故障解析支援システム Failure Analysis Support System

FA-Navigation

★ PHEMOS、THEMOS、μAMOSは、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。 ★ Windowsは米国Microsoft Corporationの米国、日本およびその他の国における登録商標または商標です。 ★ 記載商品名、ソフト名は、該当商品製造各社の商標および登録商標であることを明記し、カタログ上での記載は省略させていただきました。 ※本カタログの掲載内容は、2014年6月現在のものです。本内容は改良のため予告なく変更することがあります。

■ 解析装置リンク構成

iPHEMOSシリーズ PHEMOSシリーズ　他

サブディスプレイ

ビデオカード

画像プロセッサ

X Window Server

FA- Navigation

ワークステーション

HUB

レイアウト ビューア

■ スタンドアローン構成

サブ ディスプレイ

ビデオカード

パソコン

X Window Server

FA- Navigation

ワークステーション

HUB

レイアウト ビューア メイン

ディスプレイ

FA-Navigation CAD （U10024-21）

スタンドアローン機能 U10024の各製品は、解析装置とは接続していないコンピュータ（スタンドアローン）でもお使いいただけます。スタンドアローンでお使いになる場合は、解

析装置から取得したパターン像、発光像、OBIRCH像、発熱像などの各種画像データをあらかじめファイルとして取り溜めておき、それらの画像ファイルを使用

して解析します。スタンドアローンでお使いになることで、解析装置を占有することなく、事務所のコンピュータ等で解析することができます。

FA System

Cat. No. SSMS0020J09 JUN/2014 HPK

　解析装置と座標リンクすることでステージ連動やレイアウト・ビューア上での解析機能に特化した最もコストパフォーマンスに優れたシステムです。解析装置で得られた信号領域をレイアウト・ビューアに転送することで、レイアウト・ビューア上で故障箇所の解析を行うことが可能になります。また、レポート機能もご利用いただけます。

FA-Navigation WORK （U10024-31） 　U10024-21の機能に加え、故障解析に有効な解析機能を提供します。解析にはGDSⅡデータを使用し、等電位追跡による配線抽出、領域頻度分布、近接箇所抽出などの各解析機能をご利用いただけます。

FA-Navigation LAB （U10024-41） 　GDSⅡデータに加え、LEF/DEFデータをサポートします。LEF/DEFデータを使用することにより、故障診断の結果を取り込んだ解析を行うことができます。

標準構成品

標準構成品外 ※ユーザー準備、または別受注品が必要です。 （Unix、Linux使用時、Windowsでは不要）

BMP、PNG、HPK TIFF ※3 BMP、PNG、HPK TIFF ※3

[Windows] XP SP2/SP3 (32ビット)、VISTA Business SP1 (32ビット)、7 Professional (32 / 64ビット) [Unix] SPARC Solaris 8/9/10 (64ビット), x86 Solaris 10 (64ビット) [Linux] RedHat Enterprise Linux 3/4/5 (64ビット) , [Windows] XP SP2/SP3 (32ビット)、VISTA Business SP1 (32ビット) 、7 Professional (32 / 64ビット)

仕様 ／ 型名 機能 　ステージ連動ナビゲーション 　3画像※1オーバーレイ／透過率設定 　発光・発熱領域の自動抽出 　共通配線抽出 　等電位追跡 　故障診断結果の取り込み 　領域頻度分布表示 　近接箇所抽出 　スタンドアローン機能 　レイアウト座標情報統合機能 　レポート出力 　座標出力 画像フォーマット 　読込 　保存 レイアウト・ビューア 　読み込み可能データ 動作環境 　FA-Navigationソフトウエア 　レイアウト・ビューア ※4

U10024-21 ○ ○ ○ － ○ － － － ○ ○ ○ ○

GDSⅡ

U10024-31 ○ ○ ○ ○ ○ － ○ ○ ○ ○ ○ ○

GDSⅡ

U10024-41 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

GDSⅡ / LEF / DEF

※ １　パターン像、信号像（発光・OBIRCH、発熱など）、レイアウト像 ※ 2　レイアウト・ビューア上でのみ等電位追跡が可能です。 ※ 3　HPK TIFFは、弊社の専用画像フォーマットであり、TIF、TIF16、TIF32の3種類があります。 ※ 4　OSバージョンにより制限事項がありますので、詳細はお問い合わせ下さい。

