SU-8020電界放出型走査電子顕微鏡

使用方法

精密分析室

2014/11/20

目次

2

終了

3 準備・始動 4 試料の準備 挿入

7 二次電子像の観察

6 電子線の発生

11 反射電子像の観察 10 STEM像の観察

11 画像の調整 12 非点収差補正 13 画像の保存

14 試料交換の方法 15 観察の終了

18 ＭＥＮＵ階層１

16 装置の停止

17 フラッシングとメニューボタン変更

21 停電時および装置完全停止

22 停電復帰後および装置立ち上げ時

19 ＭＥＮＵ階層２

23 試料室に空気を導入時の操作

準備・始動

3 目次に戻る

１. DISPLAY SWをONにして 装置を立ち上げる

２. SU-8000をクリック

３. パスワードは無く リターンを押す

４. HV表示部をクリックしてHV設定 メニューを表示させる

５. フラッシングをするよう表示されたら、フラッシング 強度が２であることを確認して実行する

PC-SEMが起動

試料の準備 挿入

4

１ 試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする

２ 試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう 調整して、ローレットがきってあるネジで固定する

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３ オペレーションパネル/ステージで試料サイズを 2inchesで試料の横幅を設定する 試料高さはStandardを選択

４ 加速電圧がOFFであることを確認する 原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する Ｚは８mmも確認

Standard

5 目次に戻る

５ AIRを押し試料交換室が大気になるとブザー が鳴る

６ 試料交換室を手前に引き、試料交換室 を押さえながら交換棒を押し出す UNLOCK にした交換棒の先端に試料ホル ダーをセットし、交換棒をLOCK にして試料ホルダーを セットする

