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Traitements ("chimiques") des poudres par plasmas thermiques journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010 Université de Technologie de Belfort-Montbéliard Site de Sévenans - 90010 Belfort cedex - France - lermps.utbm.fr Faculté des Sciences, Université de Limoges 123 Ave Albert Thomas - 87060 Limoges cedex - France - unilim.fr/spcts Ghislain MONTAVON [email protected] Alain DENOIRJEAN [email protected]

Traitements (chimiques) des poudres par plasmas thermiquesplasmasfroids.cnrs.fr/IMG/pdf/CPI_Montavon.pdf · 2015. 1. 29. · Traitements ("chimiques") des poudres par plasmas thermiques

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  • Traitements ("chimiques") des poudres par plasmas thermiques

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    Université de Technologie de Belfort-MontbéliardSite de Sévenans - 90010 Belfort cedex - France - lermps.utbm.frFaculté des Sciences, Université de Limoges123 Ave Albert Thomas - 87060 Limoges cedex - France - unilim.fr/spcts

    Ghislain [email protected]

    Alain [email protected]

  • 2

    2

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    chimie plasma - poudres

    toute modification de la composition chimique du précurseur

    subie dans la grande majorité des cas (jusqu'à récemment)

    de plus en plus recherchée aujourd'hui

    procédés émergents

    âge préhistorique

    “The

    Scr

    eam

    ”, Ed

    vard

    Mun

    ch, 1

    893

  • 3

    3

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    sommaire

    introduction

    "chimie" plasma –

    particules "subie"

    "chimie" plasma –

    particules "favorisée"

    conclusion

  • 4

    4

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    introduction

  • 5

    5

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    principe (très) simplifié de la projection plasma

    injection desprécurseurs

    substratà revêtir

    torcheplasma

    air @ patm

    0 30 100 mmdistance

    0 0,3 1 msdurée

    précurseursµmétriques

    fusion congruente Tvap = Tfus + 200

    dépôt µstructuré matrice

    défauts d'empilement (pores / délaminations)

    fissures (relaxation contraintes)

    durée d'écrasement : 1 µs durée de solidification : 2 à 5 µs (~106 K.s-1) durée avant impact d'une autre lamelle : 1 ms

  • 6

    6

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    quelles propriétés pertinentes ?

    PRINCIPALEMENT

    utilisation du contenu énergétique des plasmas thermiques (enthalpie) et sur leur capacité à le transférer (conductivité thermique moyenne intégrée)

    RAREMENT

    mais de plus en plus toutefois (car procédés émergents)

    plasmas : vecteurs de vapeurs

    réactivité en vol

    pertes radiatives

    transferts convectifet radiatif

    TsT∞

    Q = ha(T∞-Ts ) - σε(Ts4-Ta4)

    Ts : température de surfaceT∞

    : température moyenne du plasmaTa : température de la paroi du réacteur

  • 7

    7

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    enthalpie de plasmas

    0

    20

    40

    60

    80

    0 4 8 12 16

    enth

    alpi

    e [1

    03kJ

    .m-3

    ]

    température [103 K]

    NN

    ++

    e-

    N 22N

    H 22H

    H

    H+ +

    e-

    ArAr

    + + e

    -He

    He+ +

    e-

    52

    RT32

    RT

    optimisation de la nature et des

    fractions relatives des

    gaz plasmagènes

  • 8

    8

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    conductivité thermique moyenne intégrée de plasmas

    0 2000 4000 6000 8000 10000température [K]

    cond

    uctiv

    itéth

    erm

    ique

    moy

    enne

    inté

    grée

    [W.m

    -1.K

    -1]

    0.0

    0.4

    0.8

    1.2

    1.6

    2.0

    N2 – 11% H2

    Ar – 11% H2

    Ar – 26% H2

    optimisation de la nature et des

    fractions relatives des

    gaz plasmagènes

  • 9

    9

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    jet plasma : forts gradients radiaux et longitudinaux

    modèle 2D stationnairepuissance nette : 27 kWpression atmosphérique

    torche PT-F4 (Sulzer-Metco)Ar-H2 (45-15 L.min-1) / I (700 A)diamètre d'anode en sortie : 7 mm

    distance axiale [mm]

    dist

    ance

    radi

    ale

    [mm

    ]

    T [K]

    température

    dist

    ance

    radi

    ale

    [mm

    ]

    V [m.s-1]

    distance axiale [mm]

    vitesseNote. Si le modèle est incompatible avec vos données

    expérimentales, ce ne sont pas les données expérimentales qui doivent être changées…

  • 10

    10

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    E. PfenderSurf. Coat. Technol.