※2

IR-OBIRCH 解析

発光解析

発熱解析

Thermal Emission Microscope System

IR-OBIRCH Analysis System

Emission Microscope System

故障解析支援 システム

IR-OBIRCH 解析

Thermal Emission Microscope System

IR-OBIRCH Analysis System

Emission Microscope System

Time Resolved Emission Microscope System

Time Resolved Emission Microscope System

時間分解 エミッション

解析

時間分解 エミッション

解析

故障解析支援 システム

Failure Analysis Support System

発熱解析

発光解析

FA-Navigation

裏面解析 裏面解析

Inverted Emission Microscope SystemInverted Emission Microscope System

仙 台 営 業 所 筑 波 営 業 所 東 京 営 業 所 中 部 営 業 所 大 阪 営 業 所 西日本営業所

□ □ □ □ □ □

TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135 TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135 TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997 TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114 TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450 TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550

□ システム営業推進部 〒431-3196　浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 E-Mail sales@sys.hpk.co.jp

www.hamamatsu.com

ラインアップ

●

●

● iPHEMOS

TriPHEMOS

PHEMOS

μAMOS

THEMOS

故障解析装置の検出信号（発光像・OBIRCH像・発熱像）から、その領域を通過する配線を自動抽出

抽出された配線を通過領域の多い順にソート、共通配線を色づけすることにより、故障に関連する可能性の高い配線の絞り込みが容易

故障診断ソフトウエアから出力される故障候補配線を取り込む機能を備え、様々な情報を複合的に解析することにより、迅速・高精度な故障箇所の絞り込みが可能

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設計情報（CAD情報）を重ね合わせ 領域を指定 配線を自動抽出 領域頻度分布表示 配線のハイライト表示

iPHEMOS、PHEMOS をはじめ

THEMOS 、μAMOS 、TriPHEMOS にも対応。

テスタ解析

発光解析

詳細発光解析

レイアウト解析 （配線抽出処理）

抽出配線検証

不良位置特定

物理解析

テスタ解析

発光解析

抽出配線検証

不良位置特定

物理解析

TAT短縮

従来手法による解析の流れ FA-Navigationによる解析

手作業での絞り込み

反応領域を設定します。また、発光・発熱では、領域を自動的に抽出することができ、煩雑な設定作業をサポートします。

反応領域を通過する配線を自動抽出。反応領域を通過する回数が多い配線ほど上位にランキングします。

近接箇所抽出機能

抽出した配線と他の配線との近接箇所を抽出し、故障箇所を特定！

故障解析装置から、反応領域とパターン像のスーパーインポーズ像を取得。さらに設計情報（CAD情報）をスーパーインポーズ。

任意の配線が他の配線の通過領域をどの程度の頻度を持って通過しているかを色別に分布表示します。埋もれた他の配線を簡単に探し出せます。

領域頻度分布表示機能

　任意の配線が通過した領域が、他の配線の通過領域においてどの程度の頻度を持っているのかを表す頻度分布表示が可能です。頻度分布を色別に表示することで、配線の関連性が分かります。

故障解析装置から出力される情報と設計（CAD）情報を組み合わせ、 故障箇所の絞り込みを高精度/短時間で実現。

FA-Navigationによる 絞り込み

抽出した配線から指定した配線をハイライト表示します。この配線を解析することにより短時間で故障箇所を特定します。

抽出した配線に対して他の配線との近接箇所のリストを自動で抽出。ハイライト表示により故障箇所を特定します。

発光解析 発光解析

PHEMOSi PHEMOS

発熱解析 発熱解析

THEMOS

IR-OBIRCH解析 IR-OBIRCH解析

μAMOS

時間分解エミッション解析 時間分解エミッション解析

TriPHEMOS

近接箇所抽出

　抽出した配線に対して、その配線と故障原因になりそうな他の配線との近接箇所を自動で抽出する機能です。近接箇所はリスト表示され、抽出配線と連動して動作します。

裏面解析 裏面解析 R

RR

最も領域通過頻度が高い配線が 高確率で故障と推定

指定した配線上の近接箇所を レイアウトから抽出しリスト表示

抽出配線と連動

近接箇所のハイライト表示 により故障箇所を特定。

近接箇所リスト

共通配線抽出機能

　解析装置から得られた複数の信号を通過している共通の配線を自動で抽出することが可能です。共通の配線を抽出することで、故障が発生している配線の特定にかかる時間を大幅に軽減します。また、信号が１つしか無い場合でも、信号を通過する配線を自動で抽出することにより、解析時間（TAT)や人的ミスなどの軽減に役立ちます。

