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CP-PC-1333CD
2016年12月 中文版第2版（45）
校准服务
为气体流量检测提供各种各样的解决方案
您使用的流量计所测出的测定值与实际值之
间的偏差有多大，您了解吗？
阿自倍尔仪表(大连)有限公司，拥有中国计量法承认的校正设备，可
以为客人提供新产品以及所购产品的校正。
总 部 地址：上海市徐汇区宜山路700号普天信息科技园B2幢8楼 邮编：200233 电话：021-50905580 传真：021-50907205
北京支店 地址：北京市朝阳区朝阳门北大街乙12号1号楼天辰大厦1907房间 邮编：100020 电话：010-65887571/7861 传真：010-65887569
上海支店 地址：上海市徐汇区宜山路700号普天信息科技园B2幢8楼 邮编：200233 电话：021-50905580 传真：021-50909625
苏州支店 地址：苏州市狮山路88号金河国际中心2008室 邮编：215008 电话：0512-68187155/7156/68663538 传真：0512-68187157
广州支店 地址：广州市番禺区市桥东环路397号雅苑大厦南楼406室 邮编：511400 电话：020-34819202/9203 FA部门：020-34819681 传真：020-34819680
深圳支店 地址：深圳市宝安区民康路284号东明大厦715-716 邮编：518131 电话：0755-86264600/4661/4662 传真：0755-86264900
香港部 地址：香港新界荃湾横龙街77-87号富利工业大厦3楼 电话：00852-21496633 传真：00852-21496600
沈阳办事处 地址：沈阳市和平区南京南街1甲欧亚联营商务大厦2403室 邮编：268890 电话：024-23871298 传真：024-23286248
大连办事处 地址：大连市西岗区新开路99号珠江国际大厦 1602室 邮编：116021 电话：0411-84506033 传真：0411-84506023
天津办事处 地址：天津市河西区大沽南路501号恒华大厦1号楼1107室 邮编：300202 电话：022-58170980/0981 传真：022-58170982
青岛办事处 地址：山东省青岛市市南区延安三路220号邮政大厦803室 邮编：266071 电话：0532-83873033 传真：0532-83873033
宁波办事处 地址：宁波市苍松路299弄22号柳汀星座423室 邮编：315012 电话：0574-87499401/87149051 传真：0574-87499451
武汉办事处 地址：武汉市汉阳区十升路特1号龙阳恺悦大厦B座1001室 邮编：430051 电话：027-59520830 传真：027-59520831
成都办事处 地址：成都市成华区建设北路3段2号龙湖三千星A座1108室 邮编：610000 电话：028-83151392/1393 传真：028-83151390
气体流量计在经过多年使用后，受用途、使用条件和环境等影响，其
测定值可能会出现偏差，如果仅以流量计出厂时的精度为依据是很危
险的。尤其当涉及到效率计算、节能评价或商业交易时，必须确保测
定值的可信度。为此，流量计应该定期进行校准。
总 社 阿自倍尔株式会社 日本东京都千代田区丸之内2-7-3 东京大厦
100 100
C M P M Q V
CMSP3~P8
(B)
0.5L/min
2000L/min
4m3/h
150m3/h
2302m3/h
16839m3/h
160m3/h
1600m3/h
35m3/h
11520m3/h
200L/min
12000L/min
2
3
4
6
2
3
4
6
0.5 0.5L/min0 0.5L/min3 3L/min0 3L/min0 10L/min
300L/min
13800L/min
160m3 /h
1600m3 /h
160m3 /h
1600m3 /h
(MCF )
( )
( )
MCFP9~P10
CMGP11~P12
MVFP13~P16
CMPP17~P20
MCSP33
MFF25P34
MFF300P34
MFF200P34
FCP34
1/ 4
1/ 2
2
6
2
6
14
3/ 8
6
1412
12
121
1
1
2
2
121
12
18
乙炔
氨气
流量传感器吸附检查
去除油雾、粉尘
1 2
通过采用MEMS型感热式流量传感器，测量气体的质量流量，
为客户提高产品质量和节能贡献力量。
质量流量计：用于气体流量计量
0.2L/min
20L/min( )
5mL/min
1000L/min
MPCP21~P22
MQVP23~P32
18
14
12
质量流量控制器：用于气体流量控制
专用过滤器
气体入口 气体出口
3 4
氟橡胶 氟橡胶
累积
累积
SUS/SUS316型规格书
-
-
46.04655
45.007
88
88.9
5.8
6.8
4.5
3.1
1.7
1.2
■标准气体型
- -
累积 累积
累积
CMS是一种高性能气体质量流量计，使用了我公司独立研发的微流量传感器μF单元。
气体质量流量计
CM
SC
MS
选型表
例：CMS9500BSRN20010C
中国制造
中国制造
■ SUS型
例：CMS9500BTTN21010C■ SUS316型
：，
：，
：，
：，
4%RD 4%RD 4%RD
4
4
4%RD 4%RD
40
20 40
4%RD 4%RD
注3 注4含 而且
（辽制02000005号）
安 装 方 式
使用氧气(气体类型：S)时，出厂时气体类型设定为氧气，可变更为其它气体，但一旦变更为其它气体，则不可再次设定气体类型为氧气。
5 6
气体质量流量计
CM
SC
MS
规格书
mL/min(标状)、L/min(标状) 是换算为20℃、101.325kPa(1大气压）下的体积流量。 另外，功能设定的「11」，也可把基准温度变更为0～35℃。记载的流量量程是空气/氮气下的流量量程。各气体的流量量程请参阅规格表。
内 容
Ⅰ基本型号
CMS
Ⅱ流量量程
Ⅲ机种
Ⅳ材质
Ⅴ连接
Ⅵ气体种类
Ⅶ输出
Ⅷ附加功能1
Ⅸ附加功能2
Ⅹ附加功能3
Ⅺ附加功能4
Ⅻ附加型号
9500
0002
0005
0020
0050
0200
0500
Ｕ
T
S
V
空气流量量程0 ～ 500mL/min(标状)
空气流量量程0 ～ 2L/min(标状)
空气流量量程0 ～ 5L/min(标状)
空气流量量程0 ～ 20L/min(标状)
空气流量量程0 ～ 50L/min(标状)
空气流量量程0 ～ 200L/min(标状)
空气流量量程0 ～ 500L/min(标状)
右→左：向流，示显带
带显示，流向：右→左
钢锈不 SUS316
UNF连接 CMS200/500 ：3/4-16 UNF、CMS9500/0002/0005/0020/0050 ：9/16-18 UNF
Rc接头连接CMS200/500 ：1/2Rc、CMS9500/0002/0005/0020/0050 ：1/4Rc
Swl连接 CMS0200/0500 ：1/2Swagelok、CMS9500/0002/0005/0020/0050：1/4Swagelok
VCR连接 CMS200/500 ：3/8VCR、CMS9500/0002/0005/0020/0050 ：1/4VCR
体气殊特
输出：4～20mA/0～5Vdc/1～5Vdc
带 RS-485 通讯功能
无附加功能
接气部禁油处理
无附加功能
中国制造
Ｂ
R
Ｔ
E
2
0
1
0
C
选型表
■特殊气体型（本体材质：SUS316）
累积
累积
280
380
1.12
1.52
3.05
3.85
11.2
15.2
28.0
38.0
112
152
280
380
本产品密封部使用了EPIM（三元乙丙橡胶）O型密封圈，用于下述以外的气体时，使用的O型密封圈有可能被破坏。对应气体：氮气（N2）、空气、氩气（Ar）、二 氧化碳（CO2）、氨气（NH3）、乙炔（C2H2）。 氨气与空气中含有的水分接触，会产生腐蚀性，引起故障。请遵守以下条件。（1） 被测定气体露点-20℃以下。（如果是高压贮气瓶供给的气体，露点可以在-40℃以下）（2） 氨气导入配管前，请使用干燥氮气等进行充分地清扫，使接气体部保持干燥。（3） 配管勿对大气开放。（大气中含有湿气，如果对大气开放，接气体部表面会附着水分，引起腐蚀。）
空气、氮气、氩气、二氧化碳、乙炔、氨气（氨气要求露点在-20℃以下的干燥气体)
10 60
9/16-18UNF、Rc1/4、1/4Swagelok、1/4VCR，依型号 3/4-16UNF、Rc1/2、1/2Swagelok、3/8VCR同等品，依型号
例：CMS9500BTTE21010C
累积 累积
累积
气体质量流量计
内 容
Ⅰ基本型号
CMS
Ⅱ流量量程
Ⅲ机种
Ⅳ材质
Ⅴ连接
Ⅵ气体种类
Ⅶ输出
Ⅷ附加功能1
Ⅸ附加功能2
Ⅹ附加功能3
Ⅺ附加功能4
Ⅻ附加型号
0010
0050
0200
0500
1000
2000
Ｕ
T
S
V
Ｂ
R
Ｔ
H
2
01
0
C
规格书
■氢气、氦气型（本体材质SUS316）
