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Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea
Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17
Fisica dello Stato Solido
Lezione n. 10
Proprietà di trasporto nei metalli
e semiconduttoriCorso di Laurea Magistrale
Ingegneria Elettronica
a.a.16-17
k
e
a
a
eF
E = 0
Trasporto elettrico nel modello a Bande
E ≠ 0
In presenza di F gli elettroni aumentano k in direzione di F, (eventualmente
subendo il fenomeno dell’Umklapp a bordo zona). Ne risulta una distribuzione
asimmetrica degli elettroni nella banda. C’è corrente elettrica poiché si hanno
più elettroni che si muovono in una direzione che in quella opposta.
Si ha forza :
dt
kdEeF
k
e
a
a
FE
0
Problema: Questa interpretazione non riesce a descrivere il caso stazionario, e
quindi i casi della legge di Ohm e dell’esperimento per la misura del
coefficiente di Hall. Poiché l’interazione tra elettroni e reticolo cristallino è già
inglobata nel modello, che ci ha portato a utilizzare le funzioni d’onda di Bloch
per gli elettroni nel cristallo e a definire le bande di energia en(k), non possiamo
considerare le collisioni tra elettroni e ioni del reticolo cristallino come fattore
dissipativo che produce la stazionarietà.
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L’effetto delle interazioni con le imperfezioni del reticolo è quello di produrre delle
transizioni k → k’ nelle quali avviene trasferimento di momento ed energia. Il
risultato è che gli elettroni più energetici invertono il loro moto bilanciando così
l’effetto accelerante del campo elettrico. L’effetto di bilanciamento produce
corrente elettrica stazionaria.
Per il principio di esclusione di Pauli lo scattering per
interazione con le imperfezioni del reticolo avviene per
gli elettroni più energetici verso stati vuoti
k
e
a
a
Effetto dei fenomeni di scattering sulla corrente elettrica
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Riconsideriamo ora l’equazione del moto dell’elettrone di conduzione:
dt
pdfF
F = forza esterna applicata = -e(E + vxB)
f = forza di attrito dovuta ai processi di scattering
p = momento cristallino
che diviene:
m
p
dt
Il significato di deriva dal fatto che, annullando la forza F all’istante t = 0,
risulta la costante di tempo della funzione esponenziale di rilassamento del
momento elettronico :
mt
eptp
0)(
In generale m è dello stesso ordine del tempo di collisione c, tempo medio tra
due collisioni successive.
Tempi di rilassamento per il momento
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Processi di scattering
Ogni irregolarità nella periodicità del cristallo perturba il moto altrimenti libero
degli elettroni di Bloch. Le irregolarità sono essenzialmente di due tipi:
1. Imperfezioni del solido ( disordine reticolare come vacanze, interstiziali,
dislocazioni o impurezze intenzionali o intrinseche ) . Questo effetto è debolmente
dipendente dalla temperatura.
2. Moto oscillatorio degli ioni intorno alle posizioni di equilibrio del reticolo cristallino
per agitazione termica. Questo effetto è ovviamente dipendente dalla temperatura.
La legge di Ohm viene quindi reinterpretata considerando le collisioni tra
gli elettroni di conduzione e tali irregolarità del reticolo.
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Tale probabilità dipende da N, concentrazione di centri di scattering,
s, sezione d’urto di scattering e v velocità del portatore carico:
s
vNc
1
Tale espressione si spiega considerando l’area totale, con cui il
portatore può effettuare la collisione: se i centri di scattering sono
N dischi di area s, essa è Ns. Il portatore che si muove
perpendicolarmente ai dischi coprendo la distanza dx = vdt nel
tempo dt ha probabilità di colpire uno dei dischi pari a:
dPc = N s v dt = dt/c.
v
N
s
Sia Pc = probabilità che avvenga una collisione allora:
c
c
dt
dP
1
Valutazione di c
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Vibrazioni del reticolo: il sito reticolare oscilla di moto armonico di ampiezza A
intorno al punto di equilibrio: e’ come se coprisse un’area intorno a sè ove può
avvenire possibile collisione con il portatore. Tale area è proporzionale al
quadrato dell’ampiezza A di oscillazione e l’energia dell’oscillatore armonico U
dipende da A2 :
Metalli: Dipendenza dalla Temperatura di c vv sNc
s
1
22222222
2
1)(cos
2
1)(
2
1
2
1
2
1AktkAtsenAmkxmvU
A
Perciò per scattering da vibrazione reticolare c è inversamente
proporzionale alla temperatura: Tc
1
è proporzionale a T.
se vale la legge di Dulong Petit ( T >> QD ): U = 3KBT, allora U è proporzionale a T e
Nei metalli v = vF ( indipendente dalla temperatura).
Impurezze reticolari: anche il termine = N s è indipendente dalla temperatura → c è
indipendente da T .
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Riconsideriamo ora l’espressione della conducibilità elettrica nel modello di Drude:
m
ne s
2
m → m* massa efficace al livello di Fermi
→ c tempo di collisione
v → vF velocità di Fermi
n densità efficace di elettroni al livello di Fermi
La stessa espressione può essere mantenuta anche alla luce del modello
quantistico se consideriamo le seguenti modifiche:
Resistività elettrica nei metalli
titiF
ne
vm
s
2
*1
Otteniamo per la resistività del metallo:
i = resistività residua del metallo: dovuta alle impurezze è essenzialmente
indipendente da T e prevale a bassa T; t è resistività dovuta alle vibrazioni reticolari.
Regola di Mathiessen
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Dipendenza di da T nei metalli
La resistività residua, dipendendo
dalle impurezze, può variare per una
stessa sostanza da campione a
campione.
La resistività dovuta all’agitazione termica dipende da T ad alte temperature ( T >> QD) e
da T5 a basse ( T
In un intervallo limitato, intorno ad una decina di gradi a 20°C, la relazione (T) è
praticamente lineare : con t temperatura in °C. )201(20 t
materiale 20 [Ohm m] [°C-1]
Argento 1.59 10-8 4.1 10-3
Rame 1.67 10-8 6.8 10-3
Oro 2.35 10-8 4.0 10-3
Alluminio 2.65 10-8 4.3 10-3
Tungsteno 5.65 10-8 4.5 10-3
Zinco 5.92 10-8 4.2 10-3
Platino 10.6 10-8 3.9 10-3
Ferro 9.71 10-8 6.5 10-3
Piombo 20.7 10-8 3.4 10-3
Questo effetto è di solito impiegato per la costruzione di termometri a resistenza ( e.g.
al platino).
