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Mara Bruzzi Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17 Fisica dello Stato Solido Lezione n. 10 Proprietà di trasporto nei metalli e semiconduttori Corso di Laurea Magistrale Ingegneria Elettronica a.a.16-17

Fisica dello Stato Solido · 2016. 12. 13. · Mara Bruzzi –Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17 Fisica dello Stato Solido

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  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    Fisica dello Stato Solido

    Lezione n. 10

    Proprietà di trasporto nei metalli

    e semiconduttoriCorso di Laurea Magistrale

    Ingegneria Elettronica

    a.a.16-17

  • k

    e

    a

    a

    eF

    E = 0

    Trasporto elettrico nel modello a Bande

    E ≠ 0

    In presenza di F gli elettroni aumentano k in direzione di F, (eventualmente

    subendo il fenomeno dell’Umklapp a bordo zona). Ne risulta una distribuzione

    asimmetrica degli elettroni nella banda. C’è corrente elettrica poiché si hanno

    più elettroni che si muovono in una direzione che in quella opposta.

    Si ha forza :

    dt

    kdEeF

    k

    e

    a

    a

    FE

    0

    Problema: Questa interpretazione non riesce a descrivere il caso stazionario, e

    quindi i casi della legge di Ohm e dell’esperimento per la misura del

    coefficiente di Hall. Poiché l’interazione tra elettroni e reticolo cristallino è già

    inglobata nel modello, che ci ha portato a utilizzare le funzioni d’onda di Bloch

    per gli elettroni nel cristallo e a definire le bande di energia en(k), non possiamo

    considerare le collisioni tra elettroni e ioni del reticolo cristallino come fattore

    dissipativo che produce la stazionarietà.

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

  • L’effetto delle interazioni con le imperfezioni del reticolo è quello di produrre delle

    transizioni k → k’ nelle quali avviene trasferimento di momento ed energia. Il

    risultato è che gli elettroni più energetici invertono il loro moto bilanciando così

    l’effetto accelerante del campo elettrico. L’effetto di bilanciamento produce

    corrente elettrica stazionaria.

    Per il principio di esclusione di Pauli lo scattering per

    interazione con le imperfezioni del reticolo avviene per

    gli elettroni più energetici verso stati vuoti

    k

    e

    a

    a

    Effetto dei fenomeni di scattering sulla corrente elettrica

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  • Riconsideriamo ora l’equazione del moto dell’elettrone di conduzione:

    dt

    pdfF

    F = forza esterna applicata = -e(E + vxB)

    f = forza di attrito dovuta ai processi di scattering

    p = momento cristallino

    che diviene:

    m

    p

    dt

    pdF

    Il significato di deriva dal fatto che, annullando la forza F all’istante t = 0,

    risulta la costante di tempo della funzione esponenziale di rilassamento del

    momento elettronico :

    mt

    eptp

    0)(

    In generale m è dello stesso ordine del tempo di collisione c, tempo medio tra

    due collisioni successive.

    Tempi di rilassamento per il momento

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  • Processi di scattering

    Ogni irregolarità nella periodicità del cristallo perturba il moto altrimenti libero

    degli elettroni di Bloch. Le irregolarità sono essenzialmente di due tipi:

    1. Imperfezioni del solido ( disordine reticolare come vacanze, interstiziali,

    dislocazioni o impurezze intenzionali o intrinseche ) . Questo effetto è debolmente

    dipendente dalla temperatura.

    2. Moto oscillatorio degli ioni intorno alle posizioni di equilibrio del reticolo cristallino

    per agitazione termica. Questo effetto è ovviamente dipendente dalla temperatura.

    La legge di Ohm viene quindi reinterpretata considerando le collisioni tra

    gli elettroni di conduzione e tali irregolarità del reticolo.

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  • Tale probabilità dipende da N, concentrazione di centri di scattering,

    s, sezione d’urto di scattering e v velocità del portatore carico:

    s

    vNc

    1

    Tale espressione si spiega considerando l’area totale, con cui il

    portatore può effettuare la collisione: se i centri di scattering sono

    N dischi di area s, essa è Ns. Il portatore che si muove

    perpendicolarmente ai dischi coprendo la distanza dx = vdt nel

    tempo dt ha probabilità di colpire uno dei dischi pari a:

    dPc = N s v dt = dt/c.

    v

    N

    s

    Sia Pc = probabilità che avvenga una collisione allora:

    c

    c

    dt

    dP

    1

    Valutazione di c

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  • Vibrazioni del reticolo: il sito reticolare oscilla di moto armonico di ampiezza A

    intorno al punto di equilibrio: e’ come se coprisse un’area intorno a sè ove può

    avvenire possibile collisione con il portatore. Tale area è proporzionale al

    quadrato dell’ampiezza A di oscillazione e l’energia dell’oscillatore armonico U

    dipende da A2 :

    Metalli: Dipendenza dalla Temperatura di c vv sNc

    s

    1

    22222222

    2

    1)(cos

    2

    1)(

    2

    1

    2

    1

    2

    1AktkAtsenAmkxmvU

    A

    Perciò per scattering da vibrazione reticolare c è inversamente

    proporzionale alla temperatura: Tc

    1

    è proporzionale a T.

    se vale la legge di Dulong Petit ( T >> QD ): U = 3KBT, allora U è proporzionale a T e

    Nei metalli v = vF ( indipendente dalla temperatura).

    Impurezze reticolari: anche il termine = N s è indipendente dalla temperatura → c è

    indipendente da T .

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  • Riconsideriamo ora l’espressione della conducibilità elettrica nel modello di Drude:

    m

    ne s

    2

    m → m* massa efficace al livello di Fermi

    → c tempo di collisione

    v → vF velocità di Fermi

    n densità efficace di elettroni al livello di Fermi

    La stessa espressione può essere mantenuta anche alla luce del modello

    quantistico se consideriamo le seguenti modifiche:

    Resistività elettrica nei metalli

    titiF

    ne

    vm

    s

    2

    *1

    Otteniamo per la resistività del metallo:

    i = resistività residua del metallo: dovuta alle impurezze è essenzialmente

    indipendente da T e prevale a bassa T; t è resistività dovuta alle vibrazioni reticolari.

    Regola di Mathiessen

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  • Dipendenza di da T nei metalli

    La resistività residua, dipendendo

    dalle impurezze, può variare per una

    stessa sostanza da campione a

    campione.

    La resistività dovuta all’agitazione termica dipende da T ad alte temperature ( T >> QD) e

    da T5 a basse ( T

  • In un intervallo limitato, intorno ad una decina di gradi a 20°C, la relazione (T) è

    praticamente lineare : con t temperatura in °C. )201(20 t

    materiale 20 [Ohm m] [°C-1]

    Argento 1.59 10-8 4.1 10-3

    Rame 1.67 10-8 6.8 10-3

    Oro 2.35 10-8 4.0 10-3

    Alluminio 2.65 10-8 4.3 10-3

    Tungsteno 5.65 10-8 4.5 10-3

    Zinco 5.92 10-8 4.2 10-3

    Platino 10.6 10-8 3.9 10-3

    Ferro 9.71 10-8 6.5 10-3

    Piombo 20.7 10-8 3.4 10-3

    Questo effetto è di solito impiegato per la costruzione di termometri a resistenza ( e.g.

    al platino).

