5
High ef®ciency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical ®ber communication Yoshinori Matsumoto * , Akimichi Nakazono, Taisuke Kitahara, Yasuhiro Koike Department of Applied Physics and Physico-Informatics, Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama, 223-8522, Japan Received 11 June 2001; received in revised form 4 December 2001; accepted 5 December 2001 Abstract A high ef®ciency optical coupler has been developed for high speed plastic optical ®ber communication. The coupler was designed for a small photo acceptance area photodiode based on the shape of compound parabolic concentrator. The theoretical ef®ciency of the coupler for graded index plastic optical ®ber (GI-POF) was simulated with ray trace simulation, and the coupling loss was calculated less than 0.4 dB. The coupler was batch fabricated in a glass substrate using sand blast technique. The re¯ection layer of re¯ectance 90% was formed by Gold/ Nickel mirror plating method. The coupler was bonded with a custom designed high speed PIN photodiode. The photocurrent was 20% higher than the current of a ball lens type PIN photodiode. The cut-off frequency was over 1 Gbps at reverse bias of 1.5 V. # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: Optical coupler; Photodiode; Compound parabolic concentrator; Plastic optical ®ber; Mirror plating 1. Introduction Plastic optical ®ber (POF) is recently used in automobile LAN or digital audio system because of the easy handling and wide tolerance for the connection. Graded index plastic optical ®ber (GI-POF) has bandwidth of 2.5 Gbps and attenuation below 50 dB/km [1,2], so that it is expected as a future short distance transmission medium in ®ber to the home (FTTH) or home LAN. The typical diameter of the GI- POF is around 0.8 mm, but the diameter of PIN photodiode for high speed transmission should be a few hundreds micrometer because the parasitic capacitance limits the cut-off frequency of the photodiode. Therefore, a ball lens formed on a CAN-package is generally used to concentrate the lights from the GI-POF into a photo acceptance area of the PIN photodiode. The sizes of the ball lens and CAN-package are relatively large, which disturbs the min- iaturization of optical transceiver used in home LAN, etc. Furthermore, the alignment between the ball lens, the photo- diode and POF are necessary by using a precise adapter module. These problems increase the total cost of plastic optical ®ber communication system. In this work, a novel optical coupler is proposed instead of the ball lens in order to solve the problems. The coupler was batch fabricated in a glass substrate. The alignment between the coupler and the PIN photodiode can be precisely per- formed by wafer bond alignner. The optical axis of the POF was self-aligned to the photodiode during the POF was inserting in the coupler. The ef®ciency, fabrication process and transmission speed are described in this paper. 2. Optical coupler 2.1. Ideal shape and theoretical coupling loss The ideal shape of the coupler is based on a compound parabolic concentrator (CPC) using nonimaging optics, which was proposed in the ®eld of solar cell [3±5]. The orbit of the CPC was obtained by tilting parabolic orbit at the angle of y C . The lights which enter at the angles less than y C collect to other side effectively as shown in Fig. 1. The characteristics can be applied for the ®ber coupler [6±8]. In this work, the theoretical ef®ciency for the GI-POF was simulated with ray trace simulator (OptiCAD by Focus software) by making an original GI-POF model and analysis program [9]. The simulation parameters of the GI-POF Sensors and Actuators A 97±98 (2002) 318±322 * Corresponding author. Tel.: 81-45-566-1610; fax: 81-45-566-1587. E-mail address: [email protected] (Y. Matsumoto). 0924-4247/02/$ ± see front matter # 2002 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0924-4247(02)00025-0

High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication

���� ������� �� ���� ������� ��� � ����� ��� ������ ��� ���� ��� ������ ���� � �� ���� ����� ���� ��

�� ���� ���� �������� ��

�������� �� ���� ��� �������� �������� ������� �� ������ �������� ��������������� ���� �� ���� �� ��� ���� �������� ��� ������� �� ���� ��� ��������� �� �� ���� ���

�� !� " ��� � ��#��#�� $#����� %%��&'%%� (����

����!�� "" #�� $%%"& �����!�� � ��!���� ���� ' (������� $%%"& ����� �� ) (������� $%%"

��������

� ���� ������� �� ���� ������� ��� ��� ��!������ ��� ���� ����� ���� �� �� ���� ���� �������� ��* ��� ������� +�� ������� ��� �

����� ��� � ����� ��� ���� ��� ������ ����� � �� ����� �� ������� ��������� ���� �� ��* ��� ����� ���� ������� �� �� ������� ���

������ ���, ���� �� �� ���� ���� -./01234 +�� ������ �� +� � �� ���� ������ ��� �� �� ������� ���� +�� ������� �� ���� �� %*' �5* ���

������� +�� �� �� ������� �� � � ����� ���� �� � ���� ��� ���� ����6��* ��� ��7�� �� ���� �� ��7�� ��� 8%9 +�� ������ � .���:

������ ������ ��� �� �� ���* ��� ������� +�� ����� +� � � ��� �� ������� ���� ����� 1/� ��� ������* ��� ��� ������ +�� $%9 ������

�� �� ����� �� � ���� ��� �� 1/� ��� ������* ��� �� 0��� ���6��� +�� �!�� " .��� � ��!���� ���� �� "*) ;*� $%%$ <���!��� =�����

5*;* ��� ���� � �����!��*

���)���* 2� ���� �������& 1�� ������& >������ ��������� ���� �� ��& 1��� �� �� ���� ����& ������ ��� ��

� ���� ������

1��� �� �� ���� ���� -1234 �� ���� � ���� � �� �������

?�� �� ���� �� ����� �� �� ������� �� �� ��� ������

�� +��� ������� ��� �� ���� ��* .����� ���, ���� ��

�� ���� ���� -./01234 ��� ���+�� � �� $*) .��� ��

� ��� �� ����+ )% �5:�� @"�$A� �� �� � �� �,��� ��

�� � �� ��� ���� ��� ��� ��������� ������ � ���� � ��

���� -3���4 �� ���� ?��* ��� ����� ����� �� �� �� ./0

123 �� ����� %*B ��� �� �� ����� �� �� 1/� ��� ������

��� ���� ����� ��������� ������ �� � ��+ �������

������� �� ������� �� ������ �� ������ ��� ���� � ��

�� 0��� ���6��� �� �� ��� ������* ���������� � ���� ���

������ � � >��0������� �� ������� ���� � ���� �� �

�� ���� � ���� �� ./0123 � � � ��� � ����� ��� ����

�� �� 1/� ��� ������* ��� ����� �� �� ���� ��� ��

>��0������� ��� ���� �!�� ������ +���� ��� ���� �� ��0

�� ����� �� �� �� ���� ������!�� ���� � ���� ?��� � �*

3�� �������� �� ������ �� +�� �� ���� ���� �� ��� �0

����� �� 123 ��� ������� � ���� � ������� ���� ��

������* ����� �������� ������� �� � �� ��� �� ���� ��

�� ���� ���� �������� �� �� ��*

/ ��� +���� � �!�� �� ���� ������� �� �������� �� ��� ��

�� ���� ��� � ����� � ���!� �� ��������* ��� ������� +��

�� �� ������� �� � � ����� ���� �� �* ��� ������ �� +��

�� ������� �� �� 1/� ��� ������ �� �� �������� ���0

������ � +���� ��� ������* ��� �� ���� �,�� �� �� 123

+�� ����0������ � �� ��� ������ ����� �� 123 +��

���� �� � �� �������* ��� �������� ������� �� �������

�� ��������� ����� ��� ��������� � ��� �����*

� ������� �������

%+ + ����� ����� ��� ������ ��� ���� �� ���

��� ����� ����� �� �� ������� �� ����� � � �������

��������� ���� �� �� ->1>4 ���� ������� �� ����

+���� +�� �������� � �� ���� �� ����� ���� @CD)A* ���

���� �� �� >1>+�� �� ���� � �� �� ��������� ���� � ��

���� �� �>* ��� ���� � +���� � �� � �� ����� ���� �� �>������ � � ��� ���� ����� �!�� �� ���+ � 3��* "* ���

������ ���� ��� �� �� ������� ��� �� ���� ������� @EDBA* /

��� +���� �� ����� ���� ������� ��� �� ./0123 +��

������ �� +� � �� ���� ������ �� -2� �>�( � 3����

��� +���4 � ����� � ������� ./0123 ����� �� ������

������� @8A* ��� ������ �� ������ ��� �� �� ./0123

=����� �� �� �� ��� � 8FD8B -$%%$4 C"BDC$$

� >���������� �� ���* ���*G �B"0')0)EE0"E"%& ��,G �B"0')0)EE0")BF*,��� � �������* �� ���� �H����*����*��*I� -�* �� ���� �4*