选型表
累积
累积
例：CMS0010BTTH21010C
, ,
氦
中国制造
累积 累积
累积
;
;
;
;
4%RD 4%RD 4%RD 4%RD
4L/min
4
4%RD
40
20 40L/min
4%RD 4%RD
4%RD 4%RD 4%RD 4%RD 4%RD 4%RD
9/16-18 3/4-16
安 装 方 式
安 装 方 式
7 8
CM
SC
MS
产 品 名 称 型 号
使用AC电源插头时必要
内 容
专用插口附电气配线(1台CMS需要1根)
无通讯用电气配线2m-无端末处理(8芯)
安装固定件
AC电源插头
AC点源插头连接电气配线
带通讯用电气配线2m-M3.5Y端子(10芯)
带通讯用电气配线5m-M3.5Y端子(10芯)
CMS0010/0050/0200用
CMS0500/1000用
CMS2000用
动作温度范围0～40℃
无通讯用电气配线5m-无端末处理(8芯)
81446594-530
81446594-505
81446594-507
81446594-508
81446628-501
81446721-501
81446856-501
81446957-501
81446594-506
可选部品(另售) 尺寸 (单位:mm)
■ SUS型：CMS9500/0002/0005/0020/0050 ■ SUS316型、特殊气体型：CMS9500/0002/0005/0020/0050
氢气、氦气型：CMS0010/0050/0200
■ SUS316型、特殊气体型：CMS0200
氢气、氦气型：CMS0500/1000
■ SUS316型、特殊气体型：CMS0500
氢气、氦气型：CMS2000
■ SUS型：CMS0200
■ SUS型：CMS0500
或相当的产品
或相当的产品
或相当的产品
或相当的产品
或相当的产品
或相当的产品
CMP
详细信息请参阅说明书CP-UM-5384CD、5207CD。
CMS是一种高性能气体质量流量计，使用了我公司独立研发的微流量传感器μF芯片。
气体质量流量计
（辽制02000005号）
氢气
MC
F MC
F
9
选型表
可选部品（另售品）
详细信息请参阅说明书CP-SP-1276C。
基本型号
连接口径/流量量程
材质 连接燃气种类
电源/输出/通讯 1 2附加 附加 附加
3 副编号 规 格
MCF008001500151025004000500
A
F
RG
ND01D10
00
0KDLYX
0
空气管理用仪表
口径8A （1/4B）0~200L/min（标准）口径15A（1/2B）0~500L/min（标准）口径15A（1/2B）0~1000L/min（标准）口径25A（1B）0~3000L/min（标准）口径40A（1 1/2B）0~6000L/min（标准）口径50A（2B）0~12000L/min（标准）本体材质 铝合金
橡胶材质 HNBR本体材质 铝合金（禁油处理）
橡胶材质 FKMRc 螺丝连接（JIS B 203/ISO7-1）G螺丝连接（JIS B 202/ISO228-1）空气 /氮气24Vdc/4～20mA/事件输出24Vdc/RS-485通讯无
无
无附加规格
硫化对策
带检验报告
硫化对策+带检验报告追踪证明对应
硫化对策+追踪证明对应日本原产
品 名 型 号 缆线长 特 性 线 色
带专用插头的缆线 PA5-4ISX2SKPA5-4ISX3SKPA5-4ISX5SK
2m3m5m
耐油、耐屈性阻燃电缆UL2464 EN规格品
1－茶2－白3－蓝4－黑PA5-4ISX2HK-E
PA5-4ISX3HK-EPA5-4ISX5HK-E
2m3m5m
耐油阻燃电缆UL2464EN规格品
带中继接头的缆线（直通型）
PA5-4ISB2SKPA5-4ISB3SKPA5-4ISB5SK
2m3m5m
耐油、耐屈性阻燃电缆UL2464 EN规格品
PA5-4ISB2HK-EPA5-4ISB3HK-EPA5-4ISB5HK-E
2m3m5m
耐油阻燃电缆UL2464 EN规格品
品 名 型 号 内 容
安装件 81446721-001 MCF0080/0150/0151/0250用测量单元 81447192-201
81447192-22181447192-40181447192-421
MCF□□□□A□ND01□□－□用MCF□□□□A□ND10□□－□用MCF□□□□F□ND01□□－□用MCF□□□□F□ND10□□－□用
MCF0250/0400/0500用（－为「0 「、」 D 「、」 Y」: 无硫化对策）
81447192-60181447192-621
MCF□□□□A□ND01□□－□用MCF□□□□A□ND10□□－□用
MCF0250/0400/0500用（－为「K 「、」 L 「、」 X」：有硫化对策）
电子底板上除显示部、开关部等功能上不能涂漆的部分外，其
它部位涂有ARBROWN公司产HumiSeal绝缘漆。
FCM □□□□F（本体 :铝合金（禁油处理品）、橡胶 : FKM合，不能选择附加3「K 「、」 L 「、」 X」。
MCF0080/0150/0151/0250
MCF0080 MCF0150/0151 MCF0250H1H2H3H4LD
65.846.5341575
2-Rc1/42-G1/4(螺丝深11)
65.846.5341575
2-Rc1/2 2-G1/2(螺丝深15)
79.860.548
23.590
2-Rc1 2-G1(螺丝深19.1)
连接螺丝D
带专用连接器缆线
2-M4 ,螺丝深7(本体固定螺丝)
连接器(M12)
23.5
(90)
(75)
47
H1
27
4824
13.5
(63)
(78)
(4.5)
L
(H2)
(8)
H4
H3
mode
enter
nim/L L VE LA
MCF
MCF0400/0500 mm
MCF0400 MCF0500H1H2H3H4L
W1W2D
93.874.562301006030
2-Rc1 1/22-G1 1/2(螺丝深21.4)
106.887.575
37.511075
37.52-Rc2
2-G2(螺丝深25.7)
2-M5 ,螺丝深7(本体固定螺丝)
带专用连接器缆线
连接螺丝D
连接器(M12)
W2
H4
(H2)
H3
L
H1
W1
34
17
6130.5
mode
enter
nim/L L VE LA
MCF
尺寸
10
规格书
型号
适用气体类型
流量量程[L/min（标准）] 注1
精度
量程比
最小显示流量
使用温度范围
连接口径
直管部长度
材质
使用压力范围
电源
输出信号（瞬时流量流出）
通讯（DC电源可选）
事件输出
事件功能
保护构造
质量（g）
MCF008
0～200
8A(1/4 B)
400
空气、氮气（不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。且不含粉尘和油雾的清洁气体。）
±3%FS
50:1
量程的1/100
-10～+60℃（无冻结）
10D（上游为弯头的场合）
本体接气部：铝合金 外壳：变性PPO-0.07～+1.0Mpa
24Vdc、120mA max/5号干电池4个（电池驱动型）
4～20mA，容许负载电阻300Ω以下（电池驱动型的场合无此功能）
RS-485（Modbus通讯）
开路集电极输出（额定30Vdc、50mA）1点、输出内容可通过事件功能进行选择
可任选累计脉冲输出、瞬时流量上下限报警、累计满输出、警报输出中的一项
IP65（基于JIS C0920及IEC529。以室内安装为前提的防水、防尘防护构造）
MCF015
0～500/0～1000
15A(1/2 B)
400
MCF025
0～3000
25A(1B)
500
MCF040
0～6000
40A(11/2 B)
700
MCF050
0～12000
50A(2B)
1100
(标准)指换算成0℃、101.325kPa时的流量数值。
掌握压缩空气泄露状况
按生产线·部门进行成本管理
工厂的压缩空气泄露量一般为总使用量的30%，如果对泄漏量进行可视化处理，就能及时修补泄露部位，从而减少泄露量。
利用流量累计值及成本显
示功能，可按部门进行成本
换算和分配，以提高成本意
识，实施削减效果评估。
把握合理使用量
可掌握装置的压缩气体使用
量是否合理，并进行最优化
调节，削减压缩空气使用量。
例：MCF0080ARND010000
11 12
CMG系列气体质量流量计是用来测量燃烧炉气体流量的仪表，其流量传感单元采用了感热式微流量传感芯片。
气体质量流量计
±2%FS 低压型:100kPa 以下 中压型:1.0MPa 以下 低压型:150kPa 中压型:1.5MPa
CMG25
规格书
注1 （标准） 表示换算成0℃、101.325kPa(1 大气压) 的体积流量(m3/h)。注2 丙烷气体组成 : 丙烷98%、(LPG)注3 丁烷气体组成 : 丁烷75％、丙烷25%
CMG15型 号Rc 1/2' －
0.50 ～ 4.000.00 ～ 7.000.20 ～ 2.000.00 ～ 3.000.10 ～ 1.000.00 ～ 1.50
140Pa-
1.0 ～ 10.000.00 ～ 16.000.40 ～ 4.000.00 ～ 6.000.30 ～ 3.000.00 ～ 4.50
