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ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する 10,000 ~ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。PRC-A シリーズは、PMB-C(M)同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。PMB-040C,PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。
オイルフリー: ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。
特殊表面処理: 主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を施してあります。ポンプ内部の傷や腐食を抑えることができます。
排気時間短縮に有効なPMB-CM型・PRC-A大気圧駆動型: 粗引ポンプとの同時起動が可能なので、標準型に比べ排気時間が短縮できます。
排気方向の選択可能(PMB-024C(M)、040C、060C): 排気の方向を垂直・水平のどちらか選択できます。装置設計の自由度が大きくなり装置のコンパクト化も可能です。
特 長
PRC-006A
PMB-003C
メカニカルブースターポンプ【PRC-A/PMB-B, C(M)シリーズ】
蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
分析機器、リークテスト装置
ガス置換、充填、真空断熱
熱処理炉、溶解炉
その他各種真空装置
用 途
低真
空ポ
ンプ
低真空ポンプ
PMB-001C(M) PRC-012A(大気圧駆動型)
PMB-024C(M)垂直方向排気仕様
PMB-024C(M)水平方向排気仕様
PMB-003C(M)
PRC-003A(大気圧駆動型)
PRC-006A(大気圧駆動型)
外 形 寸 法 図
Flange to �ange
dia
.150
30
8 80 9077 90 18
0
217271
117
173
79
429580
153113
25
208104 104
(潤滑室別排気口G3/8 オプション)
全閉外扇型フランジモータ3 Phase 0.4kW 2P AC200V/50Hz,60Hz AC220V/60Hz
メカニカルシール用排油口プラグ
排気口フランジVF50相当4-M8 Tap,Central diameter φ100
排油口プラグ
給油口プラグ
メカニカルシール用給油口プラグ
オイルレベルゲージ
吸気口フランジ VG50相当4-M8 Tap, Central diameter φ100
485
400 175
212
81
218
275
359.
5
dia.
273
357
(152)
360 140540759
124.5*
(20) 406203 203188
112
113
4-dia.15
140 140170
320
4293
118
155
155
185 34
0
給油口
排油口
冷却水出口 Rc 3/8冷却水入口Rc 3/8
吸気口フランジJIS B 2290 VG100 相当
*1 モータ 制御機器
排気口フランジJIS B 2290 VF80 相当
(対面)
328615 215
208245
534
235 195215
510(540)
210
4021
0
288 328
817 367
480
420
1184
145
55
155
270 264
143
138
(14 )
880
75 75
185 185
4-dia.18.5
dia
.250 90
288280
排気口フランジJIS B2290 VF200相当
オイルレベルゲージ
吸気口フランジJIS B2290 VG200相当
メカニカルシール用排油口プラグ
モータ 7.5kW, 2P
冷却水入口 Rc 1/2
冷却水出口 Rc 1/2
給油口プラグ
メカニカルシール用給油口プラグ
潤滑室別排気口G3/8オプション
排油口プラグ
280215615
155
460
367
380
20
817
1184
dia
.250
288
880
185 185
208
245
215615
615
295
90
288 328
264
264
528
328 288
210 210420
215
190 190
145
75 75
55
メカニカルシール用給油口プラグ
吸気口フランジJIS B2290 VG200相当
冷却水入口Rc 1/2
潤滑室別排気サポート(オプション)
冷却水出口Rc 1/2
排油口プラグメカニカルシール用排油口プラグ
4-φ18.5穴
モータ 7.5kW, 2P
排気口フランジJIS B2290 VF200相当
給油口プラグ
オイルレベルゲージ
45
152 151
dia
.163
185 115152 163
656
77(2
2 )(22 )
77
461 195
296
dia.135
330
119
120 12025
24 9430
115
115
90
230
290
(50)
(40) 4-dia.12
(潤滑室別排気口 G3/8 オプション) 給油口
プラグ
メカニカルシール用給油口プラグ
全閉外扇型フランジモータ 3 Phase 0.75kW 2P AC200V/50Hz,60Hz AC220V/60Hz
排油口プラグ
オイルレベルゲージ
メカニカルシール用排油口プラグ
冷却水入口G3/8(PF3/8)
冷却水出口 G3/8(PF3/8)
吸気口フランジ VG80相当4-M10 Tap, Central diameter φ135