%8$'0'$'F:%$:J D ��� ��� �� �� � $%%$ <���!��� =����� 5*;* ��� ���� � �����!��*

1//G = % 8 $ ' 0 ' $ ' F - % $ 4 % % % $ ) 0 %

Page 2: High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication

����� �� +�� � � ����� "* ��� �� ���� ������ �� +��

��������� ��� ���� ������� ���� �� �� ��7�� �� ����

+��� ��� ��* ���� �� ������� ���� +�� ������� �� �

��� ����� �� ��7�� �� ���� �� �� ��7�� ��� �� >1>K�

��7�� �� ����* 3��* $ ���+� �� ������� �� ������� ���� ��

>1> ��� �� ./0123* ��� ������� ���� +�� ������� �� ��

%*' �5 ��� �� ��7�� ��� �� 8%9* ��� !���� �� ����� ��

���� �� �� ����� ���� ������ ������� ���� �� �� ����

���* ��� ������ ������ ���� ��� ����� �� �� �������

����� � �� ���� �� ������ +���� �� ������� �� ���� ��

" ���:� ��� 1��, ����� �� "% ���:� ��� 1���*

%+%+ ��-� ��� � ������ ��� ����� ��� �����

��� ����� ����� �� �� �� ������� +�� " �� ������� ��

����� ����� �� �� �� ./0123 �� ����� %*B ��* ���

�� �� ����� �� �� �� ������� ������ �� � ��+ �������

������� �� � ��������� �� ����� �� �� ���� ����� 1/�

��� ������* � $ �� ���� ��� � �� ����� � ���� �������

� ��� ��� �� >1>* ��� $ �� ���� ������ ���� �� � ��

������ ���� � ���� ������� �� � $ �� ��� �� �,����!�

��� �� �������* � ���� �� ������ ����6�� ����� � ��

� ��� �!� � �� !��+ �� ��� �� ������������� * ��+�!��� �

�,����!� ���� �� ������� ��� �� ���� �� ������ ���0

�6��� �� +���� ����� ������� ��� ������ �� � +���

�� ��������*

���������� �� �������� 1��, ����� �� ��� ���� ���0

�6�� +��� ����� �� ��� ����� � ���� ������ �� �� �������*

��� �� ��� +�� ������� � $ �� ���� ����� ��� � ��

�� ���� �� � ���� ��� �� ��� ���� �������* ��� ����� ���

�� ���� �������� ��� ���������� � ���� ���� ����

���� �����* =� �� � �� ���� �� �� L$$% =�> � C)% �1�

+�� ���� ��� �� ��� ��� � �� �� ���� �� �� LE%% =�> �

C)% �1� +�� ���� ��� �� ����� ��� � �� ���� � �������*

��� ��� ����� �� �� ���� ����� �� ��� ���� ��� +���

�������� �� ������* �� � ����� � �� !���� �� �� �� �� ��

����� �� +�� +� �� �%*%$ �� � ���� ' �* +����* ���

��� ���� ��� �� �� �� ����� ��� � �� �� � �� �� +���

������ ���� %*%$ ��* ���������� �� %*C �� ����� ��

1/� ��� ������ �� ���� ���� ��� �� ������� ������� �� �

��� ���� ����6��*

��� �� ���� ������ �� +�� ��������� ��� �� ������� ��

������� ���� �� �����,��� �� ���!� �� ����� ���� �

������ �� �� ����� ��� ���� %*$E � %*C% �� �� ���+

� 3��* C* 3��� �� ������ ��� ��� ��� ��� �� ���� ./0

123 +��� ���� �� �� � � � ��� ���� +� ��� �� �� ��

������ � ��� ���� ��7�� ��* =� �� � �� ������ �������

+�� �� ������ � �� ��7�� ��� � �� ����� �����*

%+�+ ������ ��������� ��� ������ � � ����

��� ������� �� ����� ���� +�� ���� �!�� ����� ������� ��

����� �� �� LE%% ��� +�� ����� C% ��* ��� ��������+�� �������� � ������� ������� -(<����4 �� %*B �� �

�= �� B �� � ���� � ����* ���������� ���� ���� ���

����6�� �� ������� � �� �� �� ���� ��7�� �� ����* M�

���� �� �� ������ ������ ��� �� �� ��� -LEE0�= �������

� <����0N��� � >�*� ? �*4* ��� ������� �� LEE0�=

������� �� ���+ � ����� $* � ��� � �0����� � �� ��� ��

+�� ��������� � ���� �������� ���� ���� ��� ����� ����*

���� �� ����� ���� �� � +�� ��� �� � LEE0�= ������� �

3��* "* � ���� ������ �� ��� �� ������� ��������� ���� �� ��*

����� "

