Transcript
Page 1: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ

1. £ÄÇÆÇÐËÇ (519).

2. ±ÑÅÎÑÜÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÑÌ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ

ÓÂÊÓâÆ (521).

3. ¿ÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ (522).

3.1. °ÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ Ë ÏÇÕÑÆÞ ÓÂÔÚÇÕÂ. 3.2. ®ÇÕÑÆÞ ËÊÏÇÓÇÐËâ.

3.3.ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

3.4. ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ Ô ÄÐÇÛÐËÏ ÏÂÅÐËÕÐÞÏ ÒÑÎÇÏ.

4. °ÔÑÃÇÐÐÑÔÕË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐËÊÍÑÅÑ

ÆÂÄÎÇÐËâ, ÅÑÓâÜÇÅÑ Ä ÓÇÉËÏÇ Rpl 4Rant (526).

4.1. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÞÔÑÍÑÚÂÔ-

ÕÑÕÐÑÅÑ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. 4.2. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ

ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

5. °ÔÑÃÇÐÐÑÔÕË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ

ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÌ (533).

5.1. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÞÔÑÍÑÚÂÔ-

ÕÑÕÐÑÅÑ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. 5.2. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ

ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. 5.3. ¤ËÃÓËÆÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ.

6. ° ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÑÒÕËÏËÊÂÙËË ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ

ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ (537).

7. ©ÂÍÎáÚÇÐËÇ (538).

³ÒËÔÑÍ ÎËÕÇÓÂÕÖÓÞ (539).

1. £ÄÇÆÇÐËÇ

°ÆÐËÏ ËÊ ÄÂÉÐÇÌÛËØ ÄÑÒÓÑÔÑÄ ÑÓÅÂÐËÊÂÙËË ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØÕÇØÐÑÎÑÅËÚÇÔÍËØ ÒÓÑÙÇÔÔÑÄ âÄÎâÇÕÔâ ÓÂÊÓÂÃÑÕÍ ËÔÕÑÚ-ÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ, ÑÃÎÂÆÂáÜËØ ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË, ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÏËÆÎâ ÆÂÐÐÑÌ ÕÇØÐÑÎÑÅËË, ÐÂÒÓËÏÇÓ: ÄÞÔÑÍÑÌ ÑÆÐÑÓÑÆ-ÐÑÔÕßá, ÊÂÆÂÐÐÞÏË ÒÎÑÕÐÑÔÕßá ÒÎÂÊÏÞ, àÐÇÓÅËÇÌ ÊÂÓâ-ÉÇÐÐÞØ ÚÂÔÕËÙ, ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ ØËÏËÚÇÔÍË ÂÍÕËÄÐÞØÓÂÆËÍÂÎÑÄ. ¡ÐÂÎËÊ ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ ÐÂËÃÑÎÇÇ ÒÇÓÔÒÇÍ-ÕËÄÐÞÏË ÆÎâ ÒÓËÏÇÐÇÐËâ Ä ÒÓÑÏÞÛÎÇÐÐÞØ ÕÇØÐÑÎÑÅËâØâÄÎâáÕÔâ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÞÇ (£¹) ËÔÕÑÚÐËÍË ÒÎÂÊÏÞ, ÕÂÍÍÂÍ, ÄÑ-ÒÇÓÄÞØ, Ô ËØ ÒÑÏÑÜßá ÏÑÉÐÑ ÑÃÓÂÃÂÕÞÄÂÕß ÍÂÍÒÓÑÄÑÆâÜËÇ, ÕÂÍ Ë ÆËàÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÇ ÏÂÕÇÓËÂÎÞ,  ÄÑ-ÄÕÑÓÞØ, Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÓÂÃÑÚËØ ÅÂÊÑÄ ÏÑÉÐÑ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÕßÐÇ ÕÑÎßÍÑ ËÐÇÓÕÐÞÇ, ÐÑ Ë ØËÏËÚÇÔÍË ÂÍÕËÄÐÞÇ ÅÂÊÞ.³ÇÅÑÆÐâ ËÊÄÇÔÕÐÞ ËÔÕÑÚÐËÍË ÒÎÂÊÏÞ, ÑÔÐÑÄÂÐÐÞÇ ÐÂÇÏÍÑÔÕÐÑÏ Ë ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÂØ. °ÔÑÃÇÐÐÑÔÕßáÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ, ÐÂËÃÑÎÇÇ ÚÂÔÕÑ ËÔÒÑÎßÊÖÇÏÑÌ ÄÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÕÇØÐÑÎÑÅËâØ, âÄÎâÇÕÔâ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËÇ ÒÓËà-ÎÇÍÕÓÑÆÐÞØ ÔÎÑÇÄ ÑÃÝÇÏÐÑÅÑ ÊÂÓâÆÂ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ×ÑÓÏË-ÓÖÇÕÔâ ÔÓÇÆÐÇÇ ÒÑ ÄÓÇÏÇÐË ÒÂÆÇÐËÇ ÒÑÕÇÐÙËÂÎÂ, ÖÔÍÑÓâá-ÜÇÅÑ ËÑÐÞ Ä ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËË àÎÇÍÕÓÑÆÂ. ¿ÕÑ ÒÑÊÄÑÎâÇÕÑÃÓÂÃÂÕÞÄÂÕß Ô ÒÑÏÑÜßá ÖÔÍÑÓÇÐÐÞØ ËÑÐÑÄ ÑÃÓÂÊÙÞÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÞÇ Ð àÎÇÍÕÓÑÆÂØ £¹-ÇÏÍÑÔÕ-ÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ. ¥ÓÖÅÑÌ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕßá ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÓÂÊ-ÓâÆÂ, ÚÂÔÕÑ ËÔÒÑÎßÊÖÇÏÑÌ Ä ÒÓËÎÑÉÇÐËâØ, âÄÎâÇÕÔâÐÂÎËÚËÇ ÃÑÎßÛÑÅÑ ÍÑÎËÚÇÔÕÄ ÃÞÔÕÓÞØ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÄÒÓËàÎÇÍÕÓÑÆÐÞØ ÔÎÑâØ ÑÃÝÇÏÐÑÅÑ ÊÂÓâÆÂ. ¯ÂÎËÚËÇÃÞÔÕÓÞØ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ä ÓÂÊÓâÆÇ ÒÓËÄÑÆËÕ Í à××ÇÍÕËÄÐÑÌÆËÔÔÑÙËÂÙËË ÔÎÑÉÐÞØ ÏÑÎÇÍÖÎ Ë ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËá ÓÂÆËÍÂ-ÎÑÄ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÇÑÃØÑÆËÏÞ ÆÎâ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÕÓÂÄÎÇÐËâ

®ÂÌ 2008 Å. ´ÑÏ 178, å 5µ ³ ± ¦ · ª ¶ ª © ª ¹ ¦ ³ ¬ ª · ¯ ¡ µ ¬

ª© ´¦¬µ»¦« ­ª´¦²¡´µ²½

ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâË ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÑÒÕËÏËÊÂÙËË ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ Ð ÇÅÑ ÑÔÐÑÄÇ

¦.¡. ¬ÓÂÎßÍËÐÂ

±ÎÂÊÏÇÐÐÞÇ ÓÇÂÍÕÑÓÞ Ë ËÔÕÑÚÐËÍË ËÑÐÑÄ, ÒÓËÐÙËÒ ÆÇÌÔÕÄËâ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÔÐÑÄÂРРËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔ-ÕÑÕÐÑÏ (£¹) ÓÂÊÓâÆÇ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ, ÖÉÇ Ä ÕÇÚÇÐËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÆÇÔâÕËÎÇÕËÌ âÄÎâáÕÔâ ÄÂÉÐÇÌÛÇÌÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÔÑÄÓÇÏÇÐÐÞØ ÊÇÏÐÞØ Ë ÍÑÔÏËÚÇÔÍËØ ÕÇØÐÑÎÑÅËÌ. °ÆÐÂÍÑ ÒÑÔÕÑâÐÐÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂáÜËÇ ËËÊÏÇÐâáÜËÇÔâ ÕÓÇÃÑÄÂÐËâ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÕÇØÐÑÎÑÅËÌ ÕÓÇÃÖáÕ ÖÔÑÄÇÓÛÇÐÔÕÄÑÄÂÐËâ ÔÕÂÓÞØ ÏÑÆÇÎÇÌ ÖÔÕ-ÓÑÌÔÕÄ Ë ÔÑÊÆÂÐËâ ËØ ÐÑÄÞØ ÒÇÓÔÒÇÍÕËÄÐÞØ ÏÑÆÇÎÇÌ. ¢ÑÎßÛÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ ÒÓË ÓÂÊÓÂÃÑÕÍÇ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ËÏÇÇÕ ÑÃÇÔÒÇÚÇÐËÇ ÖÔÎÑÄËÌ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØ ÒÎÂÊÏ à××ÇÍÕËÄÐÑ ÒÑÅÎÑÜÂÇÕ £¹-ÏÑÜ-ÐÑÔÕß. £ ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÅÑÆÞ ÔÕÂÎÑ ÑÚÇÄËÆÐÞÏ, ÚÕÑ Ä ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÏÑÜÐÑÔÕߣ¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÏÇÉÆÖ ÂÍÕËÄÐÞÏ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË Ë ÒÎÂÊÏÑÌ, ÒÓËÚÇÏ ÄÒÎÂÊÏÖ ÏÑÜÐÑÔÕß ÒÑÔÕÖÒÂÇÕ ÒÑ ÆÄÖÏ ÍÂÐÂÎÂÏ: ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏÖ, ÔÖÜÇÔÕÄÖáÜÇÏÖ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÕÑÍÖ, ÕÇÍÖ-ÜÇÏÖ ÒÑ ËÐÆÖÍÕÑÓÖ ËÎË ÂÐÕÇÐÐÇ, Ë ÇÏÍÑÔÕÐÑÏÖ, ÑÃÖÔÎÑÄÎÇÐÐÑÏÖ ÐÂÎËÚËÇÏ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÄâÊË ÏÇÉÆÖÂÐÕÇÐÐÑÌ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ. ²ÂÔÔÏÑÕÓÇÐÞ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕË ÒÑÄÇÆÇÐËâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ, ÔÄâÊÂÐÐÞÇ Ô ÒÇÓÇ-ÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇÏ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÏÇÉÆÖ ÍÂÐÂÎÂÏË, ÒÓÑÂÐÂÎËÊËÓÑÄÂÐÞ ÏÇØÂÐËÊÏÞ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑ-ÔÕË. °ÃÔÖÉÆÂáÕÔâ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÑÒÕËÏËÊÂÙËË ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ, ÓÂÃÑÕÂáÜËØ Ð ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ£¹-ÓÂÊÓâÆÇ.

