Universal Semiconductor Technology

(주) 유에스티WWW.SEMI-UST.COMServices provide by UST CO.,LTD

UST Co.,Ltd will put customer' need before us andpromise that all UST staffs will do their best for maximization of satisfaction

Head Office & R&D Center경기도 성남시 분당구 야탑동 151분당테크노파크 D동 908호 (463-760)

TEL : +82-31-604-1004FAX : +82-31-711-6344E-mail : admin@semi-ust.com

Clean Room & Facility경기도 안성시 원곡면 성주리 150-1

E-mail : sales@semi-ust.com

야탑사거리

Head Office & R&D Center경기도 성남시 분당구 야탑동 151 분당테크노파크 D동 908호 (463-760)

Clean Room & Facility경기도 안성시 원곡면 성주리 150-1

반도체 전 공정 장비TRACK 장비 및 CMP장비개조,개선 및 OVERHAUL

확고한 기술경쟁력 및 품질 우선주의를바탕으로 고객에게 신뢰받는 기업

독자적인 장비 및 아이템 개발

““신속신속함과함과 정확정확함을함을 기본으로기본으로 최고의최고의 제품을제품을 고객에게고객에게 제공제공한다한다”

대표이사대표이사

경영 지원팀 영업팀영업팀

개발부개발부

TRACK 부TRACK 부

CMP 부CMP 부

기술팀기술팀

국내,외 영업 및장비 사업부

국내,외 영업 및장비 사업부

전전, , 후후 공정의공정의 반도체반도체 장비장비 및및 솔루션을솔루션을 고객에게고객에게 빠르게빠르게 제공제공㈜㈜ USTUST는는 전전, , 후후 공정의공정의 모든모든 반도체반도체 장비와장비와 개조를개조를 고객에게고객에게 제공합니다제공합니다..

TEL MARKTEL MARK--7,8 and ACT7,8 and ACT--8,12 8,12 개조개조//개선개선 및및 Overhaul Overhaul

User Base의 자유로운 System Configuration 수정, Module 추가 및 Up-grade.Open Cassette Type을 SMIF Type으로 개조 및 Size 변경가능

6inch, 8inch 동시 사용 가능으로 개조Cassette Unit 및 Robot 개조Mapping Sensor Block 개조Main Robot Arm 개조COAT Unit 및 Cup 개조DEV Unit 및 Cup 개조WDS/Plate 개조

T EL MARKT EL MARK--II,V,VZ,7,8 II,V,VZ,7,8 및및 T ELT EL ACTACT--8,12 8,12 장비의장비의 자유로운자유로운 Size Size 개조개조 (4,6,8 inch)(4,6,8 inch)

L/E Tank (45cc, 100cc, 150cc, 200cc, etc) 제작TEL MARK 및 ACT SMIF Type Unit 을 동일한 성능으로 제작COAT Nozzle Assembly (EBR, Back Side Rinse and Photo Resist Nozzle Tip)제작DEV Nozzle Assembly (H, SH, Spray and Stream type) 제작저렴한 비용으로 TEL MARK의 Plasma를 TFT LCD 로 개조 및 Upgrade

T EL MARKT EL MARK--II,V,VZ,7,8 II,V,VZ,7,8 및및 ACTACT--8,12 8,12 의의 22ndnd Source Parts Source Parts 및및 Unit Unit 제공제공

OEM보다 빠른 납기 및 저렴한 가격으로 OEM과 동일한 성능을 구현Cassette Stage Assembly 제작C/A Arm, Main Arm (Ceramic, Vacuum Arm, Aluminum 및 Anodizing Type) 제작Plate (LHP, HHP, CPL, HCP, ADH, HEL 및 CP Power Supply) 제작Fan Filter Unit A,B Type (Included HEPA Filter) 공급TEL ACT8, 12 의 Oven Central Stack 제작

T EL MARKT EL MARK--II,V,VZ,7,8 II,V,VZ,7,8 및및 ACTACT--8,12 8,12 의의 22ndnd Source Parts Source Parts 및및 Unit Unit 제공제공