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  • Resistività elettrica e mobilità nei semiconduttori

    Nell’espressione della conducibilità elettrica nel modello di Drude:

    m

    ne s

    2

    1. La conduzione può essere data sia da elettroni in BC che da lacune in BV

    2. m → m* massa efficace al minimo banda di conduzione ( massimo banda di valenza )

    3. → < m> è mediato sulla distribuzione di velocità degli e di conduzione ( h di valenza)

    4. v → vth velocità dell’elettrone in banda di conduzione ( lacuna in banda valenza)

    5. n densità di elettroni in banda di conduzione ( lacune in banda di valenza)

    si considerano ora le seguenti modifiche:

    pn

    h

    pm

    n

    nmpn pene

    m

    pe

    m

    ne

    sss

    *

    2

    *

    2

    con: n,p = mobilità di elettroni in banda di conduzione ( lacune in banda di valenza )

    *

    ,

    ,

    ,

    pn

    pnm

    pnm

    e

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  • In generale m dipende dall’energia del portatore e dalla temperatura:

    Con r esponente che varia da -1/2 ( scattering da vibrazioni reticolari acustiche ) a

    +3/2 ( scattering da impurezze ionizzate ). Facendo la media di m sulla distribuzione

    di velocità dei portatori per un semiconduttore non degenere ( quindi utilizzando la

    statistica di Maxwell Boltzmann ) si ottiene la seguente espressione per :

    r

    B

    mTK

    e 0

    )!2

    3(

    3

    40 rm

    Con 0 fattore di proporzionalità in generale dipendente da T. Dato che è

    contenuto nella mobilità può però essere utile esprimere direttamente la

    dipendenza da T di :

    *

    ,

    ,

    ,

    pn

    pnm

    pnm

    e

    Dipendenza da T di m

    0

    2/3

    3

    4

    TKde

    TK B

    TK

    B

    mmB

    ee

    e

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  • Scattering da impurezze neutre

    Prevale a T basse quando si ha congelamento dei portatori nelle impurezze, quindi la maggior

    parte di esse sono neutre, e il contributo dei fononi è trascurabile. La mobilità risulta

    indipendente da T, inversamente proporzionale alla concentrazione di impurezze e linearmente

    dipendente dalla massa efficace m*.

    Scattering da impurezze ionizzate.

    Prevale per elevate concentrazioni di impurezze, a medio/alta T quando sono tutte ionizzate. La

    mobilità risulta dipendente da T3/2, inversamente proporzionale alla concentrazione di impurezze

    ionizzate NI e proporzionale a m*-1/2 .

    Scattering da vibrazioni reticolari.

    A bassa T il modo di vibrazione acustico prevale su quello ottico. In questo caso la mobilità

    risulta dipendente da T-3/2 ( acustiche, T-1.67 per quelle ottiche ). Nel modo acustico è anche

    proporzionale a m-5/2, da cui si ha elevata mobilità per piccola massa efficace. Lo scattering da

    fononi ottici è importante nei cristalli ionici.

    Dipendenza della mobilità dei semiconduttori da T,m*, N

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  • Andamento con la temperatura delle mobilità di elettroni e

    lacune in alcuni semiconduttori

    In generale si hanno più fenomeni il cui effetto si combina, si tiene conto di una

    media sulla mobilità tipo: che include i vari meccanismi di

    scattering.

    n

    i i1

    11

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  • Diminuzione della mobilità all’aumentare della concentrazione del drogante (n =ND+,

    p=NA-) dovuta a scattering da impurezze ionizzate. La differenza nelle mobilità per uno

    stesso tipo di portatore in diverso tipo di diverso tipo di Si ( n o p) parzialmente

    dovuta a interazioni tra i portatori carichi.

    Mobilità in Silicio a T ambienteMobilità in Silicio al variare di T

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  • Dipendenza della conducibilità elettrica dalla Temperatura in semiconduttore

    s nem

    ne m

    *

    2

    La dipendenza della mobilità da ~ T-2 è particolarmente visibile nel regime

    estrinseco, dove n è costante.

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  • Coefficiente di Hall nei semiconduttori

    Nell’espressione del coefficiente di Hall nel modello di Drude:

    neRH

    1

    1. n è densità efficace di elettroni in banda di conduzione ( lacune in banda di valenza)

    2. ci può essere contributo sia degli elettroni in BC che delle lacune in BV

    3. I meccanismi di scattering devono essere tenuti in considerazione attraverso m

    si considerano ora le seguenti modifiche.

    2

    2

    )(|| nbp

    nbp

    e

    rR hH

    con: b n/p = rapporto tra mobilità di elettroni in BC e lacune in BV

    rh = fattore di Hall

    2

    2

    m

    mhr

    Otteniamo:

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  • fattore di Hall

    Nell’approssimazione del tempo di rilassamento

    r

    B

    mTK

    e 0

    otteniamo i seguenti valori del fattore di Hall

    Scattering r rH

    Impurezze ionizzate +3/2 1.93

    Impurezze neutre 0 1

    Fononi acustici -1/2 1.18

    Fononi ottici bassa T 0 1

    Fononi ottici alta T +1/2 1.10

    Piezoelettrico ( fononi acustici in materiali polari) +1/2 1.10

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  • Coefficiente di Hall e regimi di conduzione

    La misura dell’effetto Hall permette di distinguere tra conduzione per elettroni o

    per lacune. RH cambia infatti segno se il semiconduttore è di tipo p o di tipo n:

    Tipo p ( p>>n ) ;|| pe

    rR hH Tipo n ( n>>p ) .

    || ne

    rR hH

    Notiamo che RH non si annulla nel caso intrinseco ( p = n ) ma per p = nb2. Per

    esempio in silicio n = 1450 p = 450 quindi RH cambia segno per p ~ 10 n. Altri

    materiali possono presentare b ~ 100. Nel caso intrinseco p = n = ni :

    )1(

    )1(

    ||

    b

    b

    ne

    rR

    i

    hH

    Perciò per b > 1 ( come avviene in generale ) nel caso intrinseco domina la

    conduzione per elettroni.

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  • Andamento di RH per semiconduttore tipo p (b > 1) in funzione della temperatura.

    Distinguiamo 4 regimi:

    I regione intrinseca : RH expEg/(2KT)

    II regione di conduzione mista: RH è ancora negativo ma diminuisce in

    modulo all’aumentare del rapporto p/n, RH cambia segno per p/n = b2

    III regione di esaustione: RH = rh/(pe)

    IV regione di congelamento dei portatori RH expEa/(KT)

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  • Resistività e RH possono essere misurate simultaneamente per determinare la mobilità

    Definiamo mobilità di Hall: H = RH s rH .

    InSb tipo p

    Regime intrinseco

    Conduzione mistaEsaustione ( regime estrinseco )

    Notiamo che la mobilità dipende

    dal campo magnetico applicato,

    perciò la temperatura ove RH = 0

    aumentando quando B aumenta.

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  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    All’equilibrio termico: p = Nve(Ev-Ef)/KT ; n = NCe

    (Ef-Ec)/KT vale la legge di azione di

    massa: pn = ni2 = NvNCe

    -Eg/KT . Se non siamo all’equilibrio termico si ha: pn ≠ni2 ;

    si instaurano processi che tendono a riportare il sistema all’equilibrio. In questi

    processi prevale la ricombinazione e-h quando pn > ni2 , la generazione termica

    quando pn < ni2.

    Processi di generazione – ricombinazione nei semiconduttori

    Processo per cui i due portatori carichi si annichilano a vicenda: l’elettrone va a

    occupare lo stato vuoto associato con la lacuna. Durante tale processo viene

    rilasciata un’energia pari alla differenza di energia tra stato iniziale e stato finale

    dell’elettrone.

    - Ricombinazione radiativa: energia emessa in forma di fotone;

    - Ricombinazione non-radiativa: energia rilasciata in forma di uno o più fononi;

    - Ricombinazione Auger: energia rilasciata come energia cinetica di un altro

    elettrone/lacuna.

    Processi di ricombinazione e-h

  • - Ricombinazione Shockley-Read-Hall

    (SRH): il processo è mediato da un livello

    intermedio nel gap dovuto ad un difetto

    reticolare. Esso cattura l’elettrone dalla

    banda di conduzione, successivamente

    l’elettrone nella trappola si ricombina con

    una lacuna in banda di valenza. Processo

    di ricombinazione prevalente nei

    semiconduttori a gap indiretto.

    e

    ec

    ev

    Banda-banda Trap-

    assisted

    (SRH)

    - Ricombinazione banda-banda: un elettrone in banda di conduzione si

    ricombina direttamente con una lacuna in banda di valenza. Ricombinazione

    prevalente, generalmente anche radiativa, nei semiconduttori a gap diretto.

