8/16/2019 Một Vấn Đề Tới Hạn Trong Hiển Vi Đầu Do Quét ở Chế Độ Tiếp Xúc Gián Đoạn Là Bang Thông Đạt Được

1/1

Một vấn đề tới hạn trong hiển vi đầu do quét ở chế độ tiếp xúc gián đoạn là !ngth"ng đạt đ#$c% n& ' giới hạn ởi v( h) *+ ph,- chất lớn c.! các th!nh dầ-/ 0ácth!nh dà- cho 12M cần c& độ c3ng c!o để hoạt động 4n đ'nh% điều nà5 đ6i h7i h)*+ chất l#$ng c!o với độ nhạ5 l8c c!o% d9n đến :ết qu; là th đ?5 chúng t"i tr(nh à5 -ột ph#@ng pháp để đạt đ#$c Ang th"ng c!o Bng cách

*C dDng các th!nh dầ- chấp hành tEnh đi)n với độ c3ng thấp và h) *+ ph,- chấtthấp/ 0hế độ hoạt động F0 4n đ'nh đạt đ#$c nh< vào h(nh dạng c.! tGn hi)u đHt vàoth!nh dầ- để chấp hành tEnh đi)n/ IBng cách giJ cho iKn độ d!o động nh7% vi)choạt động ở tần *+ c!o là :h; thi và l8c t#@ng tác giJ! -9u và ề -Ht đ#$c gi;-xu+ng% do đ& n& giúp :éo dài tu4i thL c.! -i và -9u/ Nới ;nh Ang th"ng rộng% tGnhi)u l)ch th!nh dầ-