配管材質推奨配管材質推奨配管材質

酸素入酸素入酸素入酸素入口口口口 外径外径外径外径 6mm 6mm 6mm 6mm 肉厚肉厚肉厚肉厚 1mm 1mm 1mm 1mm PFAPFAPFAPFA、、、、PTFEPTFEPTFEPTFE

オゾンガスオゾンガスオゾンガスオゾンガス出口出口出口出口 外径外径外径外径 6mm 6mm 6mm 6mm 肉厚肉厚肉厚肉厚 1mm1mm1mm1mm PFAPFAPFAPFA、、、、PTFEPTFEPTFEPTFE

・配管手順

① 原料気体配管

原料ガス供給ラインから装置本体の酸素ガス入り口(図番-⑫)へと配管を接続します。

② オゾンガス配管

オゾンガスを使用する系統へ装置本体のオゾンガス出口(図番-⑬)から配管を接続します。

・継ぎ手接続手順

1111、、、、継継継継ぎぎぎぎ手手手手にににに付付付付いていいていいていいてい

るるるるナットナットナットナットをををを外外外外しししし、、、、使使使使

用用用用するするするするチューブチューブチューブチューブをををを通通通通

すすすす。。。。

2222、、、、継継継継ぎぎぎぎ手本体側手本体側手本体側手本体側のののの

細細細細くなっているくなっているくなっているくなっている部分部分部分部分

ををををチューブチューブチューブチューブにににに差差差差しししし込込込込

むむむむ。。。。

3333、、、、ナットナットナットナットをねじにをねじにをねじにをねじに取取取取

りりりり付付付付けけけけ、、、、手締手締手締手締めでめでめでめで軽軽軽軽

くくくく締締締締めるめるめるめる。。。。

4444、、、、スパナスパナスパナスパナ等等等等をををを使使使使いいいい、、、、

しっかりとしっかりとしっかりとしっかりと締締締締めるめるめるめる。。。。

Page 10: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

9

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

使用前の準備 設置前に準備するもの⇒設置⇒配管接続⇒配線配線配線配線のののの接続接続接続接続

((((4444))))配線配線配線配線のののの接続接続接続接続

本体を AC100V に接続します。同時にアースの接地も行ってください。

本装置はアラーム(接点信号 MAX10A)を備えています。

必要に応じてその接続も行ってください。

・接続手順

① メインスイッチ確認

メインスイッチが停止状態になっていることを確認してください。

② 電源への接続

電源への接続は電源コネクタに接続又は背面パネルの8極端子台に接続してください。

電源コネクタを用いる場合

電力供給元の電力を切り、下記の通り電源ケーブルの接続とアースの接地を行ってください。

③ 電力供給元の電源を入れ、POWER ランプの点灯を確認してください。

電源コード コネクタ部

Page 11: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

10

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

運転手順 原料原料原料原料ガスガスガスガスのののの供給供給供給供給⇒電力の供給⇒オゾンの発生

運転手順運転手順運転手順運転手順

((((1111))))酸素酸素酸素酸素のののの供給供給供給供給

注意注意注意注意

オゾンオゾンオゾンオゾンによりによりによりにより人体人体人体人体やややや物品物品物品物品にににに対対対対しししし悪影響悪影響悪影響悪影響をををを及及及及ぼさないためにぼさないためにぼさないためにぼさないために、、、、酸素酸素酸素酸素ガスガスガスガスをををを供給供給供給供給したしたしたした時点時点時点時点でででで、、、、運運運運

転系統内転系統内転系統内転系統内ににににリークリークリークリーク箇所等箇所等箇所等箇所等がががが無無無無いかどうかいかどうかいかどうかいかどうか慎重慎重慎重慎重にににに確認確認確認確認してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。

1111、、、、本体本体本体本体ののののガスガスガスガス流量調節弁流量調節弁流量調節弁流量調節弁

((((図中番号図中番号図中番号図中番号⑧⑧⑧⑧))))がががが閉閉閉閉じているじているじているじている

ことをことをことをことを確認確認確認確認ししししてくださいてくださいてくださいてください。。。。

必必必必ずずずず確認確認確認確認!!!!

2222、、、、原料原料原料原料ガスラインガスラインガスラインガスラインからからからからガスガスガスガス

をををを供給供給供給供給しますしますしますします。。。。本体側本体側本体側本体側のののの圧力圧力圧力圧力

計計計計をををを確認確認確認確認しながらしながらしながらしながら慎重慎重慎重慎重にににに行行行行

いいいい、、、、0.1Mpa0.1Mpa0.1Mpa0.1Mpa にににに合合合合わせてくださわせてくださわせてくださわせてくださ

いいいい。。。。

必必必必ずずずず確認確認確認確認!!!!

