SEM EDS-WDS

Elektron-Örnek Etkileşimi

Elektron-Örnek Etkileşimi

Üretilen Sinyaller: • Geri saçılan elektronlar (BSE) Topografi Bileşim dağılımı

•İkincil Elektronlar Topografi

•Karakteristik X-ışınları Elemental analiz (Kimyasal analiz)

•Diğer sinyaller ..

Karakteristik x-ışınları SEM’nde primer elektron katıdaki bir atomda bir iç kabuk elektronu ile çarpışıp, onu dışarı attıktan sonra uyarılmış duruma gelen atom temel seviye (başlangıç durumuna) dönerken ya bir karakteristik x-ışını ya da bir Auger elektronu yayar.

•İvmeli hareket eden elektron elektromanyetik dalga yayar.

Karakteristik x-ışınları

•Neden her element farklı (karakteristik, kendine özgü) x-ışınları yayar?

Karakteristik x-ışınları

Atom numarası (proton sayısı) değiştikçe atomun enerji düzeyleri de değişir. İki enerji düzeyi arasındaki fark, bu düzeyler arasında geçiş yapan elektronun yayacağı x-ışınının enerjisine eşittir.

•Neden her element farklı (karakteristik, kendine özgü) x-ışınları yayar?

Karakteristik x-ışınları

Karakteristik x-ışınları

Elektromanyetik dalgaların enerjisi ile dalgaboyu arasındaki bağıntı basitçe şöyledir.

λ (nm)=1239.8 / E (eV)

X-ışınlarını 2 yöntemler belirleyebiliyoruz.

• Enerjilerini ölçerek EDS analizi

• Dalgaboyunu ölçerek WDS analizi

Terminoloji 1. Teknik: Enerjiye göre dağılım EDS, EDX ya da EDAX aynı tekniğin farklı adlarıdır. EDS: Energy Dispersive Spectroscopy Enerji Dağılım Spektroskopisi EDX: Energy-dispersive X-ray spectroscopy Enerji Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi

1. Teknik: Dalgaboyuna göre dağılım WDS = WDX aynı tekniğin farklı adlarıdır WDS: Wavelength Dispersive Spectroscopy Dalgaboyu Dağılım Spektroskopisi WDX: Wavelength dispersive X-ray spectroscopy Dalgaboyu Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi

Terminoloji

Kimyasal analiz (Elemental analiz)

Örneğin bileşimindeki elementlerin belirlenmesidir.

3 tür kimyasal analiz yöntemi vardır

• Nokta analizi • Çizgi analizi • Alan analizi

Bu yöntemlerin üçü de hem EDS hem de WDS yöntemleriyle yapılabilir.

SEM

SEM

EDS Energy Dispersive Spectroscopy

EDS Analizi

Si(Li) dedektör

EDS Dedektörü

Si(Li) dedektör

EDS Nokta Analizi

EDS Nokta Analizi

EDS Çizgi Analizi (Doğrusal profil)

EDS Çizgi Analizi (Doğrusal profil)

EDS Alan Analizi (Haritası)

EDS Haritası

EDS Haritası

EDS Haritası

WDS Wavelength Dispersive Spectroscopy

Bragg Yasası

Bragg Yasası

WDS Analizi

WDS Dedektörü

WDS Analizi

WDS Analizi

EDS - WDS Karşılaştırılması

EDS - WDS Karşılaştırılması

EDS - WDS Karşılaştırılması