    34[1] (1988) 1-14

    jet plasma : entraînement de l'atmosphère environnante

    100

    80

    60

    40

    20

    0

    frac

    tion

    d'ar

    gon

    [%]

    -10 -5 0 +5 +10

    35

    40

    45

    30

    25

    20 15

    20

    25

    30

    35

    m = 23,6 L.min-1 m = 47,2 L.min-1

    distance radiale [mm]

  • 11

    11

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    jet plasma : entraînement de l'atmosphère environnante

    E. Pfender, Plasma Chem. Plasma Process., 19[1] (1999) 1-31

  • 12

    12

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    mécanisme exacerbé par les fluctuations de jet de plasma

    gaz "froids"(~1000-3000°C)

    (couche limite)

    B

    j x BFd

    Ff

    j x B

    j

    cathode

    anode

    mélangede gaz

    plasmagène

    arc électrique

    plasma-

    + J. Heberlein, Heat and Mass Transfer under Plasma Conditions,

    Annals of N.Y. Academy of Sciences,

    891 (1999) 14-27

    1009080706050403020

    tens

    ion

    [V]

    0 0,5 1,0 1,5 2,0temps [ms]

    fréquence : 4-8 kHz

    restrike

    takeover

  • 13

    13

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    mécanisme inhibé par la viscosité du jet de plasma

    température [K]

    viscosité dynamique [Pa.s]

    Ar N2Ar / H2

    (80 / 20)Ar /He

    (60 / 40)

    300 24,0 17,0 23,5 24,4

    10000 281,0 246,0 281,0 297,0

    13000 180,0 167,0 181,0 227,0

  • 14

    14

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    précurseurs conventionnels

    transfert de chaleur et de quantité de mouvement aux particules

    débit massique de poudre

    morphologie des particules (dépendant du procédé d'élaboration)

    différentes morphologies

    sphérique

    irrégulière (i.e., forte élongation habituellement)

    anguleuse (i.e., faible distribution des tailles habituellement)

    20 µm

    atomisation par jet gazeux

    40 µm

    fusion - broyage

  • 15

    15

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    10000

    5000

    0-10 0 10 20

    position radiale [mm]

    intensité lumineuse [u.a.]

    effet de la quantité de mouvement des particules sur leur pénétration

    trajectoires schématiquesdes particules

    4,5 L.min-1

    8 L.min-1

    6 L.min-14 L.min-1

    2,5 L.min-1

    P. Fauchais, M. Vardelle, Thermal Spray 2003: Advancing the Science and Applying the Technology,Ed. C. Moreau, B.R. Marple, Pub. ASM International, Materials Park; OH, USA, (2003) 1011

    HYP : distribution des tailles resserrée

  • 16

    16

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    mp vp (gaz porteur)

    Sp ρg vg2 (plasma)distribution des tailles des particulesgaz porteur vpi ≈

    cte et mp = ρp volume

    ratio diamètres = 2 (22 < dp < 45 µm) ratio masses = 8

    ratio diamètres = 11 (10 < dp < 110 µm) ratio masses = 121 (!)

    trajectoires fortement dispersées traitement inhomogène

    effet de la taille des particules sur leur pénétration

    mp1 vpmp2 vpmp3 vp

    vitessesidentiquesMAISmassesdifférentes

  • 17

    17

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    20

    16

    12

    8

    4

    00 3000 6000 9000 12000 15000

    température [K]

    flux

    de c

    hale

    ur [1

    08W

    .m-2

    ]

    plasma Ar-H2 (17% en masse)Tparticule = 1000 K

    transfert de chaleur aux particules

    20 µm

    40 µm

    80 µm

  • 18

    18

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    pression de vapeur

  • 19

    19

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    20

    16

    12

    8

    4

    00 3000 6000 9000 12000 15000

    température [K]

    flux

    de c

    hale

    ur[1

    08W

    .m-2

    ]plasma Ar-H2 (17% en masse)

    Tparticule = 1000 K

    transfert de chaleur aux particules

    20 µm

    40 µm

    80 µm

    SANS transfertde masse

    AVEC transfertde masse

  • 20

    20

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    conduction de la chaleur au sein des particules

    4000

    3000

    2000

    1000

    00 20 40 60 80 100 120

    distance axiale au point d'injection [mm]

    tem

    péra

    ture

    [K]

    particules : Al2 O3Ar-H2 (15%) – torche F4 (Φ

    = 6 mm)

    centresurface

    10 µm

    40 µm

  • 21

    21

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    "chimie" plasma – particules "subie"