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  • Questo meccanismo di ricombinazione dipende dalla concentrazione di

    elettroni e lacune libere, perciò, il tasso di ricombinazione banda-banda

    deve essere proporzionale al prodotto pn:

    Re = Rec pn.

    Con Rec = coefficiente di ricombinazione All’equilibrio termico il tasso di

    ricombinazione deve essere uguale al tasso di generazione termica Gthpoichè np = ni

    2 possiamo scrivere Gth = Recni2. In condizioni di non

    equilibrio il tasso netto di ricombinazione U è proporzionale a pn-ni2 :

    U = Rec ( pn – ni2) ,

    Ricombinazione Banda-Banda

    e ec

    ev

    Banda-banda

    In condizioni di bassa iniezione, quando

    l’eccesso di portatori Dp = Dn è molto minore

    dei portatori maggioritari, in un semiconduttore

    tipo n abbiamo: pn = p0+Dp e nn ≈ ND quindi:

    .p

    Dec

    ppNRU

    DD

    Con p = vita media dei portatori minoritari: .1

    Dec

    pNR

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  • Ricombinazione Auger

    La ricombinazione Auger è un processo in cui un elettrone ed una

    lacuna ricombinano in una transizione banda-banda, ma l’energia

    risultante viene data ad un altro portatore, elettrone o lacuna.

    e

    ec

    ev

    Auger

    Il coinvolgimento di una terza

    particella cambia il tasso di

    ricombinazione, per questo il

    processo viene trattato

    differentemente dalla

    ricombinazione banda-banda.

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    La ricombinazione Auger coinvolge tre particelle: un elettrone ed una lacuna

    che ricombinano in una transizione banda-banda ed un elettrone o lacuna

    che assorbe l’energia rilasciata. L’espressione del rate di ricombinazione è

    perciò simile a quello della ricombinazione banda-banda ma include anche le

    densità degli elettroni e delle lacune che ricevono l’energia rilasciata dalla

    annichilazione elettrone-lacuna.

  • I difetti reticolari sono caratterizzati da livelli energetici posti all’interno del gap

    proibito. Essi scambiano elettroni e lacune con le bande di conduzione e valenza. Il

    tasso con cui avvengono questi processi è descritto mediante i coefficienti di

    cattura cn,cp ed emissione en,ep rispettivamente per elettroni/lacune.

    Parametri rilevanti di un difetto: livello energetico di energia Et, sezione d’urto per la

    cattura di un elettrone/lacuna sn,sp (esprime la probabilità intrinseca che il difetto

    catturi un portatore), la concentrazione del difetto nel materiale, Nt .

    Ricombinazione assistita da difetti

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    ev

    ec

    ep cp ev

    eccnensn,Nt,Etsp,Nt,Et

    Nel determinare i coefficienti bisogna tener conto che gli elettroni sono emessi

    (le lacune catturate) dai livelli energetici occupati con elettroni (nt), mentre

    elettroni sono catturati (le lacune emesse) dai livelli vuoti (Nt-nt).

  • Nt = concentrazione totale di livelli energetici; nt = concentrazione di livelli occupati,

    n = concentrazione di elettroni liberi; p = concentrazione di lacune libere;

    vn = velocità termica media elettronica; vp = velocità termica media della lacuna

    sn = sezione d’urto per la cattura di un elettrone;sp = sezione d’urto per la cattura di una lacuna;

    Il difetto non occupato viene esposto ad un flusso di elettroni liberi per unità d’area

    dato da: nvn, il numero di elettroni catturati dagli stati vuoti nell’intervallo Dt è:

    Dnt = sn vn n (Nt-nt) Dt.

    Definiamo coefficiente di cattura cn:

    Analogamente per le lacune:

    nvcnNt

    nnnn

    tt

    sD

    D 1

    pvc ppp s

    ev

    ec

    cp

    cnEt

    Coefficienti di cattura

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  • L’occupazione del livello nt/Nt è determinato dalla competizione tra processi

    di cattura ed emissione.La relazione che descrive il tasso di occupazione del livello è:

    All’equilibrio termico i processi di emissione e cattura devono bilanciarsi sia per gli

    elettroni che per le lacune:

    quindi l’occupazione delle trappole è determinata dai rapporti:

    tpttp

    ttntn

    ncnNe

    nNcne

    tpnttpnt ncenNecdt

    dn

    pp

    p

    nn

    n

    t

    t

    ec

    e

    ec

    c

    N

    n

    Ev

    Eccn

    en

    Et

    Equilibrio termico: bilancio tra cattura ed emissione

    Ev

    Ec

    ep cp

    Et

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  • All’equilibrio termico l’occupazione del livello è determinata dalla

    distribuzione di Fermi-Dirac. Per uno stato profondo ( per semplicità

    assumo non si abbia degenerazione):

    Da cui: ; . Dato che valgono:

    otteniamo:

    KT

    Ece

    KT

    Ece

    tFpp

    Ftnn

    e

    e

    exp

    exp

    1

    exp1

    KT

    E

    N

    n Ft

    t

    t e

    KTNp

    KTNn

    FVv

    CFc

    ee

    ee

    exp

    exp

    KT

    ENve

    KT

    ENve

    Vtvppp

    tCcnnn

    es

    es

    exp

    exp

    Equilibrio termico: coefficienti di emissione

    TK

    nB

    tc

    eTTe

    ee

    2)(Quindi i coefficienti di emissione dipendono dalla

    temperatura con andamento:

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  • 1

    1

    pve

    nve

    pvc

    nvc

    ppp

    nnn

    ppp

    nnn

    s

    s

    s

    sAbbiamo visto che: dove:

    KT

    ENp

    KT

    ENn

    KT

    EENp

    KT

    EENn

    tVv

    Ctc

    FVv

    CFc

    e

    e

    exp

    exp

    exp

    exp

    1

    1

    Cinetica dei centri di ricombinazione - Modello di Schockley Read Hall

    t

    tne

    t

    ttnc

    N

    neR

    N

    nNcR

    t

    t

    t

    ttnnecn

    N

    nn

    N

    nNnvRRR 1s

    Definiamo Rn tasso netto di scambio di elettroni tra banda di conduzione e centro di

    ricombinazione come tasso netto differenza tra tassi di cattura ed emissione:

    Analogamente per lo scambio di lacune con la banda di valenza:

    t

    tt

    t

    tppp

    N

    nNp

    N

    npvR 1s

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    Riscriviamo: utilizzando:

  • Per la ricombinazione delle coppie elettrone-lacuna deve valere: Rn = Rp

    t

    tt

    t

    tpp

    t

    t

    t

    ttnn

    N

    nNp

    N

    npv

    N

    nn

    N

    nNnv 11 ss

    11

    1

    ppvnnv

    pvnv

    N

    n

    ppnn

    ppnn

    t

    t

    ss

    ss

    Da cui possiamo ricavare la frazione di trappole occupate:

    Utilizzando questa relazione, che dà la frazione di centri occupati da elettroni,

    possiamo ora calcolare il rate di ricombinazione R = Rn (= Rp )

    11

    2

    11ppvnnv

    nnpvv

    N

    nn

    N

    nnvR

    ppnn

    ipnpn

    t

    t

    t

    tnn

    ss

    sss

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  • KT

    EE

    vppKT

    EE

    cnn

    ipnpn

    tvct

    eNpveNnv

    nnpvvR

    ss

    ss 2

    definendo U = R.Nt , ponendo vn = vp = vth :

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    KT

    E

    VpKT

    E

    cn

    itthpn

    tvct

    eNpeNn

    nnpNvU

    ee

    ss

    ss 2

    Conviene riscrivere la relazione utilizzando la concentrazione intrinseca di

    portatori ni e l’energia intrinseca ei:

    V

    CVCi

    N

    NKTln

    22

    eee

  • Riscriviamo n1 e p1 in termini di ni ed ei:

    KTE

    V

    C

    KTVC

    KT

    E

    C

    i

    CVCt

    CV

    Ct

    eN

    N

    eNN

    eN

    n

    n1

    22

    2

    1

    eee

    ee

    e

    quindi, definendo:

    V

    CVCi

    N

    NKTln

    22

    eee

    otteniamo : e quindi:

    i

    itn

    nKTE 1lne

    .