PACS numbers: 52.40.Fd, 52.50. ± b, 52.80.Pi DOI: 10.3367/UFNr.0178.200805f.0519

# ¦.¡. ¬ÓÂÎßÍËР2008

¦.¡. ¬ÓÂÎßÍËÐÂ. ®ÑÔÍÑÄÔÍËÌ ÅÑÔÖÆÂÓÔÕÄÇÐÐÞÌ ÖÐËÄÇÓÔËÕÇÕËÏ. ®.£. ­ÑÏÑÐÑÔÑÄÂ, ×ËÊËÚÇÔÍËÌ ×ÂÍÖÎßÕÇÕ,£ÑÓÑÃßÇÄÞ ÅÑÓÞ, 119992 ®ÑÔÍÄÂ, ²ÑÔÔËÌÔÍÂâ ¶ÇÆÇÓÂÙËâ´ÇÎ. (495) 939-47-73E-mail: [email protected]

³ÕÂÕßâ ÒÑÔÕÖÒËΠ25 ËáÐâ 2007 Å., ÒÑÔÎÇ ÆÑÓÂÃÑÕÍË 12 ÐÑâÃÓâ 2007 Å.

Page 2: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, ÒÎÂÊÏÇÐÐÑÌ ÒÑÎËÏÇÓËÊÂÙËË Ë Õ.Æ. ¯ÇÆÑ-ÔÕÂÕÍÑÏ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ âÄÎâÇÕÔâ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÐËÊÍÂâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÑÃÝÇÏÇÒÎÂÊÏÞ. ©ÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÂâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕ-ÓÑÐÑÄ ÒÓË ÕÇØ ÉÇ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕâØ ØÂÓÂÍÕÇÓРÆÎâ ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÞØ £¹-ÓÂÊÓâÆÑÄ.

ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ËÊÄÇÔ-ÕÇÐ ÖÉÇ ÃÑÎÇÇ ÔÕ ÎÇÕ [1, 2]. ¿ÕÑ ÓÂÊÓâÆ, ÄÑÊÃÖÉÆÂÇÏÞÌÕÑÍÑÏ, ÕÇÍÖÜËÏ ÒÑ ËÐÆÖÍÕÑÓÖ, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÑÏÖ Ð ÃÑ-ÍÑÄÑÌ ËÎË ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, ÍÂÍ ÒÓÂÄËÎÑ, ÙËÎËÐÆ-ÓËÚÇÔÍÑÅÑ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ. ¦ÜÇ Ä 1891 Å. ¥É.¥É. ´ÑÏ-ÔÑÐ ÄÞÔÍÂÊÂÎ ÒÓÇÆÒÑÎÑÉÇÐËÇ [1] Ñ ÕÑÏ, ÚÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌÓÂÊÓâÆ ÄÞÊÞÄÂÇÕÔâ Ë ÒÑÆÆÇÓÉËÄÂÇÕÔâ ÄËØÓÇÄÞÏ àÎÇÍÕÓË-ÚÇÔÍËÏ ÒÑÎÇÏ, ÍÑÕÑÓÑÇ ÔÑÊÆÂÇÕÔâ ÏÂÅÐËÕÐÞÏ ÒÑÎÇÏ, ÄÔÄÑá ÑÚÇÓÇÆß, ËÐÆÖÙËÓÖÇÏÞÏ ÕÑÍÑÏ, ÕÇÍÖÜËÏ ÒÑ ÂÐÕÇÐ-ÐÇ. £ 1928 ë 1929 ÅÅ., ÒÑÎÇÏËÊËÓÖâ Ô ¥É.¥É. ´ÑÏÔÑÐÑÏ,¥. ´ÂÖÐÔÇÐÆ Ë ². ¥ÑÐÂÎßÆÔÑÐ [3, 4] ÄÞÔÍÂÊÂÎË ËÆÇá Ñ ÕÑÏ,ÚÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÒÑÆÆÇÓÉËÄÂÇÕÔâ ÐÇ ÄËØÓÇ-ÄÞÏË àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÏË ÒÑÎâÏË,  ÒÑÕÇÐÙËÂÎßÐÞÏË,ÒÑâÄÎâáÜËÏËÔâ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÐÂÎËÚËá ÓÂÊÐÑÔÕË ÒÑÕÇÐÙËÂ-ÎÑÄ ÏÇÉÆÖ ÄËÕÍÂÏË ËÐÆÖÍÕÑÓÂ. £ 1929 Å. ¬. ®ÂÍ-¬ËÐÕÑÐ[5] àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÑ ÒÑÍÂÊÂÎ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂ-ÐËâ ÆÄÖØ ÓÇÉËÏÑÄ ÅÑÓÇÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ. ±ÓË ÏÂÎÞØ ÂÏÒÎË-ÕÖÆÂØ £¹-ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÓÂÊÓâÆ ÆÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑ ÄÑÊÐËÍÂÎÒÑÆ ÆÇÌÔÕÄËÇÏ àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÅÑ ÒÑÎâ ÏÇÉÆÖ ÄËÕÍÂÏËÍÂÕÖÛÍË Ë ÐÑÔËÎ ØÂÓÂÍÕÇÓ ÔÎÂÃÑÅÑ ÒÓÑÆÑÎßÐÑÅÑ ÔÄÇÚÇ-ÐËâ ÄÆÑÎß ÄÔÇÌ ÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÑÌ ÕÓÖÃÍË. ³ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏÂÏÒÎËÕÖÆÞ £¹-ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÔÄÇÚÇÐËÇ ÔÕÂÐÑÄËÎÑÔß âÓÚÇ ËÐÂÍÑÐÇÙ ÄÑÊÐËÍÂÎ âÓÍËÌ ÍÑÎßÙÇÄÑÌ ÓÂÊÓâÆ. ³ÄÇÚÇÐËÇ,ÄÞÊÄÂÐÐÑÇ ÒÓÑÆÑÎßÐÞÏ àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÏ ÒÑÎÇÏ, ÒÓË àÕÑÏËÔÚÇÊÂÎÑ. £ÒÑÔÎÇÆÔÕÄËË àÕË ÆÄÇ ×ÑÓÏÞ ÓÂÊÓâÆ ÃÞÎËÐÂÊÄÂÐÞ E- ËH-ÓÂÊÓâÆÑÏ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ.