  • 22

    22

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    oxydation en vol des particules

    oxydes nodulaires oxydes coquilles

    20 µm 5 µm

    particules de Fe dans un plasma Ar-H2

    mécanismeCONVECTIONNEL

    mécanismeDIFFUSIONNEL

  • 23

    23

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    oxydation en vol des particules

    jet plasmacœur potentiel

    mécanismeconvectionnel

    mécanismediffusionnel

  • 24

    24

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    80 µm

    0

    2

    4

    6

    frac

    tion

    mol

    aire

    évap

    orée

    / ox

    ydée

    [%]

    0 20 40 60 80 100distance axiale au point d'injection [mm]

    convection

    si g /p > 50 et Rep > 20

    diffusion

    Wagner-Tamman: Δm α

    St1/2

    oxydation en vol des particules

    t = 0,9 ms t = 1,1 ms

    vortex de HillM.J.M. Hill

    Phil. Trans. Roy. Soc. London A, 185 (1894) 213

    zone

    d'ox

    ydat

    ion

    zone d'évaporation

    oxydation

    évaporation

    particules de Fe dans un plasma Ar-H2

    oxydation par diffusion : 3% (masse)oxydation par convection : 13% (masse) !

  • 25

    25

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    oxydeslamellaires

    50 µm

    quelque soit leur mécanisme de formation, la présence d'oxydes "dégradent" les caractéristiques des couches métalliques…

    oxydation sur le substrat des particules écrasées

    gaz chauds (dont atmosphère)(qques centaines de degrés)

    oxydesnodulaires

    oxydescoquilles

  • 26

    26

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    … sauf dans certains cas…

    aciers Fe-Mn (3% masse)

  • 27

    27

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    sinon, deux solutions palliatives

    prolongateur ("shroud") atmosphère neutre

    investissement : x5fonctionnement : x5

    pertes thermiques, colmatage, etc.et efficacité partielle

    substrat

    gazneutre

    (Ar)

    refro

    idis

    sem

    ent

    préc

    urse

    urs

    E. Muelhberger (1973)

  • 28

    28

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    phénomène non considéré dans cette présentation…

    vaporisation préférentielle d'éléments

    In dans CuNiIn

    Y2 O3 dans ZrO2 -Y2 O3

    [OH] dans HAP

    Mn dans LSM

    déplétion subie(très) peu étudiéedopage des précurseurs en éléments vaporisés

  • 29

    29

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    "chimie" plasma –

    particules "favorisée"

  • 30

    30

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    chimie "plasma – poudres"

    par formation en vol du précurseurpar réaction SHS

    par formation en vol du précurseurpar pyrolyse d'une solution

    par synthèse en vol du précurseur(vapeurs)

    modificationde la composition

    du précurseur

    par formation en vol du précurseurpar réaction SHS

  • 31

    31

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    Sir Humphry DAVY (Angleterre, 1778-1829)

    la synthèse de composés chimiques est possible au moyen d'un "arc électrique" généré entre deux électrodes (1813)

  • 32

    32

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    réaction fortement exothermique entre des éléments condensés en condition de combustion

    vitesse du front de propagation

    amorçage de la réaction

    température critique (transfert de chaleur)

    depuis la périphérie de la particule

    réaction SHS (phases Self-propagating High-temperature Synthesis)

    produits deréaction

    zone deréaction

    produitsréactifs

  • 33

    33

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    étapes successives

    température critique atteinte en périphérie de particule

    propagation de la réaction vers le cœur

    vitesse : 0,1 à 15 cm.s-1

    N.B. : en fonction de la taille de la particules et de son temps de vol, la réaction peut se poursuivre dans la lamelle déposée

    matériaux

    intermétalliques

    Ni-Al

    Cu-Al

    Ni-Ti

    etc.

    composites réfractaires (non oxydes)

    Ti-SiC

    Ti-Si3 N4

    Cr-SiC

    etc.

    réaction SHS (phases Self-propagating High-temperature Synthesis)

  • 34

    34

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    composite Cr-SiC Cr7 C3 , Cr23 C6 , Cr5 Si3 –xCx

    σadh = 26–29 MPa sur acier

    réaction SHS (phases Self-propagating High-temperature Synthesis)

  • 35

    35

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    réaction SHS (phases Self-propagating High-temperature Synthesis)

    précurseur

    Ti C

    20 30 40 50 60 70 80 90 1002 thêta [deg.]