    KT

    E

    i

    it

    enn

    e

    1

    Analogamente per le lacune: KT

    E

    i

    ti

    enp

    e

    1

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  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    Osserviamo che U viene massimizzato per Et = ei, cioè solo le trappole vicino a

    metà gap risultano degli efficienti centri di generazione/ ricombinazione.

    Considerando solo tali difetti l’espressione si riduce a:

    ipin

    itthpn

    npnn

    nnpNvU

    ss

    ss 2

    Per bassa iniezione in semiconduttori di tipo n il tasso di ricombinazione netto

    diviene:

    n

    nppnNvU

    n

    itthpn

    s

    ss 20 D

    p

    tthp

    ppNv

    s

    DD

    tthp

    pNvs

    1

    con p = vita media del portatore minoritario

    in presenza di difetti con concentrazione Nt .

    Nel caso sn ≈ sp possiamo anche riscrivere l’espressione di U come:

    KT

    ECoshnpn

    nnpNvU

    iti

    itth

    e

    s

    2

    2

  • Ricombinazione superficiale

    In superficie o alle interfacce abbiamo un grande numero di centri di

    ricombinazione a causa della brusca interruzione del cristallo, che comporta

    la presenza di molti centri elettricamente attivi. Sono presenti anche

    impurezze dovute all’esposizione del semiconduttore all’atmosfera e agli

    agenti esterni. Il tasso di ricombinazione netta dovuta a trappole è la stessa

    che nel modello SRH :

    Con la differenza che la ricombinazione è dovuta ad una densità bidimensionale

    di trappole Nst, dato che esse sono presenti solo in superficie.

    Per bassa iniezione anche questa espressione può essere semplificata, ad

    esempio per elettroni in tipo p abbiamo p >> n and p >> ni , così che se Est ≈ ei :

    dove vs, velocità di ricombinazione superficiale, data da:

    KT

    ECoshnpn

    nnpNvU

    isti

    istthss

    e

    s

    2

    2

    nvnnNvU spstthss D 0s

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    Quando le concentrazioni di portatori sono tali che pn < ni2 il

    meccanismo di generazione prevale su quello di ricombinazione. Si può

    definire un tempo medio di generazione g tale che:

    gi

    ipin

    itthpn n

    npnn

    nNvU

    ss

    ss

    /1/1

    n

    i

    p

    itthn

    i

    tthp

    ig

    n

    p

    n

    n

    Nv

    np

    Nv

    nn

    ss

    11

    /1/1

    Il tempo medio di generazione dipende dalle concentrazioni di elettroni

    e lacune ed ha un valore minimo circa doppio rispetto alla vita media di

    ricombinazione.

    Generazione assistita da trappole

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Se facciamo incidere su un materiale luce monocromatica in generale parte

    dell’onda verrà riflessa, parte trasmessa e parte assorbita.

    Proprietà ottiche

    Siano Ei , Er , Et rispettivamente campo

    elettrico per onda incidente, riflessa e

    trasmessa all’interfaccia.

    Riflettanza trasmittanza

    R= 𝐸0𝑟

    𝐸0𝑖T=

    𝐸0𝑡

    𝐸0𝑖

    𝑅(%) + 𝑇(%) + 𝐴(%) = 100%

    A → attenuazione dovuto ad assorbimento nel mezzo

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Interazione della radiazione e.m. con la materia

    𝐸 = 𝐸0𝑒𝑖 𝑞∙𝑟−𝜔𝑡

    𝛻2𝐸 =𝜀𝜇

    𝑐2𝛿2𝐸

    𝛿𝑡2+

    4𝜋𝜎𝜇

    𝑐2𝛿𝐸

    𝛿𝑡

    s conduttività ottica ( transizioni elettroniche da assorbimento di fotoni )

    Sostituendo in:

    Otteniamo la relazione:

    definiamo indice di rifrazione complesso 𝑛 :

    con n = indice di rifrazione; k = coefficiente di estinzione:

    𝑞2 = 𝜇𝜔2

    𝑐2𝜀 + 𝑖

    4𝜋𝜎

    𝜔

    𝑞 = 𝑛𝜔

    𝑐=

    𝜔

    𝑐𝑛 + 𝑖𝑘

    Considero l’onda e.m.

    𝐸 = 𝐸0𝑒−

    𝜔𝑐 𝑘∙𝑟𝑒

    𝑖𝜔𝑐 𝑛∙𝑟−𝜔𝑡

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Il termine 𝑒−𝜔

    𝑐𝑘∙𝑟

    descrive l’attenuazione dell’ampiezza dell’onda con la

    distanza percorsa nel mezzo.

    Il coefficiente di assorbimento che descrive la diminuzione frazionale di

    intensità con la distanza è: con I intensità dell’onda.

    𝛼 = −1

    𝑑

    𝑑𝐼

    𝑑𝑟

    d spessore del film. Poiché l’intensità è proporzionale al quadrato

    dell’ampiezza dell’onda si ottiene:𝛼 =

    2𝜔𝑘

    𝑐=

    4𝜋𝑘

    Il termine 𝑒𝑖

    𝜔

    𝑐𝑛∙𝑟−𝜔𝑡

    descrive l’onda che viaggia nel mezzo con velocità di

    fase c/n.

    𝐸 = 𝐸0𝑒−

    𝜔𝑐 𝑘∙𝑟𝑒

    𝑖𝜔𝑐 𝑛∙𝑟−𝜔𝑡

  • Le espressioni:

    Si possono utilizzare per scrivere e e s in termini di n e k:

    Definiamo la funzione dielettrica complessa:

    con e1 = e definita precedentemente come costante dielettrica relativa del

    materiale, abbiamo:

    ;

    Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    𝑞2 = 𝜇𝜔2

    𝑐2𝜀 + 𝑖

    4𝜋𝜎

    𝜔𝑞 =

    𝜔

    𝑐𝑛 + 𝑖𝑘

    𝜀 =𝑛2 − 𝑘2

    𝜇

    4𝜋𝜎

    𝜔=

    2𝑛𝑘

    𝜇

    𝜀 = 𝜀1 + 𝑖𝜀2 = 𝑛2

    𝜇

    𝜀1 =𝑛2 − 𝑘2

    𝜇𝜀2 =

    4𝜋𝜎

    𝜔=

    2𝑛𝑘

    𝜇

    Per materiali non magnetici n e k possono essere scritti mediante e1, e2 :

    𝑛 =1

    2𝜀1

    2 + 𝜀22 + 𝜀1 𝑘 =

    1

    2𝜀1

    2 + 𝜀22 − 𝜀1

  • Utilizzando l’indice di rifrazione complesso 𝑛 :

    E𝑖 + 𝐸𝑟 = 𝐸𝑡𝐻𝑖 − 𝐻𝑟 = 𝐻𝑡

    con Ei , Hi, Er Hr, Et Ht, rispettivamente campo elettrico

    e magnetico per onda incidente, riflessa e trasmessa

    all’interfaccia e tenendo conto che H è perpendicolare

    ad E ed ExH è nel verso di propagazione dell’onda.

    Otteniamo 𝐸𝑖 + 𝐸𝑟 = 𝐸𝑡 e 𝐸𝑖 − 𝐸𝑟 = 𝑛𝐸𝑡

    Avendo posto = 1. La frazione di onda riflessa è:

    La riflettanza è definita come :

    𝑟 =𝐸𝑟𝐸𝑖

    =1 − 𝑛

    1 + 𝑛

    𝐻 = 𝑛

    𝜇𝐸

    𝑅 = 𝑟∗𝑟 =1 − 𝑛

    1 + 𝑛

    2

    =1 − 𝑛 2 + 𝑘2

    1 + 𝑛 2 + 𝑘2

    La riflettanza per luce incidente a incidenza

    normale può essere ottenuta utilizzando le

    condizioni al contorno per E ed H

    all’interfaccia:

    Riflettanza

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Modello di Lorentz - isolanti e semiconduttori. L’elettrone legato al nucleo è

    visto come una piccola massa legata ad una massa molto più grande per

    mezzo di una molla.