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Resistività elettrica e mobilità nei semiconduttori
Nell’espressione della conducibilità elettrica nel modello di Drude:
m
ne s
2
1. La conduzione può essere data sia da elettroni in BC che da lacune in BV
2. m → m* massa efficace al minimo banda di conduzione ( massimo banda di valenza )
3. → < m> è mediato sulla distribuzione di velocità degli e di conduzione ( h di valenza)
4. v → vth velocità dell’elettrone in banda di conduzione ( lacuna in banda valenza)
5. n densità di elettroni in banda di conduzione ( lacune in banda di valenza)
si considerano ora le seguenti modifiche:
pn
h
pm
n
nmpn pene
m
pe
m
ne
sss
*
2
*
2
con: n,p = mobilità di elettroni in banda di conduzione ( lacune in banda di valenza )
*
,
,
,
pn
pnm
pnm
e
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In generale m dipende dall’energia del portatore e dalla temperatura:
Con r esponente che varia da -1/2 ( scattering da vibrazioni reticolari acustiche ) a
+3/2 ( scattering da impurezze ionizzate ). Facendo la media di m sulla distribuzione
di velocità dei portatori per un semiconduttore non degenere ( quindi utilizzando la
statistica di Maxwell Boltzmann ) si ottiene la seguente espressione per :
r
B
mTK
e 0
)!2
3(
3
40 rm
Con 0 fattore di proporzionalità in generale dipendente da T. Dato che è
contenuto nella mobilità può però essere utile esprimere direttamente la
dipendenza da T di :
*
,
,
,
pn
pnm
pnm
e
Dipendenza da T di m
0
2/3
3
4
TKde
TK B
TK
B
mmB
ee
e
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Scattering da impurezze neutre
Prevale a T basse quando si ha congelamento dei portatori nelle impurezze, quindi la maggior
parte di esse sono neutre, e il contributo dei fononi è trascurabile. La mobilità risulta
indipendente da T, inversamente proporzionale alla concentrazione di impurezze e linearmente
dipendente dalla massa efficace m*.
Scattering da impurezze ionizzate.
Prevale per elevate concentrazioni di impurezze, a medio/alta T quando sono tutte ionizzate. La
mobilità risulta dipendente da T3/2, inversamente proporzionale alla concentrazione di impurezze
ionizzate NI e proporzionale a m*-1/2 .
Scattering da vibrazioni reticolari.
A bassa T il modo di vibrazione acustico prevale su quello ottico. In questo caso la mobilità
risulta dipendente da T-3/2 ( acustiche, T-1.67 per quelle ottiche ). Nel modo acustico è anche
proporzionale a m-5/2, da cui si ha elevata mobilità per piccola massa efficace. Lo scattering da
fononi ottici è importante nei cristalli ionici.
Dipendenza della mobilità dei semiconduttori da T,m*, N
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Andamento con la temperatura delle mobilità di elettroni e
lacune in alcuni semiconduttori
In generale si hanno più fenomeni il cui effetto si combina, si tiene conto di una
media sulla mobilità tipo: che include i vari meccanismi di
scattering.
n
i i1
11
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Diminuzione della mobilità all’aumentare della concentrazione del drogante (n =ND+,
p=NA-) dovuta a scattering da impurezze ionizzate. La differenza nelle mobilità per uno
stesso tipo di portatore in diverso tipo di diverso tipo di Si ( n o p) parzialmente
dovuta a interazioni tra i portatori carichi.
Mobilità in Silicio a T ambienteMobilità in Silicio al variare di T
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Dipendenza della conducibilità elettrica dalla Temperatura in semiconduttore
s nem
ne m
*
2
La dipendenza della mobilità da ~ T-2 è particolarmente visibile nel regime
estrinseco, dove n è costante.
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Coefficiente di Hall nei semiconduttori
Nell’espressione del coefficiente di Hall nel modello di Drude:
neRH
1
1. n è densità efficace di elettroni in banda di conduzione ( lacune in banda di valenza)
2. ci può essere contributo sia degli elettroni in BC che delle lacune in BV
3. I meccanismi di scattering devono essere tenuti in considerazione attraverso m
si considerano ora le seguenti modifiche.
2
2
)(|| nbp
nbp
e
rR hH
con: b n/p = rapporto tra mobilità di elettroni in BC e lacune in BV
rh = fattore di Hall
2
2
m
mhr
Otteniamo:
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fattore di Hall
Nell’approssimazione del tempo di rilassamento
r
B
mTK
e 0
otteniamo i seguenti valori del fattore di Hall
Scattering r rH
Impurezze ionizzate +3/2 1.93
Impurezze neutre 0 1
Fononi acustici -1/2 1.18
Fononi ottici bassa T 0 1
Fononi ottici alta T +1/2 1.10
Piezoelettrico ( fononi acustici in materiali polari) +1/2 1.10
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Coefficiente di Hall e regimi di conduzione
La misura dell’effetto Hall permette di distinguere tra conduzione per elettroni o
per lacune. RH cambia infatti segno se il semiconduttore è di tipo p o di tipo n:
Tipo p ( p>>n ) ;|| pe
rR hH Tipo n ( n>>p ) .
|| ne
rR hH
Notiamo che RH non si annulla nel caso intrinseco ( p = n ) ma per p = nb2. Per
esempio in silicio n = 1450 p = 450 quindi RH cambia segno per p ~ 10 n. Altri
materiali possono presentare b ~ 100. Nel caso intrinseco p = n = ni :
)1(
)1(
||
b
b
ne
rR
i
hH
Perciò per b > 1 ( come avviene in generale ) nel caso intrinseco domina la
conduzione per elettroni.
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Andamento di RH per semiconduttore tipo p (b > 1) in funzione della temperatura.
Distinguiamo 4 regimi:
I regione intrinseca : RH expEg/(2KT)
II regione di conduzione mista: RH è ancora negativo ma diminuisce in
modulo all’aumentare del rapporto p/n, RH cambia segno per p/n = b2
III regione di esaustione: RH = rh/(pe)
IV regione di congelamento dei portatori RH expEa/(KT)
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Resistività e RH possono essere misurate simultaneamente per determinare la mobilità
Definiamo mobilità di Hall: H = RH s rH .
InSb tipo p
Regime intrinseco
Conduzione mistaEsaustione ( regime estrinseco )
Notiamo che la mobilità dipende
dal campo magnetico applicato,
perciò la temperatura ove RH = 0
aumentando quando B aumenta.
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All’equilibrio termico: p = Nve(Ev-Ef)/KT ; n = NCe
(Ef-Ec)/KT vale la legge di azione di
massa: pn = ni2 = NvNCe
-Eg/KT . Se non siamo all’equilibrio termico si ha: pn ≠ni2 ;
si instaurano processi che tendono a riportare il sistema all’equilibrio. In questi
processi prevale la ricombinazione e-h quando pn > ni2 , la generazione termica
quando pn < ni2.
Processi di generazione – ricombinazione nei semiconduttori
Processo per cui i due portatori carichi si annichilano a vicenda: l’elettrone va a
occupare lo stato vuoto associato con la lacuna. Durante tale processo viene
rilasciata un’energia pari alla differenza di energia tra stato iniziale e stato finale
dell’elettrone.
- Ricombinazione radiativa: energia emessa in forma di fotone;
- Ricombinazione non-radiativa: energia rilasciata in forma di uno o più fononi;
- Ricombinazione Auger: energia rilasciata come energia cinetica di un altro
elettrone/lacuna.
Processi di ricombinazione e-h
- Ricombinazione Shockley-Read-Hall
(SRH): il processo è mediato da un livello
intermedio nel gap dovuto ad un difetto
reticolare. Esso cattura l’elettrone dalla
banda di conduzione, successivamente
l’elettrone nella trappola si ricombina con
una lacuna in banda di valenza. Processo
di ricombinazione prevalente nei
semiconduttori a gap indiretto.
e
ec
ev
Banda-banda Trap-
assisted
(SRH)
- Ricombinazione banda-banda: un elettrone in banda di conduzione si
ricombina direttamente con una lacuna in banda di valenza. Ricombinazione
prevalente, generalmente anche radiativa, nei semiconduttori a gap diretto.