Chemical Cabinet / Auto Chemical Supply System Chemical Cabinet / Auto Chemical Supply System 개조개조 및및 개선개선

CSS 나 Manual Supply 또는 혼용 방식으로 개조Buffer Tank Auto Exchange Type System 개조Solvent/Develop/HMDS Chemical Supply System 제작 및 개조Resist Cabinet Photo Resist Auto-Exchange 제작 및 개조Auto Drain Controller 및 Tray 제작 및 개조

TEL Clean Track Mark TEL Clean Track Mark 및및 ACTACT--8,12 Hot and Cooling Plate 8,12 Hot and Cooling Plate 제공제공

Hot / Cooling Plate 제작CPL, HCP, ADH, LHP, HHP Assembly 제작Hot Plate 개조 (LHP ⇔ HHP, CPL ⇔ HCP)Thermo Controller 제작OEM과 동일 성능Thermo Controller 및 SMC 200mm / 300mm 용 Circulator 수리

TEL/DNS/SEMES Spin Scrubber TEL/DNS/SEMES Spin Scrubber 개조개조//개선개선 및및 Overhaul Overhaul

6inch, 8inch 동시 사용 가능으로 개조Cassette Unit 및 Robot 개조Mapping Sensor Block 개조Consumable Parts 제공2nd Source Parts 제작Controller Up-grad 및 교체Labor 및 Service 제공

StepperStepper HP Laser 5711X Series HP Laser 5711X Series 수리수리

MODEL MACHINEG Line I Line

5517A NSR-G6 , G7 , G8 NSR-I6 , I7 , I8 5517B NSR-I9 , I10 , I11 5517C NSR-I12, NSR-I14

REFERENCEFREQUENCY BEAM DIAMETER POLARIZATION INDICATORS SHUTTER

5517A 1.5 MHz to 2.0 MHz 6mm f1 Horiz f2 Vert LASER ON READY

Open,Reduced, Closed

5517B 1.9 MHz to 2.4 MHz 6mm f1 Horiz f2 Vert

+15V POWER ON -15VPOWER ON LASER ON READ

Y

Open, Reduced,

Closed

5517C 2.4 MHz to 3.0 MHz

6mm(std) 3mm(5517C-003) 9mm(5517C-009)

f1 Horiz f2 Vert+15V POWER ON -15V

POWER ON LASER ON READY

Open, Reduced,

Closed

5517D 3.4 MHz to 4.0 MHz 6mm f1 Horiz f2 Vert

+15V POWER ON -15V POWER ON LASER ON READ

Y

Open, Reduced,

Closed f1 is the lower frequency, and f2 is the higher frequency. The Agilent 5517A is the basic head.

HP Laser’s Model HP Laser’s Model 에에 따른따른 장비장비

HP Laser 5517x HP Laser 5517x 스스펙펙

StepperStepper LSA (Laser Step Alignment) / LIA LSA (Laser Step Alignment) / LIA 수리수리

LSA(LIA) Model LSA(LIA) Model Out Put Out Put Polarization Polarization Mode Mode Wavelength Wavelength

LSA(5mW) LSA(5mW) ≥ 5mW ≥ 5mW 500:01:00500:01:00 TEM00 TEM00 632.8nm 632.8nm

LIA(10mW) (Option) LIA(10mW) (Option) ≥ 10mW ≥ 10mW 500:01:00500:01:00 TEM00 TEM00 632.8nm 632.8nm

LAS (5mW)LAS (5mW)

LIA (10mW)LIA (10mW)Repair

LSA and LIA SpecificationLSA and LIA Specification

EPO2226/EPO2228EPO2226/EPO2228-- Trouble Shooting Trouble Shooting 및및 Software Software 수정수정-- 6inch 6inch 및및 8inch8inch간의간의 자유로운자유로운 개조개조-- II--Head Head 수리수리 및및 교체교체-- 22ndnd Source Parts Source Parts 제공제공-- Rotary Joint Rotary Joint 제작제작 및및 개조개조-- II--Head Head 제작제작 및및 개조개조-- Consumable Parts Consumable Parts 제공제공