°ÃÎÂÔÕË ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂÏÑÉÐÑ ÖÔÎÑÄÐÑ ÓÂÊÆÇÎËÕß Ð ÆÄÇ ÃÑÎßÛËÇ ÑÃÎÂÔÕË [6]:àÕÑ ÄÞÔÑÍËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ (ÒÑÓâÆÍ ÂÕÏÑÔ×ÇÓÐÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ),ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØ ÅÇÐÇÓËÓÖÇÏÂâ ÒÎÂÊÏ ÃÎËÊÍÂ Í ÓÂÄÐÑÄÇÔÐÑÌ,Ë ÐËÊÍËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØ ÅÇÐÇÓËÓÖÇÏÂâ ÒÎÂÊÏÂâÄÎâÇÕÔâ ÐÇÓÂÄÐÑÄÇÔÐÑÌ. ±ÓÇÆÏÇÕÑÏ ÐÂÔÕÑâÜÇÌ ÔÕÂÕßËâÄÎâÇÕÔâ ÄÕÑÓÂâ ÑÃÎÂÔÕß ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ£¹-ÓÂÊÓâÆÂ.

±ÎÂÊÏÇÐÐÞÇ ÓÇÂÍÕÑÓÞ Ë ËÔÕÑÚÐËÍË ËÑÐÑÄ, ÒÓËÐÙËÒÆÇÌÔÕÄËâ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÔÐÑÄÂРРËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ, ÖÉÇ Ä ÕÇÚÇÐËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÆÇÔâÕËÎÇÕËÌÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕ ÔÑÃÑÌ ÄÂÉÐÇÌÛÖá ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÖá ÔÑÄÓÇ-ÏÇÐÐÞØ ÊÇÏÐÞØ Ë ÍÑÔÏËÚÇÔÍËØ ÕÇØÐÑÎÑÅËÌ. ºËÓÑÍÑÏÖÓÂÔÒÓÑÔÕÓÂÐÇÐËá ÕÇØÐËÚÇÔÍËØ ÒÓËÏÇÐÇÐËÌ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÔÒÑÔÑÃÔÕÄÖáÕ ÇÅÑ ÑÔÐÑÄÐÞÇ ÆÑÔÕÑËÐÔÕ-Ä ì ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐÇÄÞÔÑÍÑÏ ÖÓÑÄÐÇ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÍÑÐÕÂÍÕ ÒÎÂÊÏÞ Ô ÏÇÕÂÎÎËÚÇ-ÔÍËÏË àÎÇÍÕÓÑÆÂÏË, ÐÇÃÑÎßÛÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ àÎÇÍÕÓÑ-ÐÑÄ,  ÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑ, ÐÇÄÞÔÑÍËÌ ÒÑÕÇÐÙËÂÎ ÒÎÂÊÏÞÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÔÕÇÐÑÍ, ÑÅÓÂÐËÚËÄÂáÜËØ ÓÂÊÓâÆ. ±ÑÔÎÇÆ-ÐÇÇ ÒÑÏËÏÑ ÏËÐËÏËÊÂÙËË ÒÑÕÇÓß ÏÑÜÐÑÔÕË Ð ÔÕÇÐÍÂØËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ËÊÃÇÉÂÕß ÒÑÄÓÇÉÆÇÐËâÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÑÃÓÂÊÙÑÄ ÒÓË ËØ ÑÃÓÂÃÑÕÍÇ Ä ÓÂÊÓâÆÇËÑÐÂÏË ÄÞÔÑÍËØ àÐÇÓÅËÌ.