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Questo meccanismo di ricombinazione dipende dalla concentrazione di
elettroni e lacune libere, perciò, il tasso di ricombinazione banda-banda
deve essere proporzionale al prodotto pn:
Re = Rec pn.
Con Rec = coefficiente di ricombinazione All’equilibrio termico il tasso di
ricombinazione deve essere uguale al tasso di generazione termica Gthpoichè np = ni
2 possiamo scrivere Gth = Recni2. In condizioni di non
equilibrio il tasso netto di ricombinazione U è proporzionale a pn-ni2 :
U = Rec ( pn – ni2) ,
Ricombinazione Banda-Banda
e ec
ev
Banda-banda
In condizioni di bassa iniezione, quando
l’eccesso di portatori Dp = Dn è molto minore
dei portatori maggioritari, in un semiconduttore
tipo n abbiamo: pn = p0+Dp e nn ≈ ND quindi:
.p
Dec
ppNRU
DD
Con p = vita media dei portatori minoritari: .1
Dec
pNR
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Ricombinazione Auger
La ricombinazione Auger è un processo in cui un elettrone ed una
lacuna ricombinano in una transizione banda-banda, ma l’energia
risultante viene data ad un altro portatore, elettrone o lacuna.
e
ec
ev
Auger
Il coinvolgimento di una terza
particella cambia il tasso di
ricombinazione, per questo il
processo viene trattato
differentemente dalla
ricombinazione banda-banda.
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La ricombinazione Auger coinvolge tre particelle: un elettrone ed una lacuna
che ricombinano in una transizione banda-banda ed un elettrone o lacuna
che assorbe l’energia rilasciata. L’espressione del rate di ricombinazione è
perciò simile a quello della ricombinazione banda-banda ma include anche le
densità degli elettroni e delle lacune che ricevono l’energia rilasciata dalla
annichilazione elettrone-lacuna.
I difetti reticolari sono caratterizzati da livelli energetici posti all’interno del gap
proibito. Essi scambiano elettroni e lacune con le bande di conduzione e valenza. Il
tasso con cui avvengono questi processi è descritto mediante i coefficienti di
cattura cn,cp ed emissione en,ep rispettivamente per elettroni/lacune.
Parametri rilevanti di un difetto: livello energetico di energia Et, sezione d’urto per la
cattura di un elettrone/lacuna sn,sp (esprime la probabilità intrinseca che il difetto
catturi un portatore), la concentrazione del difetto nel materiale, Nt .
Ricombinazione assistita da difetti
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ev
ec
ep cp ev
eccnensn,Nt,Etsp,Nt,Et
Nel determinare i coefficienti bisogna tener conto che gli elettroni sono emessi
(le lacune catturate) dai livelli energetici occupati con elettroni (nt), mentre
elettroni sono catturati (le lacune emesse) dai livelli vuoti (Nt-nt).
Nt = concentrazione totale di livelli energetici; nt = concentrazione di livelli occupati,
n = concentrazione di elettroni liberi; p = concentrazione di lacune libere;
vn = velocità termica media elettronica; vp = velocità termica media della lacuna
sn = sezione d’urto per la cattura di un elettrone;sp = sezione d’urto per la cattura di una lacuna;
Il difetto non occupato viene esposto ad un flusso di elettroni liberi per unità d’area
dato da: nvn, il numero di elettroni catturati dagli stati vuoti nell’intervallo Dt è:
Dnt = sn vn n (Nt-nt) Dt.
Definiamo coefficiente di cattura cn:
Analogamente per le lacune:
nvcnNt
nnnn
tt
sD
D 1
pvc ppp s
ev
ec
cp
cnEt
Coefficienti di cattura
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L’occupazione del livello nt/Nt è determinato dalla competizione tra processi
di cattura ed emissione.La relazione che descrive il tasso di occupazione del livello è:
All’equilibrio termico i processi di emissione e cattura devono bilanciarsi sia per gli
elettroni che per le lacune:
quindi l’occupazione delle trappole è determinata dai rapporti:
tpttp
ttntn
ncnNe
nNcne
tpnttpnt ncenNecdt
dn
pp
p
nn
n
t
t
ec
e
ec
c
N
n
Ev
Eccn
en
Et
Equilibrio termico: bilancio tra cattura ed emissione
Ev
Ec
ep cp
Et
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All’equilibrio termico l’occupazione del livello è determinata dalla
distribuzione di Fermi-Dirac. Per uno stato profondo ( per semplicità
assumo non si abbia degenerazione):
Da cui: ; . Dato che valgono:
otteniamo:
KT
Ece
KT
Ece
tFpp
Ftnn
e
e
exp
exp
1
exp1
KT
E
N
n Ft
t
t e
KTNp
KTNn
FVv
CFc
ee
ee
exp
exp
KT
ENve
KT
ENve
Vtvppp
tCcnnn
es
es
exp
exp
Equilibrio termico: coefficienti di emissione
TK
nB
tc
eTTe
ee
2)(Quindi i coefficienti di emissione dipendono dalla
temperatura con andamento:
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1
1
pve
nve
pvc
nvc
ppp
nnn
ppp
nnn
s
s
s
sAbbiamo visto che: dove:
KT
ENp
KT
ENn
KT
EENp
KT
EENn
tVv
Ctc
FVv
CFc
e
e
exp
exp
exp
exp
1
1
Cinetica dei centri di ricombinazione - Modello di Schockley Read Hall
t
tne
t
ttnc
N
neR
N
nNcR
t
t
t
ttnnecn
N
nn
N
nNnvRRR 1s
Definiamo Rn tasso netto di scambio di elettroni tra banda di conduzione e centro di
ricombinazione come tasso netto differenza tra tassi di cattura ed emissione:
Analogamente per lo scambio di lacune con la banda di valenza:
t
tt
t
tppp
N
nNp
N
npvR 1s
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Riscriviamo: utilizzando:
Per la ricombinazione delle coppie elettrone-lacuna deve valere: Rn = Rp
t
tt
t
tpp
t
t
t
ttnn
N
nNp
N
npv
N
nn
N
nNnv 11 ss
11
1
ppvnnv
pvnv
N
n
ppnn
ppnn
t
t
ss
ss
Da cui possiamo ricavare la frazione di trappole occupate:
Utilizzando questa relazione, che dà la frazione di centri occupati da elettroni,
possiamo ora calcolare il rate di ricombinazione R = Rn (= Rp )
11
2
11ppvnnv
nnpvv
N
nn
N
nnvR
ppnn
ipnpn
t
t
t
tnn
ss
sss
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KT
EE
vppKT
EE
cnn
ipnpn
tvct
eNpveNnv
nnpvvR
ss
ss 2
definendo U = R.Nt , ponendo vn = vp = vth :
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KT
E
VpKT
E
cn
itthpn
tvct
eNpeNn
nnpNvU
ee
ss
ss 2
Conviene riscrivere la relazione utilizzando la concentrazione intrinseca di
portatori ni e l’energia intrinseca ei:
V
CVCi
N
NKTln
22
eee
Riscriviamo n1 e p1 in termini di ni ed ei:
KTE
V
C
KTVC
KT
E
C
i
CVCt
CV
Ct
eN
N
eNN
eN
n
n1
22
2
1
eee
ee
e
quindi, definendo:
V
CVCi
N
NKTln
22
eee
otteniamo : e quindi:
i
itn
nKTE 1lne
.
