4
147 0-7803-7235-2/02/$10.00 © 2002 IEEE PROC. 23rd INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS (MIEL 2002), VOL 1, NIŠ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¶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¶DQ&KLQD

[IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

  • Upload
    jb

  • View
    214

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

1470-7803-7235-2/02/$10.00 © 2002 IEEE

PROC. 23rd INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS (MIEL 2002), VOL 1, NIŠ, YUGOSLAVIA, 12-15 MAY, 2002

������������� ����������������������������������������������������

��������������� ��!������"����������#����������$��%�� �������$��&��&���

�'(������� �� �������� ����������� �� ������������������� �����

����������� ���������� )������*� ���� ����������� ��� ����� +�+�������� ����+������������� ���� +������������� ����������� ����������������� ��� (,��-���� ��,������ �� .�/-0� ���� 1�/-0�����+������,�������+��������-�����������������+���������������������+�(�,����������������������,������������������������������������,����������)23�*��2�����,��������������������������������� �� ����� ������� �������� ��+������� 23�� ���� ���� �������������� ��� ���� ������� ������� ���� ���� ������ +���� �� ���������+������,���4�5������������,����������,�������������6"����'������,��������������������������������������������������������������������'������������,����������������(���������������23�����+��+�����������������

��6#��7�8��67#��

����6���������� ���������������� ���������� )6���*� ��� ���� ������ ����� +���+������� +����� �������� ��� ���� +������,�����������++,�����������������+�������++,��������������������������7��� ���� �(������� �������,�������������������������� ����� +���������� ���,��� (������� �� ���� ������� ���+,���(��������� ������,���� ���+���(,�� ��� (�+�,��� �������� �������� ��7� )����� �����7*� ������������ ��� ���+������� ������������,�����6�&��)6���,����������&�+�,�������������*��������� ������,�� (������� ���� �� ���� ��9������ �������� ��� �������,����� +����� �,����������� "����� ���� ������� ���� ���+�����+,��� (����� ��� ���� ��7� ����������� ����� ����� ������������ �������� ����,���� ��+�(�,���� +��� ����� ������� ������������ ��� ���+������� ����� +����� 47"2��� ����� ������� ������� �+������ ��� ������� ��:��������� ��������� ����������������� ��� $�+��� ���� ����+�� ����� ������ ��� ���-���+����������������������+���������������,�������������������������,�+�;-0�6������(���� ������������������������� ������������� �����-�(,��

���������� �� ���� ������ ����������� ���,�� ����,�� ��� ���� ��������+��������� ��� ���� �������� ����������������������� ����,������ ���� ���������� �� +����� ,���� ���� ���� ��+��������� ����5����� ������,,�(,�� ��������� �������� <=>�� ����� ������+��������� ��� ���� �������� ���������������� (�� ���� ��(���������������� �� ����� ������ ��������� ���� ����� ������,���� ��6������������������+�������,��������,���

"����� 6�������������:��� ���������������������,��� �������� �� # � ������������ ��� ���� ����� (������ �����������������������������+��������������7�����������������,�����������������������������������������,������++,����������������������������������(�����������+��������6����<?>�

����<.>�������������+������� ������,������������������������ ��������,��(��������,����� ��� ������������-���,,� ����������-����������+���������������������������.�/-0�����1�/-0� (,��-���� ��,������ )0����� ��+�������� +��-� ����������,����*�(���������������,,������������@�?*� �����������������������,��������+�0����������������

����������(��������A�����������������-������.*� ��� �+����A�� ���� 23�� ����������� ������� ���((��,����

�������+������������������������B���(�����+�������+��+����(���������+��������

C*� 4���,������ ������������ �� ���� ���� 23�� �����������D�� ,������+� (�� ���� �������� ��������� �������� ��23����

1*� ��� �(����� �� ������ ������� +���������� ���������������,���������7�����������(����������+����A�������

���� ������� ����,��� ��������� (�� ���+���(,�� ��� ����������,� (�+�,��� +������� ��� �(��������� �� ��7� �����������(�������������+��������+��������+�������

���E ��64�#���

'��,�����,� ��,��,������ ���� ������� ����,������ ��� �����,�������,� (���-����� �� #� 9��������� ����� ��,+� �����������,������������,���������,��<C>��<1>����,����������������� �+������������ ��� ���� ����������� ����� 0���� ��.�/-0�����1�/-0��&�,-����������������������(��������#���)#������� �������������� ��+��*� "�������� �� ������������������ ���� �����,� ������(������ �� ���� ����� ���������������� ������� =F�� ���� ������������ ,���������� ��,������� ����������� �,��������� 7� ������� ��� ��� �,��� ��,������� (�� ���������������������+�����������������'���� (����� ���������� �������� ��� ����������� ���� ��+����

+���,�� ��� ����� +���� �� ���� ����������� ����� ��,+� �� �����������,� +������� ����,������ ���,� <1>�� ���� �5�������� ������� +������� ��:������ ����,�� (�� ����� ��� ��� �����+����� �������,�������,����)���*��������������������������:�������,+�,�����(�����,��������������������������������,���������� ���� ��,����� (�,-� ����� "�7�B"�� ��������� (������� �� ����������������+�(�,���������(��������������(,��-������,������ �(������������������(����B�,����������(,��,�����+���,���6����������-��������������5+��������,,����-��.�/-0��������

�������������� ��!������"��������������#���������������������� �����"��������������������������+��������,�����������,�������������6��������� ��7��&�5�.G������������;1?�?.G�����������"����������������,@���-��H-�������-��$���%��� ������$��&��&���������������� ������,����������

���������6���������) ��6*��E�D����=?GG;?���������

Page 2: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

148

���+,������������,�??�+��������-�,�������&���������,����,���������������-�����������1�/-0������������� ������B����������5��� ����� ����,������ ����� ���� ��

��""6"� �� 6"�� </>� ���,�� ����� ���������� ��������������������� ���������� ������� ��� ���� ��5��� ����� ����,������ ������������2����?��

�2���� ?��������� ��� ������5�������� ����,��������������B��������

���6�������������

����"8 �"��

���������������� �����'�����������������������,�������������,�����,���,��,������

����,��� ��� #�9��������(���-������ ����1�/-0�����������������,�����;/G�����#�(��������-�����������������������#������������� ��������������.?/��������������+����� ��������+�������������)# �*������������������������2����.���

�������������� ���

���

���

����

����

���

���

���� ���� ���� ����

������������������ ��� �� ������������������� ��������� ������ �������������������

������������ ������ ����������������� ����� � ����

�����,�������������#��(������������������0��������������

�������,��������������A���������������-��������,�����0������� �������� ���� ���������� ��� ����� �������� ��� ���+�� ����+�������������) �*������������������������������������������+��-� �,������� ��,�� ��� ���� 9������������� �� ��,�����,����������,������� ��,�� ��� ���� #��,����� ��� �� �������� (���� �����������"���,������ ����,��� ��� 2���� C� ������������ ���� #�(��������-����� �� 1.G�������� ���� ����� ������������ �� //G�������� 1�/-0������������� 6�� ���� ���������� ����������� ����� ���� �� ���������� ��� ��������(�,-�������� ���+������������� ����

(,��-���� ��,����� ����� �+� ��� 1�/-0� ��� �(���� ��� ��+���������������������� �� 0��� ���� ������ &��� ��� ����� ���������� �������,����,,���,���������� ����#�� ��,�����+�,�������������������������������������

2���� C�� �,������� ��,�� ������(������ ��� ���� #� 9�������� ��� ���� ������������������� �� ���������� ��� �,��� ����,�(,�� ��� .�/-0��������� (���

����+������������ ��������-��� ����# ������������+������������� ,������� A���� )2!*� ����+�� "�� ����� ����� ����+���������������+����������(������������������������,�����,��,��� ��,����� �������� (�� ���� ����� �����&����������� .�/-0��������������#�������������������-��6�����,�����,���,��,������������������(���-�������,������

��������������� ������������� )0��� ����0��� ���+������,�*��0��� ���� 0��� )������+�������� +��-� �������� ���� ����������,����������+������,�*�����+������,�����������������0������ 0��� 8���,,�� 0��� )0��*� ��� ��������� ��� ?G/F� �??/F���0��)0�*��0���)0�*�����,��������,��(��������������0���)0��*�����������,���+�����������+������������������������ ��� ��� ���������� ��� ��������� ���� ���+��������������������0����� #�9������������I?B0� �0B�������������������,����I�G�G/F���G�?/F���

���� ����� ���������������������6�� ��� ��,,� -����� ����� ���������D�� -��� +��+������� �����

���������,��������+��������������+�(�,������������������������� ��+���� +���,�� �� +�(���� )�� *�� ��������� ���� �(������+���� +���,�� ���� +������,�� ������������ 6� �� � (���������������������������(�����������������������������,����,���������������� �� �(���� ���� 0��� ��,,�� ��������� (������ ���������(�� ���� ,��������������� ��9������������ ����#�����������6� �� � ��� ���� ,��� ���� �++������ ����,��� ��,,� (�� �(�������������������� ,������� �5+���������� ��������������+����A����� ��������?�C���?G

���������������,�A�����������+� �(���������������� (�� ',� ��������� �� �������� ��� ���� ��������

��� �� �� �� ��

��

������� ����

��

� ��� ��� ��� ��� ��� ���

����

����

����

����

����

����

�����������������

� �������� �

���������

���

���������

��

��

��

��

��

��

��

��

��� �������������������

Page 3: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

149

��������� ��,��� ���� ���� �(���� �������� ��� �(������� (�� ���������������,� (����� ��������� ��� �(����� �� ��������������������� ������� ����� ?G�������� 2��� ���� ����������,������������������� ��� ����,�������,�� ����������������� �(���� ��������� ��������� ���� ����,���� ���� ����,� ��,,������������������,� ���+����+���,���6������������� ����������������� ���������� ��������������,�+���+����+���,���7���������-����������������,�����������(��+�,����������������������-������������������ �,���������� ���+����������������� ������� �������������������+��#���"�������������������������;C�/������

����� ��� ���������� ���� 1�/-0� ������� ����� �� +��-� ��������������� ��+������ �� ?�GGG'� ��� ���� ���((��,���� �+�������������� ���D�� �������� ������ �� .JG��� ��� ������ ����.�=.������,������������������������������5����������������������+��������/'�����������������D�������������������������������+������� ������������������,���7D���������+��+�����������������+�����5������������������������ �(����,������ 2��� ���� +��-� ������� �������� ��+������ �� ?�GGG'������,�.1G��������������������������������������������,�+��-�������� �������� ��� .1G� ������� ��� �(���� ?�.GG'�� ����������,����������������������������������+��������,��������������������+��������+�������������� ��� ������������������������7����������������������������������������������������������������������������23��������������2����1��

�2���� 1�� �������� ��+�,���� �� �� ������� ���� �� .�/GG0B� /GG'�

����������������-����������23������,����������������������������������������,,�������������������+������,����2���� 1� ������ ���� �������� ��+�,���� �� �� ���+,�� �������

����� �������� �� .�/-0B/GG'� ����� ��� ����� ���-� ����� ����#��� ����� �� /.��� ��� ���������� '������� �,�����������������������������2����/�������23��������������������������(������������������,������������������������,,����������������� ����� ������� �����(,�� ���� ������������ �� ����� ������������,� ��� �� ��������� ���� ,������ ���� ��� �������� ���� (������,����������1�/-0B?-'��������������������,�.1G������������ ��������� ��� C� ����������� ������ ��� ������ ��,,� ���� ����23����.C�J�������������������������������������������+��������;C�/��������������������2����/��

�2���� /�� &����� ���-� +������� ��� ;C�/��� �� ���� ��� ���������

������23�����,������������������������������

�������� ������������� ���������!�������� ��������6���������������������������������23��������������������������� ������,���� ��� ���,������(���������������23��+���������+��+�����������������2����;��6������������+���������� +������� ���� ���� ������������ ����������� (�� ����������������� �������� �� 23�� ������� ���� ������� ����������� 6������ (�� ����� ��,��(,�� ��� ��++����� ���� �,��� ����������������������� �� ���� +���� (�� ��������� �� ���� ���,�����)��+������*� �(���� ���� ���� 23�� ��������� <=>�� 2��� ,�����,�����������������������,,��� �(������+�������������������������+������� �,�������������,�������(����,,�����(,������(��������������&��� �� �������,������������ ������ �����+��� �(����� ��� ������ �������� �� ',� ����� �� ����� ����������������� ���+���������&��� �����������������,�� ��� ���,�A��',� ��,������������ ��������� ��������� ��� ����� �� ������� �(����,�����(��',���������(�����+������� ����+����,���������������������������23��+������2�������������������������������������+����������������������������������,,�����������'������ ����� ���+�� ��+������� �� ,������ �� ,��� ����������� ��������,�������,��������� ����� �(�������������� �����������23���"�����,��������+������������������.G�����+�����������(������������������������������������ �B ������������+����������������� ���������� ���,�� ����,�� (�� �(������� ������+�����������������������������<=>���

�2����;��'�����������+������������������+��+�����������������

Page 4: [IEEE 23rd International Conference on Microelectronics (MIEL 2002) - Nis, Yugoslavia (12-15 May 2002)] 2002 23rd International Conference on Microelectronics. Proceedings (Cat. No.02TH8595)

150

"��#� ���������������������� ��5��� ����� ����,������ ���� ����� ��� �(����� ����

���������� ��������� �� 6����� ���� �������� �������� ������������2����=���

���

���

���

���

�������

� � � � ��

������ ���

���

���

������

�2����=��"���,��������������������@�6�I.;G'K0�I?GGG0������ �������� ����������,��.��������6�����������������

?�GGG0� �� �������� ������ ��,����� ��� .;G'� �� �������������������������������������������������������2����J��'���� ������� �������� 6����� �� ?=G'�� ���� ��������� �6��B��� �����,������ �������� �+� ��� J/G'B��� ���� ���� �������� ����� ��� �����,��G�.������������,�����������������(����G�;�������������,��������� ����(�����,���(������������������� ����� ������� 6�� ����,���,�� ����� ����� ���� �� ���� ������� ������� ��������������������������((��,�������������������

� � � �

� � �

� � �

� � � � � � � �

� �

� � �

� ���

���

� �� � � � � � �

������

�� �

��

��

2����J��"���,��������������������@�6�I?=G'��0�I..G0��6�I�?=G'��0�I�?;0����IG�2�������I?G���

��"844'�L��

����&������������ ��������������� ������������ 6���������+����������'��,�����,� ���� ����,������ ���,����� ������� ��������� +������������� ���������� ���� ���� #��� ����� ���������������������������������������������(,��-������,������� 1�/-0�� &��� ��� .�/-0� �������� ��� ��� ����������� ������������(,�� ��� ���+�� ���� ����+������������� ����� (����������������������������������������,������������+���������2���1�/-0�����������������;C�/����������������������

������� �������� ��+������ �� ?�GGG'�� 23�� ���������������������� ��� ���� ������� ������� ���� ���� ������ +���� �� ���������+������,�������+��������-������������������������������� ��+�(�,���� �� ���� ����� �� ������� ������ ������ ��������,����������������������������23�������� ��5��� ����� ����,������ ������ �������� ���� �������

��������� �� ���� ��������� ������������ ���� �������� ���������?�GGG0�������������,��������.;G'��������������������������������,��.�����'�������������������������,�����������D�� �(��������

23�D�� ��������� ��� ��������,������ ���+�����+��+����� ��������+�����������

'��#74 ����4�#����������-������+������������������,����-��������������,�

�M�� +�������� N���� ����,�+����� �� ����� "���������������������,������O��+��������(������4����������"�����������������,�������+�(,�������������

��2���#��"��

<?>�"�� �������"���,�-���4��2���-������������,,��������!�,,����N�'�#��� ������ �� �������� ����������� ��������������������������� ��� ������,������ 4������ ����� �++,�������O�� ���������"�"$%&��#�������?PP=��++��???=�??.1��

<.>����"������4��L������������#�-�����������'������-�����N�'�#��� ���� ����� ������� ���� )���������������� ������*����������O�����������"�"$%&��#��������?PP=��++��.G=G�.G=/��

<C>� 6"����'��4����,��� ��""6"�M� " 6���� ��,����� ;�� 0�,�� /���6����������"������������������������"���A��,�����

<1>�"�,�������'��4����,��'� '"��"�,�����6��D,������8"'��</>���� ��!������ $��3�,�������� ��������,,��������L�� ���N"���

������������������������� �� ������������� ������������ (�� ������ 6����������O�� ��� ������ '��� �� ���� ������ ��#���"��� �����������(� ������� �����������������������'����?/�?J��.GGG��++�..P�.C1��

<;>����"���������#�-����������4����������"������������'������-����� N1�/-0� "��� ��������� ������ ����� ��������"������"��������O�� ������������$%)��$�+����?PPJ��++��C?C�C?;��

<=>� "�� �,�-��� "�� ������� ���� 4�� 2���-���� N6����� ���4������ 0�,����� ������ '++,��������O�� ���(� "*�����?PPJ��6""8��C��++��?C;��?11��