=����� �� ������ ��� �� ./0123 �����

3���� ����� �� -��4 F)%

>��� ����� �� -��4 )%%

����� �!� ���, �� �� �� ���� "*)"%

����� �!� ���, �� ������� "*'B)

(�� ���� �� �� ������ �!� ���, O������

3��* $* >������ �� ������� ���� � �� ���� �� � �� ������ ��� �� ��

>1>K� ������ �� ����*

$+ .������ �� ��+ / ������ ��� �������� � 0120& 3%44%5 � &2�%% C"8

Page 3: High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication

�� ���� �� �� ) �:��$ � E% �>* ��� ����� ���� �� ������� ���� � �� ���+ � 3��* '* 3��* ) ���+� �� ���� ��

�� +�� �� �������� � �� ����� ���� �� � �� �� ��� ��

���* ��� �������� � �� ����� ���� �� � ������ ���� ��

%*$ �� � �=* �� �� E% �� ��� �� ���* ��� ������� ��

������ ��� +�� ���� $% ��*���� .��� ��7�� �� ���� +�� ������ � .��� ��0

���� � ��� �� �� ��� � B% �> � $ �� � ������� ��

��7�� �� �������* ��� ��7�� ���� �� �� ����� +���

�������� � 3��* E � �� ���� ��7�� �!� �� �� ���� ECC �

?���� ���� * ��� ��7�� ��� �� 8%9 +�� �� ���� ��� ��

������ +� � E% �� ������ ������ ��� �� �� $ �� .���

��� ��* ��� !���� �� ����� �6��!��� � �� ����� ����

��,���� ��7�� ��� �� .��� �� ���* ����� ��� ��

�� ���� +��� ������� ��� �� ����� ������ �� �� ����

��7�� �� �� �� ������ +��� ������ � �� ����� �����*

3��* F ���+� �� ��� ������ �� ����� ���� �� �� E% ��

������ ������ ��� �� �� $ �� .��� ��� ��*

��� ������ ������� �� �� ����� ���� ������� +� � ��

./0123 +�� �������� ��� �� ���� �� ������� � �

�� ���� ��+�� �� �� � �� +�!���� � �� E)% � ���� ?����

3��* C* � ���� ������ �� ��� �� ������� �� ����� ����*

����� $

/������ � ������ ������ ��� �� �� ��� -LEE0�= ������� � <����0

N��� � >�*� ? �*4

/������ >��� �� ��

��=2'�E�$2 -�:�4 $)%DC%%

��>�$�E�$2 -�:�4 )%DF%

�C52C -�:�4 '$D')

5���� ��� LE"% -��:�4 )

5���� ��� LE"0�= -��:�4 %*)D"

5���� ��� LEC -��:�4 "% -$)4

����� � LE$ -��:�4 "D'

3��* '* 1�� ������ �� �� ����� �������G -�4 �� �� ��� ���� ����6��� -�4

�� �� $% �� ������ ������ ��� ��& -�4 �� �� E% �� ������ ������ ��� ��

�� $ �� .��� ��� ��*

3��* )* ������� � �� ����� ���� �� � � �� ���� �� � �� ������

������ ��� �� ���*

C$% $+ .������ �� ��+ / ������ ��� �������� � 0120& 3%44%5 � &2�%%

Page 4: High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication

�����* ��� �������� ������ ���������� +��� � �� ���� ��

B$D8C9 ��� �� ������� �� �� .��� ��� ��* ��� !����� ���+

���� ������� +� � �� ������� �� ������� ���� �� ���+

� 3��* $*

� �� ����� �� �

��� ��� �� ������ 1/� ��� ������� +��� �������

������� �� �� ���� ���� ������ ���� �� ��� � ����� ���

���� ���� �� ����� ���� �� � +�� ������� ��� �� �����D

������ ����� � ��� ���* 3��� �� 1/� ��� ������� ��

+���� ����� ��� %*$ �� %*C �� +��� ������� �� � ' �*

+���� � ��� ����� �� ��� � ������ �� ��� ���� �*�* ��

���+ � 3��* B* ��� ���� ���� �� $��� $�) ��* 3��* 8���+� �� ���� ��� �� +�� �� �� 0��� ���6������ ��

��!���� ������ +� � � ���� ����� ��� �� )% �* ��� �� 0������6������ � �� ��!���� ���� �� $ ; +��� " .��� ��

B)% ���� ��� %*$ �� %*C �� 1/� ��� �������� ������ �!��*

� �����������

��� ����� ������� +�� ����� +� � �� ��� �� �������

1/� ��� ������� �� ��� �� � ������ �����* ���

%*F) �� � ./0123 +�� ���� �� � �� ������� � �� ��

123 � ����� �� ������� +���� �� �� ��� ������ �� ��

��� ������ +�� �������� � ������ �� ��� ��� � ��

�������* ��� �� �� �� ���� ��+�� ���� ./0123 +��

'%E �M � E)% � +�!���� �* 3��* "% ���+� �� ���� ��

�� +�� �� ��� ������ �� �� ��� ���* ��� ��� ������

�� �� 1/� ��� ������ +�� ��������� �������� � ��

��� ���� �� �� ��,���� ����� �� "B% ��+�� �� ����� �� ��� ��� �� ����* ��� ���� ��������� +�� ����

��������� � �� ���������� �!������� ���� ����� ���� ���

�� 1/� ��� ������ -������ �� ��� ���� =)8FC0%"4*

��� ��� ������ +�� �������� �������� �������� �

�� ��� ���� �� �� ��,���� ����� �� ")% �� +��

�� ���� � �� ��� ��� �� " ��* ��� ��� ������ +��

3��* E* ����� ��� �� �� ������ �� ���� � ���� �� � ������ ������

��� �� ���*

3��* F* 1�� ������ �� �� ����� ���� �� �� E% �� ������ ������ ��� �� ��

$ �� .��� ��� ��*

3��* B* 1�� ������ �� ��� �� ������� 1/� ��� ������ ����*

3��* 8* ��� ��� �� +�� �� �� 0��� ���6������ �� ��!���� ������ ��� %*$

�� %*C �� 1/� ��� �������*

$+ .������ �� ��+ / ������ ��� �������� � 0120& 3%44%5 � &2�%% C$"