排気口フランジ VF80相当4-M10 Tap, Central diameter φ135
151163301
330
196369
185 115
(86) 575
155 141296
2477 94 115
145 26
0115
25
270120 120 4 - dia.12
97*
冷却水入口Rc 3/8
冷却水入口Rc 3 / 8
*1 モータ制御機器
吸気口フランジJIS B 2290 VG80相当
(対面)
給油口
排油口
排気口フランジJIS B 2290 VF80相当
618.5
97*
(121)
145
145
120
32
(5.6)
4-dia.12
338 179166
406 212.5
250 110
356178 178
95
175 32
0
130 130300400
冷却水入口Rc 3 / 8 冷却水出口
Rc 3 / 8
吸気口フランジJIS B 2290 VG80相当
排油口(対面)
給油口
*1 モータ 制御機器
排気口フランジJIS B 2290 VF80相当
単位:mm 単位:mm
単位:mm
単位:mm
単位:mm
単位:mm
単位:mm
メカニカルブースターポンプ【PRC-A/PMB-B, C(M)シリーズ】
*1 モータ制御機器は大気圧駆動型に付属
給油口A
900(50Hz)940(60Hz)
1608772
420120
70
250 250580
70
18
680 648
370
235
32
475
205
352
排気口フランジ(A)VF200(JIS B2290)相当
排気口フランジ(B)VF200(JIS B2290)相当
吸気口フランジVG300(JIS B2290)相当
排油口A(反対側)
ベルトカバーVベルト5V-1120×2本
モーター 18.5kW/4Pスライドベース付モータプーリ50Hz φ300, 60Hz φ250
720
25
215
18
7
1452
3262
1000 732
170170
540555310
680
φ400φ315
φ20
0
φ300
310
43 52
800
排油口B
冷却水入口RC1/2
冷却水出口RC1/2
吸気口フィルター
PCD370
4-φ28穴
12-φ15穴
油面計油面計
給油口B
*2 *2
給油口A
585
25
215
18
7
11822982
1000 597
120120405420195
440
φ350φ265
φ20
0
φ250
195
43 52
800
1570772
420120
70
250 250580
900(50Hz)940(60Hz)
70
18
680
648
370
210
32
510
170
352
給油口B
排気口フランジ(B)VF150(JIS B2290)相当
排気口フランジ(A)VF150(JIS B2290)相当
吸気口フランジVG250(JIS B2290)相当
排油口B
排油口A(反対側)
ベルトカバー
Vベルト5V-1120×2本
モーター 15kW/4Pスライドベース付モータプーリ50Hz φ300, 60Hz φ250
冷却水入口RC1/2
冷却水出口RC1/2
吸気口フィルター
PCD320
4-φ28穴
12-φ15穴
油面計油面計
*2 *2
PMB-040C
PMB-060C
排 気 速 度 曲 線
単位:mm
単位:mm
600
500
400
300
200
100
00
10000
8000
6000
4000
2000
10 101 210–1 103 104 105Pa
L/min m /h3
圧力
排気速度
VD901VD601VD401
PMB-001C 50Hz
PMB-001C 60Hz
PMB-003C 50HzPRC-003A 50Hz
PMB-003C 60HzPRC-003A 60Hz
PRC-006A 50Hz
PRC-006A 60Hz
50000
40000
30000
20000
10000
3000
2500
2000
1500
1000
500
L/min m /h3
0010 101 210–1 103 104 105
Pa
圧力
排気速度
VS1501PKS-070
PRC-012A 50Hz
PRC-012A 60Hz
PMB-024C 50Hz
PMB-024C 60Hz
010 101 210–1 103 104 105
Pa0
100000
80000
60000
40000
20000
6000
5000
4000
3000
2000
1000
L/min m /h3
圧力
排気速度
PKS-070PKS-070×2
PMB-040B
PMB-060B
Type : PMB-001C, 003C, PRC-003A, 006AForepump : PMB-001C: VD401 PMB-003C, PRC-003A: VD601 PRC-006A: VD901Power : AC200V 50/60Hz 3φOil : ULVOIL R-4Gauge : Pirani : Capasitance Manometer
Pumping Speed(JIS B8316/1985)Type : PRC-012A, PMB-024CForepump : PRC-012A: VS1501 PMB-024C: PKS-070Power : AC200V 50/60Hz 3φOil : ULVOIL R-4Gauge : Pirani : Capasitance Manometer
Pumping Speed(JIS B8316/1985)Type : PMB-040C, 060CForepump : PMB-040C: PKS-070 PMB-060C: PKS-070×2Power : AC200V 50/60Hz 3φOil : ULVOIL R-7Gauge : Pirani : Capasitance Manometer
