Was macht einen Reinraum aus? - Class 1 ISO Class 2 ISO Class 3 ISO Class 4 ISO Class 5 ISO Class 6 ISO Class 7 ISO Class 8 ISO Class 9 Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644

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    Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 15

    Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik

    Was macht einen Reinraum aus?

    Kontrolle der Umweltparameter:

    h Partikelbelastung

    h Raumtemperatur

    h Luftfeuchtigkeit

    h Luftdruck

    h Spektrale Zusammensetzung des Lichts (z.B. bei Rumen mit photosensitiven Chemikalien: Gelbrume)

    h SterilittEin Reinraum ist also weit mehr als nur ein staubfreier Raum!

    Ein Reinraum ist also weit mehr als nur ein staubfreier Raum!

    Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 16

    Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik

    Reinraumklasse Partikelzahl pro foot3

    Partikelgre> 0.5 m

    Partikelgre> 5 m

    10100

    1.00010.000

    100.000

    10100

    1.00010.000

    100.000

    nicht def.nicht def.

    770

    700

    Reinraumklassen nach US Federal Standard 209b

    In einem Reinraum der US-Klasse 100 sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt

    In einem Reinraum der US-Klasse 100 sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt

    Partikel

    Volumen

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    Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 17

    Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik

    Cleanroom Classification

    Concentration limits (particles/m3)

    0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 1m 5m10

    1001.000

    10.000100.000

    1.000.000

    224

    2372.370

    23.700237.000

    10102

    1.02010.200

    102.000

    435

    3523.520

    35.200352.000

    3.520.00035.200.000

    883

    8328.320

    83.200832.000

    8.320.000

    29293

    2.93029.300

    293.000

    ISO Class1ISO Class2ISO Class3ISO Class4ISO Class5ISO Class6ISO Class7ISO Class8ISO Class9

    In einem Reinraum der ISO-Klasse n sind nicht mehr als 10n Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,1 m pro m3 erlaubt

    In einem Reinraum der ISO-Klasse n sind nicht mehr als 10n Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,1 m pro m3 erlaubt

    Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644

    Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 18

    Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik

    0,1 1100

    101

    102

    103

    104

    105

    106

    107

    100

    101

    102

    103

    104

    105

    106

    107

    Teilchengre [m]

    Teilc

    hend

    icht

    e [m

    -3]

    10

    ISO Class 1ISO Class 2ISO Class 3ISO Class 4ISO Class 5ISO Class 6ISO Class 7ISO Class 8ISO Class 9

    Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644

    Diagrammdarstellung:

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    Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik

    Reinraumklassen nach VDI-Standard 2083

    In einem Reinraum nach VDI-Standard 2083 (Klasse 3) sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt (entspricht US class 100)

    In einem Reinraum nach VDI-Standard 2083 (Klasse 3) sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Gre von mehr als 0,5 m pro foot3 erlaubt (entspricht US class 100)

    Natur

    Prof. Dr. Roland ZengerleFolie 20

    Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik

    Korrelation der US-, VDI und ISO Klassen

    US - FS 209b VDI - 2083 DIN ISO 14644

    Class 0.01Class 0.1Class 1Class 10Class 100Class 1.000Class 10.000

    --VDI Class 1VDI Class 2VDI Class 3VDI Class 4VDI Class 5

    ISO Class 1ISO Class 2ISO Class 3ISO Class 4ISO Class 5ISO Class 6ISO Class 7

    US-Class 100:maximal 100 Partikel, mit einer Greber 0,5 mpro foot3

    VDI-Class 3:maximal 100 Partikel, mit einer Greber 0,5 mpro foot3

    DIN ISO Class 5:maximal 3520 Partikel, mit einer Greber 0,5 mpro m3