    dépôt

    TiCx Oy

    précurseur

    Ti et C mis en solution dans Et-OH avec liant insoluble dans H2 O

    suspension versée dans l'eau : précipitation du liant insoluble et agglomération des particules entre elles

    suspension partiellement séchée et passée au travers un tamis (contrôle de la taille des particules)

  • 36

    36

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    chimie "plasma – poudres"

    par formation en vol du précurseurpar réaction SHS

    par formation en vol du précurseurpar pyrolyse d'une solution

    par synthèse en vol du précurseur(vapeurs)

    modificationde la composition

    du précurseur

  • ~30 mm

    diaphragme calibré (Φdiaphragme ~150 µm)

    jet de solution (Φjet ~1.6×Φdiaphragme )

    jet de plasma

    vitesse du jet de solution fonction du jet de plasma

    (de 20 a 30 m.s-1)

    comment injecter une solution dans un jet de plasma ?

    injecteur "mécanique" (réservoir pressurisé)

  • 38

    38

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    pyrolyse d'une solution

    torcheplasma

    injecteur

    Solution Precursor Plasma Spraying (SPPS)

    vapo

    risat

    ion

    cons

    olid

    atio

    n

    parti

    cule

    s fo

    ndue

    s

    aggl

    omér

    ats

    particules en vol pyrolisées

    substrat

    dépôt

    préc

    ipita

    tion

    "faible" concentration (< 20%)précipitation en surfaceparticules creuses

    "forte" concentration (> 50%)précipitation en volume

    particules denses

    E.H. Jordan et al., J. Thermal Spray Technol., 13 (2004) 57

    X. Chen et al., Surf. Coat. Technol., 202 (2008) 2132–2138

  • 39

    39

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    pyrolyse d'une solution

    Fig. 1: Different routes for droplet for vaporization and solid precipitations: (a) Uniform

    concentration leading to solid particles by volume precipitation.

    (b) Super-saturation near the surface: (I) Low permeable shell

    leading to fragmented shell formation. (II) High permeable shell

    leading to unfragmented shell formation. (III) Impermeable shell leading to droplet internal heating, pressurization and droplet breakup, secondary atomization. (c) Elastic

    shell formation causing inflation and deflation by solid consolidation.

    A. Saha et al., Surf. Coat. Technol., 203 (2009) 2081–2091

  • 40

    40

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    si la fragmentation débute à la périphérie du jet de plasma : les gouttelettes ne pénètrent pas dans le jetgouttelettes mal traitéesphénomène exacerbé par les fluctuations du jet de plasma

    jet de plasma

    jet de suspension

    fragmentation dans lejet de plasma

    quelques fragmentations à la périphérie du jet de plasma

    Ar-He (30-30 700A)

    pyrolyse d'une solution

  • 41

    41

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    fissures gouttelettes non-pyrolisées enchâssées dans la structure et réchauffées par les passes successives de la torche plasma

    Y-PSZ

    100 µm

    dgoutelettes < 25 µmdgoutelettes > 25 µm

    Y-PSZ

    100 µm

    par c

    ourto

    isie

    de

    E. J

    OR

    DA

    N,

    Uni

    vers

    ityof

    Con

    nect

    icut

    , MA

    , US

    Apyrolyse d'une solution

  • 42

    42

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    nitrate de nickel [Ni(NO3 )2 ] + nitrate de zirconil [ZrO(NO3 )2 ] + nitrate d'yttrium [Y(NO3 )3 ]

    pyrolyse d'une solution

    0 100 200 300 400 500 600température [°C]

    0

    10

    20

    30

    40

    50

    60

    70

    pert

    e en

    mas

    se [%

    ]

    1.0

    0.8

    0.6

    0.4

    0.2

    0

    -0.2

    diffé

    renc

    e de

    tem

    péra

    ture

    [µV.

    mg-

    1 ]

    déshydration

    décomposition

    oxydation

  • 43

    43

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    substrat à température ambiante

    10 µm

    substrat à 400°C

    10 µm

    1. précurseur non-pyrolisé2. fissures dues à l'évaporation du solvant

    3. sphères and agrégats

    1. lamelle (1-10 µm)2. sphères (< 1 µm)

    5 µm

    interface dépôt / substrat

    pyrolyse d'une solution

  • 44

    44

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    1. plus grande distance de ré-oxydation avec un plasma Ar/H22. quand survient la ré- oxydation ? en vol ou sur le substrat ?