Pumping Speed(JIS B8316/1985) PMB-001C PMB-003C PRC-003A PRC-006A
PRC-012A PMB-024C
PMB-040C PMB-060C
*2 保守に必要な最小スペース
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
お問い合わせ
www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部
国内販売: アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011(代) ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281(代)海外販売: 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261
仕 様
1327N-1/2013030000TL
注意: 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 到達圧力:4.0×10-1Pa=3.0×10-3Torr、圧力:0.05/0.1/0.2/0.3MPa=0.5/0.1/2/3kgf/cm2
*1 13Paにおける測定値*2 オプションの大容量モータも取り付けると吸入圧力、および圧力差を大きくとることができます。(PMB-003C、PMB-024Cのみ)*3 ピラニ真空計での測定(補助ポンプ、使用油は標準)。マクラウド真空計では4.0×10-2Paになります。*4 PMB-024CMは、大気⇨真空(655Pa以上)の繰り返し排気時間が5min以上にならないようにしてください。*5 AC200V50・60Hz、AC220V60Hz、3相*6 標準油の他に別途ポンプ油も用意してありますので、お問い合わせください。*7 ( )油量値:水平排気仕様の値*8 W=Width、D=Depth、H=Height
*9 ( )質量値:PMB-CM型およびPRC-A大気圧駆動型の値
PRCシリーズは耐圧防爆、安増防爆には対応できません。
メカニカルブースターポンプ【PRC-A/PMB-B, C(M)シリーズ】
型式 PMB-001C,CM PMB-003C,CM PRC-003A PRC-006A PRC-012A PMB-024C,CM PMB-040C PMB-060C
実効排気速度 *150Hz
95(1580)m3/h(L/min)
280(4670)m3/h(L/min)
280(4670)m3/h(L/min)
500(8330)m3/h(L/min)
1000(16700)m3/h(L/min)
2000(33300)m3/h(L/min) 3800(63300)m3/h
(L/min)6200(103300)m3/h(L/min)
60Hz115(1920)m3/h(L/min)
330(5500)m3/h(L/min)
330(5500)m3/h(L/min)
600(10000)m3/h(L/min)
1200(20000)m3/h(L/min)
2400(40000)m3/h(L/min)
最大吸入圧 *2 50Hz 9.3×103Pa 1.2×103Pa 1.3×103Pa 8.0×102Pa8.0×102Pa
60Hz 6.2×103Pa 9.3×102Pa 1.1×103Pa 6.7×102Pa
最大許容圧力差 *2 50Hz 8.0×103Pa 4.0×103Pa 7.3×103Pa 5.6×103Pa ̶̶
60Hz 5.6×103Pa 3.3×103Pa 6.0×103Pa 4.7×103Pa ̶̶
到達圧力 *3 4.0×10-1Pa 6.7×10-1Pa
駆動可能圧力 *4 ~ 1.0×105(PRC-A大気圧駆動型、PMB-CM)
モータ(極数)*5 0.4(2)kW 0.75(2)kW 2.2(2)kW 3.7(2)kW 7.5(2)kW 15(4)kW 18.5(4)kW
使用油 *6 ULVOIL R-4 ULVOIL R-7
所要油量 *7 0.35L 0.7L 1.5L 1.9L 4.0(2.2)L 8.0L
冷却水
冷却方式 空冷 空冷・水冷共用 水冷
一次側圧力 ̶̶ 0.3MPa 0.1~ 0.3MPa
出入口差圧 ̶̶ 0.05MPa 0.01MPa 0.05MPa
冷却水量 ̶̶ 2L/min 3L/min 10L/min
冷却水温度 ̶̶ 5~ 30℃
吸気口径 JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当 VG250相当 VG300相当
排気口径 JIS B 2290 VF50相当 VF80相当 VF200相当 VF150相当 VF200相当
外形寸法 W×D×H *8 271×580×180mm
290×656×260mm
296×565×260mm
356×619×320mm
406×759×340mm
540×1237×470mm
772×1182×680mm
772×1452×680mm
質量 *9 23(24)kg 46(48)kg 51(54)kg 86(90)kg 118(123)kg 260(272)kg 970kg モータ無 1100kg モータ無
標準補助ポンプ VD401 VD601 VD901 VS1501 PKS-070 PKS-070×2台
オプション ̶̶ 1.5kW(2)モータ 大気圧駆動型 11kW(2)モータ ̶̶
潤滑室別排気ポート ̶̶