EBARA EPO2226,2228 EBARA EPO2226,2228 개조개조 / / 개선개선 및및 OverhaulOverhaul

단면단면//양면양면 Single/DoubleSingle/Double--Layer PCBLayer PCB다층다층 MultiMulti--Layer PCB (4Layer ~ 26Layer)Layer PCB (4Layer ~ 26Layer)P.C.B Art WorkP.C.B Art WorkMetal / Flexible PCBMetal / Flexible PCBMicomMicom Firmware Firmware 개발개발Wire Wire 설계설계PCA PCA 회로설계회로설계 및및 Test Test ZigZig 개발개발Build up etc.Build up etc.

P.C.B (Printed Circuit Board) ArtP.C.B (Printed Circuit Board) Art--work and Assemblywork and Assembly

OEM / ODM OEM / ODM R&DR&D ServiceService

양면양면 제품에서제품에서 CARBON, MLBCARBON, MLB--B/DB/D에에 이르기까지이르기까지 모든모든 종류의종류의 PCBPCB개발과개발과 공급이공급이 가능가능

기구기구 개발개발 업무업무 내역내역개발기획개발기획 및및 ReviewReview-- Item Concept Item Concept 정리정리-- Item Item 요구기술요구기술 전개전개 및및 ReviewReview-- 개발계획안개발계획안 수입수입제품제품 DesignDesign-- 제품제품 특장점에특장점에 따른따른 Design Design 진행진행-- 3D Rendering 3D Rendering 또는또는 Design MockDesign Mock--up up 제작제작 및및 평가평가설계설계 및및 금형금형 개발개발-- 기구기구//회로회로//전장전장 각각 PartsParts별별 설계설계 기준서기준서 작성작성-- 3D Modeling 3D Modeling 설계설계 및및 2D 2D 도면도면 작성작성

시생산및시생산및 제품제품 출하출하-- 시제품시제품 조립조립, Test , Test 및및 평가평가-- 제품제품((부품부품) ) 규격서규격서 작성작성

제품설계제품설계 , , 개발개발 지원지원 및및 제품제품 디자인디자인 지원지원

OEM / ODM OEM / ODM R&DR&D ServiceService

- 웨이퍼 사이즈 (2inch ~ 18inch)- Notch, Flat Wafer, Ring Type, Thin Wafer (50um)- Si, Glass, Film, Sapphire - 초소형 사이즈- 빠른 속도의 얼라인 (< 3.5sec)- 높은 재현성 및- 쉬운 설치 및 기능- Ethernet 및 RS-232 통신- 노치 및 플랫타입의 웨이퍼를 자동으로 감지하여 Alignment하는 스마트 기능- Si, Glass, Sapphire Type 동시 사용가능- 웨이퍼 에지의 불량 및 깨짐 감지 기능-2인치 부터 18인치까지 개발 완료 (CCD Stage 이동 타입)- 코팅불량 및 크랙 검출 기능-얇은 Thin 웨이퍼 얼라인 가능하며 크랙 웨이퍼도 사용가능- 웨이퍼의 크랙 부분의 각도 및 수량(최대 500개) 정보 표시 출력- Laminator등으로 Taping된 웨이퍼의 노치 부분의 정보 출력 (노치의 각도, 크기, 깊이 등)

웨이퍼웨이퍼프리프리 얼라이너얼라이너

크랙부분 검출

HyperTerminal 에 의한 쉬운 명령어 입력 및 정보 열람

CCD 웨이퍼 Vision 기능- 초소형 Embedded PC 사용 (Window XP OS)- Vision 기능 및 감시 장치- 사용이 쉬운 GUI 및 화면 Capture 기능