KT
E
i
it
enn
e
1
Analogamente per le lacune: KT
E
i
ti
enp
e
1
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Osserviamo che U viene massimizzato per Et = ei, cioè solo le trappole vicino a
metà gap risultano degli efficienti centri di generazione/ ricombinazione.
Considerando solo tali difetti l’espressione si riduce a:
ipin
itthpn
npnn
nnpNvU
ss
ss 2
Per bassa iniezione in semiconduttori di tipo n il tasso di ricombinazione netto
diviene:
n
nppnNvU
n
itthpn
s
ss 20 D
p
tthp
ppNv
s
DD
tthp
pNvs
1
con p = vita media del portatore minoritario
in presenza di difetti con concentrazione Nt .
Nel caso sn ≈ sp possiamo anche riscrivere l’espressione di U come:
KT
ECoshnpn
nnpNvU
iti
itth
e
s
2
2
Ricombinazione superficiale
In superficie o alle interfacce abbiamo un grande numero di centri di
ricombinazione a causa della brusca interruzione del cristallo, che comporta
la presenza di molti centri elettricamente attivi. Sono presenti anche
impurezze dovute all’esposizione del semiconduttore all’atmosfera e agli
agenti esterni. Il tasso di ricombinazione netta dovuta a trappole è la stessa
che nel modello SRH :
Con la differenza che la ricombinazione è dovuta ad una densità bidimensionale
di trappole Nst, dato che esse sono presenti solo in superficie.
Per bassa iniezione anche questa espressione può essere semplificata, ad
esempio per elettroni in tipo p abbiamo p >> n and p >> ni , così che se Est ≈ ei :
dove vs, velocità di ricombinazione superficiale, data da:
KT
ECoshnpn
nnpNvU
isti
istthss
e
s
2
2
nvnnNvU spstthss D 0s
Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea
Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17
Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea
Magistrale in Ingegneria Elettronica a.a.16-17
Quando le concentrazioni di portatori sono tali che pn < ni2 il
meccanismo di generazione prevale su quello di ricombinazione. Si può
definire un tempo medio di generazione g tale che:
gi
ipin
itthpn n
npnn
nNvU
ss
ss
/1/1
n
i
p
itthn
i
tthp
ig
n
p
n
n
Nv
np
Nv
nn
ss
11
/1/1
Il tempo medio di generazione dipende dalle concentrazioni di elettroni
e lacune ed ha un valore minimo circa doppio rispetto alla vita media di
ricombinazione.
Generazione assistita da trappole
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Se facciamo incidere su un materiale luce monocromatica in generale parte
dell’onda verrà riflessa, parte trasmessa e parte assorbita.
Proprietà ottiche
Siano Ei , Er , Et rispettivamente campo
elettrico per onda incidente, riflessa e
trasmessa all’interfaccia.
Riflettanza trasmittanza
R= 𝐸0𝑟
𝐸0𝑖T=
𝐸0𝑡
𝐸0𝑖
𝑅(%) + 𝑇(%) + 𝐴(%) = 100%
A → attenuazione dovuto ad assorbimento nel mezzo
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Interazione della radiazione e.m. con la materia
𝐸 = 𝐸0𝑒𝑖 𝑞∙𝑟−𝜔𝑡
𝛻2𝐸 =𝜀𝜇
𝑐2𝛿2𝐸
𝛿𝑡2+
4𝜋𝜎𝜇
𝑐2𝛿𝐸
𝛿𝑡
s conduttività ottica ( transizioni elettroniche da assorbimento di fotoni )
Sostituendo in:
Otteniamo la relazione:
definiamo indice di rifrazione complesso 𝑛 :
con n = indice di rifrazione; k = coefficiente di estinzione:
𝑞2 = 𝜇𝜔2
𝑐2𝜀 + 𝑖
4𝜋𝜎
𝜔
𝑞 = 𝑛𝜔
𝑐=
𝜔
𝑐𝑛 + 𝑖𝑘
Considero l’onda e.m.
𝐸 = 𝐸0𝑒−
𝜔𝑐 𝑘∙𝑟𝑒
𝑖𝜔𝑐 𝑛∙𝑟−𝜔𝑡
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Il termine 𝑒−𝜔
𝑐𝑘∙𝑟
descrive l’attenuazione dell’ampiezza dell’onda con la
distanza percorsa nel mezzo.
Il coefficiente di assorbimento che descrive la diminuzione frazionale di
intensità con la distanza è: con I intensità dell’onda.
𝛼 = −1
𝑑
𝑑𝐼
𝑑𝑟
d spessore del film. Poiché l’intensità è proporzionale al quadrato
dell’ampiezza dell’onda si ottiene:𝛼 =
2𝜔𝑘
𝑐=
4𝜋𝑘
Il termine 𝑒𝑖
𝜔
𝑐𝑛∙𝑟−𝜔𝑡
descrive l’onda che viaggia nel mezzo con velocità di
fase c/n.
𝐸 = 𝐸0𝑒−
𝜔𝑐 𝑘∙𝑟𝑒
𝑖𝜔𝑐 𝑛∙𝑟−𝜔𝑡
Le espressioni:
Si possono utilizzare per scrivere e e s in termini di n e k:
Definiamo la funzione dielettrica complessa:
con e1 = e definita precedentemente come costante dielettrica relativa del
materiale, abbiamo:
;
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𝑞2 = 𝜇𝜔2
𝑐2𝜀 + 𝑖
4𝜋𝜎
𝜔𝑞 =
𝜔
𝑐𝑛 + 𝑖𝑘
𝜀 =𝑛2 − 𝑘2
𝜇
4𝜋𝜎
𝜔=
2𝑛𝑘
𝜇
𝜀 = 𝜀1 + 𝑖𝜀2 = 𝑛2
𝜇
𝜀1 =𝑛2 − 𝑘2
𝜇𝜀2 =
4𝜋𝜎
𝜔=
2𝑛𝑘
𝜇
Per materiali non magnetici n e k possono essere scritti mediante e1, e2 :
𝑛 =1
2𝜀1
2 + 𝜀22 + 𝜀1 𝑘 =
1
2𝜀1
2 + 𝜀22 − 𝜀1
Utilizzando l’indice di rifrazione complesso 𝑛 :
E𝑖 + 𝐸𝑟 = 𝐸𝑡𝐻𝑖 − 𝐻𝑟 = 𝐻𝑡
con Ei , Hi, Er Hr, Et Ht, rispettivamente campo elettrico
e magnetico per onda incidente, riflessa e trasmessa
all’interfaccia e tenendo conto che H è perpendicolare
ad E ed ExH è nel verso di propagazione dell’onda.
Otteniamo 𝐸𝑖 + 𝐸𝑟 = 𝐸𝑡 e 𝐸𝑖 − 𝐸𝑟 = 𝑛𝐸𝑡
Avendo posto = 1. La frazione di onda riflessa è:
La riflettanza è definita come :
𝑟 =𝐸𝑟𝐸𝑖
=1 − 𝑛
1 + 𝑛
𝐻 = 𝑛
𝜇𝐸
𝑅 = 𝑟∗𝑟 =1 − 𝑛
1 + 𝑛
2
=1 − 𝑛 2 + 𝑘2
1 + 𝑛 2 + 𝑘2
La riflettanza per luce incidente a incidenza
normale può essere ottenuta utilizzando le
condizioni al contorno per E ed H
all’interfaccia:
Riflettanza
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Modello di Lorentz - isolanti e semiconduttori. L’elettrone legato al nucleo è
visto come una piccola massa legata ad una massa molto più grande per
mezzo di una molla.
