PICARRO社A0316は、クリールーム内の各種ガスを高感度でリアルタイムに多点測定が可能なAMCモニタリングシステム。ガス分析計にはPICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CDRS)を用いたSI2000シリーズが搭載されており、HF(フッ化水素)、HCl(塩化水素)、NH3(アンモニア)、H2S(硫化水素)などをppb～pptの高感度で連続測定します。測定シーケンスはユーザー側で自由に変更可能であり、”リークサーチモード”を使用した場合、8ポートのサンプリング配管を30秒で一括測定することができます。A0316は最大16ポートのサンプリングに対応しており、16ポートを最短2分でモニタリングします。ユーザー側で設定したガス濃度の閾値を超えたリークがあった場合は直ちにリークサーチを開始し、16ポートの中からリークが発生しているポートを特定するシーケンスに入り、リークしているポートの正確な濃度を直ちに表示します。

Continuously monitor up to 16 sampling points for real-time airbornemolecular contamination event confirmation!

ガスモニタリングシステムFor HF, HCl, NH3 and H2S Analyzers

・据置型AMCモニタリングシステムクリーンルームのAMC測定向け据置型ガス分析計

・測定ガスHF、HCl、NH3、H2S

・1台で最大16ポイントをモニタリング

・次世代のレーザー方式キャビティリングダウン分光法(CRDS)

・リアルタイム測定高感度(ppb～ppt)で多点連続測定

・SEMI、IEC、CE規格適合

仕様 A0316 サンプリングシステム

型式 A0316-08 A0316-16

測定ポイント 8ポイント 16ポイント

測定原理 CRDS (Cavity Ring Down Spectroscopy)

サンプリング配管径 3/8” PFA

サンプリング配管長 最大 200m

本体寸法 W:800 x D:900 x H:1780 mm

本体重量 220 kg

ガス流量 最大 60L/min

設置環境(温度、湿度) 5-40°C、99%RH(結露なきこと)

ユーティリティ 100-110 V, 220-240 V, 50/60 Hz

Line Information

PLC Program - Set Up

PLC Program - Set Up

Picarro Sample System Status Screen

PICARRO社の先進技術 ガスモニタリングシステム・PICARRO社のレーザー方式(WS-CRDS)ガス分析計に最適設計されたサンプリングシステム・全てのサンプルガスラインを同時に連続でフラッシングする機能によるサンプルポイントの高速切替え・リークサーチモードはユーザーによるシーケンスの編集が可能で多点一括測定(例：8ポイント同時測定)も可能・サンプルポートは、8ポート、16ポートを選択可能・ppmレベルの高濃度吸入後のバックグラウンドレベルへのリカバリーは数分で完了(CDA/N2接続時)・自動キャリブレーション機能により測定精度は数年以上の長期安定性があります・代替ガスによるバリデーション機能を搭載しており、ユーザー側でのオペレーションも可能