3.0 ～ 30.00.0 ～ 35.01.00 ～ 10.000.00 ～ 12.000.80 ～ 8.000.00 ～ 10.00
8.0 ～ 80.00.0 ～ 100.02.5 ～ 25.00.0 ～ 30.02.0 ～ 20.00.0 ～ 25.0
15.0 ～ 150.00.0 ～ 170.05.0 ～ 50.00.0 ～ 55.04.0 ～ 40.00.0 ～ 45.0
8.0 ～ 80.00.0 ～ 100.02.5 ～ 25.00.0 ～ 30.02.0 ～ 20.00.0 ～ 25.0
15.0 ～ 150.00.0 ～ 170.05.0 ～ 50.00.0 ～ 55.04.0 ～ 40.00.0 ～ 45.0
215Pa-
210Pa-
500Pa390Pa
1300Pa840Pa
285Pa250Pa
550Pa430Pa
Rc 1' －
CMG40 CMG50Rc 2'
50A JIS 10K RF
约800g －
约2100g 约9kg
约2000g 约10kg
约850g －
口 径
流量范围 m3/h(标准) 注1
瞬时流量显示精度使用压力范围 耐 压压力损失（流体为空气，流量为测量范围上限时）容许环境、气体温度保管环境温度容许环境湿度额定电压消耗功率采样周期瞬时流量输出
事件输出 保护构造 适合规格 ( 仅DC 型) 质 量
螺纹连接法兰连接城市煤气、空气丙烷 注2
丁烷 注3
精确测量仪表指示精确测量仪表指示精确测量仪表指示
螺纹连接法兰连接
输出信号输出范围精度负载电阻
螺纹连接法兰连接
尺寸 (单位:mm)
· CMG150/250
· CMG400/500
· CMG401
· CMG501
Rc 140A JIS 10K RF
21-
（辽制02000005号）
－ 10 ～＋ 60℃（无冻结）－ 20 ～＋ 70℃（无冻结）40℃ 90%RH 以下（无结露）24Vdc、100Vac、200Vac
直流供电型：5.5W以下 交流供电型：2W以下100ms
4～20mAdc0～测量范围上限的400%（可定标）
±0.5%FS300Ω 以下
1a接点：1点 NPN集电极开路输出：1点IP54(JIS C 0920) 防滴、防尘构造
EN61326-1:2006、EN61326-2-3:2006EN61010-1:2001
CM
GC
MG
选型表
■ 空气用 例：CMG150A00410020C
例：CMG150P00210000C
例：CMG150N00410000C■ 城市煤气(13A)用
气体流量计
15A （1/2B）
25A （1B）
40A （1 B）
50A （2B）
Rc螺纹
JIS 10K法兰（仅40A、50A适用）
城市煤气(13A)
4m3/h(标准)（CMG15）
10m3/h(标准)（CMG25）
30m3/h(标准)（CMG25）
80m3/h(标准)（CMG40、50）
150m3/h(标准)（CMG40、50）
瞬时流量4～20mA＋事件输出2
低压(Rc螺纹连接)
中压(JIS 10K 法兰连接)
无通讯
24Vdc
100Vac（50/60Hz）
200Vac（50/60Hz）
中国制造
24Vdc
Ⅰ
基本
型号
CMG
Ⅱ
接管
尺寸
Ⅲ
管路
连接
Ⅳ
气体
种类
Ⅴ
流量
量程
Ⅵ
输
出
Ⅶ
工作
压力
Ⅷ
通
讯
Ⅸ
电
源
Ⅹ
附加
编码
15
25
40
50
004
010
030
080
150
0
1
2
0C
0
1
0
1
1
0
N
说 明
■ 丁烷用
气体流量计
15A （1/2B）
25A （1 B）
40A （1 ）
50A （2 B）
Rc螺纹
丁烷（丁烷75％ 丙烷25％）
1m3/h(标准)（CMG15）
3m3/h(标准)（CMG25）
8m3/h(标准)（CMG25）
20m3/h(标准)（CMG40、50）
40m3/h(标准)（CMG40、50）
瞬时流量4～20mA＋事件输出2
低压
无通讯
24Vdc
100Vac（50/60Hz）
200Vac（50/60Hz）
中国制造
Ⅰ
基本
型号
CMG
Ⅱ
接管
尺寸
Ⅲ
管路
连接
Ⅳ
气体
种类
Ⅴ
流量
量程
Ⅵ
输
出
Ⅶ
工作
压力
Ⅷ
通
讯
Ⅸ
电
源
Ⅹ
附加
编码
15
25
40
50
001
003
008
020
040
0
1
2
0C
0
0
1
0
B
说 明
■ 丙烷用
气体流量计
15A （1/2B）
25A （1B）
40A （1 B）
50A （2B）
Rc螺纹
丙烷气
2m3/h(标准)（CMG15）
4m3/h(标准)（CMG25）
10m3/h(标准)（CMG25）
25m3/h(标准)（CMG40、50）
50m3/h(标准)（CMG40、50）
瞬时流量4～20mA＋事件输出2
低压
无通讯
24Vdc
100Vac（50/60Hz）
200Vac（50/60Hz）
中国制造
Ⅰ
基本
型号
CMG
Ⅱ
接管
尺寸
Ⅲ
管路
连接
Ⅳ
气体
种类
Ⅴ
流量
量程
Ⅵ
输
出
Ⅶ
工作
压力
Ⅷ
通
讯
Ⅸ
电
源
Ⅹ
附加
编码
15
25
40
50
002
004
010
025
050
0
1
2
0C
0
0
1
0
P
说 明
(标准)表示换算成0℃、101.325kPa(1 大气压) 的体积流量(m3/h)。
选择空气用、城市煤气用中压型的场合，请按下表组合选取。
说明 如需检查成绩书，请以型号MF-TEST REPORT订购。
25
40、50
40、50
Rc螺纹
JIS 10K法兰
4-20mA＋事件输出
4-20mA＋事件输出
100/200Vac
24Vdc
100/200Vac
30m3/h
80、150m3/h
80、150m3/h
空气
空气
城市煤气
(13A-46MJ/45MJ)
配管大小 配管形状 气体种类 流量量程 输出 电源
例：CMG150B00110000C
13 14
MV
F MV
F
（辽制02000005号）
感热式涡街流量计
MVF MVF是一种测量流体振荡的涡街流量计，MVF使用了高灵敏度、高响应速度的微流量传感器来测量漩涡频率，它具有很宽的测量范围，其量程比可达100:1。
规格书
型号
连接口径
流量测量范围
(介质为空气，
温度为23℃时)
适用气体
体积流量精度(介质为空气，
温度23℃、压力0.01MPa时）
温度压力补偿后的精度
（压力0.5MPa时）
操作压力（压力传感器精度）
介质温度(温度传感器精度）
使用湿度范围
流量运算/ 输出更新周期
额定电源
消耗电流
模拟输出
积算脉冲输出
通讯1
通讯2
显示部
接气部材质
转换器材质
连接方式
保护构造
适合规格
质量(kg) 注2
MVF080 MVF100 MVF150
MVF050
50A(2B)
7.4 ～ 322m3/h(标准)
7.4 ～ 535m3/h(标准)
12.8 ～ 1280m3/h(标准)
48≤x≤240 ±2%RD
20≤x<48 ±4%RD
≥74m3/h(标准)
±3.3%RD
*******.*m3
7(6.3)
80A(3B)
11.0 ～ 711m3/h(标准)
11.8 ～ 1181m3/h(标准)
28.3 ～ 2825m3/h(标准)
104≤x≤520 ±2%RD
52≤x<104 ±4%RD
≥110m3/h(标准)
±3.3%RD
8(6.6)
100A(4B)
13.7 ～ 1095m3/h(标准)
18.2 ～ 1819m3/h(标准)
43.5 ～ 4351m3/h(标准)
160≤x≤800 ±2%RD
80≤x<160 ±4%RD
≥156m3/h(标准)
±3.3%RD
10
150A(6B)
23.6 ～ 2356m3/h(标准)
39.1 ～ 3913m3/h(标准)
93.6 ～ 9364m3/h(标准）
340≤x≤1700 ±2%RD
142≤x<340 ±4%RD
≥286m3/h(标准)
±3.5%RD
******m3/h
23
压力0.05MPa时
压力0.15MPa时
压力0.5 MPa时
流量表示
瞬时流量
累积流量
“标准”指换算为0℃、101.325kPa（1个大气压）时的体积流量。
空气、氮气、氩气、氧气注1、二氧化碳气、城市煤气(13A)、甲烷、丙烷、丁烷、其它惰性气体及其在爆炸极限范围外的混合气体。
但是，检测气体必须不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。
体积流量精度随工作压力和流量测量范围而变化。%RD：指读数的百分比。
型号：MVF □□□ 1 ：0.0 ～ 0.1MPa(±2%FS @23 ℃ )
型号：MVF □□□ 3 ：0.0 ～ 0.3MPa(±2%FS @23 ℃ )
型号：MVF □□□ 0 ：0.0 ～ 1.0MPa(±1%FS @23 ℃ )
－15～＋60 ℃（ ±2%RD（K标准)）
10 ～ 90%RH 无结露
100ms
24Vdc
100mA 以下
瞬时流量：4～20mAdc ( 容许负载电阻600Ω 以下)
集电极开路输出，接点规格：小于30Vdc、小于20mA。
脉冲权重 MVF050: 0.01、0.1、1、10( 按瞬时流量显示单位)
MVF080/100/150: 0.1、1、10、100( 按瞬时流量显示单位)
RS-485，3线
