7
Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique Sudheer Kumar, C.M.S. Rauthan, K.M.K. Srivatsa, P.N. Dixit, R. Bhattacharyya * Thin Film Technology Group, National Physical Laboratory, Dr. K.S. Krishnan Road, New Delhi 110012, India Abstract Various process conditions are summarized that allows one to grow carbon nanostructures carbon nanotubes and nanodiamonds) and diamond-like carbon DLC) ®lms at room temperature by exciting C 2 H 2 Ar plasma in a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition PECVD) system. These nanostructures are formed at some speci®c but different parameter space. The ®lms were characterized by atomic force microscopy, cathodoluminescence CL), Raman spectroscopy, transmission electron microscopy and glancing Ð angle X-ray diffraction XRD) techniques. DLC ®lms were deposited with different applications in mind. The ®lms were ultra smooth with RMS roughness <0.07 nm and found to show CL when excited with an electron beam. Carbon nanotubes and nanodiamond structures were obtained simply by varying the applied RF bias at an optimized microwave power of 25 W. Again, the nanodiamond ®lms were found to be ultra smooth RMS roughness <0.06 nm) with 60±100 nm grain size nanocrystallites. The Raman and glancing angle XRD analysis suggests hexagonal polymorph structure for nanodiamond crystallites. Carbon nanotubes grown on ophthalmic glass substrates at room temperature, without any preconditioning and intentional heating of substrate, were found to be multiwalled with their diameters varying from 23±30 nm at optimized parameters. # 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: Carbon nanotubes; Atomic force microscopy AFM); TEM 1. Introduction Nanometer dimension structures are expected to make revolutionary impact on the upcoming technol- ogies [1±3] as they exhibit some unique properties relative to their bulk counterparts due to their smaller size. Carbon nanostructures have an edge over other materials for a wide range of applications. This is because carbon can form sp 3 , sp 2 and sp 1 hybrids as well as stable p n ±p n bonding that gives it ability to build various three, two, one and zero dimension structures with a broad variety of attainable physical, chemical, electronic and optical properties [4]. In particular, various diamond-like carbon DLC) and nanostructures like nanodiamond and carbon nano- tubes CNTs), have enormous potential applications in nanoelectronics for single electron transistors, high density gigabit memories and ¯at panel display devices [5±8]. Again, the present semiconductor technology is approaching towards nano-dimension regime. This imposes constraints on the thermal budget of device processing and thus a low tempera- ture processes is deemed most desirable. In order to achieve on-chip integration for nanoelectronics or nanodevice applications, the growth temperature for these carbon nanostructures should, therefore, be signi®cantly lowered [9]. Among various plasma Applied Surface Science 182 2001) 326±332 * Corresponding author. Tel.: 91-11-5787872; fax: 91-11-5752678. E-mail address: [email protected] R. Bhattacharyya). 0169-4332/01/$ ± see front matter # 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0169-433201)00422-6

Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

���������� � ������ ���� ������ ����� �� � �� ������������ ��� �� ���� �� ����� ��������� �� �����

������� ������ ������ ������� ������ ��������� ���� �!��� �� "����� ������#

���� ���� ������� ���� ������� ������� ��������� ��� ���� �������� ���� ��� ����� !! "� #����

��������

$������ ��� ��� ������� ��� ���������� ���� ������ �� �� %��� ���� ������ ����� & ���� ������� ��

���������' �� ������(��)� ���� & *�' +��� �� ���� ����������� �� �! ���% �,-, � .� ������ � � �� ������������ ��� �� ���� �� ����� ��������� &�/�$ ' ������� 0���� ������ ����� ��� ����� �� ���� ��� �+ ��� ������

��������� ��� �� 0�� +��� ���� ���� ������� �� ����� �� � �� ��� ���� ������������ � � &�*'� ���� ��� ���� ����

���������� ��� ��� �� ��� ��� �� %�� �% 1 �%�� 2(��� ���� ��� &2� ' �� ������� *� +��� ���� ��������� ����

������ ����� ����� � ���� 0�� +��� ���� ����� ������ ���� ��� ���%���� 34�45 � �� ��� �� ���� �* ���

�! ���� ���� � ��� ��� ����� ����� ������� �� �������� ���� ����� ���� ������� ������ �� �����% ��� ������� �6

���� �� � ��������� �� ������ ����� � ,7 8� .%��� ��� �������� +��� ���� ��� �� �� ����� ������ &��� ���%����

34�49 �' ���� 94:;44 � %��� ���� �� ������������ 0�� ���� �� %�� �% �%�� 2� ������� ��%%���� ��!�%���

��������� ���� ���� �� �������� ������������ ����� ������� %��� � ��������� %���� ���������� �� ����

������������ ������� �� ��� �������% �� �������� �����% � ���������� ���� ��� �� �� ����������� ���� �����

��������� �����% ��� ,<:<4 � �� ��������� ����������� � ,44; /������� � �� � "�$� .�� ��%��� ���������

�������$ ����� �������= .���� �� � �� ��� ��� &.6�'= 0/�

� ���� ������

�������� ������� ���� ����� ��� �!�� ��� ��

��)� ������������ ���� � � ��� �� ���% �� ���(

�%��� >;:<? �� ���� �!����� ���� ����� ����������

�������� �� ����� ���) ���������� ��� �� ����� �������

����� ����� ������ ����� ���� � ��%� ���� �����

��������� �� � ���� ��%� � ����� ������ 0��� ��

�� ���� ���� � ��� ��<� ��, �� ��; ������� ��

���� �� ������ ��:�� ����% ���� %���� �� ������� ������� ������� ������ ���� �� �� ���� �������

���� ����� ���� � ����� ������� � ��������� ����� ���

���� ��� ��� ���� �� ���� �� ���������� >@?� A

����� ����� ������� ������(��)� ���� & *�' ��

������ ����� ��)� �������� �� ���� ��(

����� &��0�'� ���� ������� �������� ����� ����� �

����� ���� � �� ��%�� ��� ��� ����������� ��%�

������ %�%���� �������� �� B�� ���� �������

���� �� >7:C?� .%��� ��� ������ ���� ��� ���

�� ����%� �� ������ ��% ������� ��(�������

��%���� 0��� ������� �������� � ��� �������

���%�� � ���� � ��� ����% �� ���� � ��� �������(

���� ��� ����� �� ������ ���� ���������� A ����� ��

� ����� �( ��� ���%����� �� ����� ���� � ��

������ � ����� ������ ��� %����� �����������

�� ����� ���� ������ ����� ������� ��������� ��

��%�+ ���� ������� >D?� .��% ������� ������

.������ ���� � � �� � ;C, &,44;' <,9:<<,

# ����������% ������� 0���E �D;(;;(75C5C5,=�!E �D;(;;(757,95C�%&���� �������E �����F �������� �� &�� "����� ������'�

4;9D(@<<,G4;GH : ��� ��� ������ � ,44; /������� � �� � "�$� .�� ��%��� ���������

�AAE � 4 ; 9 D ( @ < < , & 4 ; ' 4 4 @ , , ( 9

Page 2: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

��� �� ���� �� ����� ��������� &�/�$ ' �� �(

������ �� ������ �/�$ &�8(�/�$ ' ������ ��

���% �������� �� ������� �� � ������ ����� >;4�;;?�

0�� ��������� � ��� +��� � � �/�$ �� ����� ��

)�� �� �� � �(����������� ��� ���� 0�� ���%���

��� ����� � ���� ��� ���� � �� ������� ��� %���(

�% +��� �����% �� ������� ���������� ������G���� (

������ .�����%�� ��� ���� ���� �� ���������� � ���

%����% +�� ����� ������ � ��� ��� ������ ��

���%� � ��� ����%�% ��� ������� ����� ��� ����%

������� ��)� ��%� ��������� %����� ������������

��������� � ��� ������� ������ ��������� �������%

���� ������ %��� &��������� ��� �������%' ���

�������� �� �� �������� �� ������� ��������

�� ������ ���� ������

A ���� ������ �� ������ ���� � ��� ������� �������

�� ���������� ���� ������� �� *� +����

8� ���� ��������� ����� ���� ����� �� ���� �������(

���� &� �������� �����%' ���� ����� �������� �

��� ��� ���������� �� �������%� ������%

.�� �,-, �������� � � �8(�/�$ �������

� ������������ ������

���������� ���� ������� �� ���� �� *�

+��� ���� %��� � ��8(�/�$ ������ ���� ���� �

�� ������ ���� � �� ,�@7 I-� �� ������ %�������

�� �6 �� ;<�79 �-� �� ��������� �����%� J������(

�� %���� �� ���� � ���������� ���� � ��� ������

������ ���� ����� ������% ������� ����% ���(

������ �� ��� ���� ��� ����% �� ���� ��� ��

��� ������ � � �������� ��������� ������ ��� �

������� �� ��� ���� ����� �� ��� �6 ������� ��� ������

"���� ������% ��� � ���� ��������� ��� ���� ��� ���(

� � ���������� ��� ��� ���������� ���� ������� ��

���%��� ��%� ���������� � ��� ����������� ���(

����� �� �@44 $� &�6 ���(����' �� ;4 ��� �����(������� ������ ) &�,-, � .� %���� ��!����' ����������� ���������� ���� B�� �������� ��

��� ����� %�� �������� ��� ��K����� �� � �����

������ ) ����� &�.����,-, ' � 4�495� 8� ���� ����� ���� �� ������ ����� ��%� ��� ,7:,74 8 ���%

���� �������� � �6 ���� ��� �;44 �� �<44 $ � ����!���������

0�� �������� ������ � ����� ��������� +��� ���

�������� ��� ��� �������� ��� �� � ��� ����������

��� �� ��B� ��� � � ����� ����� 0�� ������� � ���

+�� ��� �������� � � �������� �������� ���� �

���� ������� ������ ���� 74 % ���� � ������

��� �G�� L�� ) I��� �� ���� I����� &�����

<,;,'� 0�� ���� � ��������%� � ��� +��� ���

������%���� �� ����� �� � �� ��� ��� &.6�' ���%

���� ��� AA & �%���� A�������� A �� M�.' ��

�//�A� ������ ���� � ������% ��� ���� ��� ���

�������� �� ���� ����������� �� ���% � ������(

���� ��%� ����� &� � 7;@�7 �' � � ������ �� )(� ������% %�������� 0�� ����� ����� ���� ����

,44 �8 ��� ��� ���%� �� ������ �� �������

����%� �� ��� +���� 0�� 2(��� ���� ��� &2� '

������� �� �������� +��� ���� �� ����� �� �

%�� �% �%�� � ,�� 0�� ���������� ��� ��� �� ��(� ��� &0/�' �� ��� ��� ���� ��� ������%�����

� ��� ��0� ���� ������ � � ��� ��� �� ��� ���

��� N/J*� N��� &,44 �2'�

� ������� �� ���������

0�� �������� ���������� ��%%���� ���� ����� ��� ���

���� �� � ��+�� ��� �������� ��������� �������

�� ��� ������� � �������� ��������� ��

*�� A� ������� ���� ��� ��� ������ ������� �����

� ����� ���� ���%� ��������� ����� ��� ������� ��� (

���� ��)� ��� �� 8� �������� �� ������% � ������ ����

�� ��� ���������� �� � ��������� �� ������ ������

������� ���%��� ������� ��� �� � ������� ��� ��

���� ������������ 6������% ���� ������ � �� ���(

���� �����% ���� ��� ������� ��� ��� ����������� ��

���� ���� �� ������� *� &�(�E-' +��� �� ����

������� ���� ������ ����� ��)� ������� ��

��������� �� ������ �8(�/�$ �� ������

0�� ����������� � ��� ��� ��� ���������� ������

���� ��� *� +��� ���� ��������� ��� ������ ������

&���� ��� 4�7 I��'� � �� � ������ ��� ��� �������

�� ������ ����� �� )��� +!�� ����� ,7 8� 0��

�������� ��� ������ ������ � *� +��� %��� ��

�� � � ���� �� ������ �� �6 ���� �/�$ �� �����

��� � ��� +��� ��� �� ��� �� ��� �� �����% � ������

%������� ��� ��� ��� ��� ����� ���� � ���

�������� ���� �� ��� ���������� &� ������ �� ������

�������� ���%� �� ��� �������' >;,?� 0�� .6�� �/�

�� 0/� ���� ���������� �� ������ ���%�� � ����

��������� �������� ���� ��� %����% +��� ������

� ������� � ���� ����� ��� �� ���� ��� �������

�6 ���� �� +!�� ��������� �� ������ ������ .6�

�� ����� �� ��� ' (������ ���)�� ����� *" +"!! , -"./--" <,5

Page 3: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

����������� ���� ������ ��� �� ������ �� �����

� ��� ���������� �� ���� � ����� ���%� ����� �

������� ���� ��������� ���� ������� ��� ����% �(

������� �� ����� ���� ��� �������� �� ������ ����� ���

�� ������ ����� ��� A� ���� ������ ���� �� ����

� ��������� ��� ������� ������������� � ��� ��� ����

0��� �� ���� � ��������%� � � *� +�� �����(

���� ���� � �8 ����� � ,7 8 �� �;44 $ �6 ���� ���������� � ��� �/��� ��%���� &6�%� ;'� J���� +���

��������� �� ������ �6 ���� ������� ���) ���� �������

�� �� �� ���� �� ��� ������ ���� ����� 0�� .6�

�� ��%����� � ���� +�� &6�%� ,'� ����� ���� ��� +��

��� ��%� ��%��� � ��������� �� �������� �������

�� �� ������ ����� -������� ��� ���� � ���%���� �

*� +��� ��������� ���� ������ ��� ��� ���������

��� ��� �� �� ������� 0�� ������ �� ��� ���%�(

��� � ����� *� +��� ���� � ; ��� ; �� ����

������ ��� 4�45 �� 4�;, ��

������ ���� ��������� � ��� ��������� +���� �� �

� ��� � ��%� � ��� ��� ���������� �������

���� ���� ��������% �������� 6�� ���� �� �� ����

�������� ���� *� +��� ��������� �� � +!�� �6 ����

� �;44 $ ���� ������������� � �� 0���� +���

������ ���� ��� ����� � ������������ �� �����

� ������ ���� ��� � �����% �� ������ ������ 6�%� <

�� ��� �� ����� ��� ��� ���%� �� ����� ���� �! ���%

������������ � � &�*' ���;7 )�$��� ��� ����� �� � ����� *� +���� ��������� �� ;,4 8 �� ��(