    YSZNiONi

    pyrolyse d'une solution

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    45

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    chimie "plasma – poudres"

    par formation en vol du précurseurpar réaction SHS

    par formation en vol du précurseurpar pyrolyse d'une solution

    par synthèse en vol du précurseur(vapeurs)

    modificationde la composition

    du précurseur

  • 46

    46

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    condensation de vapeurs

    300 mm

    95 kPa

    300 mm

    0.1 kPa

    projection plasma sous basse pression (VPS - LPPS)

    projection plasma sous très basse pression (VLPPS)

    par courtoisie de M. Gindrat, Sulzer-Metco,

    Wohlen, Switzerland

    300 mm

    5 kPa

    source d'évaporation

    transport

  • 47

    47

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    John DALTON (Angleterre, 1766-1844) Joseph HENRY (USA, 1797-1878)

    John DALTON Joseph HENRY

    il est possible de synthétiser industriellement l'acétylène (C2 H2 ) au moyen d'une décharge électrique au sein du méthane (CH4 )

  • 48

    48

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    condensation de vapeurs formées par vaporisation de particules

    procédé structure / caractéristique des couchesparticules fondues

    à partir de lamelles écrasées

    structure lamellaire 50 µm – 500 µm

    zone de construction du dépôt : 30 mm

    e.g. : sous- couche MCrAlY

    particules vaporisées

    à partir de vapeurs condensées

    structure colonnaire 30 µm – 500 µm

    zone de construction du dépôt : 60 mm

    e.g. : barrières thermiques YSZ

    Al-OxideVPS - LPPS 95 kPa (180 kW – 3000 A)

    300 mm

    PS - PVD 5 kPa

    300 mm

    YSZ

    par c

    ourto

    isie

    de

    M. G

    indr

    at, S

    ulze

    r-Met

    co, W

    ohle

    n, S

    witz

    erla

    nd

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    49

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    par courtoisie de M. Gindrat, Sulzer-Metco, Wohlen, Switzerland

    déplétion en éthylène (C2 H4 ) [%]

    70

    60

    50

    40

    30

    20

    10

    0dist

    ance

    àl'a

    xe g

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    étriq

    uede

    la to

    rche

    pla

    sma

    [mm

    ]

    100 95 90 80 75 7085

    320

    cm3 .m

    in-1

    640

    cm3 .m

    in-1

    300 A 400 A

    injectionCH4

    méthane (CH4 )

    5 cm en aval de la sortiede la torche plasma

    dissociationtrès efficiente

    77 cm en aval de la sortiede la torche plasma

    condensation de vapeurs formées par dissociation d'un précurseur gazeux

    injecteur circulairedu précurseur gazeux

  • 50

    50

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    par courtoisie de M. Gindrat, Sulzer-Metco, Wohlen, Switzerland

    e.g., hexaméthyldisiloxane (HMDSO)

    condensation de vapeurs formées par dissociation d'un précurseur gazeux

  • 51

    51

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    épaisseur de la couche / du dépôt

    densité de défauts dans la couche / le dépôt

    projectionplasma

    conventionnellee.g., plasma

    procédéscouchesminces

    e.g., CVD, PVD

    0,01 µm 1-5 µm 50 µm 500 µm

    vapeurs particules fonduesprécurseurs

    solides, liquidesvapeurs

    taux dedépôt

    surfacedéposée

    procédéshybrides

    condensation de vapeurs

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    52

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    conclusion

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    53

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    conclusion

    "chimie" sur précurseurs en projection plasma

    oxydation des précurseurs métalliques (souvent indésirable)

    projection "réactive" (premiers développements en 1970, développements intenses depuis 2005)

    oxydation

    par l'oxygène environnant

    en vol : mécanisme convectif plutôt que diffusionnel

    sur le dépôt : mécanisme diffusionnel

    souvent néfaste

    réaction SHS

    précurseurs composites spécifiques

    quelques applications spécifiques mais limitées

    solutions liquides

    pyrolyse en vol et éventuellement sur le substrat

    en fort développement

    très basse pression

    précurseurs solides, liquide ou gazeux

    condensation de vapeurs (PS- PVD, PS-CVD)

    en fort développement

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    54

    journées MRCT PLASMAS FROIDS "Chimie sur les poudres" - Albi (81), 7-9 juillet 2010

    conclusion

    encore beaucoup de mécanismes non ou mal compris à ce jour…

    résolutions spatiales et temporelles des dispositifs de diagnostic à améliorer

    modèles à développer

    mais peut-être surtout… chercheurs à former…

    période de transition dans le domaine de la projection plasma

    procédés émergents, notamment basés sur l'emploi de nouveaux précurseurs (liquides et gaz)

    "nouvelles" chimies (tout du moins dans le domaine)