智能编程软件接口，制造厂维护使用
瞬时流量显示:LCD 6 位 累积流量显示:LCD 8 位
流路:SCS13A μF 传感器: 硅、金、其他 O 型密封圈:4种D( 氟化橡胶)
铝合金(ADC12)
MVF □□□□□ U ：JIS 10K 夹入连接
MVF □□□□□ D ：DIN PN10 夹入连接
MVF □□□□□ A ：ANSI 150 夹入连接
IP67( 以JIS C 0920 及IEC529 屋外设置为前提的防浸构造)
EN61326-2-3:2006
*****.*m3/h（1位小数）
********m3（无小数位）
注1 测量对象气体「氧气」仅对带禁油处理的型号有效。
注2 ( ) 内为本体材质SCS13A 的场合。
详细信息请参阅说明书CP-UM-5380CD。
15 16
选型表 例：MVF0800CUN011000C
基本型号
MVF
接管尺寸
机型 材质 连接方式
气体种类
输出 电源 通讯 方向 选项1
选项2
050
080
100
150
0
L
1
3
CU
D
AN
S
C
G
P
B0
1
1
说 明
感热式涡街流量计50A(2B) 80A(3B) 100A(4B) 150A(6B) 有温度、压力补偿有温度补偿、无压力补偿低压型（操作压力范围0～0.1MPa）；有温度、压力补偿中压型（操作压力范围0～0.3MPa）；有温度、压力补偿本体材质SCS13A夹紧型(带JIS 10K法兰对应垫片)夹紧型(带DIN PN10法兰对应垫片)夹紧型(带ANSI 150法兰对应垫片)空气/氮气氧气二氧化碳城市煤气13A(LNG类)、甲烷丙烷丁烷4～20mAdc输出＋脉冲输出电源24VdcRS-485通讯水平(流向左→右) 转换器在上水平(流向左→右) 转换器在下水平(流向右→左) 转换器在上水平(流向右→左) 转换器在下垂直(流向下→上) 转换器在左垂直(流向上→下) 转换器在左无接气部禁油处理无中国制造
附加编码
Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ Ⅵ Ⅶ Ⅷ Ⅸ Ⅹ Ⅺ Ⅻ
0
1
2
3
4
5
0
1
0
C
流体为氧气时，必须选择禁油处理。订货时需标注模拟输出4～20mAdc对应的流量范围，否则按默认值出厂，仪表出厂后用户不可更改。流体方向与安装方向。
流向 ： 水平(左→右)转换器：上、 下
流向 ：垂直(下→上)
转换器：左
流向 ： 垂直(上→下)转换器：左
流向 ： 水平(右→左)转换器：上、 下
MV
F MV
F
（辽制02000005号）
感热式涡街流量计
MVF MVF是一种测量流体振荡的涡街流量计，MVF使用了高灵敏度、高响应速度的微流量传感器来测量漩涡频率，它具有很宽的测量范围，其量程比可达100:1。
尺寸 (单位:mm)
● MVF050（口径50A） ● MVF080（口径80A）
● MVF100（口径100A） ● MVF150（口径150A）
ADE IN JAPAN
WHILE CIRCUITS ARE ALIV
ECO
VER MUST BE KEPT TIGHT
117
50
127
61
96
44
351
130
208
φ59
70
ADE IN JAPAN
WHILE CIRCUITS ARE ALIV
ECO
VE
R MUST BE KEPT TIGHT
117
50
127
61
126
60
367
130
208
φ59
70
80
117
50
130
208
φ59
71.5
400
151
127
61
96.8
117
50
130
208
φ59
120
100
127
61
吊环
212
428
142
说明 如需检查成绩书，请以型号MF-TEST REPORT订购。
CM
PC
MP
17 18
（辽制02000005号）
中压气体流量计
CMP CMP系列中压气体质量流量计采用我公司独立研发的感热式微流量传感器芯片，测量气体的质量流量，不受温度、压力影响。
CMP050 CMP080 CMP100 CMP150
CMP□□□B规格书
型号适用气体流量量程测量精度（试验基准为环境、流体温度为23±3℃、压力101.325kPa）最小显示流量使用压力范围耐压使用温度范围使用湿度范围采样周期输出信号电源安装方式压力损失连接口径连接法兰规格直管段要求材质
防护等级质量
天然气，请垂询本公司
X—测量流量，根据m3/h的范围不同而不同
中压 10kPa～0.98MPa1.5MPa
-25～＋60℃10～90%RH（无结露）
1s累积脉冲输出：开路集电极 瞬时流量输出：4～20mAdc 各1点
内置锂电池（3V），一般操作状态下使用10年水平/垂直（型号中有指定）
1.8kPa以下（进口压力300kPa，13A、最大流量时）
JIS10K RF安装在专用过滤网的下游时不需要直管段
本体：SUS304/SCS13A整流部：SUS430/Fe-20Cr-5A/SUS304
IP65（根据JIS C 0920及IEC529而定，以设置在室外为前提的防水、防尘构造）
160m3/h
32≤x≤160 ±1%RD 8≤x＜32 ±2%RD
0.8m3/h
50A(2B)
15kg
400m3/h
80≤x≤400 ±1%RD 20≤x＜80 ±2%RD
1.9m3/h
80A(3B)
24kg
650m3/h
130≤x≤650 ±1%RD 20≤x＜130 ±2%RD
3.0m3/h
100A(4B)
29kg
1600m3/h
320≤x≤1600 ±1%RD 80≤x＜320 ±2%RD
7.5m3/h
150A(6B)
45～66kg
CMP□□□B选型表
中压气体流量计
50A(2B)
80A(3B)
100A(4B)
150A(6B)
电池驱动
最高使用压力0.98MPa
最高使用压力0.3MPa
接气部材质SUS304/SCS13
JIS10KRF法兰
中国天然气
水平（流向 左→右）
水平（流向右→左）
垂直（流向 下→上）
垂直（流向 上→下）
无
无
检查成绩书
中国制造
基本型号
CMP
接管尺寸 机型 压力 管路连接 气体种类 方向 附加1 附加2 附加3 附加编码
050
080
100
150
B
B
A
材质
S
J
C0
0
1
2
3
00
说 明
D
C
注1 在15℃、0.98kPa时的换算值，基准温度可以另行指定。
注1
天然气，中压气体流量计
交易流量
表
详细信息请参阅说明书CP-UM-5385CD。
例：CMP050BASJC0000DC
19 20
CM
PC
MP
（辽制02000005号）
中压气体流量计
CMP CMP系列中压气体质量流量计采用我公司独立研发的感热式微流量传感器芯片，测量气体的质量流量，不受温度、压力影响。
尺寸 (单位:mm)
● CMP0500 ( 口径 50A）
● CMP1500 ( 口径 150A）
φ155
4-φ19
φ155
φ120φ50
4248
JIS 10K 50A RF
275
42.5
55
220
269
214
120
87 155
把手 把手
防倒固定件
(配管设置后请去除)
配管连接口 G1/2
13346.5
● CMP0800 ( 口径 80A）
φ185
55
42.5
15587
284.5
229.5
340
169 防倒固定件
8-φ19
φ185
φ150
φ80
4248
377
15
JIS 10K 80A RF
配管连接口 G1/2
把手 把手
(配管设置后请去除)
● CMP1000 ( 口径 100A）
210
8-φ19
φ210
φ175
φ100
4248
398.5
15
JIS 10K 100A RF
42.5
55
15587
199
238.5
400
293.5
防倒固定件
(配管设置后请去除)
把手手把
配线连接口G1/2
326
φ280
200
400
271
326
87
55
42.5
防倒固定件
配线连接口 G1/2
吊环吊环
8-φ23
φ280
φ240
φ150
66451
4842
JIS 10K 150A RF
155
(配管设置后请去除)
CMP□□□F规格书 CMP□□□F选型表
测量范围依照气体的种类而变化
● 气体类型和测量范围 单位：m3/h（标准）
尺寸 (单位:mm)
型号 CMP050F CMP080F CMP100F CMP150F
适用气体 空气/氮气，氩气，城市煤气13A（LNG，45/46MJ/m3），丙烷，丁烷，二氧化碳。氧气。
气体必须干燥，且不含腐蚀性气体（例：氯，硫，酸等）。
气体也必须清洁，不含粉尘和油雾。
流量范围 0～160m3/ h（标准） 0～400m3/ h（标准） 0～650m3/ h（标准） 0～1600m3/ h（标准）
（标准）：指换算为0℃，101.325kPa下的气体体积流量值（m3/ h）
精度
1/20～1/5的流量范围：±2%rdg
操作压力范围 0～1.0MPa
采样周期 160ms±10%
输出信号 瞬时流量输出：4-20mAdc（负载电阻最大600Ω），最大输出24mA
接点输出 3 SPST 继电器接点输出。（公共点COM）
积算脉冲输出 2开路的集电极输出
外部接点 输入点数 1
输入 功能 专用于积算复位
通讯功能 RS-485接口，5线式
电源 85～264Vac 50/60Hz