Dipendenza della frequenza di e1, e2 n,k dall’energia del fotone incidente.
e1 = 0
e1 ~ er
Riconosciamo varie regioni ( I, II, III, IV ) dove dominano trasmissione (T),
assorbimento (A) riflessione (R).
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Dipendenza spettrale della riflettività calcolata dai valori di n e k del grafico
mostrato nella slide precedente.
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Semiconduttore reale: riflettività e funzioni dielettriche
In Si il gap è nell’infrarosso e la regione di alta
riflettività è nel visibile, per questo il materiale ha
apparenza metallica. In KCl, La regione di bassa
riflettività si estende fino a 7eV, il materiale si
presenta quindi trasparente nel visibile.
SiKCl
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Coefficiente di assorbimento
Quando la radiazione e.m. passa attraverso il semiconduttore, si ha
assorbimento della radiazione. L’intensità della radiazione, diminuisce con la
distanza percorsa nel semiconduttore con legge:
)()(
xIdx
xdI
Risolvendo tenendo conto di R,
riflettenza all’interfaccia del
semiconduttore a incidenza normale,
si ottiene:
x
o eRIxI )1()(
Io intensità all’esterno del
semiconduttore.
= 104 cm-1 → il 63% della radiazione è assorbito da 1m di semiconduttore.
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Dall’andamento dell’orlo del coefficiente di assorbimento è possibile valutare
il gap del materiale
Vicino all’orlo di assorbimento, il coefficiente di assorbimento può essere espresso
come:
gEh
pg EEh
= 2 o 3 (transizioni permesse o proibite)
Per le transizioni indirette (c) sono coinvolti fononi (con
energia Ep) per la conservazione del momento, sia
assorbiti che emessi. Il coefficiente di assorbimento è :
= 1/2 (transizioni dirette permesse ( a,b ) in figura).(*)
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Esempio: trasmissione ottica da film sottile di In2O3 ( 200nm ) e
determinazione del valore del bandgap dall’andamento dell’orlo di
assorbimento, pari a 3.75eV.
da M. Bruzzi et al., Gas sensing properties of In2O3 nano-films obtained by Pulsed Plasma Deposition
technique, presentato a nanfim Agosto 2016.
Tasso di generazione di coppie e – h per assorbimento di fotoni
e corrente fotoconduttiva
ec
ev
egh
-Il fotone deve avere energia maggiore del gap del semiconduttore: Eph > Eg ;
- L’energia in eccesso Eph – Eg viene rilasciata in forma di energia cinetica
della coppia elettrone-lacuna foto generati.
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La generazione di
coppie è regolata da:
h
IG
opt
he
= coefficiente di assorbimento (cm-1 )
La vita media dei portatori minoritari può essere valutata utilizzando l’effetto
fotoconduttivo. Illuminiamo con fotoni il semiconduttore, si generano
elettroni e lacune in eccesso Dn = Dp, in condizioni stazionarie: Dn = Ge / .
Se al materiale è applicato un campo elettrico la corrente fotoconduttiva
dovuta all’eccesso di portatori è :
EGqnEqJ epnpnPC
D
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Se aumentiamo localmente la concentrazione dei portatori per iniezione in
un punto del materiale si verificherà un processo di diffusione dei portatori
in eccesso attraverso il materiale. La corrente di diffusione è
proporzionale al gradiente di concentrazione, seguendo la legge di Fick
abbiamo, per gli elettroni e per le lacune:
Corrente di diffusione
),(),( trneDtrJ nn
),(),( trpeDtrJ pp
Avendo posto e = valore assoluto della carica elettronica. Notiamo che le
correnti di diffusione di elettroni e lacune viaggiano in senso opposto per
stesso segno del gradiente :
x
n
0dx
dn nv
nJ
x
p
0dx
dp pv
pJ
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Processi di diffusione
Innanzitutto quando descriviamo i fenomeni di diffusione dobbiamo ricordare
che vale l’equazione di continuità che esprime la conservazione della materia.
Sia la concentrazione della quantità che diffonde (una densità volumetrica,
e.g. numero di molecole/massa/carica per unità di volume) mentre J è la
corrente o flusso della grandezza fisica che diffonde:
0
J
t
),(),( trDtrJ
La relazione empirica che si verifica tra J e
è la seguente (legge di Fick):
con segno - a indicare che la corrente J fluisce da una regione dove è
grande verso una regione in cui è minore. D è detta costante di
diffusione, con dimensione [L2/t]=m2/s. Unendo le due equazioni
otteniamo l’equazione di diffusione:
che deve essere valutata
tenendo conto delle condizioni
al contorno.
),(2 trDt
Correnti di deriva e diffusioneIn presenza di un campo elettrico E e di gradiente di concentrazione
avremo sia corrente di deriva che corrente di diffusione:
),(),( trneDEnetrJ nnn
),(),( trpeDEpetrJ ppp
Con: VE
e
KTD nn
e
KTD pp
L’espressione dei coefficienti di
diffusione per un semiconduttore non
degenere è data dalle relazioni di
Einstein:
Esempio: a 300K il valore di KT/e è pari a 25.9mV. Per una
mobilità di 1000cm2/Vs abbiamo: D = 25.9cm2/s.
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KT
EEE
V
C
KTVC
KTC
i
CVCF
CV
CF
eN
N
eNN
eN
n
n1
22
2
e
ee
ee
quindi, utilizzando :
V
CVCi
N
NKTln
22
eee
otteniamo : cioè:
i
iFn
nKT lnee KT
i
iF
enn
ee
Analogamente per le lacune:KT
i
Fi
enp
ee
Possiamo riscrivere n in funzione dell’energia intrinseca ei già vista,
posta circa a metà del gap proibito. Infatti:
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x
xp xn
ec
ev
e
ei
xxp xn
VNoto che se abbiamo campo elettrico nel materiale vale
, il potenziale V avrà un certo andamento lungo lo spessore del materiale, che dipenderà dalla
distribuzione di carica fissa. Per esempio in una
giunzione brusca pn V(x) ha l’andamento di figura.
