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バルブ製品 新世代のFurOn® (フューロン) バルブは、高純度のPFAをはじめとする高純度、射出成形のフッ素

樹脂で構成されています。エンジニアリングの専門性および特許取得の技術により、O-リングや金

属を必要としない、またメンテナンス フリー、適正な安全性、システム パフォーマンスおよび流体を

汚染しにくいバルブ製品を半導体産業に提供します。

UPX-2000 バルブ

Q- バルブ

UPM-1000 バルブ

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形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式

最大使用圧力最高使用温度

Cv値漏れ検知ポート

特長:•　二方弁および三方弁構成で一次側圧力・

背圧とも0.69 MPa まで使用可能•　メタル フリーと O-リングの設計•　フューロン SCR スプリングとベーローズ

の保護により高濃度の HF、HCl、その他反応性の高い用途に適用可能

•　漏れ検知が可能な完全二重封じ込め構造

特長:•　PFA と PTFE で形成された接液流路•　視認可能なポジションインジケータを

一体化•　メンテナンスしやすい設計•　双方向流動が可能•　メタル フリーと O-リングの設計

特長:•　多彩なオリフィス径・作動方式・ポート構成•　正圧・背圧とも 0.69 MPa まで使用可能•　二方弁および三方弁の構成•　スラリー用および高温仕様の製品も供給

可能

二方弁および三方弁6.4mm (1/4"), 12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")フレアグリップIIピラー スーパー 300フューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式手動1/4ターン式0.69MPa95℃180℃ (高温仕様)0.8 ‒ 7.0有

6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"), 12.7mm (1/2"),19.1mm (3/4"), 25.4mm (1")

形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁6.4mm (1/4"), 12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")フレアグリップIIピラー スーパー 300フューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式手動1/4ターン式0.55MPa82℃0.8 ‒ 9.4有

6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"), 12.7mm (1/2"),19.1mm (3/4"), 25.4mm (1")

形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式

最大使用圧力最高使用温度

Cv値漏れ検知ポート

二方弁および三方弁6.4mm (1/4"), 12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")フレアグリップIIピラー スーパー 300サニタリー、フューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式手動1/4ターン式0.69MPa95℃180℃ (高温仕様)0.8 ‒ 7.0有

6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"), 12.7mm (1/2"),19.1mm (3/4"), 25.4mm (1")

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1” INL バルブ

1-1/2” HRDV バルブ

2” HGV/HGVM バルブ

形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

特長:•　Cv 値: 15•　低せん断で淀みを生じにくいの内部流路•　8 つの取付箇所を有し、部品を手早く取

り外せ、金属を使用しない本体機構•　PFA と PTFE で形成された接液流路

特長:•　PFA と PTFE で形成された接液流路•　特許取得のローリング ダイヤフラム構造•　Cv 値: 31•　視認可能なポジションインジケータ•　O-リングを必要としないポート接続

特長:•　最大 Cv 値: 52•　平滑な流路設計により留容積を低減•　視認可能なポジションインジケータ•　漏れ検知が可能

二方弁25.4mm (1")フューズ ボンドフレア グリップ

空圧式手動マルチターン式0.69MPa100℃ 最大15有

12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4"), 25.4mm (1"),31.8mm (1-1/4")

オリフィス径標準接続方式口径作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

38.1mm (1-1/2")フューズ ボンド

空圧式0.41MPa100℃31有

38.1mm (1-1/2")

形式オリフィス径標準接続方式口径作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁50.8mm (2")フューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式0.55MPa100℃52有

38.1mm (1-1/2"), 50.8mm (2")

形式 二方弁

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HPVM バルブ

CDV バルブ

J- シリーズ バルブ

形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式

最大使用圧力最高使用温度

Cv値漏れ検知ポート

特長:•　PFA または PTFE で形成された接液流路

と PTFE ダイヤフラム•　0.55 MPa までの一次側圧力/背圧に対応•　空圧式 NC、NO、マルチターン式、1/4式、

トグル式が供給可能

特長:•　HPFA または PTFE で形成された接液流

路と PTFE ダイヤフラム•　0.62 MPa までの一次側圧力/背圧に対応•　二方弁および三方弁の構成•　空圧式 NC、NO、マルチターン式、トグル

式が供給可能

特長:•　最大 Cv 値: 7.2•　平滑な流路設計により滞留容積を低減•　視認可能なポジションインジケータ•　漏れ検知が可能

二方弁および三方弁4.8mm (3/16"), 6.4mm (1/4")フレア グリップ IIピラー スーパー 300フューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式手動1/4ターン式0.55MPa80℃

0.5 ‒ 0.8無

3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"),12.7mm (1/2")

形式オリフィス径標準接続方式

口径作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁および三方弁12.7mm (1/2")フレア グリップ IIピラー スーパー 300フューズ ボンド

空圧式　　　　　　手動マルチターン式手動1/4ターン式0.62MPa82℃3.0有

9.5mm (3/8"), 12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")

形式オリフィス径標準接続方式

口径作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁19.1mm (3/4")フレア グリップIIフューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式0.59MPa95℃7.2有

12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4"), 25.4mm (1")

RDVM & SMDVM セルフ-マニホールド 分配 バルブ特長:•　最大 Cv 値: 15•　最少在庫条件•　空圧気式または手動式仕が供給可能•　柔軟な設計によりお客様の幅広い要求に

