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FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR WERKZEUGMASCHINEN UND UMFORMTECHNIK IWU LASERSTRUKTURIERUNG VON FORMEN UND OBERFLÄCHEN Lasermikrostrukturierung funktionaler Oberflächen und Mikrogeometrien Die Mikrostrukturierung mithilfe eines Lasers ermöglicht eine präzise Bearbeitung unterschiedlichster Mikrostrukturen. Werk- stoffe, die mit konventionellen Fertigungs- verfahren nur noch schwer strukturierbar sind, können unabhängig von Härte, Zähigkeit oder elektrischer Leitfähigkeit bearbeitet werden. Gleichzeitig lassen sich Strukturen mit Abmessungen von wenigen Mikrometern herstellen. Forschungsarbeiten am Fraunhofer IWU konzentrieren sich auf die 2½D- und 3D- Mikrostrukturierung von Prägewerkzeugen für das Heißprägen medizinischer Fluidsysteme sowie auf die Oberflächenstrukturierung technischer Komponenten beispielsweise zur Reibwertreduzierung. Die Anwendung der Ergebnisse auf 3D-Freiformoberflächen sowie die Kombination der Laserbearbei- tung mit dem Mikrofräsen ist gegenstand 1 Mikrostrukturierung mittels Laserablation 2 Prägewerkzeug für das Mikro- heißprägen aus Siliziumcarbid (SiC) 3 Prozessablauf zur Fertigung von heißgeprägten Mikrofluidikkom- ponenten Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU Reichenhainer Straße 88 09126 Chemnitz Abteilung Funktionsoberflächen und Mikrosystemfertigung Dr.-Ing. Jan Edelmann Telefon +49 371 5397-1931 [email protected] www.iwu.fraunhofer.de derzeitiger Untersuchungen, um die Vorteile beider Bearbeitungsverfahren besser zu nutzen. System – Ultrakurzpulslasersystem mit 532 nm Wellenlänge sowie Pulsdauern von 12 ps – Faserlaser mit 1064 nm Wellenlänge – Mehrachs-Maschinenystem zur 3D- Laserstrukturierung Handlungsfelder – Laserfeinststrukturierung von Heißpräge- und Spritzgusswerkzeugen – Mikrostrukturierung technischer Oberflä- chen, u.a. zur Beeinflussung tribologischer, optischer und haptischer Effekte – Mikrostrukturierung metallischer Werk- stoffe in Kombination von Laser- und Fräsbearbeitung 2 1 © Fraunhofer IWU, 2014

LASERSTRUKTURIERUNG VON FORMEN UND OBERFLÄCHEN · 2021. 1. 7. · Process – Picosecond laser system with 532 nm wavelength and pulse durations of 12 ps – Fiber laser with 1064

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  • F R A U N H O F E R - I N S T I T U T F Ü R W E R K Z E U G M A S C H I N E N U N D U M F O R M T E C H N I K I W U

    LASERSTRUKTURIERUNG VON FORMEN UND OBERFLÄCHEN

    Lasermikrostrukturierung funktionaler

    Oberflächen und Mikrogeometrien

    Die Mikrostrukturierung mithilfe eines

    Lasers ermöglicht eine präzise Bearbeitung

    unterschiedlichster Mikrostrukturen. Werk-

    stoffe, die mit konventionellen Fertigungs-

    verfahren nur noch schwer strukturierbar

    sind, können unabhängig von Härte,

    Zähigkeit oder elektrischer Leitfähigkeit

    bearbeitet werden. Gleichzeitig lassen sich

    Strukturen mit Abmessungen von wenigen

    Mikrometern herstellen.