3333、、、、本体本体本体本体ののののガスガスガスガス流量調節弁流量調節弁流量調節弁流量調節弁

((((図中番号図中番号図中番号図中番号⑧⑧⑧⑧))))をゆっくりとをゆっくりとをゆっくりとをゆっくりと

開放開放開放開放しししし、、、、酸素酸素酸素酸素ガスガスガスガス流量計流量計流量計流量計((((図図図図

中番号中番号中番号中番号⑥⑥⑥⑥))))をををを使用使用使用使用するするするする流量流量流量流量にににに

合合合合わせてわせてわせてわせて下下下下さいさいさいさい。。。。

↓↓↓↓

4444、、、、ガスガスガスガス流量流量流量流量をををを調節調節調節調節するとするとするとすると

圧力圧力圧力圧力がががが変動変動変動変動するためするためするためするため、、、、原料原料原料原料

ガスガスガスガス圧力圧力圧力圧力とととと本体側本体側本体側本体側ののののガスガスガスガス

流量調節弁流量調節弁流量調節弁流量調節弁をををを交互交互交互交互にににに調節調節調節調節

しししし、、、、使用使用使用使用するするするする流量流量流量流量でででで

0.1Mpa0.1Mpa0.1Mpa0.1Mpa になるようになるようになるようになるよう再度調再度調再度調再度調

節節節節してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。

Page 12: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

11

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

運転手順 原料ガスの供給⇒電力電力電力電力のののの供給供給供給供給⇒オゾンオゾンオゾンオゾンのののの発生発生発生発生

((((2222))))電力電力電力電力のののの供給供給供給供給

1111、、、、メインランプメインランプメインランプメインランプ((((図中図中図中図中

番号番号番号番号①①①①))))のののの POWERPOWERPOWERPOWER がががが点点点点

灯状態灯状態灯状態灯状態になっているこになっているこになっているこになっているこ

とをとをとをとを確認確認確認確認しますしますしますします。。。。

2222、、、、メインスイッチメインスイッチメインスイッチメインスイッチ((((図図図図

中番号中番号中番号中番号⑩⑩⑩⑩))))をををを右回右回右回右回りにりにりにりに

ONONONON までまでまでまで回回回回すとすとすとすと ONONONON ランランランラン

ププププがががが点灯点灯点灯点灯しししし、、、、同時同時同時同時にににに冷冷冷冷

却水却水却水却水がががが循環循環循環循環をををを開始開始開始開始しましましましま

すすすす。。。。

((((3333))))オゾンオゾンオゾンオゾンのののの発生発生発生発生

1111、、、、出力調節出力調節出力調節出力調節モードモードモードモード切替切替切替切替

スイッチスイッチスイッチスイッチ((((図中番号図中番号図中番号図中番号⑤⑤⑤⑤))))