Tale andamento provoca una curvatura del minimo
della banda di conduzione, del massimo della
banda di valenza e dell’energia intrinseca ei in modo
che ec(x) =-eV(x) . Quindi ei segue l’andamento
del potenziale lungo il dispositivo e vale:
dx
d
edx
dV ie1
dx
d
edx
dVE i
e1
allora si ha:
VE
dx
dnKTEneJ nnn Valutiamo ora le: ;
nel caso di equilibrio (Jn = 0, Jp = 0 ) allo scopo di capire l’andamento di eF in
funzione dello spessore.
dx
dpKTEpeJ ppp
Utilizzando: otteniamo:
dx
d
dx
d
KT
n
KTdx
d
dx
den
dx
dn iFiFKTi
iF eeeeee
1
Utilizzando la relazione: dx
d
eE i
e1 abbiamo:
Allora, la:
dx
d
dx
d
eEneJ iFnn
ee
1
Perciò: 0nJ eF = costante
dx
dnJ Fnn
e
Esempio: giunzione pn in equilibrio
termico, il livello di Fermi è costante
lungo x su tutto il dispositivo.
x
xp xn
ec
ev
eFei
KTi
iF
enn
ee
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Schema delle bande tra metallo e
semiconduttore (barriera Schottky e
contatto ohmico)
Altri EsempiSchema delle bande in transistors
npn e pnp all’equilibrio
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Nel caso il semiconduttore non sia in condizioni di equilibrio si
introduce il concetto di energia di quasi-fermi (imref)
denominata eFn eFp nel caso rispettivamente di elettroni /
lacune. Le relazioni già viste all’equilibrio per la concentrazine
dei portatori liberi divengono:
KTi
iFn
enn
ee
KTi
Fpi
enp
ee
KTi
FpFn
enpn
ee
2
KTi
iF
enn
ee
KTi
Fi
enp
ee
2
inpn
EQUILIBRIO NON-EQUILIBRIO
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L’interpretazione fisica delle energie di quasi-fermi può essere chiarita
riscrivendo le espressioni della densità di corrente in caso di non
equilibrio:
Ricordando che:
otteniamo: , analogamente per le lacune:
La densità di corrente di elettroni / lacune è quindi proporzionale al
gradiente del livello di quasi Fermi corrispondente. Tale gradiente
rappresenta l’insieme dei due contributi dovuti al campo elettrico ed al
gradiente della concentrazione di portatori.
dx
dnJ Fnnn
e
dx
dpJ
Fp
pp
e
dx
d
dx
d
eEneJ iFnnn
ee
1
dx
d
eE i
e1
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Nella regione di svuotamento eFn and eFp sono
praticamente costanti (le concentrazioni di
portatori sono piuttosto alte, ma in tale
regione la corrente è costante → i gradienti
dei livelli di quasi-Fermi devono essere
piccoli. Ne segue che dentro la regione
svuotata vale:
qV = eFn-eFP
Da cui posso determinare le condizioni
al contorno ai bordi della regione
svuotata (bassa iniezione):
KT
qV
PKT
qV
iDPp ene
p
nWn 0
2
)(
KT
qV
nKT
qV
iDnn epe
n
nWp 0
2
)(
Tensione applicata diretta V
2
inpn
p n
+ -
nec
ev
eFp
p
eFn
Tensione applicata inversa V
2
inpn
p n
- +
n
p
eFn
ev
eFp
eC
0 FpFn ee
0 FpFn ee
Esempio: giunzione pn
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equilibrio (a) durante eccitazione ottica (b)
Altro esempio: livelli di quasi Fermi in semiconduttore di tipo n a cui non
è applicata tensione (bande piatte) in condizioni di buio (equilibrio) e
sotto illuminazione.
22
iKT
i nenpnFpFn
ee
0 FpFn eeFpFn ee
22
iKT
i nenpnFpFn
ee
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Esempi di livelli di quasi fermi in eterostrutture
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Equazione di continuità in presenza di generazione/ricombinazione
La cinetica dei portatori nel tempo e nello spazio viene descritta dall’equazione
di continuità, che deve tenere in considerazione anche dei tassi di
generazione e ricombinazione:
n
n
Je
nG
t
n
D
D 1
Siano ad esempio :
( dopo eccitazione ottica spengo la sorgente, la densità di carica è
trascurabile, la generazione termica è trascurabile). L’equazione diviene:
.0;0;0
DGE
t
n
nnD
nn
DD2
Definisco lunghezza di diffusione per gli elettroni: nnn DL
Otteniamo: nL
x
ennxnn
DD 00)(Dn0
x
Dn(x)
Esempio: per Dn = 25.9cm2/s e n = 100s
→ Ln = 0.5mm.
nnn Je
UGt
n
1
Se Dn è l’eccesso di portatori iniettiati, a
bassa iniezione:
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http://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter2/ch2_9.htmhttp://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter2/ch2_9.htm
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In realtà anche l’eccesso di carica Dn contribuisce alla formazione del campo
elettrico, attraverso l’equazione di Poisson. Se generazione e ricombinazione
sono trascurabili l’equazione si scrive:
→ s = conducibilità elettrica
Vale l’equazione e quindi:
con soluzione , = tempo di rilassamento dielettrico
che rappresenta la costante di tempo caratteristica per il ritorno alla neutralità di
carica della carica nel semiconduttore. Possiamo definire una lunghezza
caratteristica di diffusione che chiamiamo lunghezza di Debye:
che rappresenta la distanza di decadimento della carica in eccesso.
r
neE
ee0
D
0
DE
et
n s
r
n
t
n
ee
s
0
D
D
dtetn/
)(
Ds
ee rd
0
DnD DL
01
DnJ
et
n
Tempo di rilassamento dielettrico e lunghezza di Debye
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All’equilibrio termico le profondità della regione svuotata in caso di
giunzioni brusche sono di circa 8LD per il Si 10LD per il GaAs.
Essendo D inversamente proporzionale alla conducibilità elettrica , nel
regime estrinseco LD varia con la concentrazione di drogaggio con
andamento √ND, e.g. T =300K per una densità di drogaggio di 1016cm-3
la lunghezza di Debye è 40nm.
Vale l’equazione di continuità: nnn Jq
UGt
n
1
Considerando che idealmente G, tasso di generazione, è nullo, in condizioni di non
equilibrio stazionario, in caso monodimensionale diviene:
02
2
dx
ndD
dx
dEn
dx
dnEU nnnn
nn
Abbiamo usato: Un = Up = U rate di ricombinazione netto, dato che per la
neutralità della carica: nn- nn0 ~ pn – pn0 (bassa iniezione). Moltiplicando
l’equazione per gli elettroni per ppn e quella per le lacune per nnn si ottiene:
02
2
dx
pdD
dx
dEp
dx
dpEU npnp
np Analogamente per i portatori minoritari :
02
2
0
dx
pdD
dx
dpE
pn
pnpp nn
n
n
p
n
nnnn
Esempio di utilizzo dell’equazione di continuità per il calcolo della corrente nel
dispositivo. Torniamo alla giunzione pn
Equazione di Schockley
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Le equazioni per la densità di corrente già viste riguardano le condizioni
stazionarie. In generale i fenomeni dipendenti dal tempo sono descritti
dalle equazioni di continuità. Qualitativamente, la variazione netta della
concentrazione di portatori per unità di tempo è data dalla differenza tra
generazione e ricombinazione più il flusso netto di corrente che entra ed
esce dalla regione di interesse.