    Dipendenza della frequenza di e1, e2 n,k dall’energia del fotone incidente.

    e1 = 0

    e1 ~ er

    Riconosciamo varie regioni ( I, II, III, IV ) dove dominano trasmissione (T),

    assorbimento (A) riflessione (R).

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Dipendenza spettrale della riflettività calcolata dai valori di n e k del grafico

    mostrato nella slide precedente.

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    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Semiconduttore reale: riflettività e funzioni dielettriche

    In Si il gap è nell’infrarosso e la regione di alta

    riflettività è nel visibile, per questo il materiale ha

    apparenza metallica. In KCl, La regione di bassa

    riflettività si estende fino a 7eV, il materiale si

    presenta quindi trasparente nel visibile.

    SiKCl

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Coefficiente di assorbimento

    Quando la radiazione e.m. passa attraverso il semiconduttore, si ha

    assorbimento della radiazione. L’intensità della radiazione, diminuisce con la

    distanza percorsa nel semiconduttore con legge:

    )()(

    xIdx

    xdI

    Risolvendo tenendo conto di R,

    riflettenza all’interfaccia del

    semiconduttore a incidenza normale,

    si ottiene:

    x

    o eRIxI )1()(

    Io intensità all’esterno del

    semiconduttore.

    = 104 cm-1 → il 63% della radiazione è assorbito da 1m di semiconduttore.

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Dall’andamento dell’orlo del coefficiente di assorbimento è possibile valutare

    il gap del materiale

    Vicino all’orlo di assorbimento, il coefficiente di assorbimento può essere espresso

    come:

    gEh

    pg EEh

    = 2 o 3 (transizioni permesse o proibite)

    Per le transizioni indirette (c) sono coinvolti fononi (con

    energia Ep) per la conservazione del momento, sia

    assorbiti che emessi. Il coefficiente di assorbimento è :

    = 1/2 (transizioni dirette permesse ( a,b ) in figura).(*)

  • Prof. Mara Bruzzi – Lezione n. 12 - Fisica dello Stato Solido

    Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.10-11

    Esempio: trasmissione ottica da film sottile di In2O3 ( 200nm ) e

    determinazione del valore del bandgap dall’andamento dell’orlo di

    assorbimento, pari a 3.75eV.

    da M. Bruzzi et al., Gas sensing properties of In2O3 nano-films obtained by Pulsed Plasma Deposition

    technique, presentato a nanfim Agosto 2016.

  • Tasso di generazione di coppie e – h per assorbimento di fotoni

    e corrente fotoconduttiva

    ec

    ev

    egh

    -Il fotone deve avere energia maggiore del gap del semiconduttore: Eph > Eg ;

    - L’energia in eccesso Eph – Eg viene rilasciata in forma di energia cinetica

    della coppia elettrone-lacuna foto generati.

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    La generazione di

    coppie è regolata da:

    h

    IG

    opt

    he

    = coefficiente di assorbimento (cm-1 )

    La vita media dei portatori minoritari può essere valutata utilizzando l’effetto

    fotoconduttivo. Illuminiamo con fotoni il semiconduttore, si generano

    elettroni e lacune in eccesso Dn = Dp, in condizioni stazionarie: Dn = Ge / .

    Se al materiale è applicato un campo elettrico la corrente fotoconduttiva

    dovuta all’eccesso di portatori è :

    EGqnEqJ epnpnPC

    D

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    Se aumentiamo localmente la concentrazione dei portatori per iniezione in

    un punto del materiale si verificherà un processo di diffusione dei portatori

    in eccesso attraverso il materiale. La corrente di diffusione è

    proporzionale al gradiente di concentrazione, seguendo la legge di Fick

    abbiamo, per gli elettroni e per le lacune:

    Corrente di diffusione

    ),(),( trneDtrJ nn

    ),(),( trpeDtrJ pp

    Avendo posto e = valore assoluto della carica elettronica. Notiamo che le

    correnti di diffusione di elettroni e lacune viaggiano in senso opposto per

    stesso segno del gradiente :

    x

    n

    0dx

    dn nv

    nJ

    x

    p

    0dx

    dp pv

    pJ

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    Processi di diffusione

    Innanzitutto quando descriviamo i fenomeni di diffusione dobbiamo ricordare

    che vale l’equazione di continuità che esprime la conservazione della materia.

    Sia la concentrazione della quantità che diffonde (una densità volumetrica,

    e.g. numero di molecole/massa/carica per unità di volume) mentre J è la

    corrente o flusso della grandezza fisica che diffonde:

    0

    J

    t

    ),(),( trDtrJ

    La relazione empirica che si verifica tra J e

    è la seguente (legge di Fick):

    con segno - a indicare che la corrente J fluisce da una regione dove è

    grande verso una regione in cui è minore. D è detta costante di

    diffusione, con dimensione [L2/t]=m2/s. Unendo le due equazioni

    otteniamo l’equazione di diffusione:

    che deve essere valutata

    tenendo conto delle condizioni

    al contorno.

    ),(2 trDt

  • Correnti di deriva e diffusioneIn presenza di un campo elettrico E e di gradiente di concentrazione

    avremo sia corrente di deriva che corrente di diffusione:

    ),(),( trneDEnetrJ nnn

    ),(),( trpeDEpetrJ ppp

    Con: VE

    e

    KTD nn

    e

    KTD pp

    L’espressione dei coefficienti di

    diffusione per un semiconduttore non

    degenere è data dalle relazioni di

    Einstein:

    Esempio: a 300K il valore di KT/e è pari a 25.9mV. Per una

    mobilità di 1000cm2/Vs abbiamo: D = 25.9cm2/s.

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    KT

    EEE

    V

    C

    KTVC

    KTC

    i

    CVCF

    CV

    CF

    eN

    N

    eNN

    eN

    n

    n1

    22

    2

    e

    ee

    ee

    quindi, utilizzando :

    V

    CVCi

    N

    NKTln

    22

    eee

    otteniamo : cioè:

    i

    iFn

    nKT lnee KT

    i

    iF

    enn

    ee

    Analogamente per le lacune:KT

    i

    Fi

    enp

    ee

    Possiamo riscrivere n in funzione dell’energia intrinseca ei già vista,

    posta circa a metà del gap proibito. Infatti:

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    x

    xp xn

    ec

    ev

    e

    ei

    xxp xn

    VNoto che se abbiamo campo elettrico nel materiale vale

    , il potenziale V avrà un certo andamento lungo lo spessore del materiale, che dipenderà dalla

    distribuzione di carica fissa. Per esempio in una

    giunzione brusca pn V(x) ha l’andamento di figura.