£ ÐÂÔÕÑâÜÇÇ ÄÓÇÏâ ËÊÄÇÔÕÐÞ ËÔÕÑÚÐËÍË ÒÎÂÊÏÞÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ, ÒÓËÐÙËÒ ÆÇÌÔÕÄËâ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÔÐÑÄÂÐРËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ,  ÕÂÍÉÇ Ð ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ, ÒÑÏÇÜÇÐÐÑÏÄÑ ÄÐÇÛÐÇÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ Ô ËÐÆÖÍÙËÇÌ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖá-ÜÇÌ ÖÔÎÑÄËâÏ àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÙËÍÎÑÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÇÊÑÐÂÐÔÂ(¿¸²) Ë ÖÔÎÑÄËâÏ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ÄÑÎÐ ´ÓÂÌ-

ÄÇÎÒËÔ ë¤ÑÎÆ (´¤) (ÆÂÎÇÇ ÐÂÊÞÄÂÇÏÞØ ÅÇÎËÍÑÐÐÞÏËËÔÕÑÚÐËÍÂÏË).

´ËÒËÚÐÞÏË ÒÓËÏÇÓÂÏË ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ, ÓÂÃÑ-ÕÂáÜËØ Ð ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ, âÄÎâáÕÔâ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞÇ ÓÇÂÍÕÑÓÞ, ÒÓÇÆÐÂÊÐÂÚÇÐÐÞÇÆÎâ ÕÓÂÄÎÇÐËâ ÒÑÆÎÑÉÇÍ [7], ËÔÕÑÚÐËÍË ËÑÐÑÄ, ÒÓÇÆÐÂÊ-ÐÂÚÇÐÐÞÇ ÆÎâ ÓÇÂÎËÊÂÙËË ÊÇÏÐÞØ ËÑÐÐÑ-ÒÖÚÍÑÄÞØ ÕÇØÐÑ-ÎÑÅËÌ Ë ÓÂÃÑÕÞ Ä ÍÑÔÏÑÔÇ Ä ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÆÄËÅÂÕÇÎÇÌ ÍÑÓÓÇÍ-ÙËË ÑÓÃËÕÞ ÍÑÔÏËÚÇÔÍËØ ÂÒÒÂÓÂÕÑÄ [8], ËÔÕÑÚÐËÍË ÔÄÇÕÂ[9]. °ÃÜÇÌ ÍÑÐÔÕÓÖÍÕËÄÐÑÌ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕßáÒÇÓÇÚËÔÎÇÐÐÞØÖÔÕÓÑÌÔÕÄ âÄÎâÇÕÔâ ÐÂÎËÚËÇ ÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÑÌ ÍÂÏÇÓÞ(¤²¬), РÄÐÇÛÐÇÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÍÑÕÑÓÑÌ ËÎË ÄÐÖÕÓË ÇÇÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐ ËÐÆÖÍÕÑÓ ËÎË ÂÐÕÇÐÐÂ. ³ ÒÑÏÑÜßá ÂÐÕÇÐÐÞ,ÒÑÆÍÎáÚÇÐÐÑÌ Í ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÏÖ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÖ, Ä ÑÃÝÇϤ²¬ ÄÄÑÆËÕÔâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß Ë ÊÂÉËÅÂÇÕÔâ ÃÇÊàÎÇÍÕÓÑÆ-ÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ. ´ÑÍË, ÕÇÍÖÜËÇ ÒÑ ÂÐÕÇÐÐÇ, ËÐÆÖÙËÓÖáÕ ÄÒÎÂÊÏÇ ÄËØÓÇÄÑÇ àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÇ ÒÑÎÇ, ÍÑÕÑÓÑÇ ÐÂÅÓÇÄÂÇÕàÎÇÍÕÓÑÐÞ ÆÑ àÐÇÓÅËÌ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞØ ÆÎâ à××ÇÍÕËÄÐÑÌËÑÐËÊÂÙËË ÓÂÃÑÚÇÅÑ ÅÂÊÂ. ´ËÒËÚÐÞÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÄÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÓÇÂÍÕÑÓÂØ ÔÑÔÕÂÄÎâáÕ ÄÇÎËÚËÐÖ 1011 ë3� 1012 ÔÏÿ3, Â Ä ËÔÕÑÚÐËÍÂØ ËÑÐÑÄ ì 3� 1010 ë3� 1011 ÔÏÿ3. ·ÂÓÂÍÕÇÓÐÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÐÇÌÕÓÂÎßÐÑÅÑ ÅÂÊÂÄ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÓÇÂÍÕÑÓÂØ ËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÑÕ 1 ÆÑ 30 ÏÕÑÓÓ, ÄËÔÕÑÚÐËÍÂØ ËÑÐÑÄ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÇÎËÚËÐÖ 0,1 ÏÕÑÓÓ, ÄËÔÕÑÚÐËÍÂØ ÔÄÇÕ ì 0,1 ë 10 ÕÑÓÓ.

