IMM

ISTITUTO PER LA MICROELETTRONICA E MICROSISTEMI (IMM) – CONSIGLIO NAZIONALE DELLE RICERCHE (CNR)

UNITA’ DI CATANIA

Dispositivi di potenza ed iperfrequenza ad alte prestazioni (SiC, GaN)

Processi avanzati per tecnologie microelettroniche ultra scalate (giunzioni sottili, metallizzazioni,

laser annealing, …)

Nuove architetture MOS (memorie a nanocristalli, architetture FINFET, …)

Tecniche avanzate di caratterizzazione (microscopia elettronica e microscopie a scansione di

sonda)

Tecnologie microfluidiche (micro-fuel-cells)

Elettronica su plastica

Nanotubi di C per elettronica e sensoristica

18 Ricercatori in organico CNR

10 Ricercatori con contratto a progetto

13 Unità di supporto tecnico e amministrativo

10 Tesisti e dottorandi

Tematiche di ricerca: Materiali, processi ed architetture per la Microelettronica

IMM

FRENDTECH Front end models for silicon future technology Fraunhofer

IMPULSE Ion implantation at ultra low energy for future semiconductor devices IMM

ADAMANT: Advanced Memories bAsed oN discrete-Traps LETI

FLASH: Fundamentals and applications of LASer processing for Highly innovative MOS technology; IMM

FINFLASH: FINfet structures for FLASH devices IMM

NUOTO: New materials with ultra high-k dielectric constantfor tomorrow wireless electronics; IMM

ManSiC: Promoting and structuring a MultidisciplinaryAcademic-Industrial Networking through theheteropolytype growth, characterization andapplications of 3C-SiC on hexagonal substrates IMM

Partecipazioni a Progetti Europei

V programma quadro

VI programma quadro

Coordinatore

IMM

- Microscopi elettronici in trasmissione e a scansione (risoluzione atomica e contrasto chimico)

- Atomic force microscope e spreading resistance profiling

- Laboratorio di foto- ed elettro-luminescenza

- Laboratorio per la caratterizzazione elettrica di materiali e dispositivi

- Impiantatore TANDEM da 1.7 MV

-Sistemi per deposizione di film sottili (Evaporatore e Sputter in UHV)

- Inductive coupled plasma (ICP) etcher

- Clean Room (classe 10) su 100 m2

- Nano-imprinting lithography

- Litografia laser a scrittura diretta

- Forni per Spike and Laser Annealing

- Processing su Carburo di Silicio (alta temperatura)

- Laboratorio chimico per Si-micromachining

IMM

Numero di pubblicazioni e di citazioni di IMM, dall’anno della costituzione dell’Istituto al Marzo 2007, tratto dalla banca dati ISI Web of Science.

Il numero medio di citazioni per pubblicazione e l’indice h di Hirsch sono riportati nella parte destra della figura.