Upload
cringasu-oana
View
254
Download
3
Embed Size (px)
DESCRIPTION
Micro dispozitiv
Citation preview
MICRODISPOZITIVE EVOLUTIA EIS CATRE ISFETs
CUPRINS1. Evolutia EIS2. Structura unui ISFETs3. ISFETs Celula de curgere continua4. Microstructuri
Diagrama Evolutiei EISISFETChemFETElectroziEISFir acoperitHibridEISCiclul EIS Evolutia
Diagrama EvolutieiISFETChemFETBiosensorIEISMICROELECTRONICHIBRID
ELECTROD DE LUCRU CONVENTIONAL EISCONVENTIONAL FIR ACOPERITFaza 1Faza 2Faza 3
Diagrama Bloc
Diagrama Bloc
STRUCTURA ISFET
Sectiune printr-un ISFET1start nitrura de siliciu; 2 membrana ion-selectiva cu ionofor; 3oxid de siliciu; 4 zona dopata -n; 5 substrat de siliciu
ISFET - uri
Celula de curgere continua
Structura membrana ion selectiva
Microstructura
Microstructura
*