    Forschungsarbeiten am Fraunhofer IWU

    konzentrieren sich auf die 2½D- und 3D-

    Mikrostrukturierung von Prägewerkzeugen

    für das Heißprägen medizinischer Fluidsysteme

    sowie auf die Oberflächenstrukturierung

    technischer Komponenten beispielsweise

    zur Reibwertreduzierung. Die Anwendung

    der Ergebnisse auf 3D-Freiformoberflächen

    sowie die Kombination der Laserbearbei-

    tung mit dem Mikrofräsen ist gegenstand

    1 Mikrostrukturierung mittels

    Laserablation

    2 Prägewerkzeug für das Mikro-

    heißprägen aus Siliziumcarbid (SiC)

    3 Prozessablauf zur Fertigung von

    heißgeprägten Mikrofluidikkom-

    ponenten

    Fraunhofer-Institut für

    Werkzeugmaschinen und

    Umformtechnik IWU

    Reichenhainer Straße 88

    09126 Chemnitz

    Abteilung Funktionsoberflächen

    und Mikrosystemfertigung

    Dr.-Ing. Jan Edelmann

    Telefon +49 371 5397-1931

    [email protected]

    www.iwu.fraunhofer.de

    derzeitiger Untersuchungen, um die

    Vorteile beider Bearbeitungsverfahren

    besser zu nutzen.

    System

    – Ultrakurzpulslasersystem mit 532 nm

    Wellenlänge sowie Pulsdauern von 12 ps

    – Faserlaser mit 1064 nm Wellenlänge

    – Mehrachs-Maschinenystem zur 3D-

    Laserstrukturierung

    Handlungsfelder

    – Laserfeinststrukturierung von Heißpräge-

    und Spritzgusswerkzeugen

    – Mikrostrukturierung technischer Oberflä-

    chen, u.a. zur Beeinflussung tribologischer,

    optischer und haptischer Effekte

    – Mikrostrukturierung metallischer Werk-

    stoffe in Kombination von Laser- und

    Fräsbearbeitung

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    © F

    raun

    hofe

    r IW

    U, 2

    014

  • F R A U N H O F E R I N S T I T U T E F O R M A C H I N E T O O L S A N D F O R M I N G T E C H N O L O G Y I W U

    LASER STRUCTURING OF SHAPES AND SURFACES

    Laser micro-structuring of functional

    surfaces and micro-geometries

    Micro-structuring by laser enables precise

    machining of various microstructures.

    Materials regardless of hardness, tough-

    ness and electrical conductivity can be

    processed, which are very hard to be

    structured with conventional manufactur-

    ing processes. At the same time, structures

    with dimensions of a few micrometers can

    be generated. Fraunhofer IWU is currently

    focusing on 2½D and 3D micro-structuring

    of the molding tools for hot embossing of

    medical fluid systems as well as on surface

    structuring of technical components,

    among other aspects, for reduction of

    friction. The application of the results on

    3D freeform surfaces and the combination

    of laser processing with micro-milling

    is subject of current investigations. This

    allows the use of the advantages of both

    processing methods.

    1 Micro-structuring by laser

    ablation

    2 Embossing die for hot emboss-

    ing made of silicon carbide (SiC)

    3 Process chain of hot-embossing

    micro fluidic structures

    Fraunhofer Institute for

    Machine Tools and

    Forming Technology IWU

    Reichenhainer Strasse 88

    09126 Chemnitz, Germany

    Department Functional Surfaces

    and Microsystems Manufacturing

    Dr.-Ing. Jan Edelmann

    Phone +49 371 5397-1931

    [email protected]

    www.iwu.fraunhofer.de

    Process

    – Picosecond laser system with 532 nm

    wavelength and pulse durations of 12 ps

    – Fiber laser with 1064 nm wavelength

    – Multi axis system for 3D laserstructuring

    – Optical measurement system for death

    controll

    Action

    – Micro structuring of metallic materials in

    a combination of laser and milling

    – Laser structuring of embossing tools and

    injection molds

    – Micro structuring of technical surfaces

    etc. to influence tribological, haptical and

    optical effects

    – Micro structuring of metallic materials by

    combination of laser and milling

    © F

    raun

    hofe

    r IW

    U, 2

    014

    functional fluidic structure

    CAD structure of a forming tool (negative form)

    forming tool in silicon carbide (negative form)

    embossed micro fluidic structure in PMMA

    3

    design laser machining

    embossing