���� ����� �� �;44 $ �6 ����� J� � ������

��� �� ���� ��K� �� ���� ���) ��)� ����� � ��� �)� �

���� �� ��%����� 0���� ����(��)� ���%�� ���� ���(

����� ��� �� ��� ��%�� ������� ��� ����� �* ������ J�

����� ��)� �� �!���� ���� ������ � ��� ����� �

��������� ��������� 0�� �(����������� %�����

��� ��� � *� +��� ����� �� ������ � �� � ���

�� ��� ���� � � ��� ���%��� ��� ��� ��% ���

%����% ���� ��� 0�� ���� ��� &�� ����� �����(

���� ��� ����� ��� ���' ��� � ��� ���������� ��

����� ���� ����������� ������� � ���� �� ���%�

��� ) �� ��� ���������� �� �� �� � ������ 0�� �������%

*� +��� ���� ���� ����� � ����� ����� � ����(

����� ���� ���� ���� ���� �������� � ��

��%��� �������% � ��, �� ��< ���� ������ -��(

����� � ����� +���� ��� )��� � ��� �� ��� �!�� ���

����% ��� +�� %������ ���� � ��������� � �����

�����%� �� ����������� ��� � �� �� � ��� ����

���%���� ��� ��� ������� ���������� � ���(

%��� .�� ���� -������� ��� ��� �� ��� �� ����������������%� �� �� ������ �� ���� �� ��%�+ ��

����� 0�� ��%��% ����� ������ �� )� )�% ���

6�%� ;� �/� �� ��%���� � *� +�� ��������� �� � �� ������ ����� � ,7 8 �� �6 ���� � �;44 $�

<,C �� ����� �� ��� ' (������ ���)�� ����� *" +"!! , -"./--"

Page 4: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

6�%� ,� .6� �� ��%���� � *� +�� ��������� �� � �� ������ ����� � ,7 8 �� �6 ���� � �;44 $�

6�%� <� �/� �� ��%���� � �* ����� � � *� +�� ��������� �� � �� ������ ����� � ;,4 8 �� �6 ���� � �;44 $�

�� ����� �� ��� ' (������ ���)�� ����� *" +"!! , -"./--" <,D

Page 5: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

� �����%� ��� ��< ����� ��� � � �� ������ ��

������ .� �8 ����� � ������� ��� ������ � ���

���� � ������ �����% �� � � ������ ����� �

�� � ���� �� ������� ��� ������ �� ������ 0��

�������� �* �� ���������� �� ��� ����� � � ���

�����(���� ��� ���

0�� ��������%� � +��� ��%�� �����)���� ��

��� �6 ���� �� � ������ �� �� �������� ������

������ ����� �� ������ ������� �6 ����� 8� ����

���� ��� ���� � ��0 ������� ������ ��� �6 ����

�� �����!� �;74 $� .� ��� ���� ������ ��� �,44 $��� ������� ��%�+ �� ������� � ��0�� 6�%� @

����� ��� 0/� ���%�� +��� ���%� � �� � ��� +��

��������� ���� � �6 ���� � �,44 $� 0�� �� ��(%���� ����� ��0� ���� �����% ��������� ��%�%

��� ,< �� <4 �� J��������� ����� ��� �����(����

��0� &�8�0�'� A ��� ������� ������ �� ����

������� ��� ���� �������� �� ����� ������� ��

.6� ������%����� >;<?� 0�� ��%�� � ��� ����� ���

��� �� �� ���� ��� ; ��� -������� �� ��� ���� ����� ����%�� ����� � ��� ��� ��� ����������

���� �������� ����� �� ��%� ������ ����� � ��0�

� ����� ����� ���������� 0�� ���� ���� �� ����%�(

��� � ����� ������� ��� ���� ������%���� ��

���� ���� ��� ��� ���� ��� �������� A� �� )��

���� ��� ���� ������� ��� ����(�� %�������

������� A� �� ����� �� ��� 6�%� 7� ������ ��� ���

���� ��� ������ ������� ��� ��� ��0� ���% �

,44 )�$ ��� ��� ���� �� ��������� .� ����� ���

��� ��� ��� ���� ��� ������ �������� � ���

���������� ��%��� ����� ����� &4 4 @ �� 4 4 9'� 0��

4 4 , ����� ���� ��� ���� ��������% ��������

0��� ��%%���� ���� ��� �(�!��� ����%���� � %��(

����� ����� >;@? � ����� �8�0�� J ��������

����� ����� � ����� ���� ���� ��������� A� ��� ��

������� ���� ���� � ����� ����� � ��� ����

���� ���� ��%%���� ��� ��� ��� ���� ��� ������ ��

�!�� ��� �� ���� ���� ��� ����� ����� � ����� �

�8�0�� ����� ��������� �������� �� ����� ���%(

��� ���� ����� � �� �� � ����� >;7?�

8�� ��� �6 ���� �� ��� ���������� �� � ������

������ �� ����� �,44 $� ��� ������� � �����(��� ���� ���� ������� �� ��)� ��� �� �� ��� � .6�

�� ��%����� � 6�%� 9� 0�� ������� �� �����������

��� � ���� ��������� ����� ���� %���(���� ��%�%

��� 94 �� ;44 �� 0�� ���� �� ���� ��� �����

�� ����� �� ���� ����������� �� ���� ��������

+��� �� �������� � 6�%� 5� A� �� ���� ������� �� �

����� ���) ������ �� ;<;@ ��; �� ����� ���)� ��;@5D� ;7,< �� ;75D ��; �����% � � ����� ����� 0����� ���)� ������ �� ;7,< �� ;75D ��; ���� ����� �� ��� ����� � � ����� ������� ����������� ��

��������� %������� ���� >;9?� 0�� ���%� � ���

����� ���) ������ �� ;@5D ��; � ��� ����� ������ �� ���� ���� ���������� ���� ����� ���)��� ����

���� �������� � ������� ���) �� ;@57 ��; >;5? ������ ���������� �� �� ������� ����� ������ ����%

��� ������� 0�� ���� ����� �� ����� ���) ������ ��

;<;@ ��; ���� 7:5 ��; ���(������ �� ���������� ����� ����� � � ��!�%��� �� ��������� ���������

6�%� @� 0/� �� ��%���� � ��0� ������� �� � �� ������ �����

� ,7 8 �� �6 ���� � �,44 $�

6�%� 7� /�� ��� ���� ��� ������ ��� ��0��

<<4 �� ����� �� ��� ' (������ ���)�� ����� *" +"!! , -"./--"

Page 6: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

� ������� 0��� ��������� ��<(���������� ����(

����� � ������ ��� ��� �������� >;5�;C? �� ����

� ���� ���� � ;<;7:;<,9 ��;� 0�� ��%��� �������� �������� � ��� ������� �� ������� ��

,:< ��; �������� �� ��%�� ������ ������ >;C?��� �������� ��� �� ��� � ���� � � ����� �� ������(

��� ������ ����G��� �� � ��� +���� .� ��� �

6�%� 9� ���� ����%���� ������ ���� ����� ���� � ��

�(������ ������� %������� %����� �� �� ������

����(��)�% ���������G�������� ���� ���� �����

������ ��� ������ �� �������� ��� ���� ������ �

��� +��� 0�� ������ %������� ��� �� ����� ���� �����

��� �� �� � ��� �������� ������ �� ��� �����

�������%�

2(��� ���� ��%���� �� ���� �������� +�� ��

������� �� � 6�%� C� A ���� ���� ��%���� ���)� ���

�������� �� ,� ������ ����� �� @;�@� @5�C� 9;�@� 57�� C,�;�� 0���� ,� ������ ���� ������ ���� ������ @;�,,� @5�<7� 9;�C7� 57�@@ �� C,�@<�� ����� ��������������� �� ��!�%��� ��������� ���� ���� � ���(

��� >;D? ���������% �� �; 4 4�� �; 4 ;�� �; 4 ,���; ; 4� �� �; 4 <� ������ ����� ������� 0���� ���������� ������� ��� ���� ������� � ��������

+��� ��� ������� ���� ��� ���� �������� 0�� ���%��

�������� � ��� ,� ���) �������� ��� �� ��� �� �����

6�%� 9� .6� �� ��%���� � �������� +�� ��������� �� � �� ������ ����� � ,7 8 �� �6 ���� � �,74 $�

6�%� 5� ���� ��� ���� � �������� +���

�� ����� �� ��� ' (������ ���)�� ����� *" +"!! , -"./--" <<;

Page 7: Realization of different carbon nanostructures by a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition technique

� ��� ��������� ���� ����� ��� � �� ���� � �%������

���� ��� ���� ��������

� ����������

A � ������ ������� ����� � ������� ����

�����% ���� ������ ��%�� ��� *� +��� �� ����

�������� �� ��������� ���� �� ����������

��� �� ���� ����������� &� �������� �����%'

�� ������ �� ��������� � �,-, � .� ��!���� � ������� �� ������ �/�$ ������� � � ������� ����

����� A� �� ���������� ���� ���� � � ��� ���������

������� ��� ��� ��� �� ��������� �� ���(

����� �����% �� ��������� ��� �������% �������

�� �� �� � � ������� 6������ ���� ��������� �

����� ���� ����� �� � ���%�����

�������� �������

0�� ������� ��� %������ �� ��� ��� ���� ��*� ���

���� �� ��� )�� ��������� �� ������� ��� ������

8� %�������� � )�����%� ��� ��)���� ��%� ��

�� ���� ���� ���� ��� ��*� ��� ���� �� ���

������ ���� �� ��� ������� 6�� ��� ������� ���

��� �0� I������� � A��� �� ���� ��� ���� ���)

�� %�������� � )�����%���

����������

>;? �� ������ �� �������� � �� � ,D4 &,444' ;7,<�

>,? ��*� � /��� ������ <D< &;DDC' ;9�

><? 8�.� �� -���� �� ������� ����� 8���� < &,444' @D�

>@? O� *������� ����� ������� ������ C &;DDD' ;97D�

>7? ���� *� � /��� ����� 8���� < &,444' <;�

>9? J� I���%� J��� ������� ��� /����%%��� �� I���%� *�

� ������ �� N� $� � � �� 0� �� " ;C &,444' 997�

>5? N�*� ���� �� O�)������ 8��� 8�%� 6�O� ����%� A��� *��

����� ������� ������ D &,444' ;,54�

>C? N��� ���� 8�"� ����� ���� *��� N�/� N�%� ����� �������

������ D &,444' ;;C@�

>D? O��� ����� �"� "��� O�-� *��� "��� *��� I��� ���)� 8�"�

����� ���� *��� N��� ���� N� $� � � �� 0� �� . ;C &,444' ;C9@�

>;4? ��-� 0���� ��8� ����� ��*� *��� -��� ����� .���� ����� *����

5@ &;DDD' <@9,�

>;;? *��� P�� � L���� .��� ������� ��� I���� .���� �����

*���� 5, &;DDC' <@<5�

>;,? .� ������ N�/� �������%(��������� *� ������� ����

8���������� N� $� � � �� 0� ���� . ;4 &;DD,' ;5,<�

>;<? �� ������ ������ ������� ���� �!��� ������ ��������� ����

I����� �� "����� ������� ����� ���� �� �����

>;@? �� A�K���� ������ <7@ &;DD;' 79�

>;7? .�0� �������� � I�����%� $��� ����)��� *�*� ����)��� ��

O� "���� ����� <D &,44;' ;<5�

>;9? ��J� ����� N�.� 8������� $� ���)���� ����� ���� " ,D

&;DC@' <@C,�

>;5? ���� "� ��� �M� 8�� ����� �E ��/� ������%� *�*� -�����

N��� .%��� �� ����� &/���'� ����� �� ����� *�)� 6����

�� �����%�� $��� ,99� ���� .�A ������ " ����� �� �� 955�

>;C? ��� ��%��� 8�"� 8����� N� ������ ���� @ &;DCD' <CD�

>;D? .�0� ���� ���� ��� ;D:,9C�

6�%� C� I�� �% �%�� 2� ������ � �������� +���

<<, �� ����� �� ��� ' (������ ���)�� ����� *" +"!! , -"./--"