TOHFLON 　

氟樹脂配管部件介紹

(1) 配管 (Tube) 　　　　　　　 　　 NewPFA Tube(φ1/8” ～ φ2”)(2) 防止帶電・加熱機能接管 　 　 Tohflon Panda Tube(3) 非金屬大口徑配管接頭　　　　　 Flarerib Joint(φ1” ～ φ2”)(4) 高純度薬液・ CMP Thriller 配管閥 Pinch Valve(Prototype 開發中 )

(1)NewPFA Tube(φ1/8” ～ φ2”)

特徵◎ 乾淨的生產環境→隔離壓製室及收納・包裝室，以保持乾淨無菌的 作業環境各式各樣長度的接管樣式→ 標準： 3/5/10/20/30/50/100/150(m)→ 其餘任何長尺規格亦皆有對應◎ 低溶出金屬→ 導入螺旋圓柱的模具，能有效抑制金屬離子溶出 的情形。

金属名 溶出量(ppt) 金属名 溶出量(ppt)

Al 23.6 Bi ND

Ca 120.0 Cd ND

Co ND Ga 9.0

Cr 8.2 Pb 8.0

Cu 23.6 Sr ND

Fe 81.0 Tl 1.0

K 33.2 V ND

Li ND Ge ND

Mg 43.0 Mo ND

Mn ND Nb ND

Na ND Ta ND

Ni 27.9 Ti 211.0

Zn ND Zr ND

Ag ND Au ND

Ba 3.0 Sb NDBe ND Sn ND

◎NewPFA接管金屬溶出資料在無菌室裡準備單邊末端密封的NewPFA 接管，用超純水清洗十分鐘之後，在接管內加入 33g 的0.1N 硝酸，放置七天，然後用精工 (SEIKO) 電子製的 SPQ9000型 ICP-MS 測定。

◎收納・包裝室： Clean class:1000 以下

◎ 壓製室： Clean class:1000 以下

●將壓製室及收納・包裝室隔絕 ● 長尺梱包品 ＮＤ表示低於檢出界限。

FLARERIB JOINT量環 (PE)

外環　 (NewPFA)

本體 (NewPFA or PTFE)

連接螺帽 (NewPFA)

接管 (NewPFA)

●接管尺寸 　　 Tube size

(MPa)

ThicknessO.D. I.D.

サイズ サイズ 許容量

(kgf/ cm2)

外径 ×内径

O.D.×I.D.

Tube Burst Pressure

0.6

0.5

Suitable Pressure

(MPa) (kgf/ cm2)

6.1

5.1

4.0

1.59 ±0.15

0.5

0.4

2.19 ±0.15

2.58 ±0.20

4.6

許容量

45.64

22.22

1.59

(mm) (mm)

15.8719.05

25.40

38.10

50.80

1(1/ 2)"×1(21/ 64)"

2"×1(51/ 64)"

33.73

±0.12

±0.25

3/ 4"×5/ 8"

1"×7/ 8"

(mm) (mm)

±0.09

Size

外径 内径

1.6

±0.20

Size Permitted Quantity

サイズ

Permitted Quantity Size

16.1

2.4 24.5

2.0 20.4

1.8 18.5

±0.15

(mm)

常用耐圧 チューブ破壊圧肉厚

●FLARERIB JOINT & NewPFA TUBE ●接管加熱加工機 　　 Hot flaring tools

＜ FLARERIB JOINT 的３大特徴＞○對應大容量配管有 1 吋、 1(1/2) 吋、 2 吋不同的配管用大型配管接頭，

能對應 300 mm 半導体製造系統、液晶製造系統、化學物製造等大容量的藥液供給。

○實現無金屬配管將管線的厚度規格化，作為高純度藥液的配管。藉由使

用 FLARERIB JOINT ，不含金屬原料的氟樹脂製配管可以適用於各種藥液供給量。

○大幅減輕施工及維護的作業藉著本社獨特的產品構造，加固螺帽的作業可以大幅減

少，也能增加作業的便利性。

* 幾乎不需再加強連接螺帽的固定

* 構造簡單，方便緊固螺帽

* 配管體積小重量輕

* 耐冷熱溫差

* 防止連接螺帽和接管同時迴轉

* 接管耐彎且不易變形

* 液體換置方便迅速

FLARERIB JOINT 置換特性評估

洗浄回数と溶出パーティクル数UPW洗浄 =4分 / １回

(① 1 → ②分間振とう 3分間放置 )

10

100

1,000

10,000

1 2 3 4 5

洗浄回数（回）

<0.5

μm

>溶

出パ

ーテ

ィク

ル数

粒径

以上

(個/

UP

W 1

mL)

弊社 Flarerib J oint

他社継手

〇停留於接頭／接管間的微粒子 細微觀察 (×1000)

【 他社継手・チューブ配管 】

【 当社継手・チューブ配管 】

30m

m40

mm

30m

m30

mm

30m

m

配管樣本

微粒樣本液： Polystyrene dispersion 洗淨液：超純水 (UPW)實驗環境：無菌室 (Class 100)微粒記數器： LASAIR(PMS 社製 )

微粒溶出實驗＜實驗方法＞（ STEP 1 ）使用 PFA 管作為接頭。（製作樣品配管）（ STEP 2 ）將 500mL 的樣本液填充至樣品配管。放置十分鐘後倒出。（ STEP 3 ）將 500mL 的 UPW （超純水）填充至樣本配管後，搖晃約一分鐘，然後放置三分鐘。（ STEP 4 ）用 UPW 沖洗後倒出，計算溶出微粒的數量。之後，反覆進行（ STEP 3 ） & （ STEP 4 ）四次。