초소형임베디드 시스템

Auto Track Spinner SystemAuto Track Spinner System

2~4inch, 6~8inch, 8~12inch 멀티 플로우컴팩트하고 심플한 디자인Sapphire, Glass, Si등의 웨이퍼 가능PSS, MEMS, Bumping 공정 적용Programmable EBR, Back Rinse기능Bar Code System (Optional) 및 USB connection 제공

Auto Track Spinner SystemAuto Track Spinner System장비 스펙1) Main frame 시스템 컨트롤러a) System Controller

- 유져 중심의 사용이 편리한 Windows XP- 15” LCD 터치 스크린

b) Program Recipes- Recipe 수정 및 저장: Process, Flow, Dummy Dispense 및 Recipe 수정 작업

- Flow Recipe: 다수의 레서피와 플로우를 화면에서 간편하게 수정

- Recipe Capacity: 20step의 50ro 레서피 저장 가능

c) Throughput: > 60 wafers 이상2) System 사이즈a) 2~4inch Main Body Size : 1,700(W) X 1,400(D) X 1,600(H)b) 12inch Main Body Size : 2,100(W) X 2,000(D) X 2,100(H)

NEW NEW 미라클미라클 44--Spin Auto Track Spinner SystemSpin Auto Track Spinner SystemGeneral Specification 1) Single Block 의 경우 2COAT 2DEV SYSTEM 가능2) High Throughput3) 컴팩트 및 작아진 사이즈4) 2~4inch Main Body Size :1370 x 1340 x 1580

NEW NEW 미라클미라클 44--Spin Auto Track Spinner SystemSpin Auto Track Spinner System

ANALOG CONTRLLER FAN FILTER UNITANALOG CONTRLLER FAN FILTER UNIT

스탠다드스탠다드 AC Motor TypeAC Motor Type의의 FFU FFU 제작제작 (FAN FILTER UNIT)(FAN FILTER UNIT)

BLDC (BRUSHLESS DC) MOTORBLDC (BRUSHLESS DC) MOTOR FAN FILTER UNITFAN FILTER UNIT

BLDC MOTORBLDC MOTOR1.1. 우수한우수한 속도속도 및및 안전성안전성2.2. 폭폭 넓은넓은 가변가변 속도속도 범위범위3.3. 소형화소형화, , 고출력화고출력화4.4. 에너지에너지 절감절감5.5. 고강도고강도, , 장수명장수명 GEAR HEADGEAR HEAD6.6. 저소음화저소음화 실현실현7.7. BRUSHBRUSH에에 의한의한 PARTICLE PARTICLE 유발유발 제거제거8.8. 가가, , 감속시간감속시간 제어제어 가능가능

DIGITAL CONTROLLERDIGITAL CONTROLLER1. RS1. RS-- 485 485 통신통신2. Remote 2. Remote 컨트롤컨트롤 기능기능3. 3. 폭폭 넓은넓은 가변가변 조정조정 (0~100 Step)(0~100 Step)4. 4. 다양한다양한 모니터링모니터링 LAMPLAMP

-- ChemicalChemical Filter Filter 제공제공 (OPTION)(OPTION)-- ULPA Filter ULPA Filter 제공제공-- 고객이고객이 원하는원하는 다양한다양한 사이즈사이즈 제작제작 가능가능-- 다양한다양한 계측기를계측기를 통한통한 신뢰성신뢰성 확보확보 및및 DATA DATA 제공제공-- 빠른빠른 제작기간제작기간

BLDC (BRUSHLESS DC) MOTORBLDC (BRUSHLESS DC) MOTOR FAN FILTER UNITFAN FILTER UNIT

소음소음, , 진동진동, , 소비소비 전력전력, , 풍속풍속,,풍량풍량 및및 AAging ging 검사검사 장비장비

Manual Spinner Coater / Develop / StripperManual Spinner Coater / Develop / Stripper

응용응용 웨이퍼웨이퍼-- FPD / FPD / GaAsGaAs / / GaNiGaNi / OLED/ OLEDSpecificationSpecification-- Substrate Manual Loading, 12inch Substrate Manual Loading, 12inch 이상가능이상가능-- Operation : Manual operation switch (Tachometer, Timer), Operation : Manual operation switch (Tachometer, Timer), MicomMicom or PLCor PLC