ªÊÄÇÔÕÐÑ, ÚÕÑ Ä ÒÎÂÊÏÇ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ £¹-àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÇ ÒÑÎâ ÔÍËÐËÓÖáÕÔâ, Õ.Ç. ÐÂÅÓÇÄ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄÑÔÖÜÇÔÕÄÎâÇÕÔâ Ä ÖÊÍÑÏ ÒÓËÔÕÇÐÑÚÐÑÏ ÔÎÑÇ. ±ÓË ÒÓËÎÑ-ÉÇÐËË Í ÒÎÂÊÏÇ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÄÐÇÛÐÇÅÑÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÑâÄÎâáÕÔâ ÑÃÎÂÔÕË ÒÓÑÊÓÂÚÐÑÔÕË, ÄÍÑÕÑÓÞØ £¹-ÒÑÎâ ÒÓÑÐËÍÂáÕ ÄÅÎÖÃß ÒÎÂÊÏÞ Ë ÐÂÅÓÇÄàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÔÖÜÇÔÕÄÎâÇÕÔâ ÄÑ ÄÔÇÏ ÇÇ ÑÃÝÇÏÇ. ¿ÕÑÕà××ÇÍÕ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐ Ä ËÔÕÑÚÐËÍÂØ ÒÎÂÊÏÞ, ÒÓËÐÙËÒÆÇÌÔÕÄËâ ÍÑÕÑÓÞØ ÑÔÐÑÄÂРР¿¸². ´ÂÍËÇ ËÔÕÑÚÐËÍËÓÂÃÑÕÂáÕ ÅÎÂÄÐÞÏ ÑÃÓÂÊÑÏ Ä ÏËÍÓÑÄÑÎÐÑÄÑÏ ÆËÂÒÂ-ÊÑÐÇ (2,45 ¤¤Ù) [10]. ®ËÍÓÑÄÑÎÐÑÄÑÇ ËÊÎÖÚÇÐËÇ ÄÄÑ-ÆËÕÔâ, ÍÂÍ ÒÓÂÄËÎÑ, ÚÇÓÇÊ ÍÄÂÓÙÇÄÑÇ ÑÍÐÑ Ä ÙËÎËÐÆÓËÚÇÔ-ÍÖá ÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÖá ÍÂÏÇÓÖ, Ä ÍÑÕÑÓÑÌ Ô ÒÑÏÑÜßáÏÂÅÐËÕÑÄ ×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÐÇÑÆÐÑÓÑÆÐÑÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ.®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ ØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖÇÕÔâ ÐÂÎËÚËÇÏ ÑÆÐÑÌ ËÎËÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÓÇÊÑÐÂÐÔÐÞØ ÊÑÐ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÄÞÒÑÎÐâáÕÔâÖÔÎÑÄËâ ¿¸² Ë ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÒÎÂÊÏÖ. £ ÓÂÆËÑÚÂÔÕÑÕÐÑÏ ÆËÂÒÂÊÑÐÇ ¿¸² ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâÄ ÕÂÍ ÐÂÊÞÄÂÇÏÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÂØ ÒÎÂÊÏÞ Ô ÐÇÌÕÓÂÎßÐÞÏÍÑÐÕÖÓÑÏ [11 ë 16]. ³ÖÜÇÔÕÄÇÐÐÖá ÓÑÎß Ä ÅÇÐÇÓÂÙËËÒÎÂÊÏÞ Ë ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËË ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ ÓÂÊÓâÆ ËÅÓÂÇÕÐÇÌÕÓÂÎßÐÞÌ ÍÑÐÕÖÓ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÜËÌ ÔÑÃÑÌ ÐÇÒÓÇÓÞÄ-ÐÖá ÒÑÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑÔÕß ÕÑÚÇÍ Ô ÐÖÎÇÄÞÏ ÏÂÅÐËÕÐÞÏÒÑÎÇÏ. ©ÂÏÍÐÖÕÞÌ ÏÂÅÐËÕÐÞÌ ÍÑÐÕÖÓ ×ÑÓÏËÓÖÇÕÔâ ÔÒÑÏÑÛßá ÕÓÇØ àÎÇÍÕÓÑÏÂÅÐËÕÑÄ. ´ÑÍË Ä ÑÃÏÑÕÍÂØÄÇÓØÐÇÌ Ë ÐËÉÐÇÌ ÍÂÕÖÛÇÍ ËÏÇáÕ ÑÆËÐÂÍÑÄÑÇ ÐÂÒÓÂÄ-ÎÇÐËÇ. ´ÑÍ ÔÓÇÆÐÇÌ ÍÂÕÖÛÍË ÕÇÚÇÕ Ä ÑÃÓÂÕÐÑÏ ÐÂÒÓÂÄÎÇ-ÐËË. £¹-ËÐÆÖÍÙËÑÐÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ Ô ÐÇÌÕÓÂÎßÐÞÏ ÍÑÐÕÖÓÑÏØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖÇÕÔâ ÄÞÔÑÍÑÌ ÒÎÑÕÐÑÔÕßá ÒÎÂÊÏÞ (1011 ë1012 ÔÏÿ3) Ë ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÑÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ (1 ë 4 à£).

