Pretrana/skenirajua mikroskopija emisijom elektrona poljem/primjenom polja (Field Emmission Scanning Electron Microscopy-FESEM)

Pretrana/skenirajua mikroskopija emisijom elektrona poljem/primjenom polja (Field Emmission Scanning Electron Microscopy-FESEM)SEM mikroskop-prvi pisani opis SEM mikroskopa datira iz 1935.g. (Njemaki fiziar Max Kroll)- smatra se da su prvi SEM-i napravljeni izmeu 1937. i 1942.g., a komercijalno ih je prvi poeo proizvoditi 1962. g. ''Cambridge Scientific''

SEM mikroskop-ovisno o namjeni, rade pod vakuumom izmeu 10-2 do 10-8 Pa-pomou sistema elektromagnetskih lea elektroni se usmjeravaju prema povrini uzorka, a razluivanje i dubina prodiranja (od nekoliko nm do nekoliko m) ovise o naponu, materijalu uzorka i veliini spota (presjek snopa na mjestu dodira s uzorkom)-tipini promjer fokusirajueg elektronskog snopa je promjera 5 nm i struja snopa oko 10-11 A-upadni elektroni se vraaju bilo kao primarno raspreni prema natrag (''backscattered electrons'') ili kao sekundarno raspreni koji se najvie koriste za istraivanje povrinaSEM mikroskop-sekundarni elektroni su niskih energija (manje od 50 eV) tako da samo oni stvoreni nekoliko nanometara ispod povrine uzorka mogu izai i biti detektirani- primarni elektroni mogu takoper pobuditi karakteristino rendgensko zraenje kojim se analizira kemijski sastav uzorka-s obzirom da postotak prema natrag rasprenih elektrona takoer ovisi o rednom broju atoma, podatak moe dodatno posluiti za kemijsku analizu.-granica razluivanja ve se spustila ispod 0.15 nmSEM mikroskop-najlake se detektiraju sekundarni elektroni jer su vrlo brojni i malih energija-s obzirom da udarni presjek ovisi o meti, to e atomi razliitog rednog broja uzrokovati razliiti kontrast na detektoru omoguujui elementnu (kemijsku) analizu materijala -ako snop pretrauje povrinu, podaci se mogu pretvoriti u vidljivu skenirajuu (rastersku) sliku i time napraviti bilo analizu reljefa povrine (topografija), bilo kemijski sastav, to se modernim tehnikama jako jednostavno uoava na ekranu, ako se svakom elementu pridrui druga boja