はははは CONTROLCONTROLCONTROLCONTROL 側側側側ににににセットセットセットセット

してくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。

オゾンオゾンオゾンオゾン発生出力調節器発生出力調節器発生出力調節器発生出力調節器

((((図中番号図中番号図中番号図中番号③③③③) ) ) ) はははは 00000000 にににに

セットセットセットセットしてくださいしてくださいしてくださいしてください。。。。

2222、、、、メインスイッチメインスイッチメインスイッチメインスイッチをををを右右右右

回回回回りにりにりにりに OZONEOZONEOZONEOZONE までまでまでまで回回回回しししし

ますますますます。。。。

3333、、、、オゾンオゾンオゾンオゾン発生出力調節発生出力調節発生出力調節発生出力調節

器器器器のののの数字数字数字数字をををを上上上上げるとげるとげるとげるとオオオオ

ゾンゾンゾンゾン発生発生発生発生をををを開始開始開始開始しますしますしますします。。。。

オゾンオゾンオゾンオゾン発生出力調節器発生出力調節器発生出力調節器発生出力調節器

のののの数字数字数字数字のののの単位単位単位単位はははは%%%%でででで、、、、0000

からからからから 99999999%%%%までまでまでまで調節可能調節可能調節可能調節可能

ですですですです。。。。

※※※※フルフルフルフル出力出力出力出力((((100100100100%%%%))))運運運運

転転転転したいときはしたいときはしたいときはしたいときは、、、、出力調出力調出力調出力調

節節節節モードモードモードモード切替切替切替切替スイッチスイッチスイッチスイッチ

をををを FULLFULLFULLFULL 側側側側にににに倒倒倒倒してくだしてくだしてくだしてくだ

さいさいさいさい。。。。オゾンオゾンオゾンオゾン発生出力調発生出力調発生出力調発生出力調

節器節器節器節器のののの数字数字数字数字にににに関関関関わらずわらずわらずわらず

フルフルフルフル出力運転出力運転出力運転出力運転になりまになりまになりまになりま

すすすす。。。。

Page 13: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

12

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

運転終了手順

運転終了手順運転終了手順運転終了手順運転終了手順

1111、、、、電力電力電力電力のののの供給停止供給停止供給停止供給停止

メインスイッチを左回りに

OFF まで回して下さい。

2222、、、、オゾンオゾンオゾンオゾンののののパージパージパージパージ

ガスを 1L/min 以上で 3分

間以上供給し続け、本体内

部に残ったオゾンガスを

排出してください。

酸素酸素酸素酸素をををを供給供給供給供給しししし続続続続けるけるけるける。。。。

3333、、、、酸素酸素酸素酸素ガスガスガスガス供給停止供給停止供給停止供給停止

原料ガスの供給を停止

し、圧力計が 0 に戻るの

を確認してください。

4444、、、、流量調節弁流量調節弁流量調節弁流量調節弁をををを閉閉閉閉じるじるじるじる

ガス流量調節弁を閉じ、

原料ガスの供給を完全

に停止してください。

5555、、、、運転終了運転終了運転終了運転終了

電力の供給を停止し、運転

を終了してください。

Page 14: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

13

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

冷却水の補給について

冷却水冷却水冷却水冷却水のののの補給補給補給補給についてについてについてについて

本装置本装置本装置本装置はははは、、、、ラジエータラジエータラジエータラジエータによりによりによりにより冷却冷却冷却冷却したしたしたした冷却水冷却水冷却水冷却水をををを内部内部内部内部でででで循環循環循環循環させさせさせさせ、、、、放電管放電管放電管放電管とととと電源電源電源電源をををを冷却冷却冷却冷却しておりますがしておりますがしておりますがしておりますが、、、、長長長長

期間期間期間期間のののの使用等使用等使用等使用等によるによるによるによる蒸発蒸発蒸発蒸発によりによりによりにより、、、、冷却水冷却水冷却水冷却水がががが少少少少なくなることがございますなくなることがございますなくなることがございますなくなることがございます。。。。本装置本装置本装置本装置をををを運転運転運転運転するするするする際際際際にはにはにはには、、、、3333 かかかか

月月月月にににに一回程度一回程度一回程度一回程度をををを目安目安目安目安にににに冷却水位冷却水位冷却水位冷却水位のののの確認確認確認確認をおをおをおをお願願願願いいたしますいいたしますいいたしますいいたします。。。。

またまたまたまた、、、、冷却水異常冷却水異常冷却水異常冷却水異常ののののアラームランプアラームランプアラームランプアラームランプがががが点灯点灯点灯点灯したしたしたした時時時時にもにもにもにも冷却水位冷却水位冷却水位冷却水位をごをごをごをご確認確認確認確認くださいくださいくださいください。。。。