消耗功率 最大10VA
接管尺寸 50A（2B） 80A（3B） 100A（4B） 150A（6B）
重量 21kg 24kg 29kg 45kg
型号 CMP050F CMP080F CMP100F CMP150F气体类型
0.0～160.0 0.0～400.0 0.0～650.0 0.0～1600.00.0～160.0 0.0～400.0 0.0～650.0 0.0～1600.0
0.0～60.0 0.0～140.0 0.0～220.0 0.0～500.0
0.0～120.0 0.0～300.0 0.0～480.0 0.0～1200.0
0.0～160.0 0.0～400.0 0.0～650.0 0.0～1600.0
空气/氮气
城市煤气13A(45/46MJ/m3)
丙烷
二氧化碳（CO2)
氧气
基本
型号
CMP
050
080
100
150
Ｎ
Ｓ
0
1
2
3
F
S
J
０
D
C
1
Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ Ⅵ Ⅶ Ⅷ Ⅸ Ⅹ Ⅺ Ⅻ
接管
尺寸
管路
连接
气体
种类
选项
1
选项
2
电
源
材
质
输
出
流
向
说明
附加
编号
hL
255 285
340 285
400 295
型号
CMP050F
CMP080F
CMP100F
CMP150F 400 330
1/5～ 1/1的流量范围： ±1%rdg
%rdg：指示值的百分比
·水平 ·垂直
流向 流向
流向 流向
中压气体流量计
50A(2B)
80A(3B)
100A(4B)
150A(6B)
供电85～264Vac
最高使用压力0.98MPa
本体材质SUS304/SCS13
JIS10KRF法兰
空气/氮气（可变更为其它标准气体）
氧气
瞬时流量4～20mA＋累积脉冲
水平（流向 左→右）
水平（流向 右→左）
垂直（流向 下→上）
垂直（流向 上→下）
接气部禁油処理
检查成绩书
中国制造
例：CMP080FASJN001DC
A
压
力
可测量流量随气体类型而变化，请看附表。流向可从下面4种类型中选择，LCD显示盘平行于管道。
MP
C气体质量流量控制器
21 22
MPC
MP
C
世界最小(48mm□×深73.7mm)重量最轻(300g)的质量流量控制器
选型表 例：MPC0020BBRN01000C
。
盘装式质量流量控制器
基本型号MPC
范围 机型管道材质
连接方式
气体种类
备用附加功能1
附加功能2
附加功能3
附加功能4
附加编码
9500
0002
0005
0020
B
B
R
N
00
1
2
C
0
0
0
说 明
0.020～0.500L/min（标状）
0.08～2.00L/min（标状）
0.10～5.00L/min（标状）
0.4～20.0L/min（标状）
带一体型显示器
黄铜(镀镍)
Rc1/8
氮气/空气、氩气、二氧化碳
－
无附加功能
有模拟输入/输出功能(无RS-485通讯)
有RS-485通讯(无模拟输入/输出功能)
无附加功能
无附加功能
无附加功能
中国制造
L/min(标状)表示换算为20℃、1个大气压时的体积流量。此外，通过功能设定可使参考温度变为0℃、25℃、35℃。
在出厂时，气体种类设定为空气/氮气，但是，可通过更改气体种类的设定，将气体种类设定为氩气、二氧化碳。并且，控制流量的范围因气体种类而异。
可选附件（另售）
部件号 说明 81446927-00181446917-501MLP200A100
专用外壳箱安装支架编程软件（含CD-ROM及编程电缆）
（辽制02000005号）
规格书
控制流量范围一览
型 号阀门方式阀门动作标准全量程流量
MPC9500 MPC0002
MPC9500 MPC0002
MPC0005 MPC0020
（氮气换算值）气体种类
控 制
压 力
温 度湿 度模拟输出 注4
注3
注7
事件输出外部接点输入通 讯电 源接气部材质连接方式安装方式质 量适合规格
响应速度精 度必要差压操作差压范围耐 压允许工作范围温度允许环境湿度范围输出信号输出数输入数方 式额定电压
比例电磁阀不通电时-关(N.C.)
。用使能才号型的能功出输拟模带有只
。)状标(nim/L(量流积体的时压气大个1，℃02示表)状标(nim/L注1
注3
。件软程编用专用使须必。用使能才号型的能功讯通584-SR带有只
℃53和℃52、℃0为更变可也度温准标 。表下阅参请，同不围范量流的制控可类种体气据根
获得全量程流量所需的最小差压。即使实际差压在必要差压以下也可工作(但是可控制流量范围变小)。 注4注5注6
也有氧气用的型号，如有需要，请向本公司销售人员咨询。注7
注1 注20.500
L/min(标状)2.00
L/min(标状)5.00
L/min(标状)20.0
L/min(标状)
0.05MPa0.3MPa以下 0.05～0.3MPa0.05MPa 0.1MPa 0.15MPa
氮气、空气、氩气、二氧化碳(CO2)注意∶气体必须是干燥，不含氯、硫磺、酸等腐融性成分。
并且，气体必须是清洁，不含粉尘和油雾。
设定±2%FS 1.0秒以下(TYP.)±2％FS以内(在标准温度、标准压力下)
0.5MPa（表压）－10～＋50℃(但是，RS-485通讯功能使用时为0～＋50℃)
10～90％RH（无结露） 0～5Vdc/1～5Vdc（可切换）
2点2点
①智能编程软件通讯 注5 ② RS-485通讯(3线式) 注624Vdc，消费电流最大300mA
黄铜(镀镍)，不锈钢，特氟隆，氟化橡胶Rc1/8
设定显示部表面垂直，入口配管侧在下、出口配管侧在上的状态约300克
适合CE标识产品
氮气、空气氩气二氧化碳
控制流量范围L/min(标状)
0.020～0.5000.020～0.5000.012～0.300
设定·显示分辨率L/min(标状)
0.0020.0020.001
控制流量范围L/min(标状)
0.08～2.000.08～2.000.040～1.200
设定·显示分辨率L/min(标状)
0.010.010.005
MPC0005 MPC0020设定·显示分辨率L/min(标状)
控制流量范围L/min(标状)
0.10～5.000.10～5.000.06～3.00
设定·显示分辨率L/min(标状)
0.020.020.01
控制流量范围L/min(标状)
0.4～20.00.4～20.00.3～16.0
0.10.10.1
尺寸 (单位:mm)
独立安装
气体出口编程电缆插口
·开孔图·MPC
（N：安装台数）
气体进口
安装支架（附属品）
面板厚度2mm～7mm
密集安装
详细信息请参阅说明书CP-SP-1153CD。
注2 也有量程0.2L/min的型号，如有需要请向本公司销售人员咨询。
回流焊炉
回流焊炉的计算例
23 24
MQ
VM
QV
MQV是一种数字式质量流量控制器，它集成了我公司独立研发的感热式微流量传感器和比例电磁阀的先进技术。
气体质量流量控制器
MQV （辽制02000005号）
■标准气体型
规格书
mL/min（标状）或L/min（标状）表示换算为20℃、101.325kPa下气体的体积流量。参考温度也可变更为0℃、25℃或35℃。另外，控制气体的流量范围随气体种类不同而发生变化，请参阅附表。请勿让异物流入本机内。如有铁锈、水滴、油雾或粉尘流入本机，会使检测、控制产生误差或损坏本机。当有异物可能会流入本机时，请在本机的上游安装滤除精度为0.1μm以上的过滤器，并定期检查维护。气体为空气/氮气及氧气（氧气型）时的精度，使用其它气体时的精度，请垂询本公司。控制流量为满量程流量时所需的最小差压。（调节出口压力0kPa）仪表进出口差压达不到必要差压时也可进行控制动作，可控制的流量范围可能会变小，详请参见仪表使用说明书。如仪表进口压力大于0.5MPa时，请垂询本公司。最大动作差压因电源电压而异。需使用另售的智能编程软件包MLP100A100。仅限带RS-485通讯功能的型号使用。
注1 注2
注3注4注5注6注7注8注9
1
( )
3(
Q )45
(T )
- (N.C.)
±1%FS
±2%FS 0.3s(TYP.)
300kPa 400kPa
(200mL/min
)0.500L/min
( )2.00L/min
( )5.00L/min
( )20.0L/min
( )50.0L/min
( )100.0L/min
( )50.0L/min
( )200.0L/min
( )500.0L/min
( )
5kPa50kPa 50kPa 100kPa 250kPa 10kPa 100kPa 150kPa5kPa50kPa
0.5MPa( ) 6
SUS316SUS316
CE
-10 +60 -10 +50
9/16-18 UNF Rc1/4 1/4 Swagelok 1/4 VCR 9/16-18 UNF Rc1/43/8 Swagelok
1/4 Swagelok 1/4 VCR
1.2kg1.1kg
24V dc, 300mA 24V dc, 400mA 24V dc, 500mA
10 90%RH( )
0 5Vdc/1 5Vdc/0 20mAdc/4 20mAdc( )
1 2
3 1 (2 ) 3
RS-485 (3 ) 9
/ (N2)(O2)(Ar)
(CO2)
±2%FS 0.7s(TYP.)
MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0100MQV0050(B,C) MQV0050(J、K) MQV0500MQV0200
100kPa
( =24.0V) 7
300kPa (-10 T 40 )180kPa (40 <T 60 )
300kPa (-10 T 35 )240kPa (35 <T 50 )
3/4-16 UNF Rc1/2 1/2 Swagelok 3/8 VCR
3.5kg
（从全闭状态到稳定控制时以及在控制中更改了设定时）
甲烷
/ (N2) (O2) (Ar) (CO2)
100%(CH4) 100%(C3H8) 100%(C4H10)城市煤气13A(LNG:45/46MJ/m3)
/ (N2) (O2) (Ar) (CO2)13A(LNG 45MJ/m3) 13A(LNG 46MJ/m3) 100%(CH4)
100%(C3H8) 100%(C4H10)煤气 煤气 甲烷
• ( )
MQV9500 100% (mL/min)
2
1
[ MQV9200 mL/min( ) L/min( )]
/
13A(LNG:45MJ/m3)
13A(LNG:46MJ/m3)
100%100%100% 1
MQV9200
2 2002 2002 200
1.0 120.0
2 200
2 200
2 2000.6 60.00.4 50.0
·2
111
0.5
1
1
10.20.2
MQV9500
0.004 0.5000.004 0.5000.004 0.5000.003 0.300
0.004 0.500
0.004 0.500
0.004 0.5000.002 0.1601.0 120.0
·2
0.0020.0020.0020.001
0.002
0.002
0.0020.001
0.5
MQV0002
0.02 2.000.02 2.000.02 2.00
0.010 1.200
0.02 2.00
0.02 1.60
0.02 2.000.006 0.6000.004 0.400
·2
0.010.010.01
0.005
0.01
0.01
0.010.0020.002
MQV0005
0.04 5.000.04 5.000.04 5.000.03 3.00
0.04 5.00
0.04 5.00
0.04 5.000.02 1.60
0.010 1.200
·2
0.020.020.020.01
0.02
0.02
0.020.01
0.005
MQV0020
/
13A(LNG:45MJ/m3)
13A(LNG:46MJ/m3)
100%100%100%
0.2 20.00.2 20.00.2 20.0
0.10 12.00
0.2 20.0
0.2 20.0
0.2 20.00.06 6.000.04 4.00
0.10.10.1
0.05
0.1
0.1
0.10.020.02
MQV0050(B,C)
0.4 50.00.4 50.00.4 50.00.3 30.0
0.4 50.0
0.4 50.0
0.4 50.00.2 16.0
0.10 10.00
0.20.20.20.1
0.2
0.2
0.20.1
0.05
MQV0100
1.0 100.01.0 100.01.0 100.01.0 80.0
0.50.50.50.5
MQV0050(J, K)
0.4 50.00.4 50.00.4 50.00.3 30.0
0.4 50.0
0.4 50.0
0.4 50.00.2 16.0
0.10 12.00
0.20.20.20.1
0.2
0.2
0.20.1
0.05
MQV0200
2 2002 2002 200
1.0 120.0
2 200
2 200
2 2000.6 60.00.4 40.0
111
0.5
1
1
10.20.2
MQV0500
4 5004 5004 5004 400
4 500
4 400
4 5002 2002 160
2222
2
2
211
·2
·2
·2
·2
·2
·2
煤气
煤气
煤气
煤气
选型表
MQV2 200mL/min( )0.004 0.500L/min( ) 0.02 2.00L/min( ) 0.04 5.00L/min( ) 0.2 20.0L/min( ) 0.5 50.0L/min( ) 1.0 100.0L/min( )
SUS316Rc1/41/4Swagelok (0100 3/8Swagelok)1/4VCR (0100 )9/16-16 UNF
/ ( )
RS-485(CPL)
MQV9200950000020005002000500100
BC
SRSVU
NS
01
01
0C
1 2 3 4 5
小流量标准品 例：MQV9500BSRN01010C
中国制造
通讯功能
MQV005002000500
JK
SRSVU
NS
01
01
0C
1 2 3 4 5MQV
0.4 50.0L/min( )2 200L/min( )4 500L/min( )
( 150mm)( 150mm)
SUS316Rc1/21/2Swagelok3/8VCR3/4-16 UNF
/ (
RS-485(CPL)
mL/min( )或L/min( ) 20 1
/ (
LNG(45MJ/m3 46MJ/m3) 100% 100% 100%)
中流量标准品 例：MQV0200JSRN01010C
中国制造
通讯功能
2
8
安装方式
气体类型为氧气型，出厂设定气体类型为氧气，可变为其它气体，但一旦变更为其它气体，将无法再次设定为氧气。
说明 如需检查成绩书，请以型号MF-TEST REPORT订购。
25 26
MQ
VM
QV
MQV是一种数字式质量流量控制器，它集成了我公司独立研发的感热式微流量传感器和比例电磁阀的先进技术。
气体质量流量控制器
MQV （辽制02000005号）
规格书
■特殊气体型
( )
(
)
(T )
- (N.C.)
0.5MPa( ) 7
10 90%RH( )
0 5Vdc/1 5Vdc/0 20mAdc/4 20mAdc( )
1 2
3 1 (2 ) 3
RS-485 (3 ) 10
SUS316 EPDM( )
EN61326-1 1997/A1 1998/A2 2001/A3 2003
-10 +60
±1%FS
±2%FS 0.7s(TYP.)±2%FS 0.3s(TYP.)
300kPa
MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0050 0050VQM0020VQM
200L/min( )
500L/min( )
50.0L/min( )
20.0L/min( )
5.00L/min( )
2.00L/min( )
0.500L/min( )
200mL/min( )
aPk051aPk00150kPa5kPa50kPa5kPa50kPa
3.5kg1.2kg
24Vdc, 400mA 24Vdc, 500mA24Vdc, 300mA
-20
300kPa10 T 40 )
180kPa(40 <T 60
300kPa10 T 35 )
240kPa(35 <T 50
( =24.0V) 8
Rc1/4 1/4Swagelok 1/4 VCR 1/2Swagelok
mL/min（标状）或L/min（标状）表示换算为20℃、101.325kPa下气体的体积流量。参考温度也可变更为0℃、25℃或35℃。另外，控制气体的流量范围随气体种类不同而发生变化，请参阅附表。特殊气体型仪表，请勿使用上述气体以外的气体，否则O型密封圈的密封性可能会损坏。请勿让异物流入本机内。如有铁锈、水滴、油雾或粉尘流入本机，会使检测、控制产生误差或损坏本机。当有异物可能会流入本机时，请在本机的上游安装滤除精度为0.1μm以上的过滤器，并定期检查维护。气体为空气/氮气及氧气（氧气型）时的精度，使用其它气体时的精度，请垂询本公司。控制流量为满量程流量时所需的最小差压。（调节出口压力0kPa）仪表进出口差压达不到必要差压时也可进行控制动作，可控制的流量范围可能会变小，详请参见仪表使用说明书。如仪表进口压力大于0.5MPa时，请垂询本公司。最大动作差压因电源电压而异。需使用另售的智能编程软件包MLP100A100。仅限带RS-485通讯功能的型号使用。
注1 注2注3
注4注5注6注7注8注9注10
)][ MQV9200 mL/min( ) L/min(
(C2H2)
(NH3)
MQV0020
1.0 120.0
2 160
2 200
2 200
1.0 120.0
0.5
1
1
1
0.5
0.010 1.200 0.005
0.01
0.01
0.01
0.005
0.03 3.00
0.04 4.00
0.04 5.00
0.04 5.00
0.03 3.00
0.01
0.02
0.02
0.02
0.01
0.10 12.00
0.2 16.0
0.2 20.0
0.2 20.0
0.10 12.00
0.05
0.1
0.1
0.1
0.05
0.3 30.0
0.4 40.0
0.4 50.0
0.4 50.0
0.3 30.0
0.1
0.2
0.2
0.2
0.1
1.0 120.0
2 160
2 200
2 200
1.0 120.0
0.5
1
1
1
0.5
2
2
2
2
2
4 400
4 400
4 500
4 500
4 400
• • • • •
• •
•
MQV0050
0.001
0.002
0.002
0.002
0.001
0.003 0.300
0.004 0.400
0.004 0.500
0.004 0.500
0.003 0.300
：
MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005
(C2H2)
(NH3)
MQV0200 MQV0500
• ( )
（从全闭状态到控制开始时以及在控制中更改了设定时）
0.02～1.60
0.02～2.00
0.02～2.00
0.010～1.200
※使用上的注意事项： ·旧型号AC电源适配器81446682-001(15VDC 350mA)不可用于本机。
选型表
MQV
BC
SRSV
E0
10
10
C
1 2 3 4 5
2 200mL/min( )0.004 0.500L/min( )0.02 2.00L/min( )0.04 5.00L/min(0.2 20.0L/min ( ) 0.4 50.0L/min( )
( 90mm)( 90mm)
SUS316Rc1/41/4Swagelok1/4VCR
( EPDM)
920095000002000500200050
MQV02000500
JK
SS
E0
10
1
C0
1 2 3 4 5
2 200L/min( )4 500L/min( )
( 150mm)( 150mm)
SUS316
( EPDM)
RS-485(CPL)
L/min( ) 20 101.325kPa(1
) (mL/min L/min)
/
小流量型
中流量型
中国制造
通讯功能
中国制造
RS-485(CPL)通讯功能
例：MQV9500BSRE01010C
例：MQV0200JSSE01010C
mL/min( )或
1/2Swagelok
产 品 名 称 型 号
安装用螺丝 2颗
备 注
带专用接头的电缆 20芯扁平电缆2m(AWG＃24)
AC电源适配器
流量设定用电位计
分离显示器用盖板
编程器软件包
输入额定值：100～240VAC 50/60Hz 0.4A
输出额定值：24Vdc 750mA
动作温度范围 0～40℃
带数字拨盘5KΩ 10转
面板 1块
板 1块
20芯屏蔽电缆5m(7/0.2m2)
81446681-501
81446957-501
81446683-502
81446858-501
另外，流量趋势等动作状态可在计算机画面上进行监视
可从计算机进行各种设定MLP100A100
2个接口、带O型密封圈、禁油品2个接口、带O型密封圈、禁油品
81446834-502
81446834-501
2个接口、带O型密封圈、禁油品2个接口、带O型密封圈、禁油品
81446833-502
81446833-501
2个接口、带O型密封圈、禁油品2个接口、带O型密封圈、禁油品
Rc1/2管接头
Rc1/4管接头
1/2Swagelok
1/4Swagelok
3/8VCR
1/4VCR
81446895-502
81446895-501
81446951-501
选购部件
3
/ (N2) (Ar) (CO2) (C2H2) (NH3) 2
4
56
9
1
安装方式
说明 如需检查成绩书，请以型号MF-TEST REPORT订购。
27 28
MQ
VM
QV
MQV是一种数字式质量流量控制器，它集成了我公司独立研发的感热式微流量传感器和比例电磁阀的先进技术。
气体质量流量控制器
MQV （辽制02000005号）
规格书
■氢气、氦气型
mL/min（标状）或L/min（标状）表示换算为20℃、101.325kPa下气体的体积流量。参考温度也可变更为0℃、25℃或35℃。另外，控制气体的流量范围随气体种类不同而发生变化，请参阅附表。请勿让异物流入本机内。如有铁锈、水滴、油雾或粉尘流入本机，会使检测、控制产生误差或损坏本机。当有异物可能会流入本机时，请在本机的上游安装滤除精度为0.1μm以上的过滤器，并定期检查维护。控制流量为满量程流量时所需的最小差压。（调节出口压力0kPa）仪表进出口差压达不到必要差压时也可进行控制动作，可控制的流量范围可能会变小，详请参见仪表使用说明书。如仪表进口压力大于0.5MPa时，请垂询本公司。最大动作差压因电源电压而异。需使用另售的智能编程软件包MLP100A100。仅限带RS-485通讯功能的型号使用。
使用模拟信号进行设定输入和流量输出时，分辨率会大幅提高，请垂询本公司。
注1 注2
注3注4注5注6注7注8
注9
注9 注9 注9 注9 注9 注9 注9
( )
()
(T ) 4300kPa (-10 T 60 )
24Vdc, 300mA 24Vdc, 400mA
-10 +6010 90%RH( )
0.5MPa )
0 5V/1 5V/0 20mA /4 20mA( )
1 2
3 1 (2 ) 3
RS-485 (3 )
SUS316
CE
MQV0050 MQV0200 MQV0500 MQV1000
50.0L/min( )
200L/min( )
500L/min( )
1000L/min( )
±2%FS 0.3s(TYP.) ±2%FS 0.7s(TYP.)
