MEMS 공정 및 설계

CADENCE 교육 자료CADENCE 교육 자료

이상민/김남국이상민/김남국

2008.3.26

Seoul National UniversitySchool of Electrical Engineering & Computer Science

/ S & C l bNano/Micro Systems & Controls Lab.

목 차

• Xmanager Enterprise 2.0– 다운로드 및 설치다운로드 및 설치

– 프로그램 설정

• CADENCE (Layout) 실행

• CADENCE - Library, Cellview 생성

• Virtuoso : Layout 편집 tool명령어 설명• 명령어 설명

– Grid Control– Create 명령

– Window 명령

– Edit 명령

– Design 명령– Design 명령

• Gds 파일 변환

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Xmanager Enterprise 2.0 설치

• 프로그램 사양 (UNIX 환경)– 지원 OS : Windows95, 98, ME, NT, 2000, XP지원 OS : Windows95, 98, ME, NT, 2000, XP

– 구매처 : 넷사랑 (ttp://www.netsarang.co.kr)

– 일련번호: 041005-156832-000926

– 패키지구성 : Xmanager 3D, Xshell, Xftp, Xlpd

• 프로그램 다운로드• 프로그램 다운로드

– 정보화포털 (it4u)> 이용자 서비스> 캠퍼스라이센스SW> 다운로드

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Xmanager Enterprise 2.0 프로그램 설정

• 프로그램 설정

– 시작 > 프로그램 > Xmanager Enterprise > Xstart시작 프로그램 Xmanager Enterprise Xstart

Click!Click!

– 호 스 트 : planet.snu.ac.kr– 프로트콜 : REXEC– 사 용 자 : edu– 사 용 자 : edu– 비밀번호 : edu– 실행명령 : /usr/openwin/bin/xterm -ls -display $DISPLAY

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CADENCE (Layout) 실행

• CADENCE (Layout) 실행– xterm 창 프롬프트에 “layout&” 를 입력 (UNIX 환경)y ( )

서버 연결 상태

xterm window

Layoutwindow

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CADENCE – Library,Cellview 생성

• Cellview 생성 및 시작– Library / Cell / View Name 의 구분Library / Cell / View Name 의 구분

– Tool : “Virtuoso”로 지정

새로운 Library(폴더) Cellview(파일) 생성

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Virtuoso : Layout 편집 tool

명령 툴바LSW창

Layout 종류

명령어 단축 아이콘

Layout 종류선택 및 편집

명령어 단축 아이콘도구 모음 툴바

설계 화면

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Grid Control (grid 및 snap의 조절)

• 단축키 : “e”

작은 눈금 간격작은 눈금 간격큰 눈금 간격가로방향 이격세로방향 이격

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Create 명령어 (도형 생성)

사각형 생성 ( 단축키 r )사각형 생성 ( 단축키 : r )다각형 생성 ( 단축키 : P )

원, 타원, 도넛모양 생성모양 생성

생성예

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Window 명령어

화면확대 ( 단축키 z )화면확대 ( 단축키 : z )화면축소 ( 단축키 : Z)

Ruler(자) 생성 ( 단축키 : k )모든 Ruler(자) 제거 ( 단축키 : K )

생성예생성예

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Edit 명령어

한 변 방향으로 면적 확장

선택한 두 도형을 병합

생성한 도형의 일부를생성한 도형의 일부를잘라냄

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Design 명령어

D i 저장 ( 단축키 F2 )Design 저장 ( 단축키 : F2 )다른이름으로 저장 ( 단축키 : F3)파일 열기

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Cellview 파일을 GDS 파일로 stream out

변환할 Library, Cellview 이름

변환될 d 파일명 입력변환될 gds 파일명 입력

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GDS 파일로 stream out 성공

gds 파일로 변환성공 messageg

gds파일저장위치 :edu계정의 root directory계정의 y

Ftp로 전송 가능

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