본본 장비는장비는 매뉴얼매뉴얼 코팅코팅, , 현상현상, , 세정에세정에 작업이작업이 용이하게용이하게 설계되었으며설계되었으며 대학교대학교, , 연구소연구소, , 샘플샘플 제작제작 등의등의회사에회사에 주로주로 납품되어납품되어 지고지고 있습니다있습니다. 20Step. 20Step으로으로 최대최대 5050개의개의 레서피가레서피가 저장되며저장되며 GP PanelGP Panel을을 이용이용하여하여 간단하게간단하게 조정조정 할할 수수 있습니다있습니다..

PHOTO RESIST SDP-2150S PUMPStepping Motor를 사용한 안정적인 정 용량 Pump

ITEM DESCRIPTIONPROCESS

Maximum Dispense Volume 8.0ccDispense / Reload Rate 0.1cc/sec ~ 4.0cc/sec

Dispense Volume Resolution 0.05ccDispense Repeatability ±0.05 (0.8cp, 23°C)

Viscosity Max : 150cpElectrical Specif ication

Drive System Built in Motor Driver and Controller

Control SystemMicom controller and

Optional External Graphic PanelMain Power AC100~200V Free Voltage or DC 24V

Output Port

RS-232C Port or USB or RJ-45 LAN for Laptop External TP Panel Port (Serial 9P)DI/O Port (Serial 9P)Main AC Power or DC Power Cable (Select)

HardwareInput Pulse / Dispense Volume 812 pulse (full step) / 1cc

Input Signal Pump Ready, Dispense and SpareOutput Signal Alarm and SpareResist In/Out 1/4 inch Teflon

Input Pulse / Encoder Output Pulse Full step – 1:1 Half step – 2:1

Weight 3.2kgDimension 56(W) x 241 (L) x 153.5 (H) mm

Dr iving MethodInner Type Bellows, No ripple & No shaking.

Discharge & Control Method- 5 상 모터를 사용한 안정적인 Pump- 조작이 편리한 외부 조작 키 panel (Option)- Controller 일체형으로 기타 Interface 불 필요- 통신 Port를 이용한 편리한 Software Upgrade- Pump 상태 LED (Dispense, Pump, Home and Alarm)- 검증된 재현성 및 안정성, 자동 Calibration 기능- 완벽한 호환성. 모든 장비와 Signal Matching 가능 (고객사양에 맞게 개조 가능)Pump Specification

PHOTO RESIST SDP-2150 PUMPIt’s Stepping Motor Pump which is suitable for a constant delivery pump.

Dr iving MethodInner Type Bellows, No ripple & No shaking.

구동 방식- 5상 Stepping Motor 구동 방식제어 방식- RRC Pump와 완벽한 호환성- 와부 조작형 Key Paenl (Option)- Pump 상태 LED (Pump Run, Ready, Home and Alarm)- RRC Pump와 동일한 Signal 방식 (ACT/MARK)

ITEM DESCRIPTIONPROCESS

Maximum Dispense Volume 8.0ccDispense / Reload Rate 0.1cc/sec ~ 4.0cc/sec

Dispense Volume Resolution 0.1ccDispense Repeatability ±0.1 (0.8cp, 23°C)

Viscosity Max : 150cpElectrical Specification

Drive System Phase Stepping Motor, Driver Current : 300~500mA/cycle

Control System Pow er 5VMain Pow er N/A

Input Port Encoder and 5-Phase Port (same w ith RRC)Hardware

Input Pulse / Dispense Volume 812 pulse (full step) / 1ccResist In/Out 1/4 inch Teflon

Input Pulse / Encoder Output Pulse Full step – 1:1 Half step – 2:1

Weight 2.3kgDimension 56(W) x 250 (L) x 153.5 (H) mm

Pump Specification