日本シーエムアイ株式会社 Nippon C.M.I. Co., Ltd. | 2017.10.24

SIMONA® PFA-M

ハイフロン F レジン使用 Based on Hyflon® F Resin

SIMONA® PFA-M シートは半導体製造プロセスで使われるあらゆる薬液への耐

性・耐熱性と、E-CTFE や PVDF を上回る清浄度を有します。本シートは既存のプレ

スモールド PFA と比べ表面が遥かにつややかで、プロセス中に潜む汚染物質の付着を

防ぎます。業界唯一の幅 48 インチ（約 1,220mm）のシートを生産可能。組付けの際、

溶接箇所を減らせます。成形と溶接が容易で、あらゆる用途の半導体ウェットベンチ、

接液箇所で使用できます。

SIMONA® PFA-M sheet resists the full range of semiconductor process chemicals

and offers higher temperature resistance and purity levels than E-CTFE and PVDF.

Compared to traditional molded PFA products, SIMONA® PFA-M sheet has a far

higher surface gloss that repels potential process contaminants more effectively. In fabrication, its unique 48" (about 1,220mm)

width can improve yields and minimize welds. It forms and welds easily, and lends itself to a wide range of Semicon wet bench

and chemical process applications

特長

・48 インチ（約 1,220mm）と幅広で組付けが容易になります。

・表面光沢に優れ、プロセス中の汚染物質の付着を最小化。

・ウェットパーツに適しています。

・従来の PFA に比べ低温での熱成形や溶接が容易で、溶接時に

発生するフッ酸ガスが少ない。

・半導体製造プロセスで使用される全薬液に耐性があります。

・高耐熱性、高い透明度

Advantages

・48" (about 1,220mm) width facilitates fabrication

・High gloss surface repels process contaminants

・Wetted parts suitable

・Thermoforms, welds easily with low HF release

・Withstands full range of Semicon process chemicals

・High temperature resistance, Good transparency

用途

・薬液槽

・高純度の薬液輸送、貯蔵

・廃棄薬液の移送容器

・物見窓

Proven applications

・Chemical process vessels

・High purity chemical transport, storage

・Waste chemical handling

・Sight windows

製品サイズ

・押出シート

T2.3～25.4 - W1,220×L2,440 (mm)

・プレス成形

T88(Max) – W598×L598 (mm)

Standard sizes

・Extruded sheet

T2.3～25.4 – W1,220×L2,440 (mm)

・Pressed plate

T88 (Max) – W598×L598 (mm)

色調

・ナチュラル

・薄板は透明度があります

Standard colors

・Natural

・Transparent in thinner gauges

溶接棒

・φ3.2mm、φ4.0mm

Weld materials

・1/8" (φ3.2mm), 5/32" (φ4.0mm) round rod

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主な材料特性 Material Specifications

特性 Property ASTM SPEC PFA-M

環境特性

Environment

比重 Density D792 2.15

吸水率 Water Absorption D570 -

耐摩耗性 Abrasion Resistance Taber CS17 -

酸素指数 Oxygen Index D2863 95%

燃焼性 Flammability

UL94

FM4910

V-0 相当 (meet V-0)

-

摩擦係数

Coefficient of Friction

C1894（静摩擦係数）

C1894（動摩擦係数）

-

-

機械的特性

Mechanical

引張強さ（降伏点）

Tensile Strength (yield)

D1708, D638 15.9Mpa

2,300psi

破断時伸び（破断点）

Elongation (break)

D1708, D638 300%

曲げ弾性率 Flexural Modulus D790 @23℃ 496Mpa

72,000psi

アイゾット衝撃強さ

Notched Izod Impact

D256 @23℃ 破壊せず

No Break

硬度 Shore D Hardness D2240 57

熱的特性

Thermal

連続使用温度

Continuous Service Temp

Maximum 219℃

425℉

融点 Melting Point D3418 270℃

518℉

ビカット軟化温度

Vicat Softening Point

D1525 -

熱膨張係数

Coefficient of Expansion

E831 TMA 16.2 X 10-5cm/cm-℃

(9 X 10-5in/in-℉)

荷重たわみ温度 Deflection Temp

D648

0.45Mpa (66psi)

1.81Mpa(264psi)

-

-

※連続使用温度は薬液のない、乾燥状態での条件です。 ※Continuous Service Temperature based upon "non-chemical Dry

Usage."

※表中のデータは ASTM に基づいた平均的かつ代表的な原料メーカー

のデータを反映しています。

※Table data reflects ASTM based average typical vendor data.

※データは一般的なガイドラインです。 ※Data meant as general guidelines only.

※特定の用途に対してはユーザー様にて追加試験いただく必要があり

ます。

※Specific applications require additional testing by the buyer.

※表中データは標準的な無垢材の製品テストに基づいたものです。 ※All properties based on standard unbacked product tests only.