清洗次數以及微粒溶出量

(2) TOHFLON PANDA TUBE具備帶電防止效果機能之氟樹脂接管 (Tube)

断面形状

特 徵

用　途

○ 帯電防止効果○加熱機能○耐薬品性・耐熱性○ 接管内部可視性

○Si Ball 搬送用接管○Si Ball 乾燥過程用接管○可燃性抗蝕劑搬送用接管○ 其他。加熱・帯電防止用途等

- 30000

- 25000

- 20000

- 15000

- 10000

- 5000

0

ﾊﾟﾝﾀﾞﾁｭｰﾌﾞ PTFE PFA

ﾁｭｰﾌﾞ径φ 3.8Xφ 1.5

摩擦後の帯電位（

Ｖ）

【 摩擦帯電後の電位比較 】

NewPFA Tube 規格 (φ1/8” ～ φ2”)内径 チューブ破壊圧 常用使用圧力

Size Size width Size Size Size width （出荷基準値）(inch) (inch) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (MPa) (MPa)

φ1/8 φ1/16 3.18 ±0.05 (1.59) 0.80 ±0.10 - -

φ1/8 φ11/128 3.18 ±0.05 (2.18) 0.50 ±0.05 6.4 1.6

φ1/4 φ5/32 6.35 ±0.05 (3.95) 1.20 ±0.10 8.0 2.0

φ1/4 φ11/64 6.35 ±0.05 (4.35) 1.00 ±0.10 4.5 1.1

φ3/8 φ1/4 9.53 ±0.05 (6.35) 1.59 ±0.15 6.0 1.5

φ3/8 φ19/64 9.53 ±0.05 (7.53) 1.00 ±0.10 3.0 0.7

φ1/2 φ3/8 12.70 ±0.07 (9.52) 1.59 ±0.15 4.2 1.0

φ3/4 φ5/8 19.05 ±0.09 (15.87) 1.59 ±0.15 2.4 0.6

φ1 φ7/8 25.40 ±0.12 (22.22) 1.59 ±0.15 2.0 0.5

φ1(1/2) φ1(21/64) 38.10 ±0.20 (33.73) 2.19 ±0.15 1.8 0.5

φ2 φ1(51/64) 50.80 ±0.25 (45.64) 2.58 ±0.20 1.6 0.4

内径 チューブ破壊圧 常用使用圧力Size Size width Size Size Size width （出荷基準値）

(mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (MPa) (MPa)

φ3 φ2 3.0 ±0.05 (2.0) 0.50 ±0.05 6.0 1.5

φ4 φ2 4.0 ±0.05 (2.0) 1.00 ±0.10 10.0 2.5

φ4 φ3 4.0 ±0.05 (3.0) 0.50 ±0.05 4.5 1.1

φ6 φ4 6.0 ±0.05 (4.0) 1.00 ±0.10 6.5 1.6

φ8 φ6 8.0 ±0.05 (6.0) 1.00 ±0.10 4.5 1.1

φ10 φ8 10.0 ±0.07 (8.0) 1.00 ±0.10 3.5 0.8

φ12 φ10 12.0 ±0.07 (10.0) 1.00 ±0.10 3.0 0.7

φ19 φ16 19.0 ±0.09 (16.0) 1.50 ±0.15 2.4 0.6

φ25 φ22 25.0 ±0.12 (22.0) 1.50 ±0.15 2.0 0.6

比重： 2.12～2.17引張強度： 15.7～24.5 MPa伸度： 220～320 %

外径 内径外径 厚さ

外径 内径外径 厚さ

FLARERIB JOINT の長期耐久性 ( 増し締め不要 )

●長期冷熱循環 CHAMPION TEST＜實驗方法＞1999 年 9月在循環系統配管中，為配合接續進行本社開發的 FLARERIB JOINT安裝，開始一日一循環之冷熱循環，金屬接頭裝置進行轉矩之後，不再栓緊，在接頭地方也不會有漏的現象產生。

30日的測試之後，在使用上完全沒有問題，客戶評價也很高。

★装置全体 IWAKI社製　 PUMP: ＦＷ - ８０ TANPA: ＰＤ - ８０Ｗ流體： Silicon oil液温 :110℃⇔ 常温（冷熱 運転）ｻｲｸﾙ

供給氣壓 :0.35MPa吐出壓 :0.15MPaＰ Speed:60spm 流 量 ： max80L/

min

★接頭 規格： φ1” ､ φ1(1/2)”

■ 引張試験中重量 =1.87kN(183kgf)接管標線延展率=277%接管尺寸： φ1"×φ7/8"

■ 引張試験前重量 =0.0kN(0.0kgf)接管標線延展率=0%接管尺寸： φ1"×φ7/8"

●重複拉力實驗<實驗方法 >　將接管兩端都接上接頭然後兩端都加以拉力，在測量接管的拔除力度以及接管標線間的延展率。此作業使用同一個接頭樣本，並重複７次。

←接管因為拉力 實驗而明顯變 細，但完全沒 有滲漏情形。

●經過重複拉力實驗後的樣本的耐壓測試（重複 100,000 次 ) 經過 100,000 次耐壓測試後，無法確認接管的脫落以及實驗 液體的滲漏。

←在拉力實驗前 ，測試耐壓的 情形。

Flarerib Joint 的實際使用成效例子●NewPFA 接管 φ1(1/2)”×φ1(21/64)” ：長尺系統　 ●NewPFA接管 φ1(1/2)”×φ1(21/64)” ：接管彎曲接續

●NewPFA 接管 φ2”×φ1(51/64)” ： Lining tank 的 Outlet ●NewPFA接管 φ1(1/2)”×φ1(21/64)” ：雙重配管