    Tale andamento provoca una curvatura del minimo

    della banda di conduzione, del massimo della

    banda di valenza e dell’energia intrinseca ei in modo

    che ec(x) =-eV(x) . Quindi ei segue l’andamento

    del potenziale lungo il dispositivo e vale:

    dx

    d

    edx

    dV ie1

    dx

    d

    edx

    dVE i

    e1

    allora si ha:

    VE

    dx

    dnKTEneJ nnn Valutiamo ora le: ;

    nel caso di equilibrio (Jn = 0, Jp = 0 ) allo scopo di capire l’andamento di eF in

    funzione dello spessore.

    dx

    dpKTEpeJ ppp

  • Utilizzando: otteniamo:

    dx

    d

    dx

    d

    KT

    n

    KTdx

    d

    dx

    den

    dx

    dn iFiFKTi

    iF eeeeee

    1

    Utilizzando la relazione: dx

    d

    eE i

    e1 abbiamo:

    Allora, la:

    dx

    d

    dx

    d

    eEneJ iFnn

    ee

    1

    Perciò: 0nJ eF = costante

    dx

    dnJ Fnn

    e

    Esempio: giunzione pn in equilibrio

    termico, il livello di Fermi è costante

    lungo x su tutto il dispositivo.

    x

    xp xn

    ec

    ev

    eFei

    KTi

    iF

    enn

    ee

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  • Schema delle bande tra metallo e

    semiconduttore (barriera Schottky e

    contatto ohmico)

    Altri EsempiSchema delle bande in transistors

    npn e pnp all’equilibrio

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  • Nel caso il semiconduttore non sia in condizioni di equilibrio si

    introduce il concetto di energia di quasi-fermi (imref)

    denominata eFn eFp nel caso rispettivamente di elettroni /

    lacune. Le relazioni già viste all’equilibrio per la concentrazine

    dei portatori liberi divengono:

    KTi

    iFn

    enn

    ee

    KTi

    Fpi

    enp

    ee

    KTi

    FpFn

    enpn

    ee

    2

    KTi

    iF

    enn

    ee

    KTi

    Fi

    enp

    ee

    2

    inpn

    EQUILIBRIO NON-EQUILIBRIO

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  • L’interpretazione fisica delle energie di quasi-fermi può essere chiarita

    riscrivendo le espressioni della densità di corrente in caso di non

    equilibrio:

    Ricordando che:

    otteniamo: , analogamente per le lacune:

    La densità di corrente di elettroni / lacune è quindi proporzionale al

    gradiente del livello di quasi Fermi corrispondente. Tale gradiente

    rappresenta l’insieme dei due contributi dovuti al campo elettrico ed al

    gradiente della concentrazione di portatori.

    dx

    dnJ Fnnn

    e

    dx

    dpJ

    Fp

    pp

    e

    dx

    d

    dx

    d

    eEneJ iFnnn

    ee

    1

    dx

    d

    eE i

    e1

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  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    Nella regione di svuotamento eFn and eFp sono

    praticamente costanti (le concentrazioni di

    portatori sono piuttosto alte, ma in tale

    regione la corrente è costante → i gradienti

    dei livelli di quasi-Fermi devono essere

    piccoli. Ne segue che dentro la regione

    svuotata vale:

    qV = eFn-eFP

    Da cui posso determinare le condizioni

    al contorno ai bordi della regione

    svuotata (bassa iniezione):

    KT

    qV

    PKT

    qV

    iDPp ene

    p

    nWn 0

    2

    )(

    KT

    qV

    nKT

    qV

    iDnn epe

    n

    nWp 0

    2

    )(

  • Tensione applicata diretta V

    2

    inpn

    p n

    + -

    nec

    ev

    eFp

    p

    eFn

    Tensione applicata inversa V

    2

    inpn

    p n

    - +

    n

    p

    eFn

    ev

    eFp

    eC

    0 FpFn ee

    0 FpFn ee

    Esempio: giunzione pn

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  • equilibrio (a) durante eccitazione ottica (b)

    Altro esempio: livelli di quasi Fermi in semiconduttore di tipo n a cui non

    è applicata tensione (bande piatte) in condizioni di buio (equilibrio) e

    sotto illuminazione.

    22

    iKT

    i nenpnFpFn

    ee

    0 FpFn eeFpFn ee

    22

    iKT

    i nenpnFpFn

    ee

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  • Esempi di livelli di quasi fermi in eterostrutture

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  • Equazione di continuità in presenza di generazione/ricombinazione

    La cinetica dei portatori nel tempo e nello spazio viene descritta dall’equazione

    di continuità, che deve tenere in considerazione anche dei tassi di

    generazione e ricombinazione:

    n

    n

    Je

    nG

    t

    n

    D

    D 1

    Siano ad esempio :

    ( dopo eccitazione ottica spengo la sorgente, la densità di carica è

    trascurabile, la generazione termica è trascurabile). L’equazione diviene:

    .0;0;0

    DGE

    t

    n

    nnD

    nn

    DD2

    Definisco lunghezza di diffusione per gli elettroni: nnn DL

    Otteniamo: nL

    x

    ennxnn

    DD 00)(Dn0

    x

    Dn(x)

    Esempio: per Dn = 25.9cm2/s e n = 100s

    → Ln = 0.5mm.

    nnn Je

    UGt

    n

    1

    Se Dn è l’eccesso di portatori iniettiati, a

    bassa iniezione:

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    http://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter2/ch2_9.htmhttp://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter2/ch2_9.htm

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    In realtà anche l’eccesso di carica Dn contribuisce alla formazione del campo

    elettrico, attraverso l’equazione di Poisson. Se generazione e ricombinazione

    sono trascurabili l’equazione si scrive:

    → s = conducibilità elettrica

    Vale l’equazione e quindi:

    con soluzione , = tempo di rilassamento dielettrico

    che rappresenta la costante di tempo caratteristica per il ritorno alla neutralità di

    carica della carica nel semiconduttore. Possiamo definire una lunghezza

    caratteristica di diffusione che chiamiamo lunghezza di Debye:

    che rappresenta la distanza di decadimento della carica in eccesso.

    r

    neE

    ee0

    D

    0

    DE

    et

    n s

    r

    n

    t

    n

    ee

    s

    0

    D

    D

    dtetn/

    )(

    Ds

    ee rd

    0

    DnD DL

    01

    DnJ

    et

    n

    Tempo di rilassamento dielettrico e lunghezza di Debye

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    All’equilibrio termico le profondità della regione svuotata in caso di

    giunzioni brusche sono di circa 8LD per il Si 10LD per il GaAs.

    Essendo D inversamente proporzionale alla conducibilità elettrica , nel

    regime estrinseco LD varia con la concentrazione di drogaggio con

    andamento √ND, e.g. T =300K per una densità di drogaggio di 1016cm-3

    la lunghezza di Debye è 40nm.

  • Vale l’equazione di continuità: nnn Jq

    UGt

    n

    1

    Considerando che idealmente G, tasso di generazione, è nullo, in condizioni di non

    equilibrio stazionario, in caso monodimensionale diviene:

    02

    2

    dx

    ndD

    dx

    dEn

    dx

    dnEU nnnn

    nn

    Abbiamo usato: Un = Up = U rate di ricombinazione netto, dato che per la

    neutralità della carica: nn- nn0 ~ pn – pn0 (bassa iniezione). Moltiplicando

    l’equazione per gli elettroni per ppn e quella per le lacune per nnn si ottiene:

    02

    2

    dx

    pdD

    dx

    dEp

    dx

    dpEU npnp

    np Analogamente per i portatori minoritari :

    02

    2

    0

    dx

    pdD

    dx

    dpE

    pn

    pnpp nn

    n

    n

    p

    n

    nnnn

    Esempio di utilizzo dell’equazione di continuità per il calcolo della corrente nel

    dispositivo. Torniamo alla giunzione pn

    Equazione di Schockley

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    Le equazioni per la densità di corrente già viste riguardano le condizioni

    stazionarie. In generale i fenomeni dipendenti dal tempo sono descritti

    dalle equazioni di continuità. Qualitativamente, la variazione netta della

    concentrazione di portatori per unità di tempo è data dalla differenza tra

    generazione e ricombinazione più il flusso netto di corrente che entra ed

    esce dalla regione di interesse.