レイアウト座標情報統合機能

　故障解析装置で取得した画像にレイアウト座標情報を統合することが可能です。画像を保存する際に、設定したアライメント情報や視野サイズを画像情報と共に保存することにより、再度解析を行う場合には画像をロードするだけで継続して解析を行うことができます。位置や視野の調整をする手間が省け、解析時間を短縮できます。

故障推定箇所を、他の解析手段（物理解析）へ持っていく際、多くの解析者はレポートを作成します。解析する場所をレポートで正確に伝えるため、低倍率から高倍率までのレイアウト画像を何枚も取得し、できるだけ詳細なレポートを作成する必要があります。これには多大な時間を費やさなければなりません。FA-Navigationでは、これらのレポートを簡単に作成することができるので、他の解析手段へデータを受け渡すまでの解析者の負担を大幅に軽減することができます。

◇レポートで出力する情報

　・出力する対象座標

　・各対象座標付近の低倍率から高倍率までの画像

　・特定のレイヤを表示した画像

　・レイアウト画像上での出力座標マークの表示

　・特長的な部分を含んだ画像の出力

　・担当者の情報やコメント等

複数の故障推定箇所に対応

領域（倍率）と表示レイヤの組み合わせによる画像の自動取得

ウィザード形式を採用、誰でも簡単にレポートを作成可能

PC環境の依存性を考え、レポートはHTML形式を採用

特長

表示・抽出機能

●

●

●

従来は、手作業で検出した反応箇

所の１つ１つをCADレイアウトと

照らし合わせて故障の可能性のある

配線の絞り込みを行っていました。

この作業は、大変手間を要するものでした。FA-Navigation

では、この絞り込みを自動的に行うことにより、故障候補配

線や故障箇所の絞り込みをほんのわずかな時間で高精度に行

うことができます。

近接箇所抽出機能

（右図参照）

複数の故障推定箇所をファイルに出力

各座標に対して、コメント情報を埋め込み可能 コメント情報にはレイヤの情報などを含めると効果的です。

項目間に任意の区切り文字を指定 出力するファイルの項目間には任意の区切り文字を指定できますので、用途にあった形式での出力が可能です。

座標変換機能を搭載 物理解析で必要な座標はCAD座標とは限りません。出力する各座標を、ある特徴点からの座標に変換して出力することが可能です。

設定内容を環境ファイルへ保存／読み込み 設定した項目内容は、環境ファイルとして保存／読み込みを行うことが可能です。

FA-Navigationによって絞り込んだ複数の故障推定箇所の座標を外部ファイルとして出力します。

連番 1 2 3 4

区 , , , ,

X座標 100 150 200 250

区 , , , ,

Y座標 200 250 300 350

区 , , , ,

コメント M1 CONT V2 M4

◇出力情報

　・座標リスト （X座標、Y座標）

　・座標コメント （層情報など）

条件ファイルのセーブ/ロード 出力座標リスト 座標変換条件

ファイル出力条件入力/実行 変換後の座標リスト

座標出力機能 レポート出力機能

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故障解析支援システム Failure Analysis Support System

FA-Navigation

★ PHEMOS、THEMOS、μAMOSは、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。 ★ Windowsは米国Microsoft Corporationの米国、日本およびその他の国における登録商標または商標です。 ★ 記載商品名、ソフト名は、該当商品製造各社の商標および登録商標であることを明記し、カタログ上での記載は省略させていただきました。 ※本カタログの掲載内容は、2014年6月現在のものです。本内容は改良のため予告なく変更することがあります。

■ 解析装置リンク構成

iPHEMOSシリーズ PHEMOSシリーズ　他

サブディスプレイ

ビデオカード

画像プロセッサ

X Window Server

FA- Navigation

ワークステーション

HUB

レイアウト ビューア

■ スタンドアローン構成

サブ ディスプレイ

ビデオカード

パソコン

X Window Server

FA- Navigation

ワークステーション

HUB

レイアウト ビューア メイン

ディスプレイ

FA-Navigation CAD （U10024-21）

スタンドアローン機能 U10024の各製品は、解析装置とは接続していないコンピュータ（スタンドアローン）でもお使いいただけます。スタンドアローンでお使いになる場合は、解

