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1WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
제제 11 부부
진공진공(Vacuum)(Vacuum)이란이란 ??
우성진공기술우성진공기술㈜
2WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 진공이란?
3WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 토리첼리(Torricelli)의 실험
“ ”
4WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 진공도 단위의 정의
5WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 절대진공도(Absolute)와 게이지(Gauge)상의 진공도
–
6WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▶ 아래표는 실제 진공에 사용되는 압력단위의 환산표입니다.
11.450×10-41.020×10-5109.869×10-67.501×10-31 Newton/㎡
(Pa)
6.895×10317.031×10-26.895×1046.805×10-251.721lb/in2
(psi)
9.807×10414.2219.807×1059.678×10-1735.61㎏f/㎠
0.11.450×10-51.020×10-619.869×10-77.501×10-41dyne/㎠(μbar)
1.0133×10614.701.0331.013×10617601atm
1.333×1021.934×10-21.360×10-31.333×1031,316×10-311Torr(mmHg)
Papsi㎏f/㎠μbaratmTorr구 분
예) 1기압(atm) = 1.013 ×10-5 Pa = 1013 ㎜bar = 1.013 bar = 14.7 psi= 76 ×10-4 ㎜Torr = 29.9 inHg = 760 ㎜Hg = 760 Torr = 1 std atm
▣ 압력 단위 환산표
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▣ 물의 증기압과 압력과의 관계
9
32
55
149
4
2
24
118
289
434
634
760
5
1
0
0.01
0.1
1
10
100
1000
100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 1 -1 -10 -20 -30
온도(℃)
압력
(Torr
)
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▣ 지상고도와 압력과의 관계
195,000
320,000
3,4007,10014,30024,500
34,000
58,000
77,000
98,800
50,000
00
50,000
100,000
150,000
200,000
250,000
300,000
350,000
7606005004003002001005020105215.E-012.E-011.E-011.E-021.E-031.E-041.E-051.E-061.E-07
압력(Torr)
지상
고도
(m)
대류권
12,000m
성층권
50,000m
중간권
80,000m
열 권
(전리층의 F2층)
350,000m
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▣ 포화 수증기량표(상대습도100%)
2457
139
1723
30
40
51
65
83
104
130
0
20
40
60
80
100
120
140
60 55 50 45 40 35 30 25 20 15 10 5 1 -4 -9
온도(℃)
수증
기량
(g/㎥
)
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▣ 진공도에 따른 진공 영역의 구분
펖
펖
펖
펖
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▣ 진공펌프의 종류
12WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 진공펌프의 원리 – 1/4
13WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 진공펌프의 원리 – 2/4
14WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 진공펌프의 원리 – 3/4
15WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.WOOSUNG VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.
▣ 진공펌프의 원리 – 4/4