対応•　特殊な器具を使わず組立可能

形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁25.4mm (1")フレア グリップ IIフューズ ボンド

空圧式手動マルチターン式0.69MPa100℃最大15.0有

12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4"), 25.4mm (1"),31.8mm (1-1/4")

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ミニ チェック バルブ

ラージ チェック バルブ

2” HGV チェック バルブ

形式オリフィス径

標準接続方式

口径

作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値

特長:•　PFA 製品•　7 kPa 以下のクラッキング圧•　PFA 製スプリング•　O-リングを必要としない設計

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特長:•　PFA 製品•　Cv 値: 3.7-7.5 Cv•　7 kPa 以下のクラッキング圧•　PFA 製スプリング•　O-リングを必要としない設計

特長:•　フッ素樹脂製品•　Cv 値: 32•　7 kPa 以下のクラッキング圧•　O-リングを必要としない設計

二方弁1.6mm (1/16"), 3.2mm (1/8"), 4.8mm (3/16"),6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8")フレア グリップ IIピラー スーパー 300

流体0.83MPa95℃0.1 ‒ 1.90

3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"),12.7mm (1/2")

形式オリフィス径標準接続方式

口径作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値

二方弁50.8mm (2")フレア グリップ IIフューズ ボンド

流体0.68MPa121℃32

50.8mm (2")

オリフィス径標準接続方式

口径作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値

12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")フレア グリップ IIピラー スーパー 300フューズ ボンド

流体1.03MPa 121℃3.7 ‒ 7.5

12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4"), 25.4mm (1")

形式 二方弁

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ストップコック モールド バルブ

DVX バルブ

定量バルブ

形式オリフィス径標準接続方式

口径

作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

特長:•　高純度 PTFE 及び PFA のみで成形された

接液流路•　O-リングを必要としない設計•　L 型およびT型構造成の三方弁製品も供

給可能•　パネルに取付可能な製品も供給可能

特長:•　浸透を防止するための二重ダイヤフラム

シール•　PFA および PTFE のみで形成された接液

流路•　電動式 24 VDC および 115 VAC仕様を

提供可能

特長:•　PTFE で成形された接液部により耐食性

を実現•　ニードルステムに切られた極細のネジによ

り、正確な流体供給と流量制御が可能•　洗浄の際、ボンネットおよびパッキングは

容易に取り外し可能•　流れやすい直線流路

二方弁および三方弁7.9mm (5/16"), 4mm (5/32")フレア グリップ IIおねじNPT

手動式0.3MPa60℃Full Orifice無

3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"),12.7mm (1/2")

形式オリフィス径標準接続方式口径作動方式

最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁および三方弁6.4mm (1/4")めねじNPT

電動式 24 VDC電動式115 VAC0.69MPa 90℃0.6無

6.4mm (1/4")

形式オリフィス径標準接続方式

口径作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁1.6mm (1/16")グラブ シールフレア グリップIIめねじNPT

手動マルチターン式0.52MPa100℃0.2 ‒ 0.5無

3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4")

高精度プラグバルブ特長:•　PTFE で成形された接液部により耐食性を

実現•　気泡防止シール•　液体ならびにガス両方に適用可能•　流れやすい直線流路により圧力損失が起

こりにくい

形式オリフィス径

標準接続方式

口径作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁1.6mm (1/16"), 3.2mm (1/8"), 4.8mm (3/16"),6.4mm (1/4")

グラブ シールグラブ シール II めねじ NPT

手動マルチターン式 0.52MPa100℃0.2 ‒ 0.5無

3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4")

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サックバック バルブ

リリーフ バルブ

希釈ドレイン バルブ

形式オリフィス径

標準接続方式

口径

作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

特長:•　高純度 PTFE 及び PFA のみで成形された

接液流路•　ノズルから流体滴下を防止•　調整可能なサックバック容量により、分配

する流体の正確な計量が可能•　サックバック量の再現性により、分配する

流体が等しい

特長:•　高純度 PTFE 及び PFA のみで成形された

接液流路•　過剰の圧力から上流の装置を保護•　調整可能なリリーフ圧力 (0.07‒ 0.62 MPa)•　腐食性および反応性の高い流体に適用可能

特長:•　金属を使用しない設計•　シンプルでコンパクトな設計•　希釈率を調整可能

二方弁3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"),12.7mm (1/2")フレア グリップ IIピラー スーパー 300

空圧式0.41MPa130℃2.3 ‒ 7.2有

3.2mm (1/8"), 6.4mm (1/4"), 9.5mm (3/8"),12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")

形式オリフィス径

標準接続方式

口径

作動方式最大使用圧力

最高使用温度Cv値漏れ検知ポート

二方弁9.5mm (3/8") (HPVタイプ); 6.4mm (1/4"),9.5mm (3/8"), 12.7mm (1/2") (RVタイプ)フレア グリップ IIピラー スーパー 300

流体0.55MPa (HPVタイプ)0.62MPa (RVタイプ)80℃0.5無

6.4mm (1/4") (HPVタイプ); 6.4mm (1/4"),9.5mm (3/8"), 12.7mm (1/2") (RVタイプ)

形式オリフィス径標準接続方式口径作動方式最大使用圧力最高使用温度Cv値

二方弁12.7mm (1/2")フレア グリップII

流体0.41MPa150℃2.5

12.7mm (1/2"), 19.1mm (3/4")