析装置から取得したパターン像、発光像、OBIRCH像、発熱像などの各種画像データをあらかじめファイルとして取り溜めておき、それらの画像ファイルを使用

して解析します。スタンドアローンでお使いになることで、解析装置を占有することなく、事務所のコンピュータ等で解析することができます。

FA System

Cat. No. SSMS0020J09 JUN/2014 HPK

　解析装置と座標リンクすることでステージ連動やレイアウト・ビューア上での解析機能に特化した最もコストパフォーマンスに優れたシステムです。解析装置で得られた信号領域をレイアウト・ビューアに転送することで、レイアウト・ビューア上で故障箇所の解析を行うことが可能になります。また、レポート機能もご利用いただけます。

FA-Navigation WORK （U10024-31） 　U10024-21の機能に加え、故障解析に有効な解析機能を提供します。解析にはGDSⅡデータを使用し、等電位追跡による配線抽出、領域頻度分布、近接箇所抽出などの各解析機能をご利用いただけます。

FA-Navigation LAB （U10024-41） 　GDSⅡデータに加え、LEF/DEFデータをサポートします。LEF/DEFデータを使用することにより、故障診断の結果を取り込んだ解析を行うことができます。

標準構成品

標準構成品外 ※ユーザー準備、または別受注品が必要です。 （Unix、Linux使用時、Windowsでは不要）

BMP、PNG、HPK TIFF ※3 BMP、PNG、HPK TIFF ※3

[Windows] XP SP2/SP3 (32ビット)、VISTA Business SP1 (32ビット)、7 Professional (32 / 64ビット) [Unix] SPARC Solaris 8/9/10 (64ビット), x86 Solaris 10 (64ビット) [Linux] RedHat Enterprise Linux 3/4/5 (64ビット) , [Windows] XP SP2/SP3 (32ビット)、VISTA Business SP1 (32ビット) 、7 Professional (32 / 64ビット)

仕様 ／ 型名 機能 　ステージ連動ナビゲーション 　3画像※1オーバーレイ／透過率設定 　発光・発熱領域の自動抽出 　共通配線抽出 　等電位追跡 　故障診断結果の取り込み 　領域頻度分布表示 　近接箇所抽出 　スタンドアローン機能 　レイアウト座標情報統合機能 　レポート出力 　座標出力 画像フォーマット 　読込 　保存 レイアウト・ビューア 　読み込み可能データ 動作環境 　FA-Navigationソフトウエア 　レイアウト・ビューア ※4

U10024-21 ○ ○ ○ － ○ － － － ○ ○ ○ ○

GDSⅡ

U10024-31 ○ ○ ○ ○ ○ － ○ ○ ○ ○ ○ ○

GDSⅡ

U10024-41 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

GDSⅡ / LEF / DEF

※ １　パターン像、信号像（発光・OBIRCH、発熱など）、レイアウト像 ※ 2　レイアウト・ビューア上でのみ等電位追跡が可能です。 ※ 3　HPK TIFFは、弊社の専用画像フォーマットであり、TIF、TIF16、TIF32の3種類があります。 ※ 4　OSバージョンにより制限事項がありますので、詳細はお問い合わせ下さい。

※2

IR-OBIRCH 解析

発光解析

発熱解析

Thermal Emission Microscope System

IR-OBIRCH Analysis System

Emission Microscope System

故障解析支援 システム

IR-OBIRCH 解析

Thermal Emission Microscope System

IR-OBIRCH Analysis System

Emission Microscope System

Time Resolved Emission Microscope System

Time Resolved Emission Microscope System

時間分解 エミッション

解析

時間分解 エミッション

解析

故障解析支援 システム

Failure Analysis Support System

発熱解析

発光解析

FA-Navigation

裏面解析 裏面解析

Inverted Emission Microscope SystemInverted Emission Microscope System

仙 台 営 業 所 筑 波 営 業 所 東 京 営 業 所 中 部 営 業 所 大 阪 営 業 所 西日本営業所

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TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135 TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135 TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997 TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114 TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450 TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550

□ システム営業推進部 〒431-3196　浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 E-Mail sales@sys.hpk.co.jp

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● iPHEMOS

TriPHEMOS

PHEMOS

μAMOS

THEMOS