Nel caso unidimensionale e di bassa iniezione si riscrivono
per i portatori minoritari (elettroni in tipo p e lacune in tipo n):
nnn Jq
UGt
n
1
ppp Jq
UGt
p
1
2
2
0
x
nD
x
nE
x
En
nnG
t
n pn
p
nnp
n
pp
n
p
2
2
0
x
pD
x
pE
x
Ep
ppG
t
p np
nppn
p
nnp
n
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Esempio:
Decadimento di un eccesso di portatori con il tempo
Semiconduttore tipo n, illuminato con rate uniforme Gp, spessore del campione
molto più piccolo di 1/. Valgono: E = 0, dE/dx=0 dpn/dx=0
In condizioni stazionarie dpn/dt = 0 e quindi
pn – pn0 =pGp = costante . Se spegniamo
la sorgente al tempo t = 0 abbiamo
con condizione
al contorno pn(t=0) = pn0 +pGp, pn(∞)=pn0 con soluzione: pn(t)=pn0+pGpexp(-t/p)
p
nnp
n ppGt
p
0
p
nnn pp
t
p
0
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Decadimento dei portatori in eccesso con la distanza
Poniamo di iniettare da un lato portatori in eccesso, per esempio illuminando
con luce di energia maggiore del gap. Per esempio il coefficiente di
assorbimento sia 106cm-1 così che l’intensità del segnale ottico si riduce di e
dopo 10nm. All’interno del semiconduttore quindi G = 0. Allo stato
stazionario c’e un gradiente di concentrazione vicino alla superficie di
iniezione. Per un semiconduttore tipo n abbiamo, senza campo elettrico
applicato:
2
2
00x
pD
pp
t
p nn
p
nnn
pLx
nnnn epppxp
00 )0()(
con condizioni al contorno pn(x=0) =
costante e dipendente dal livello di
iniezione, pn(∞) = 0. La soluzione è:
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Nell’assunzione di bassa iniezione: pn
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Risoluzione dell’equazione
ppp DL = lunghezza di diffusione dei minoritari ( lacune )Definisco:
Densità di corrente nel punto x = xn:
1exp
0
TK
qV
L
pqD
dx
dpqDJ
B
a
p
np
x
npp
n
Similmente nel lato p in x = -xp:
1exp
0
TK
qV
L
nqD
dx
dnqDJ
B
a
n
pn
x
p
nn
p
1exp
TK
qVJJ
B
as
La corrente totale è data dalla somma: J = Jn + Jp
n
pn
p
np
sL
nqD
L
pqDJ
00
Equazione di Schockley
An
in
Dp
ip
sNL
nqD
NL
nqDJ
22
con:
o anche :
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Distribuzione dei
portatori minoritari e
delle densità di corrente
Jn, Jp per tensione
applicata ai capi della
giunzione pn (a) diretta
(b) inversa
(a) (b)
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Caso non ideale: tasso di generazione non nullo dovuto a difetti
Nella regione svuotata di una giunzione pn si verifica:
pn
Andamento sperimentale della caratteristica I-V di una giunzione pn di silicio
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Fenomeni a campo elettrico
elevato
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Dove il secondo termine al secondo membro rappresenta il tasso di perdita di
energia dell’elettrone per scattering anelastico, rispetto al valore di equilibrio eeq (E
tempo di rilassamento per l’energia con definizione analoga a m). Il fenomeno di
rilassamento energetico si intende dovuto ad emissione – assorbimento di fononi
(le impurezze provocano scattering elastico). In regime stazionario :
Energia del portatore dovuta all’applicazione di campo elettrico
E
eqvEe
dt
d
eee
All’equilibrio (campo elettrico nullo) i portatori scambiano fononi con il reticolo: li
assorbono ed emettono in modo che il rate di scambio netto sia nullo, hanno
perciò stessa T del reticolo. Sia eeq l’energia del portatore all’equilibrio. In
presenza di campo elettrico ai portatori viene fornita la potenza: P = |F·v|=e E· v.
Il rate di variazione dell’energia del portatore e, nel tempo è dato da:
0dt
de
e l’energia dell’elettrone diviene :
aumenta quindi per effetto del campo elettrico ed è superiore al valore di
equilibrio.
Eeq eEvee
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In pratica, si preferisce utilizzare , al posto delle energie, valori di temperatura a loro correlati.
La temperatura che associamo all’energia media del portatore è data dalla legge:
Utilizzando le temperature invece delle energie in condizioni stazionarie
abbiamo:
dove abbiamo usato: v = E.
23 e
KTe
Elettroni caldi
E
eB
TTKeE
2
32
All’equilibrio termico Te = T temperatura del
reticolo, T. Se Te è solo un po’ più grande di T il
trasporto elettronico segue ancora la legge di Ohm
e diciamo che gli elettroni sono tiepidi ( warm
electrons). Se invece Te >> T gli elettroni sono
lontani dall’essere in equilibrio con il reticolo : essi
si dicono caldi (hot electrons). La descrizione
completa del caso di gas elettronico di non
equilibrio si ottiene derivando la funzione di
distribuzione elettronica dall’equazione di trasporto
di Boltzmann. Tale trattazione è al di là degli scopi
di questo corso.
Rappresentazione schematica del
bilancio di energia dei portatori
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Saturazione della velocità di deriva nei semiconduttori
Uno degli effetti più noti degli elettroni caldi è la saturazione della velocità di deriva.
Se a campi elettrici bassi vale la relazione v = 0 E con 0 mobilità definita nei paragrafi
precedenti, per campi elettrici elevati si osserva una sublinearità e quindi una
saturazione della velocità di deriva, il che significa che la mobilità dipende dal campo
elettrico, con andamento alla E-1 quando E è sufficientemente elevato.
La spiegazione data da Schockley e Ryder nel 1954 sulla saturazione della velocità a
campi elevati è basata sul fatto che i portatori emettano un fonone ottico nel momento in
cui essi raggiungono l’energia corrispondente . Il modello deriva
un’espressione per la velocità di saturazione pari a :0 2/1
0
*3
8
mvs
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Streaming dei portatori caldi e saturazione della velocità di deriva
Diamo qui un’analisi qualitativa del fenomeno considerando il caso seguente.
Assumiamo per semplicità che
-scattering elettronico per energie sotto il valore del fonone ottico trascurabile ( cio è
verificato, in semiconduttori poco drogati, per le basse temperature, cioè per kT
Periodo di moto in cui avviene il moto accelerato dal campo ( )
Per trovare una velocità media di deriva mediamo la (1) sul periodo di moto accelerato:
Quindi sia la velocità di deriva che l’energia dell’elettrone risultano perciò non dipendere
dal campo elettrico: in questo regime sono caratterizzati da un valore di saturazione.
In realtà, lo streaming da solo non può spiegare gli effetti di saturazione della velocità,
specialmente alle alte temperature. il fenomeno si realizza se: (1) la temperatura è abbastanzabassa (KT
In generale: quando il campo elettrico aumenta, aumenta anche l’energia media degli
elettroni di conduzione, il che comporta un aumento dei fenomeni di scattering e
quindi una diminuzione della mobilità. Poichè nei semiconduttori più comuni la mobilità
ad elevato campo elettrico risulta inversamente proporzionale al campo elettrico, la velocità
di fatto diventa indipendente dal campo elettrico applicato, cioè satura.
Di solito vengono utilizzate delle espressioni empiriche, tipo:
con vs velocità di saturazione, Es costante
caratterizzante il campo elettrico
necessario per raggiungere la
saturazione, parametro. Esempio Si: vs~ 107 cm/s Es = 10 kV/cm e 20kV/cm
rispettivamente per elettroni e lacune. Le
curve di figura per n-Si a diverse
temperature interpolate su tre regioni:
basso campo (v E) , campo intermedio
(v E1/2), alto campo ( v E0).
)
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Gli elettroni caldi, spostandosi lungo la banda di
conduzione, possono venire trasferiti verso minimi
relativi della banda di conduzione caratterizzati da
un’energia più elevata del minimo assoluto. Per i
semiconduttori di tipo III-V elettroni caldi nella valle G
possono essere trasferiti a minimi delle valli laterali X
e/o L.
