28
Műegyetem - Kutatóegyetem Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21. Nanoelektronika Mihály György Műegyetem - Kutatóegyetem Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány Útközben A BME kutatóegyetemi pályán

Nanoelektronika Mihály György

  • Upload
    kiley

  • View
    35

  • Download
    1

Embed Size (px)

DESCRIPTION

Nanoelektronika Mihály György. Útközben A BME kutatóegyetemi pályán. Műegyetem - Kutatóegyetem Nanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány. Nanoelektronika. Spin-polarizált transzport Spin-qbit kísérlet Kvantum információ elmélet Komplex mágneses szerkezetek - PowerPoint PPT Presentation

Citation preview

Page 1: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Nanoelektronika

Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány

Útközben A BME kutatóegyetemi pályán

Page 2: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Nanoelektronika

Spintronika

Hibrid nanoszerkezetek

Nanoelektronikai eszközök

Spin-polarizált transzport

Spin-qbit kísérlet

Kvantum információ elmélet

Komplex mágneses szerkezetek

Mágneses optikai spektroszkópia

GMR kísérlet és elmélet

Molekuláris elektronika

Szén nanoszerkezetek

Félvezető nanocsővek

Nanoszenzorok fejlesztése

Napelemek antireflexiós rétege

Nano-kompozit anyagok minősítés

- memrisztor

- grafén

Page 3: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

A hiányzó áramköri elem

dQ Idtd Vdt

Resistor

( )dU R I dICapacitor

( )dQ C U dU

Inductor

( )d L I dI

I Q

V

Ф

( ) ( ) ( )U t M Q I t

Memristor

( )d M Q dQ

Leon O. Chua, IEEE Trans. Circuit Theory 18, 507 (1971)

Page 4: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

„The missing memristor found”D.B. Strukov, G.S. Snider, D.R. Stewart, S.R. Williams, Nature 453, 80 (2008)

Vezető csatornák kialakulása és lebomlása – rezisztív kapcsoló

Pt

TiOx

Pt

Á

ram

(m

A)

Feszültség (V)

Page 5: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Pt

TiOx

Pt

Feszültség (V)

Vezető csatorna - ionok migrációja nanométeresméretskála

50 nm

Á

ram

(m

A)

R. Waser et al., Adv.Mater 21, 2632 (2009)

D.B. Strukov, G.S. Snider, D.R. Stewart, S.R. Williams, Nature 453, 80 (2008)

„The missing memristor found”

Page 6: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Keresztező vezetékek

„Crossbar” technológia

„analóg” memóriaelem

50 nm

D.B. Strukov, G.S. Snider, D.R. Stewart, S.R. Williams, Nature 453, 80 (2008)

Page 7: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Rezisztív RAM (RRAM)

HP laboratoriesDynamical nanocrossbars

50 nm

Page 8: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

„The missing memristor found”

Vezető csatornák kialakulása és lebomlása – „analóg” memória

Feszültség (V)

Á

ram

(m

A) Pt

TiOx

Pt

Á

ram

(m

A)

Feszültség (V)

D.B. Strukov, G.S. Snider, D.R. Stewart, S.R. Williams, Nature 453, 80 (2008)

Page 9: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

„Biological-scale intelligent machines”

DARPA SyNAPSE Program2009-2014, 4.900.000 USD

Célkitűzés:

106 memórialem/cm2

1010 kapcsolat/cm2

100 mW/cm2

Emberi agy:

106 neuron/cm2

1010 szinapszis/cm2

2 mW/cm2

10.000 CPU

1000 W

CPU Emberi agy RRAM

Tranzisztor Neuron Memristor

3terminal

2szinapszis

2terminal

digitáliseltérő

erősséganalóg

kicsi

gyors

?

Neurális hálózatHP szabadalom

Page 10: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

A.Geresdi, A.Halbritter, A.Gyenis P.Makk, G.Mihály, Nanoscale 3, 1504 (2011)

Kontaktus méret: egyetlen atom 100 nm

Kémiai maratással hegyezett tű (W vagy Pt/Ir)

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

AgAgSx

W

Minta: 80nm Ag réteg, S-kezelt felület Si/SiO2 hordozó

MTA RMKIegyüttműködés

Tanczikó Ferec – MBE Szilágyi Edit – RBS

Page 11: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

A.Geresdi, A.Halbritter, A.Gyenis P.Makk, G.Mihály, Nanoscale 3, 1504 (2011)

Kontaktus méret: egyetlen atom 100 nm

22

41(1 )

3 2m

m dN l

N

lR Z

G d d

nmlm 12m 8102.7

i

iTh

eG

22

Kémiai maratással hegyezett tű (W vagy Pt/Ir)

AgAgSx

W

Minta: 80nm Ag réteg, S-kezelt felület Si/SiO2 hordozó

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

Page 12: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Kémiai maratással hegyezett tű (W vagy Pt/Ir)

Kontaktus méret: egyetlen atom 100 nm

Feszültség –áram karakterisztika

A.Geresdi, A.Halbritter, A.Gyenis P.Makk, G.Mihály, Nanoscale 3, 1504 (2011)