¥ÓÖÅËÏ ÕËÒÑÏ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ, ËÔÒÑÎßÊÖáÜËØ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÞÌ £¹-ÓÂÊÓâÆ Ô ÄÐÇÛÐËÏ ÏÂÅÐËÕÐÞÏ ÒÑÎÇÏ, âÄÎâáÕÔâÅÇÎËÍÑÐÐÞÇ ËÔÕÑÚÐËÍË ÒÎÂÊÏÞ [17, 18], ÑÃÞÚÐÑ ÔÑÔÕÑâ-ÜËÇ ËÊ ÆÄÖØ ÒÑÎÞØ ÙËÎËÐÆÓÑÄ, ËÊÅÑÕÑÄÎÇÐÐÞØ ËÊ ÆË-àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÅÑ ÏÂÕÇÓËÂÎÂ. ¯Â ÄÐÇÛÐÇÌ ÃÑÍÑÄÑÌ ÒÑÄÇÓØ-ÐÑÔÕË ÙËÎËÐÆÓ ÏÇÐßÛÇÅÑ ÆËÂÏÇÕÓ ÖÔÕÂÐÂÄÎËÄÂÇÕÔâÂÐÕÇÐÐÂ, ×ÑÓÏ ÍÑÕÑÓÑÌ ÑÒÕËÏÂÎßРÆÎâ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐ. £ÑÎÐÞ ÒÓÑØÑÆâÕ Ä ÍÂÏÇÓÖ ÔÃÑÎßÛËÏ ÆËÂÏÇÕÓÑÏ ÄÆÑÎß ÂÍÔËÂÎßÐÑÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ

520 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 3: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÒÑÎâ, ÔÑÊÆÂÄÂÇÏÑÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÌ ÔËÔÕÇÏÑÌ. ´ËÒËÚÐÂâ ÍÑÐ-ÙÇÐÕÓÂÙËâ ÒÎÂÊÏÞ Ä ÅÇÎËÍÑÐÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÂØ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ1012 ÔÏÿ3, ÏÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÇÎËÚËÐÖ ÒÑÓâÆÍÂ500 ë 1000 ¤Ô, £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß ì 2ë 3 Í£Õ.

£ ÓÂÃÑÕÂØ [19, 20] ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞÌ ÓÇÂÍÕÑÓË ËÔÕÑÚÐËÍ ËÑÐÑÄ, ÓÂÃÑÕÂáÜËÇ ÒÓË ÖÔÎÑÄËâØ, ÍÑÅÆ ÅÇ-ÎËÍÑÐ âÄÎâÇÕÔâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÑÌ ÄÑÎÐÑÌ,  ´¤-ÄÑÎРÒÓÑ-ÐËÍÂÇÕ ÄÅÎÖÃß ÒÎÂÊÏÞ. ªÔÕÑÚÐËÍ ËÑÐÑÄ [20] ÒÑÊÄÑÎâÇÕÒÑÎÖÚÂÕß ÒÎÑÕÐÑÔÕß ËÑÐÐÑÅÑ ÕÑÍ ÑÕ 0,5 ÆÑ 3 Ï¡ ÔÏÿ2

ÒÓË ÖÓÑÄÐÇ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÐÇ ÒÓÇÄÞÛÂáÜÇÏ 150 £Õ.®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ ÄÇÎËÚËÐÖ 200 ë 300 ¤Ô.

°ÃÑÃÜËÏ ÒÓËÄÇÆÇÐÐÞÇ ÄÞÛÇ ÒÂÓÂÏÇÕÓÞ ÒÎÂÊÏÞ,ÕËÒËÚÐÞÇ ÆÎâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ. ¬ÂÍÒÓÂÄËÎÑ, ÓÂÆËÖÔ £¹-ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ r ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ 2 ë25 ÔÏ, ÆÎËРL ì ÑÕ 3 ÆÑ 50 ÔÏ. ¥ËÂÒÂÊÑÐ ËÊÏÇÐÇÐËâÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ne � 1� 1010ÿ3� 1012 ÔÏÿ3 ÒÓË ÕÇÏ-ÒÇÓÂÕÖÓÇ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Te � 3ÿ8 ࣠(3� 104ÿ 9� 104 ¬).¥ÂÄÎÇÐËÇ ÐÇÌÕÓÂÎßÐÑÅÑ ÅÂÊ p Ä ËÔÕÑÚÐËÍÂØ (Ê ËÔÍÎáÚÇ-ÐËÇÏ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÔÄÇÕÂ) ËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÑÕ 0,1 ÆÑ 10 ÏÕÑÓÓ.£ÇÎËÚËРÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÑÕ 0 ÆÑ 1 ͤÔ. £ÐÂÔÕÑâÜÇÌ ÔÕÂÕßÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂÒÓÑÂÐÂÎËÊËÓÑÄÂÐÞ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÖÍÂÊÂÐÐÞØ ÆËÂÒÂÊÑÐÑÄÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ.