MQV0005
5.00L/min( )
: 20kPa: 40kPa
: 100kPa: 180kPa
: 40kPa: 80kPa
: 150kPa: 250kPa
MQV0010
10.00L/min( )
: 80kPa: 150kPa
: 20kPa: 40kPa
MQV9500
0.500L/min( )
Rc1/4 1/4 Swagelok 1/4 VCR 9/16-18 UNF Rc1/2 1/2Swagelok 3/8VCR3/4-16 UNF
1.2kg 3.5kg
300kPa10 40 )180kPa
(40 < 60 )
=24.0V
MQV9500 MQV0005 MQV0010 MQV0050 MQV0200 MQV0500 MQV1000
[ L/min ]
0.004 0.5000.004 0.500
0.002
0.002
·
0.04 5.00
0.04 5.00
0.02
0.02
·
0.10 10.00
0.10 10.00
0.05
0.05
·
0.4 50.0
0.4 50.0
0.2
0.2
·
2 200
2 200
1
1
·
4 500
4 500
2
2
·
10 1000
10 1000
5
5
·
- (N.C.)
(H2) (He)
±1%FS
（从全闭状态到控制开始时以及在控制中更改了设定时）
• ( )
氦气
选型表
0.004 0.500L/min( )0.04 5.00L/min( )0.10 10.00L/min( )0.4 50.0L/min( )2 200L/min( )
( 90mm)( 90mm)
SUS316Rc1/4(9020 9050 )1/4Swagelok1/4VCR9/16-18 UNF(9020 9050 )
/
RS-485(CPL)
MQV95000005001000500200
BC
SRSVU
H0
10
10
C
1 2 3 4 5
中国制造
通讯功能
中国制造
通讯功能
C
20
※使用上的注意事项： ·旧型号AC电源适配器81446682-001(15VDC 350mA)不可用于本机。
产 品 名 称 型 号
安装用螺丝 2颗
备 注
带专用接头的电缆 20芯扁平电缆2m(AWG＃24)
AC电源适配器
流量设定用电位计
分离显示器用盖板
编程器软件包
输入额定值：100～240VAC 50/60Hz 0.4A
输出额定值：24VDC 750mA
动作温度范围 0～40℃
带数字拨盘5KΩ 10转
面板 1块
板 1块
20芯屏蔽电缆5m(7/0.2m2)
81446681-501
81446957-501
81446683-502
81446858-501
另外，流量趋势等动作状态可在计算机画面上进行监视
可从计算机进行各种设定MLP100A100
2个接口、带O型密封圈、禁油品2个接口、带O型密封圈、禁油品
81446834-502
81446834-501
2个接口、带O型密封圈、禁油品2个接口、带O型密封圈、禁油品
81446833-502
81446833-501
2个接口、带O型密封圈、禁油品2个接口、带O型密封圈、禁油品
Rc1/2管接头
Rc1/4管接头
1/2Swagelok
1/4Swagelok
3/8VCR
1/4VCR
81446895-502
81446895-501
81446951-501
选购部件
mL/min(标状)或L/min(标状)表示换算为
1个大气压下的氢气/氦气流量。
出厂时设定为氢气，但可变更为氦气。
3
1
2
65
8 7
例：MQV9500BSRH01010C
例：MQV0500JSRH01010C
安装方式
小流量型
中流量型
说明 如需检查成绩书，请以型号MF-TEST REPORT订购。
29 30
MQ
VM
QV
MQV是一种数字式质量流量控制器，它集成了我公司独立研发的感热式微流量传感器和比例电磁阀的先进技术。
气体质量流量控制器
MQV （辽制02000005号）
( CP-SS-1862)
( )
(
Q )
(T )
- (N.C.)
0.5MPa( )
10 90%RH( )
1 2
SUS316
-10 +60
( )
±1%FS
±2%FS 0.5s(TYP.)
300kPa
MQV9005 MQV9020
5.00mL/min( )
20.0mL/min( )
30kPa5kPa
1/4 Swagelok 1/4 VCR
24Vdc, 300mA
3 1 (2 ) 3
RS-485 (3 ) 8
/ (N2) (O2)
(Ar)
· ( CP-SS-1836)
( )
(Q )
(T )
(H2) (He)
±2%FS 0.5s(TYP.)
±0.5%FS(0%FS 50%FS)
±1.0%FS(50%FS< 100%FS
: 10kPa: 20kPa
: 2.5kPa: 5kPa
MQV9050
50.0mL/min( )
MQV9020
20.0mL/min( )
- (N.C.)