Ag/AgSx/W

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

Page 13: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Feszültség –áram karakterisztika

eAg

Ag

SAg

me

2

)(2

)(

2

Vezető Ag ion-csatornák

Több tízezer karakterisztika analízise

megbízható működés érhető el 3 nm-es kontaktussal is

A.Geresdi, A.Halbritter, A.Gyenis P.Makk, G.Mihály, Nanoscale 3, 1504 (2011)

Ag/AgSx/W

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

Page 14: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Több tízezer karakterisztika analízise

megbízható működés érhető el 3 nm-es kontaktussal is

Feszültség –áram karakterisztika„analóg”memória elem

20ON

OFF

R

R

Vküszöb

A.Geresdi, A.Halbritter, A.Gyenis P.Makk, G.Mihály, Nanoscale 3, 1504 (2011)

Ag/AgSx/W

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

Page 15: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

A.Geresdi, A.Halbritter, E. Szilágyi, G.Mihály, MRS Conf. San Francisco, 2011

félvezető memrisztor

20ON

OFF

R

R

Shottky-gát

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

Page 16: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

A.Geresdi, A.Halbritter, E. Szilágyi, G.Mihály, MRS Conf. San Francisco 2011

T= 300K T= 4 K

AgAgSx

W

A memrisztor katakterisztika jellege nem változik

szobahőmérséklet és cseppfolyós hélium hőmérséklete között

Ag/AgSx/W

Pont-kontaktus memrisztor – NNA P1

Kis keresztmetszet - fémes memrisztor

Page 17: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Grafén nanoelektronika – NNA P1

Tóvári Endre MSctémavezető: Csonka Szabolcs

MTA MFA együttműködés

Biró László PéterNeumann Péter

Page 18: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Grafén – mintaelőállítás

V

VH

I+B

grafén lapka felhelyezése SiO2 hordozóra

elektronsugaras litográfia – védőmaszk

plama marás, 300 °C-os tisztító hőkezelés

vezetékek maszkolása és növesztése (molekulasugaras epitaxia: 5nm Cr, 60 nm Au)

MTA MFA

V

VH

I+B

Page 19: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

1 dimenziós ideális fém

Elektronállapotok hullámfüggvénye

22

2m

Ln

2

k

2

expexpsin

ikrikrkr

L

2k

m

kk 2

2

k

kp -k +k

Schrödinger

ikra exp

Page 20: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

1 dimenziós ideális fém

V2

I2

h

e

kFk

F

L

2

eV

21

2LeV

Ln

m

kneneI

v

Áram

elektronok száma

k

k

m

kk 2

2

vezetőképesség kvantum

Szabadon terjedő elektronok vezetőképessége egy univerzális állandó

Page 21: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

2

1ncn

3 dimenzió

Állapotsűrűség

növekvő B

En

erg

ia

εF

m

eB

2d ideális fém mágneses térben

B

2

e

mr

1r

2rLandau-nívók

c

Page 22: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

2

1ncn

3 dimenzió

1r

2r

2d ideális fém mágneses térben

En

erg

iaεF

cA szabadon terjedő

elektronok egyirányban

körbepattognak a falon.

Állapotsűrűség

Landau-nívók

Page 23: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

h

enxy

22

Kvantum Hall effektus

1r

2r

+eV

+eV+eV

Nobel-díj1985 - Klaus von Klitzing

1998 - R. Laughlin, H. Strömer, D. Tsui

Anyaggal való kölcsönhatás nélkül,

szabadon terjedő elektronok

Page 24: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Kvantum Hall effektus grafén mintán E. Tóvári, MSc dissertation

Page 25: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

h

exy

2

Kvantum Hall effektus grafén mintán E. Tóvári, MSc dissertation

Page 26: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

,...10,6,2

2

h

exy

Kvantum Hall effektus grafén mintán

V

VH

I+B

E. Tóvári, MSc dissertation

Page 27: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Nanoelektronika

Spintronika

Hibrid nanoszerkezetek

Nanoelektronikai eszközök

Spin-polarizált transzport

Spin-qbit kísérlet

Kvantum információ elmélet

Komplex mágneses szerkezetek

Mágneses optikai spektroszkópia

GMR kísérlet és elmélet

Molekuláris elektronika

Szén nanoszerkezetek

Félvezető nanocsővek

Nanoszenzorok fejlesztése

Napelemek antireflexiós rétege

Nano-kompozit anyagok minősítés

- memrisztor

- grafén

Page 28: Nanoelektronika Mihály György

Műegyetem - KutatóegyetemNanofizika, nanotechnológia és anyagtudomány 2011. június 21.

Nanoelektronika - 2 új eredmény

Néhány nanométeres memrisztor előállítása Kapcsolás fémes értékek között

AgAgSx

W

Grafén áramkör előállítása,töltéshordozó koncentrációkontrollja kapufeszültséggel Kvantum Hall effektus kimutatása grafénben