    Nel caso unidimensionale e di bassa iniezione si riscrivono

    per i portatori minoritari (elettroni in tipo p e lacune in tipo n):

    nnn Jq

    UGt

    n

    1

    ppp Jq

    UGt

    p

    1

    2

    2

    0

    x

    nD

    x

    nE

    x

    En

    nnG

    t

    n pn

    p

    nnp

    n

    pp

    n

    p

    2

    2

    0

    x

    pD

    x

    pE

    x

    Ep

    ppG

    t

    p np

    nppn

    p

    nnp

    n

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    Esempio:

    Decadimento di un eccesso di portatori con il tempo

    Semiconduttore tipo n, illuminato con rate uniforme Gp, spessore del campione

    molto più piccolo di 1/. Valgono: E = 0, dE/dx=0 dpn/dx=0

    In condizioni stazionarie dpn/dt = 0 e quindi

    pn – pn0 =pGp = costante . Se spegniamo

    la sorgente al tempo t = 0 abbiamo

    con condizione

    al contorno pn(t=0) = pn0 +pGp, pn(∞)=pn0 con soluzione: pn(t)=pn0+pGpexp(-t/p)

    p

    nnp

    n ppGt

    p

    0

    p

    nnn pp

    t

    p

    0

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    Decadimento dei portatori in eccesso con la distanza

    Poniamo di iniettare da un lato portatori in eccesso, per esempio illuminando

    con luce di energia maggiore del gap. Per esempio il coefficiente di

    assorbimento sia 106cm-1 così che l’intensità del segnale ottico si riduce di e

    dopo 10nm. All’interno del semiconduttore quindi G = 0. Allo stato

    stazionario c’e un gradiente di concentrazione vicino alla superficie di

    iniezione. Per un semiconduttore tipo n abbiamo, senza campo elettrico

    applicato:

    2

    2

    00x

    pD

    pp

    t

    p nn

    p

    nnn

    pLx

    nnnn epppxp

    00 )0()(

    con condizioni al contorno pn(x=0) =

    costante e dipendente dal livello di

    iniezione, pn(∞) = 0. La soluzione è:

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  • Nell’assunzione di bassa iniezione: pn

  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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    Risoluzione dell’equazione

    ppp DL = lunghezza di diffusione dei minoritari ( lacune )Definisco:

  • Densità di corrente nel punto x = xn:

    1exp

    0

    TK

    qV

    L

    pqD

    dx

    dpqDJ

    B

    a

    p

    np

    x

    npp

    n

    Similmente nel lato p in x = -xp:

    1exp

    0

    TK

    qV

    L

    nqD

    dx

    dnqDJ

    B

    a

    n

    pn

    x

    p

    nn

    p

    1exp

    TK

    qVJJ

    B

    as

    La corrente totale è data dalla somma: J = Jn + Jp

    n

    pn

    p

    np

    sL

    nqD

    L

    pqDJ

    00

    Equazione di Schockley

    An

    in

    Dp

    ip

    sNL

    nqD

    NL

    nqDJ

    22

    con:

    o anche :

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    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

  • Distribuzione dei

    portatori minoritari e

    delle densità di corrente

    Jn, Jp per tensione

    applicata ai capi della

    giunzione pn (a) diretta

    (b) inversa

    (a) (b)

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  • Caso non ideale: tasso di generazione non nullo dovuto a difetti

    Nella regione svuotata di una giunzione pn si verifica:

    pn

  • Andamento sperimentale della caratteristica I-V di una giunzione pn di silicio

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  • Fenomeni a campo elettrico

    elevato

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  • Dove il secondo termine al secondo membro rappresenta il tasso di perdita di

    energia dell’elettrone per scattering anelastico, rispetto al valore di equilibrio eeq (E

    tempo di rilassamento per l’energia con definizione analoga a m). Il fenomeno di

    rilassamento energetico si intende dovuto ad emissione – assorbimento di fononi

    (le impurezze provocano scattering elastico). In regime stazionario :

    Energia del portatore dovuta all’applicazione di campo elettrico

    E

    eqvEe

    dt

    d

    eee

    All’equilibrio (campo elettrico nullo) i portatori scambiano fononi con il reticolo: li

    assorbono ed emettono in modo che il rate di scambio netto sia nullo, hanno

    perciò stessa T del reticolo. Sia eeq l’energia del portatore all’equilibrio. In

    presenza di campo elettrico ai portatori viene fornita la potenza: P = |F·v|=e E· v.

    Il rate di variazione dell’energia del portatore e, nel tempo è dato da:

    0dt

    de

    e l’energia dell’elettrone diviene :

    aumenta quindi per effetto del campo elettrico ed è superiore al valore di

    equilibrio.

    Eeq eEvee

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  • In pratica, si preferisce utilizzare , al posto delle energie, valori di temperatura a loro correlati.

    La temperatura che associamo all’energia media del portatore è data dalla legge:

    Utilizzando le temperature invece delle energie in condizioni stazionarie

    abbiamo:

    dove abbiamo usato: v = E.

    23 e

    KTe

    Elettroni caldi

    E

    eB

    TTKeE

    2

    32

    All’equilibrio termico Te = T temperatura del

    reticolo, T. Se Te è solo un po’ più grande di T il

    trasporto elettronico segue ancora la legge di Ohm

    e diciamo che gli elettroni sono tiepidi ( warm

    electrons). Se invece Te >> T gli elettroni sono

    lontani dall’essere in equilibrio con il reticolo : essi

    si dicono caldi (hot electrons). La descrizione

    completa del caso di gas elettronico di non

    equilibrio si ottiene derivando la funzione di

    distribuzione elettronica dall’equazione di trasporto

    di Boltzmann. Tale trattazione è al di là degli scopi

    di questo corso.

    Rappresentazione schematica del

    bilancio di energia dei portatori

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  • Saturazione della velocità di deriva nei semiconduttori

    Uno degli effetti più noti degli elettroni caldi è la saturazione della velocità di deriva.

    Se a campi elettrici bassi vale la relazione v = 0 E con 0 mobilità definita nei paragrafi

    precedenti, per campi elettrici elevati si osserva una sublinearità e quindi una

    saturazione della velocità di deriva, il che significa che la mobilità dipende dal campo

    elettrico, con andamento alla E-1 quando E è sufficientemente elevato.

    La spiegazione data da Schockley e Ryder nel 1954 sulla saturazione della velocità a

    campi elevati è basata sul fatto che i portatori emettano un fonone ottico nel momento in

    cui essi raggiungono l’energia corrispondente . Il modello deriva

    un’espressione per la velocità di saturazione pari a :0 2/1

    0

    *3

    8

    mvs

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  • Streaming dei portatori caldi e saturazione della velocità di deriva

    Diamo qui un’analisi qualitativa del fenomeno considerando il caso seguente.

    Assumiamo per semplicità che

    -scattering elettronico per energie sotto il valore del fonone ottico trascurabile ( cio è

    verificato, in semiconduttori poco drogati, per le basse temperature, cioè per kT

  • Periodo di moto in cui avviene il moto accelerato dal campo ( )

    Per trovare una velocità media di deriva mediamo la (1) sul periodo di moto accelerato:

    Quindi sia la velocità di deriva che l’energia dell’elettrone risultano perciò non dipendere

    dal campo elettrico: in questo regime sono caratterizzati da un valore di saturazione.

    In realtà, lo streaming da solo non può spiegare gli effetti di saturazione della velocità,

    specialmente alle alte temperature. il fenomeno si realizza se: (1) la temperatura è abbastanzabassa (KT

  • In generale: quando il campo elettrico aumenta, aumenta anche l’energia media degli

    elettroni di conduzione, il che comporta un aumento dei fenomeni di scattering e

    quindi una diminuzione della mobilità. Poichè nei semiconduttori più comuni la mobilità

    ad elevato campo elettrico risulta inversamente proporzionale al campo elettrico, la velocità

    di fatto diventa indipendente dal campo elettrico applicato, cioè satura.

    Di solito vengono utilizzate delle espressioni empiriche, tipo:

    con vs velocità di saturazione, Es costante

    caratterizzante il campo elettrico

    necessario per raggiungere la

    saturazione, parametro. Esempio Si: vs~ 107 cm/s Es = 10 kV/cm e 20kV/cm

    rispettivamente per elettroni e lacune. Le

    curve di figura per n-Si a diverse

    temperature interpolate su tre regioni:

    basso campo (v E) , campo intermedio

    (v E1/2), alto campo ( v E0).