( )
300kPa
24Vdc, 300mA
-10 +6010 90%RH( )
0.5MPa )(
0～5Vdc/1～5Vdc/0～20mAdc /4～20mAdc(可切换)
0～5Vdc/1～5Vdc/0～20mAdc /4～20mAdc(可切换)
0 5V/1 5V/0 20mA /4 20mA( )
1 2
3 1 (2 ) 3
RS-485 (3 )
SUS316
CE
1/4 Swagelok 1/4 VCR
1.1kg
±1.0%FS(0%FS 100%FS
• ( )MQV9005
· ·
/ 0.10 5.00
0.10 5.00
0.10 5.00
0.02
0.02
0.02
MQV9020
0.2 20.0
0.2 20.0
0.2 20.0
0.1
0.1
0.1
• • ( )MQV9020
0.2 20.0
0.2 20.0
0.1
0.1
MQV9050
0.4 50.0
0.4 50.0
0.2
0.2
· ·
CMQ-V0.10 5.00mL/min( ) 0.2 20.0mL/min( )
SUS3161/4Swagelok1/4VCR
/ ( )
RS-485(CPL)
MQV90059020
BC
SSV
NS
001
001
0DY
0
1 2 3 4 5
0.2 20.0mL/min( )0.4 50.0mL/min( )
( 90mm)( 90mm)
SUS3161/4Swagelok1/4VCR
/
RS-485(CPL)
MQV90209050
BC
SSV
H0
01
01
0DY
0
1 2 3 4 5
选型表
标准气体型
氢气·氦气型
规格书
■微小流量型（此型号原产地为日本，如有需要，可经由本公司向日本下单。）
mL/min表示换算为20℃、101.325kPa(1个大气压)下的每分钟的体积流量（mL/min）。基准温度也可变更为0℃、25℃或35℃。此外，可控制的流量量程值随气体种类变化。请参阅附表。请勿让异物流入本装置内。如有管道内的铁锈、水滴、油雾和粉尘等流入装置内，会使检测、控制产生误差，或者损坏本装置。异物可能会流入的场合，请在本装置的上游侧设置过滤精度0.1μm以上的过滤器、吸雾器，定期进行点检和交换。使用空气/氮气及氧气（氧气对应产品）时的精度。关于使用其它气体时的精度，请垂询本公司。控制全量程流量时的最小差压。（条件：出口压力=0kPa（表示））达不到必要差压时也可动作。（但是，可控制的流量范围会变小。详细内容请参阅规格书SP-SS-1836/1862/1863/1864(阀门全开时的差压与流量的关系）如要在入口压力大于0.5MPa(表压)的场合使用时，请垂询本公司。需要另售的专用编程器软件包(MLP100A100)。仅限带RS-485通讯功能的型号使用。
注1 注2
注3注4注5注6注7注8
使用模拟信号进行设定输入和流量输出时，分辨率会大幅提高，请垂询本公司。注9
1
3
2
45
6
7
5
3
4
1
2
6
7 8
单位：mL/min（标状） 单位：mL/min（标状）
例：MQV9020BSSN010100
例：MQV9020BSSH010100
安装方式
日本原产
检查成绩书
检查成绩书
日本原产
mL/min(标状)表示换算为20C°、1个大气压下的气体流量。另外，流量量程随气体种类而变化。出厂时设定为空气/氮气。但是，可变更设定为其他标准对应气体(氩气、二氧化碳、城市煤气LNG(45MJ/m3、46MJ/m3)、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%)。气体种类选择氧气时，接气部应采取禁油处理(氧气禁油)，这是标准处理方式。
9 9 99
31 32
MQ
VM
QV
MQV是一种数字式质量流量控制器，它集成了我公司独立研发的感热式微流量传感器和比例电磁阀的先进技术。
气体质量流量控制器
MQV （辽制02000005号）
尺寸 (单位:mm)
标准气体型：MQV9005/9020/9200/9500/0002/0005/0020/0050/0100B
特殊气体型：MQV9200/9500/0002/0005/0020/0050B
氢气/氦气型：MQV9020/9050/9500/0005/0010/0050/0200B
■ 标准气体型：MQV9005/9020/9200/9500/0002/0005/0020/0050/0100C
特殊气体型：MQV9200/9500/0002/0005/0020/0050C
氢气/氦气型：MQV9020/9050/9500/0005/0010/0050/0200C
■
OK
SPPV
L
Digital Mass Flow Controller CMQ-VL/min
ALM EV1 EV2
RUN ENT DISP
37
2- 9 / 1 6 - 1 8 UN F
4422
81
1 8 . 5
7 . 3
15.5
2-Rc1/4管接头23.523.5(137)
HEX21
Rc1/4 连接型
(141.4)
2-1/4Swagelok(0100型为3/8Swagelok)SS-400-1-6ST或相当的产品
适用管：外径1/4材质SUS316
(25.7) (25.7)
HEX9/16
1/4Swagelok连接型9/16-18UNF连接型
30 ±0.5 30 ±0.5
11±0.5
15±0.5
2 -M 4 螺丝深 5m i n
130
90102
(137.8)(23.9) (23.9)
1/4VCR连接型
SS-4-VCR-1-00032SC11或相当的产品
编程器用插口
18
50±2
37
2-9/16-18UNF
4422
81
18.5
15.5
182-Rc1/4管接头23.523.5
(137)HEX21
Rc1/4连接型130
90102
35
14
30±0.5 30±0.5
11±0.5
15±0.5
9/16-18UNF连接型
2-M4 螺丝深5min
(137.8)(23.9) (23.9)
1/4VCR连接型
SS-4-VCR-1-00032SC11或相当的产品
7.3
编程器用插口
(141.4)(25.7) (25.7)
HEX9/16
1/4Swagelok连接型
2-1/4Swagelok(0100型为3/8Swagelok)SS-400-1-6ST或相当的产品
适用管：外径1/4材质SUS316
标准气体型：MQV0050/0200/0500J
特殊气体型：MQV0200/0500J
氢气氦气型：MQV0500/1000J
■ 标准气体型：MQV0050/0200/0500K
特殊气体型：MQV0200/0500K
氢气氦气型：MQV0500/1000K
■
AC电源适配器用插口
CMQ-V
Digital Mass Flow Controller
L/min
m
PV
SP
OK ALM EV1 EV2
4-M4 螺丝深5min
3
5.9 3.4 7.35.2
4422
5025
23.2
h1
h4
150
h3
h2
150
RUN ENT DISP
2-3/4-16UNF
MQV0500
MQV0050MQV0200
型号 h1
151
152
h2
145
146
h3
102
03
h4
45
46
18
编程器用插口
110±0.525.3±0.5
11.5±0.5
27±0.5
3/4-16UNF连接型
4
Rc1/2连接型
2-1/2Rc管接头
HEX 26
25 25(150)
2-1/2SwagelokSS-810-1-8ST或相当的产品
1/2Swagelok连接型
3/8VCR连接型
2-3/8-VCR SS-8-VCR-1-8STSC11 或相当的产品
适用管：外径1/2材质SUS316
(30.7) (30.7)(150)
(31.5) (31.5)(150)
MQV0500
MQV0050MQV0200
型号 h1
172
173
h2
151
152
h3
145
146
h4
102
103
h5
45
46
2-3/4-16UNF
4422
5025
23.2 h5
h2
150
h4
150
20.5
42.5
h1
h3
5.27.33.4
18
5.9
编程器用插口
110±0.5
11.5±
0.527±0.5
25.3±0.5
AC电源适配器用插口
4-M4 螺丝深5min
1/2Swagelok连接型
3/8VCR连接型
2-3/8-VCRSS-8-VCR-1-8STSC11 或相当的产品
2-1/2SwagelokSS-810-1-8ST或相当的产品适用管：外径1/2
材质SUS316
(30.7) (30.7)(150)
(31.5) (31.5)(150)
3/4-16UNF连接型
Rc1/2连接型
4
HEX 26
Digital Mass Flow Controller
1：POWER(24V) 2：POWER(24V) 3：POWER GND 4：POWER GND 5：TEST 6：D.GND 7：DA 8：DB 9：D.GND10：ALM OUT11：EV1 OUT12：EV2 OUT13：DI 114：DI 215：DI 316：MODE INPUT17：FLOW SP INPUT18：A.GND19：FLOW OUT20：+5V(5mA max)
Pin Assign
MADE IN JAPAN
25 25(150) 2-1/2Rc管接头
面板开孔尺寸（推荐）■
氧气
MQV
MQV
烧嘴1
烧嘴2
空气
燃气
真空腔
MQV
氮气
氩气
渗碳气体
碳浓度增高气体
CP演算器
氧气传感器
MQV
控制器
渗碳炉
培养槽
溶氧仪
PH计
压力表
PLC
氧气
空气
应用例：
详细信息请参阅说明书CP-UM-5395CD，5396CD。
33 34
MC
S
实现了5ms的超高速响应和9g的小型化！MCS 适用于微流量传感器的油雾分离器、过滤器系列MFF、FC
保护产品不受气体中的油雾、配管施工时的焊接烟尘等影响的过滤装置。
详细信息请参阅产品规格书CP-SS-1824。
用途：去除配管中的铁锈和焊接烟尘，口径2B～6B型号：FC系列（azbil金门制作所生产）
50A(2B)
1341
80A(3B) 100A(4B)空气、氮气、氩气、二氧化碳、城市煤气
JIS 10k FF150A(6B)
160 400
0.5MPa（用于燃气领域时，0.3MPa）
纤维素/树脂涂料SS400、SGP
650
49
1600
对应气体
口径
连接方式
使用最大流量L/min（标准）最大使用压力
本体材质
滤芯材质
质量（kg） 92
用途：空气管理仪表MCF专用过滤器。去除油雾、配管中的铁锈、焊接烟尘等，口径1/4B、1/2B型号：MFF25S
1/4B
0.41/0.45
300/750
0.45/0.81
1/2B
750/1500
空气、氮气
Rc螺纹连接
0.93MPa锌压铸或铝压铸
对应气体
口径
连接方式
使用最大流量L/min（标准）最大使用压力
本体材质
质量（kg）
FC250
用途：去除油雾、配管中的铁锈、焊接烟尘等，口径1/4B～6B型号：MFF200
R螺纹连接
铝
1～20
空气、氮气、氩气、二氧化碳、城市煤气、丙烷、丁烷
20～2880
0.98MPa（但是，空气专用品因带排水机构为0.2～0.98MPa）
环氧树脂、聚氨酯、Cerex
5760～11520
对应气体
种类
使用最大流量L/min(标准)最大使用压力
本体材质
滤芯材质
质量（kg）
DIN法兰
铁
90～150
用途：去除配管中的铁锈和焊接烟尘，口径2B～6B型号：MFF300系列
50A（2B）
L型：21，Y型：22 L型：42，Y型：44
80A（3B） 100A（4B）空气、氮气、氩气、二氧化碳、城市煤气
JIS 10k RFY型：笔直，L型：弯头
150A（6B）
160 400
0.98MPaSGP、SS400
纤维素/树脂涂料
650
L型：47，Y型：50
1600
对应气体
口径
连接方式
安装姿势
使用最大流量L/min（标准）最大使用压力
本体材质
滤芯材质
质量（kg） L型：90，Y型：101
流量传感器
规格书
适用气体类型
流量量程：
L/min（标准）
响应时间
使用压力范围
使用温度范围
输出
电源
口径
直管部长度
材质
质量（g）
-3～+3 0～+3 -0.5～+0.5 0～+0.5 0～+10
空气/氮气、氧气
5ms以下（响应时间为阶跃响应的95%）
-100～+200kPa
0～50℃
1-5V输出（非线性）
12～24Vdc
M5内螺纹（黄铜制插入体）
无
接气部：PPS树脂、陶瓷、黄铜 外盖：PC树脂
9
详细信息请参阅产品规格书CP-SS-1833(MCS100) ，CP-SS-1859(MCW100)，CP-SS-1838(MCW400)
