MAIRE Carole

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Caractrisation des proprits optiques des nanocristaux de silicium par ellipsomtrie spectroscopique. MAIRE Carole. L aboratoire de P hysique des M ilieux D enses Universit Paul Verlaine-Metz. PLAN. Objectifs du stage. 2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique. - PowerPoint PPT Presentation

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  • Caractrisation des proprits optiques des nanocristaux de silicium par ellipsomtrie spectroscopique. MAIRE CaroleLaboratoire de Physique des Milieux Denses Universit Paul Verlaine-Metz

  • PLANObjectifs du stage.

    2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique.

    3.Principe dexploitation des mesures.

    Prsentation des rsultats exprimentaux.

    5.Conclusion.

  • 1.Objectifs du stageDterminer les proprits optiques de nanocristaux de SiliciumPrsentation des chantillons tudis.Substrat de SiNanocristaux de SiliciumCouche de SiN

  • 2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique.Mathmaticien allemand Paul Drude(1863-1906)Lellipsomtrie est une technique optique danalyse de surface fonde sur la mesure du changement de ltat de polarisation de la lumire aprs rflexion sur une surface plane.

  • 2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique.

    sont les angles ellipsomtriques

  • 2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique.Le montage utilisPolariseur Glazebrook

  • 2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique.Le montage utilis

  • 2.Prsentation de lellipsomtrie spectroscopique.RsumModulation du flux lumineux incident par le polariseur tournantDcomposition en srie de FourierMesure des angles ellipsomtriquesMthode de HadamardComparaison avec un modle adaptDtermination des paramtres optiques recherchs.

  • 3.Principe dexploitation des mesures Milieux htrognes : approximation ncessaire : thorie des milieux effectifs

    Interprtation des mesures: les lois de dispersion (, )Paramtres (ni, ki, di,..)recherchsInversionetModle Principe gnral

  • 3.Principe dexploitation des mesuresCaractrisation dun chantillonPremier modle laborComparaison des paramtres ellipsomtriquesEchantillon 14 Arc 700

  • Le Silicium cristallin est inadapt pour dcrire les proprits optiques des Nanocristaux de Silicium !!La valeur deest trop grande !!

  • 3.Principe dexploitation des mesuresCaractrisation dun chantillonSecond modle labor : avec une loi de dispersionComparaison des paramtres ellipsomtriquesEchantillon 14 Arc 700

  • 4.Prsentation des rsultats exprimentaux.Comparaison des paramtres ellipsomtriques

  • 4.Prsentation des rsultats exprimentaux.Dtermination des proprits optiques des nanocristaux de Silicium Echantillons 14/14

  • 4.Prsentation des rsultats exprimentaux.Graphe Eg en fonction de la taille des nanocristaux de Silicium Elargissement du gap optique par confinement quantique.

  • CONCLUSION Intrts de l ellipsomtrie. Applications : Intrts des nanocristaux de Silicium.