((((1111))))対応対応対応対応するするするする補給水補給水補給水補給水のののの種類種類種類種類

どちらかをごどちらかをごどちらかをごどちらかをご利用下利用下利用下利用下さいさいさいさい。。。。

・・・・日本薬局方日本薬局方日本薬局方日本薬局方 精製水精製水精製水精製水

・・・・電気電導度電気電導度電気電導度電気電導度 150150150150μμμμssss 以下以下以下以下のののの水道水水道水水道水水道水

((((2222))))冷却水補給手順冷却水補給手順冷却水補給手順冷却水補給手順

1111、、、、冷却水監視窓冷却水監視窓冷却水監視窓冷却水監視窓からからからから

見見見見てててて、、、、右図右図右図右図のようにのようにのようにのように水水水水

位位位位がががが監視窓監視窓監視窓監視窓からからからから見見見見てててて

半分以下半分以下半分以下半分以下になってなになってなになってなになってな

いかいかいかいか確認確認確認確認するするするする。。。。減減減減ってってってって

いたらいたらいたらいたら((((2222))))へとへとへとへと進進進進むむむむ。。。。

2222、、、、冷却水補給口冷却水補給口冷却水補給口冷却水補給口((((図中番図中番図中番図中番

号号号号⑤⑤⑤⑤))))とととと、、、、冷却水冷却水冷却水冷却水ガスガスガスガス抜口抜口抜口抜口

にそれぞれにそれぞれにそれぞれにそれぞれ、、、、矢印矢印矢印矢印①①①①のののの部部部部

分分分分をををを押押押押しながらしながらしながらしながらプラグプラグプラグプラグをををを

矢印矢印矢印矢印②②②②のののの方向方向方向方向にににに抜抜抜抜くくくく。。。。

↓↓↓↓

3333、、、、あらかじめあらかじめあらかじめあらかじめ用意用意用意用意しししし

ておいたておいたておいたておいた補給水補給水補給水補給水をををを、、、、専専専専

用用用用ののののボトルボトルボトルボトル等等等等にににに入入入入れれれれ

るるるる。。。。

4444、、、、ボトルボトルボトルボトルのののの先端先端先端先端をををを冷却水冷却水冷却水冷却水

補給口補給口補給口補給口にににに差差差差しししし込込込込むむむむ。。。。

5555、、、、ボトルボトルボトルボトルをををを押押押押すとすとすとすと水水水水

がががが注注注注がれるのでがれるのでがれるのでがれるので冷却冷却冷却冷却

水監視窓水監視窓水監視窓水監視窓をををを覗覗覗覗ききききながながながなが

らららら監視窓監視窓監視窓監視窓からからからから見見見見てててて8888割割割割

位置位置位置位置でででで止止止止めるめるめるめる。。。。

6666、、、、冷却水補給口冷却水補給口冷却水補給口冷却水補給口とととと冷却水冷却水冷却水冷却水

ガスガスガスガス抜口抜口抜口抜口にににに対対対対しししし、、、、それぞれそれぞれそれぞれそれぞれ

プラグプラグプラグプラグをををを矢印矢印矢印矢印①①①①のののの方向方向方向方向にににに

差差差差しししし込込込込むむむむ。。。。 ↓↓↓↓

Page 15: EDEEDDED----OGOOGGOG----SSSS44441 配布用取扱説明暯 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変暬する場合がございます 安全のために ((((1111))))取扱説明暯取扱説明暯についてのお願願願願いいいい

14

配布用取扱説明書 無断転載等禁止 ※内容については予告なく変更する場合がございます

故障対策

運転時運転時運転時運転時ののののトラブルトラブルトラブルトラブル対策対策対策対策

状態状態状態状態 想定想定想定想定されるされるされるされる原因原因原因原因 このようにしてくださいこのようにしてくださいこのようにしてくださいこのようにしてください

スイッチが「OZONE」に入っ

ていない。

スイッチを「OZONE」に入れてください。

電力が供給されていない。 正しく 100V が供給されているかをご確認下さい。

オゾン発生器の出力が正し

い値に設定されていない。

オゾン発生出力調節器を正しい値に調節して下さい。

オゾンが発生しない。

オゾン濃度が上がらない。

酸 素 の 圧 力 が 正 し い 値

(0.1MPa)に設定されていな

い。

レギュレータを操作し、装置前面パネルの圧力計を見なが

ら、酸素の圧力を正しい値(0.1MPa)に設定して下さい。

アラームブザーが鳴り、冷

却水温異常アラームラン

プが点灯した。

冷却水量が何らかの理由で

0.6L/min を下回っている。

冷却水が十分に供給されているかをご確認ください。

冷却水が減っている場合は本取扱説明書の「冷却水の補給

について」の項目に従い冷却水を補給してください。

冷却水が十分に供給されているにもかかわらずアラーム

が消えない場合は、販売店またはメーカーにお問合せ下さ

い。

周囲温度が高い。 周囲の温度を確認してください。

直射日光が当たるような環境の場合は、日陰に移動させて

ください。

ファンフィルタが汚れてい

る。

ファンフィルタの汚れにより内部の冷却が悪くなってい

ます。装置背面のファンフィルタを外し、水洗いを行って

ください。

装置の設置場所が壁面に近

い。

装置の設置場所を移動し、壁面から遠ざけてください。

アラームブザーが鳴り、電

源温度異常アラームラン

プが点灯した。

運転圧力が高い。 装置前面パネルの圧力計で、0.15MPa を超える圧力で運転

されていた場合、圧力を 0.1MPa に下げてください。

アラームランプが鳴り、放

電異常アラームランプが

点灯した。

何らかの理由により、オゾン

発生用の放電が起きていな

い。

冷却水が十分に供給されているかをご確認ください。

冷却水が減っている場合は本取扱説明書の「冷却水の補給

について」の項目に従い冷却水を補給してください。

冷却水が十分に供給されているにもかかわらずアラーム

が消えない場合は、販売店またはメーカーにお問合せ下さ

い。

その他異常を感じた際には、販売店またはメーカーへお問い合わせ下さい。