    )

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  • Gli elettroni caldi, spostandosi lungo la banda di

    conduzione, possono venire trasferiti verso minimi

    relativi della banda di conduzione caratterizzati da

    un’energia più elevata del minimo assoluto. Per i

    semiconduttori di tipo III-V elettroni caldi nella valle G

    possono essere trasferiti a minimi delle valli laterali X

    e/o L.

    Conduzione multi-valley nei semiconduttori

    La transizione da una valle ad energia più bassa

    con massa efficace piccola verso valli a energia

    più alta e masse efficaci maggiori porta ad una

    regione dove la velocità di deriva e quindi la

    densità di corrente elettrica diminuiscono

    all’aumentare del campo elettrico applicato →

    resistenza differenziale negativa. L’effetto è

    utilizzato nei transferred-electron device

    (TED), anche chiamati diodi Gunn.

    Esempio: lega InyGa1-yAs: velocità massime e resistenze differenziali negative

    aumentano all’aumentare della frazione di indio, in quanto la massa efficace nella valle

    G diviene più leggera.Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

  • Conduzione Multivalley : Alcuni dati per il GaAs

    Valle con minimo assoluto in G: massa efficace

    piccola (0.068m) e quindi elevata mobilità ( = 4000-

    8000 cm2/Vs).

    Valle di più alta massa efficace (1.2m), bassa

    mobilità (100cm2/Vs) posizionata vicino al punto L,

    circa 0.3eV più in alto. Densità di stati nella valle a

    energia più alta circa 70 volte maggiore.

    A causa di questo effetto la velocità di saturazione

    ha valore di picco 2x107 cm/s.

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  • Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

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  • E’ possibile creare dispositivi che lavorano

    alla velocità di overshoot: iniettiamo da un

    contatto degli elettroni freddi, che, nel loro

    cammino, vengono accelerati dal campo

    elettrico fino a raggiungere la massima

    velocità. Successivamente essi dovrebbero

    diminuire la velocità fino al valore di

    saturazione stazionario.

    Gli elettroni accelerati nella valle centrale possono raggiungere velocità molto

    elevate prima di essere trasferite nelle valli dove la massa efficace è maggiore, una

    volta in tali valli gli elettroni raggiungeranno perciò una velocità di saturazione piu’

    bassa (effetto di transient overshoot ). La velocità massima raggiunta è detta

    velocità di overshoot.

    Velocità di overshoot

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    Se però la lunghezza attiva della regione è scelta in modo da essere

    confrontabile con la distanza alla quale si verifica il raggiungimento della velocità

    di overshoot, il dispositivo funzionerà con la velocità di overshoot,

    significativamente maggiore di quella di saturazione.

  • Breakdown

    Ci sono tre meccanismi alla base del breakdown: l’instabilità termica,

    l’effetto tunnel e la moltiplicazione a valanga.

    1) breakdown per instabilità termica - a causa della dissipazione termica

    dovuta al valore elevato della corrente inversa registrato ad alte tensioni,

    la temperatura della giunzione aumenta. A sua volta l’aumento di T porta

    ad un aumento della corrente.

    La corrente inversa I a temperatura

    costante è rappresentata da linee

    orizzontali . Le iperboli indicanti la

    dissipazione di calore a T costante

    (prodotto IV) sono rette nel plot log-

    log. La caratteristica I-V ad una certa

    temperatura è ottenuta unendo i punti

    di intersezione delle due linee per una

    stessa T. Vu è detto potenziale di turn-

    over. per T elevate a causa della

    grande dissipazione abbiamo una

    caratteristica con resistenza

    differenziale negativa.

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  • 2) breakdown per effetto tunnel (Effetto Zener) – Per campi elettrici elevati

    (e.g. 106 V/cm in Ge e Si) comincia a fluire una corrente rilevante nel

    dispositivo a causa di un processo di tunneling banda-banda

    L’effetto è più rilevante

    se il semiconduttore è

    molto drogato e quindi

    la regione svuotata è

    molto sottile, il

    fenomeno non è

    distruttivo.

    L’effetto è utilizzato nei dispositivi per

    stabilire una tensione di riferimento.

    Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea

    Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17

    http://it.wikipedia.org/wiki/File:Zenerkarakteristiek.pnghttp://it.wikipedia.org/wiki/File:Zenerkarakteristiek.png

  • Diodo Zener e coefficiente di temperatura

    Per 4Eg/q < VBD < 6Eg/q, il breakdown è dato da una

    combinazione dei due meccanismi. Si può allora per

    esempio connettere un diodo a coefficiente di

    temperatura negativo in serie con un coefficiente di

    temperatura positivo per produrre un regolatore

    indipendente dalla temperatura ( con un coefficiente di

    temperatura dell’ordine di 0.002% per °C), che può

    essere utilizzato come riferimento di tensione.

    Per tensioni di breakdown VBD maggiori di ≈

    6Eg/q (≈ 7 V for Si), il meccanismo di breakdown

    dominante è la moltiplicazione a valanga e il

    coefficiente di temperatura di VBD è positivo. Per

    VBD < 4Eg/q (≈ 5 V for Si), il meccanismo di

    breakdown è il tunneling banda-banda e il

    coefficiente di temperatura è negativo.

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  • Ionizzazione da impatto

    Meccanismo di generazione causato da elettrone/lacuna con energia molto

    maggiore /minore dell’orlo della banda di conduzione/valenza. L’energia in eccesso

    viene utilizzata per generare una coppia e-h attraverso una transizione banda-

    banda.

    e

    ec

    ev

    EMoltiplicazione a valanga

    Questo processo di generazione causa la

    moltiplicazione a valanga nei diodi

    semiconduttori contropolarizzati. L’aumento di

    energia del portatore dovuto alla presenza di

    campo elettrico può essere significativo, in tal

    caso l’energia cinetica in eccesso viene

    rilasciata ad un elettrone di valenza, dando così

    luogo ad una coppia e-h. Con lo stesso

    processo i due elettroni risultanti daranno luogo

    ad altri due, che a loro volta ne genereranno

    quattro, e così via, con un effetto di

    moltiplicazione. Al fenomeno di moltiplicazione

    a valanga contribuiscono sia gli elettroni che le

    lacune.

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  • Quando il campo elettrico aumenta oltre un certo valore I portatori

    acquistano abbastanza energia da eccitare coppie e-h.

    In Si : EI = 3.6eV per elettroni, 5.0eV per lacune.

    eT, eP, eI, soglie per il campo elettrico (thermal,

    optical-phonon and ionization scattering.)

    = tasso di ionizzazione = n. di e-h generati da un portatore per unità di

    lunghezza percorsa

    fortemente dipendente dal campo applicato :

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  • Considero Ipo corrente entrante dalla parte sinistra della regione svuotata di

    spessore WDm. Se il campo elettrico E nella regione svuotata è abbastanza

    elevato vengono generate coppie e-h mediante il processo di ionizzazione da

    impatto, la corrente di lacune Ip aumenterà con la distanza attraverso la

    regione svuotata raggiungendo il valore MpIpo a x = WDm.

    Definisco:

    Mp = fattore di moltiplicazione = Ip(WDm)/Ip0

    n, p = tassi di ionizzazione per elettrone e lacuna

    Valutando Ip (x) a WDm si ottiene:

    Moltiplicazione a valanga

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  • Avalanche breakdown voltage VBD = tensione alla quale Mp tende all’infinito

    Esempio di applicazione: Fotodiodi a effetto valanga (Avalanche

    Photodiodes APDs)

    In pratica, la massima moltiplicazione possibile in dc sotto illuminazione

    è limitata dalle resistenze serie Rs e da effetti di carica spaziale.

    I corrente moltiplicata, Ip fotocorrente primaria, VR tensione inversa

    applicata, VB tensione di breakdown, n costante dipendente dal

    semiconduttore dal profilo di drogaggio e dalla lunghezza d’onda della

    radiazione.

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  • Basic device configurations of avalanche photodiode

    Pn junction

    Metal semiconductor

    Avalanche photodiode with doping profile

    The narrow and high field region serves for avalanche multiplication.

    Excessive leakage current due to high field at junction edges eliminated by

    guard ring structures.

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