Conduzione multi-valley nei semiconduttori
La transizione da una valle ad energia più bassa
con massa efficace piccola verso valli a energia
più alta e masse efficaci maggiori porta ad una
regione dove la velocità di deriva e quindi la
densità di corrente elettrica diminuiscono
all’aumentare del campo elettrico applicato →
resistenza differenziale negativa. L’effetto è
utilizzato nei transferred-electron device
(TED), anche chiamati diodi Gunn.
Esempio: lega InyGa1-yAs: velocità massime e resistenze differenziali negative
aumentano all’aumentare della frazione di indio, in quanto la massa efficace nella valle
G diviene più leggera.Mara Bruzzi – Lezione n. 10 - Fisica dei Semiconduttori Laurea
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Conduzione Multivalley : Alcuni dati per il GaAs
Valle con minimo assoluto in G: massa efficace
piccola (0.068m) e quindi elevata mobilità ( = 4000-
8000 cm2/Vs).
Valle di più alta massa efficace (1.2m), bassa
mobilità (100cm2/Vs) posizionata vicino al punto L,
circa 0.3eV più in alto. Densità di stati nella valle a
energia più alta circa 70 volte maggiore.
A causa di questo effetto la velocità di saturazione
ha valore di picco 2x107 cm/s.
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E’ possibile creare dispositivi che lavorano
alla velocità di overshoot: iniettiamo da un
contatto degli elettroni freddi, che, nel loro
cammino, vengono accelerati dal campo
elettrico fino a raggiungere la massima
velocità. Successivamente essi dovrebbero
diminuire la velocità fino al valore di
saturazione stazionario.
Gli elettroni accelerati nella valle centrale possono raggiungere velocità molto
elevate prima di essere trasferite nelle valli dove la massa efficace è maggiore, una
volta in tali valli gli elettroni raggiungeranno perciò una velocità di saturazione piu’
bassa (effetto di transient overshoot ). La velocità massima raggiunta è detta
velocità di overshoot.
Velocità di overshoot
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Se però la lunghezza attiva della regione è scelta in modo da essere
confrontabile con la distanza alla quale si verifica il raggiungimento della velocità
di overshoot, il dispositivo funzionerà con la velocità di overshoot,
significativamente maggiore di quella di saturazione.
Breakdown
Ci sono tre meccanismi alla base del breakdown: l’instabilità termica,
l’effetto tunnel e la moltiplicazione a valanga.
1) breakdown per instabilità termica - a causa della dissipazione termica
dovuta al valore elevato della corrente inversa registrato ad alte tensioni,
la temperatura della giunzione aumenta. A sua volta l’aumento di T porta
ad un aumento della corrente.
La corrente inversa I a temperatura
costante è rappresentata da linee
orizzontali . Le iperboli indicanti la
dissipazione di calore a T costante
(prodotto IV) sono rette nel plot log-
log. La caratteristica I-V ad una certa
temperatura è ottenuta unendo i punti
di intersezione delle due linee per una
stessa T. Vu è detto potenziale di turn-
over. per T elevate a causa della
grande dissipazione abbiamo una
caratteristica con resistenza
differenziale negativa.
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2) breakdown per effetto tunnel (Effetto Zener) – Per campi elettrici elevati
(e.g. 106 V/cm in Ge e Si) comincia a fluire una corrente rilevante nel
dispositivo a causa di un processo di tunneling banda-banda
L’effetto è più rilevante
se il semiconduttore è
molto drogato e quindi
la regione svuotata è
molto sottile, il
fenomeno non è
distruttivo.
L’effetto è utilizzato nei dispositivi per
stabilire una tensione di riferimento.
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http://it.wikipedia.org/wiki/File:Zenerkarakteristiek.pnghttp://it.wikipedia.org/wiki/File:Zenerkarakteristiek.png
Diodo Zener e coefficiente di temperatura
Per 4Eg/q < VBD < 6Eg/q, il breakdown è dato da una
combinazione dei due meccanismi. Si può allora per
esempio connettere un diodo a coefficiente di
temperatura negativo in serie con un coefficiente di
temperatura positivo per produrre un regolatore
indipendente dalla temperatura ( con un coefficiente di
temperatura dell’ordine di 0.002% per °C), che può
essere utilizzato come riferimento di tensione.
Per tensioni di breakdown VBD maggiori di ≈
6Eg/q (≈ 7 V for Si), il meccanismo di breakdown
dominante è la moltiplicazione a valanga e il
coefficiente di temperatura di VBD è positivo. Per
VBD < 4Eg/q (≈ 5 V for Si), il meccanismo di
breakdown è il tunneling banda-banda e il
coefficiente di temperatura è negativo.
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Ionizzazione da impatto
Meccanismo di generazione causato da elettrone/lacuna con energia molto
maggiore /minore dell’orlo della banda di conduzione/valenza. L’energia in eccesso
viene utilizzata per generare una coppia e-h attraverso una transizione banda-
banda.
e
ec
ev
EMoltiplicazione a valanga
Questo processo di generazione causa la
moltiplicazione a valanga nei diodi
semiconduttori contropolarizzati. L’aumento di
energia del portatore dovuto alla presenza di
campo elettrico può essere significativo, in tal
caso l’energia cinetica in eccesso viene
rilasciata ad un elettrone di valenza, dando così
luogo ad una coppia e-h. Con lo stesso
processo i due elettroni risultanti daranno luogo
ad altri due, che a loro volta ne genereranno
quattro, e così via, con un effetto di
moltiplicazione. Al fenomeno di moltiplicazione
a valanga contribuiscono sia gli elettroni che le
lacune.
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Quando il campo elettrico aumenta oltre un certo valore I portatori
acquistano abbastanza energia da eccitare coppie e-h.
In Si : EI = 3.6eV per elettroni, 5.0eV per lacune.
eT, eP, eI, soglie per il campo elettrico (thermal,
optical-phonon and ionization scattering.)
= tasso di ionizzazione = n. di e-h generati da un portatore per unità di
lunghezza percorsa
fortemente dipendente dal campo applicato :
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Considero Ipo corrente entrante dalla parte sinistra della regione svuotata di
spessore WDm. Se il campo elettrico E nella regione svuotata è abbastanza
elevato vengono generate coppie e-h mediante il processo di ionizzazione da
impatto, la corrente di lacune Ip aumenterà con la distanza attraverso la
regione svuotata raggiungendo il valore MpIpo a x = WDm.
Definisco:
Mp = fattore di moltiplicazione = Ip(WDm)/Ip0
n, p = tassi di ionizzazione per elettrone e lacuna
Valutando Ip (x) a WDm si ottiene:
Moltiplicazione a valanga
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Avalanche breakdown voltage VBD = tensione alla quale Mp tende all’infinito
→
Esempio di applicazione: Fotodiodi a effetto valanga (Avalanche
Photodiodes APDs)
In pratica, la massima moltiplicazione possibile in dc sotto illuminazione
è limitata dalle resistenze serie Rs e da effetti di carica spaziale.
I corrente moltiplicata, Ip fotocorrente primaria, VR tensione inversa
applicata, VB tensione di breakdown, n costante dipendente dal
semiconduttore dal profilo di drogaggio e dalla lunghezza d’onda della
radiazione.
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Basic device configurations of avalanche photodiode
Pn junction
Metal semiconductor
Avalanche photodiode with doping profile
The narrow and high field region serves for avalanche multiplication.
Excessive leakage current due to high field at junction edges eliminated by
guard ring structures.
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