７ 交換室を押さえながら交換棒を引き、カチッと音がするまで引く

８ 交換室を押し、EVACボタンを押して真空が 上がるとブザーが鳴る

９ OPENボタンを押して試料交換室のガラス 窓から覗き、ゆっくり交換棒を押してＸｃ ランプがつくまで押し込んで試料をセット する

10 交換棒をUNLOCKにし、 交換棒がカチッと音が するまで引く

11 CLOSEボタンを押すと ブザー音が鳴る

6 目次に戻る

電子線の発生

１．ステージで試料サイズ・高さを入力する

２．基本/電子光学系条件 プローブ電流 Norm ＥＤＳで感度が弱いときは Highにする ＷＤ 8.0mm 検出器 SE

３．加速電圧をON 通常は15kV

試料は時計方向に９０°回転して観察される

7 目次に戻る

二次電子像の観察

オート画像調整

スキャンスピード

スキャンの開始・停止 オートフォーカス

アパーチャーアライメント ダイレクトセーブ

クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブ

キャプチャーボタン 右のアルファベットがスピード

フォーカス

Fine Coarse

明るさ

コントラスト

倍率

イメージシフト

非点補正・軸調整

低倍 高倍切り替え

オートブライトコントロール

8 目次に戻る

反射電子像の観察

１．ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入 するこの際Ｚは必ず７mm以上にする

２．ステージタブのBSEがオレンジになっていることを確認する

３．ステージタブの信号選択でPDBSEを選択する

４．詳細設定から検出器の設定をする

５．素子の組み合わせで３つの 構成が選べる

9

７．終わったらハンドルを右回りにまわして 検出器をもどしておく

８．Ｚを８にして、 信号選択をSED２次電子にもどす

６．信号処理調整する

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ＳＴＥＭ像（明視野、暗視野）の観察

10 目次に戻る

１．試料をホルダーにセットして 通常の方法で試料室にセット する

２．加速電圧は２０～３０ｋＶで使用する 信号選択はＴＥにする

明視野用 暗視野用

画像の調整

11 目次に戻る

１．フォーカスを変化して像が動くときは アライメント（ビーム、アパーチャ）調整 を押してＸ、Ｙを調整して像の動きを止める

スティグマ 明るさ コントラスト

倍率 フォーカス

非点収差補正

12

非点収差がない場合 フォーカスで均一にぼやける

非点収差がある場合 フォーカスで不均一にぼやける

アンダーフォーカス 最良点 オーバーフォーカス

ぼけの方向が違ってくる

AUTO(STIGM)自動で非点補正をする

STIGMA/ALIGNMENT X Y

注：非点補正をするときはフォーカス をあわせながら調整する

目次に戻る

信号による特質

13 目次に戻る

信号電子 性質 場面

SE 信号量が多く、検出効率も高い

最表面で発生し高分解能

エッジコントラストが強い

電位コントラストが得られる

チャージアップの影響を受けやすい

チャージアップしない試料の一般観察

試料最表面の超高分解能形態観察に有利

LA-BSE

信号量は少ない

組成情報と形状情報が混在

内部情報が得られる

エッジコントラストが弱い

チャージアップの影響が小さい

チャージアップする試料の一般観察

組成情報の強調

エッジコントラストの低減

適用可能分野が比較的広い

HA-BSE 信号量は少ない

組成情報多く、形状情報は少ない

内部情報が得られる

エッジコントラストが弱い

チャージアップの影響が小さい

組成コントラストの強調

内部情報の観察

材料によっては、信号の発生率が極めて小

さい

画像の保存

14 目次に戻る

１．スキャンスピードSlowで画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影

２．画像リスト内の必要な画像を 選択（黄色の枠内）し、 保存ボタンを押す

クイックセーブのときは ファイル/クイックセーブ から保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を 自動でつけて保存してくれる

試料交換の方法

15 目次に戻る

１．加速電圧をOFF

２．試料位置を原点に戻す

３．OPENボタンを押しブザー音がなる

４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる までの挿入する

５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら 交換棒をストッパーがかかるまで引く

６．CLOSEボタンを押しブザー が鳴ったらAIRボタンを押して、 ブザーが鳴るまで待つ

７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す

観察の終了

16 目次に戻る

１．加速電圧をOFF

２．試料位置を原点に戻す

３．OPENボタンを押しブザー音がなる

４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる までの挿入する

５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら 交換棒をストッパーがかかるまで引く ６．CLOSEボタンを押しブザー

が鳴ったらAIRボタンを押して、 ブザーが鳴るまで待つ

７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す

８．交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けてEVACを押す

装置の停止

17 目次に戻る

３．コンソール右のDISPLAYスイッチをOFFにする チラーの電源と連動しているので、忘れない ように

１．交換室パネルのＥＶＡＣが点灯していることを 確認する ２．PC-SEMとWindowsを終了する

ＯＦＦ

18 目次に戻る

フラッシングとメニューボタンの変更

フラッシングをするときは ここをクリック

をクリックすると ボタンが変更 できる

２を確認

19 目次に戻る

Ｍｅｎｕ階層１

20

Ｍｅｎｕ階層２

21

長いほどチャージしやすい

停電時および装置完全停止時の操作

22 目次に戻る

１．日常停止操作を行う ２．排気系操作パネルの EVAC POWERスイッチをOFFにする ３．対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ３５分後に停止する 排気系操作パネルの表示部にPOFFが表示されれば停止完了です ４．排気系操作パネルのイオンポンプの電源 スイッチ(IP 1—3)をOFFにする ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、 IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE の各ブレーカーをOFFにした後、 MAINブレーカーをOFFにする ５．配電盤のブレーカーを OFFにする

停電復帰後および装置立ち上げ時

23 目次に戻る

１．配電盤の電源ブレーカーを投入する。 冷却水を流し（本体背面の流量 メーターが1.0～1.5L/minであることを確認 ２．ディスプレイ背面の電源ブレーカーの MAINブレーカーをONにする

停電で停止した場合、ブレーカーがOFFに なっていない場合はいったんすべての ブレーカーをOFFにしてから電源を投入して下さい

３．IP,EVAC,DISPLAYの各ブレーカーをONにする。(OUTER BAKEは通常はOFF) ４．排気系操作パネルのSTAGE POWER,EVAC POWER,イオンポンプ電源SW(IP 1---3) をONにするリセットＳＷのランプが点灯しないときはリセットＳＷを押す

試料室に空気を導入時の操作

24 目次に戻る

１．電子銃高圧をOFFにする ２．対物レンズ可動絞りの加熱を OFFにして３０分まつ ３．ＳＣ ＡＩＲスイッチを３秒間押す。スイッチのランプが点滅状態になり、 空気導入シーケンスがスタートする。 試料室の排気 ４．排気系操作パネルのＳＣ ＥＶＡＣを押す、スイッチが点滅を始め 試料室排気シーケンスがスタートする。３０分程度で排気完了 するが、高圧印可まで１時間以上まつ。 ５．ＳＣ ＥＶＣスイッチが点灯してから３０分経過後、対物レンズ可動絞り 加熱スイッチをＤＥＧＡＳにして加熱を始める。 約１時間後ＡＵＴＯにする