Page 5: High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication

$%9 ������ �� �� ����� �� �� ���� ��� �� 1/�

��� ������*

��� ������ +�� ������� +� � $*' .�� ���+�� �

����������� �������� -��,�� ��PC$EF4 � �� ������

������ �� �� �� �� �� +�� �������� � ��!���� ���� ��

"*) ; �� � " .���* 3��* "" ���+� �� �� �� �� �

E%% ���� �� �� ������ ���� %*$ �� � 1/� ��� ������*

��� ������ ���+�� �� �������� �!�� " .��� ���������

�����*

� �����������

��� ����� �� ���� ������� ��� ���� ����� 1/� ��� ������

+�� ��������� �� �� ������ ������� �� 8C9 �� ���0

������ ����� �� �!�� " .��� +��� �����!�� ��� �� ./0123*

��� ������� +�� �� �� ������� �� � �� ����� ���� �� �* ���

������ �� ����� �� +�� �� ������� �� 1/� ��� �0

����� �� �� ��������� �������� � +���� �������* ���

�� ���� �,�� �� 123 +�� ����0������ � �� ��� � ����� ���

���� �� �� 1/� ��� ������ ����� �� 123 +�� ���� �� ��

�������* ��� ������� ��� �� �� ���� ������ ���� ��

������� �� �+ ���� ��!������ � �� +��� �� ����� �� ��

� �� �� ���* ����� ��� ���� ������ �� �������� ��

���� �� ��� �� �� �� ���� ������!�� ���� � ���� �

�� ���� �� ���� ?�� � �*

�������� ������

�� ���� +���� ���� � ��� � (�* /������� �� ����

N�!���� ��� �� ������ ���������� �� �� ./0123 ��

�� �� ���� ��������� �*

!�"�������

@"A <* ������ �* /�������� �* ����� �* ������ 1���� ������� �� ������0

���, ���� �� �� ���� ����� � ����������� ��� /</>< ����*

<��� ��* <B%0> -"4 -"88F4 ""FD"$$*

@$A �* ������ �* /�������� 5��+�� � �� ��������� ��� ��� �����!��

� 123� /</>< ����* <��� ��* <B$0> -B4 -"8884 "$BFD"$8)*

@CA M*�* M������� * M�� �� ��� 2� ��� �� ��0������ >��� �� ����

�������� 1����� =� (����� "8FB*

@'A �* ������ >���� Q �� >1> ����� D ���� �� ���� ���� =����

<��� CC -E4 -"8B'4 E$8DEC%*

@)A M*�* M������� * M�� �� ���� >����� �� �������� 2� ����

�������� 1����� =� (����� "8B8 ->��� �� '4*

@EA P* ���� �����0��������� ����� ������ ��������� �� � � ���� �

����� �� ���� ����* 2� * $F -"84 -"8BB4 '"$ED'"C%*

@FA 5* �������� #* ��� /* ��������� �* #���� 3����0�� �� ������� �����

� ������� �,�����0���� �� ���� 2� * ?� * "' -$C4 -"8B84 "C$FD

"C$8*

@BA ?*�* ?��!� *M* M�� � .�����0�������0����� �����+ ���� ���

������� �����0 �0������ ����* 1��* ?� * F' -$%4 -"8884 $8$"D$8$C*

@8A 3* ��������� �* �� ���� �� �* �������� ��!�� ���� ��������

���� �� �� ��� �� ���� ����� �������� ��� �G 1��������� �� ��

/<<<:?<2= / ��� ���� >������� � 2� ���� �<�= $%%"�

=�� ������ 2���+�� $%%"� ��* "$)D"$E*

#�� �������

$�� �� .������ +�� ��� � =�������� #���� � "8E)* �� �����!��

��� 5< �� 1�( ������ � ���� ���� �������� ���� ������ N�!���� �

=����� #��� � "8BB �� "88C� ������ �!��* �� +����� � � ���� ��

������ �!� �������� ������ �� ���������� ���* =��� "88C �� +�� �

�������� ������� � � �� ����� �� �� <��� ��� �� <��� ���� <�������

�� �������� N�!���� �� ��������* �� +����� � ������ +� � =2/

������� �� ���� ������* =��� "888� �� ��!� ��� ����� � ���������

� (���� �� �� ������� 1����� �� 1�����0/����� ���� 3���� ��

=����� �� ��������� ���� N�!���� *

�# � �� 6�#�7� +�� ��� � =�������� #���� � "8F)* �� �����!�� ���

5< �� �< ������ � �� ���� � �� �������� ���� ���� N�!���� �

��������� #���� � "888 �� $%%"� ������ �!��* =��� $%%"� �� ���

+����� � ������ >������ ��*

�� ��#� � ������ +�� ��� � ����� #���� � "8FB* �� �����!�� ��� 5<

������ � ������� 1����� �� 1�����0/����� ��� �������� ���� ����

N�!���� � ��������� #���� � $%%"* =��� $%%"� �� ��� +����� � /5�

#���� ? �*

$���� � � #� +�� ��� � ������ #���� � "8)'* �� �����!�� �� 5=�

�=� �� 1�( ������� � ������� ������ � ���� ���� N�!���� � #���� �

"8FF� "8F8� �� "8B$� ������ �!��* �� ��� ��� � ��������� �� ����

N�!���� �� ��!������ �� ����0���+�� � ./ ������ �� ���� ������ ��

��� ������� � ��� �� ������ �� 1��� �� 2� ���� 3���� 1��I�� ��

������������ ��� ��!����� 2������ ��-��24 �� #��� ����

"88B* �� � ��� �� � !��� �� ���������� � ��R� 5��� ?����� ����� ����

"8B8 � "88%* (�* ����� �����!�� �� / ��� ���� <������� ��

�������� �+��� �� �� =���� �� 1��� ��� <������ � "88'*

3��* "%* ��� ��� �� +�� �� ��� ������ � �� �� ��� ���� ��� ��

�� ���� ������� �� �� ���� ���*

3��* ""* <� �� �� � E%% ���� ������� +� � ����������� ���������*

C$$ $+ .������ �� ��+ / ������ ��� �������� � 0120& 3%44%5 � &2�%%