°ÙÇÐÍË ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑ ÒÓË ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÞØ ÖÔÎÑ-ÄËâØ ÚÂÔÕÑÕ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ n ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎß-ÐÑ ÐÇÃÑÎßÛËØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÑÒÓÇÆÇ-ÎâÇÕÔâ ÚÂÔÕÑÕÑÌ àÎÇÍÕÓÑÐ-ÂÕÑÏÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ nea,ÚÂÔÕÑÕ àÎÇÍÕÓÑÐ-ËÑÐÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ nei ÔÕÂÐÑÄËÕÔâÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÌ ÎËÛß ÒÓË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ne, ÒÓÇÄÞÛÂáÜÇÌ1012 ÔÏÿ3. £ÇÎËÚËРkvTe, ØÂÓÂÍÕÇÓËÊÖáÜÂâ ÚÇÓÇÐÍÑÄ-ÔÍÑÇ ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ (k ì ÄÇÎËÚËРÄÑÎÐÑÄÑÅÑ ÄÇÍÕÑÓÂ,vTe ì ÕÇÒÎÑÄÂâ ÔÍÑÓÑÔÕß àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ), ÃÎËÊÍ ÒÑ ÄÇÎË-ÚËÐÇ Í ÚÂÔÕÑÕÇ àÎÇÍÕÓÑÐ-ÂÕÑÏÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ. ´ÂÍËÏÑÃÓÂÊÑÏ, Ä ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâÄÍÎÂÆ Ä ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ ÄÐÑÔâÕ ÍÂÍ ÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÞÌ, ÕÂÍ ËÚÇÓÇÐÍÑÄÔÍËÌ ÏÇØÂÐËÊÏÞ.

¯ÇÔÏÑÕÓâ РÃÑÎßÛÑÇ ÚËÔÎÑ ÔØÇÏ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØÖÔÕÓÑÌÔÕÄ, ÓÂÃÑÕÂáÜËØ Ð ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ,ÒÑÔÕÑâÐÐÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂáÜËÇ Ë ËÊÏÇÐâáÜËÇÔâ ÕÓÇÃÑÄÂÐËâÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÕÇØÐÑÎÑÅËÌ ÕÓÇÃÖáÕ ÖÔÑÄÇÓÛÇÐÔÕÄÑÄÂÐËâÏÑÆÇÎÇÌ ÔÕÂÓÞØ ÖÔÕÓÑÌÔÕÄ Ë ÓÂÊÓÂÃÑÕÍË ÐÑÄÞØ ÒÇÓÔÒÇÍ-ÕËÄÐÞØ ÏÑÆÇÎÇÌ. ´ÂÍÂâ ÓÂÃÑÕ ÔÕÂÄËÕ ÒÇÓÇÆ ÓÂÊÓÂÃÑÕÚË-ÍÂÏË ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÙÇÎÞÌ ÓâÆ ÄÑÒÓÑÔÑÄ.� ¬ÂÍÖá ÔØÇÏÖ ÓÂÊÓâÆ ì ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ

ÒÑÎâ, ËÎË ÓÂÊÓâÆ, ÒÑÏÇÜÇÐÐÞÌ Ä ÏÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, ÔÑÑÕ-ÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÇ ¿¸², ÖÔÎÑÄËâÏ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë´¤-ÄÑÎÐ, ì ÔÎÇÆÖÇÕ ÄÞÃÓÂÕß, ÓÂÊÓÂÃÂÕÞÄÂâ ËÔÕÑÚÐËÍÒÎÂÊÏÞ ÆÎâ ÑÒÓÇÆÇÎÇÐÐÑÅÑ ÕÇØÐÑÎÑÅËÚÇÔÍÑÅÑ ÒÓËÎÑÉÇ-ÐËâ?� ¬ÂÍ ÑÒÕËÏËÊËÓÑÄÂÕß ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË

ÒÎÂÊÏÑÌ Ë ÑÃÇÔÒÇÚËÕß à××ÇÍÕËÄÐÞÌ ÄÄÑÆ ÏÑÜÐÑÔÕË?� ¬ÂÍ ÑÃÇÔÒÇÚËÕß ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕß Ë ÐÂÆÇÉÐÑÔÕß

ÓÂÃÑÕÞ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ?� ¬ÂÍ ÒÑÎÖÚËÕß ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑ ÄÑÊÏÑÉÐÖá ÒÎÑÕÐÑÔÕß

ÒÎÂÊÏÞ Ä ËÔÕÑÚÐËÍÇ ÒÓË ÊÂÆÂÐÐÞØ ÖÓÑÄÐÇ ÏÑÜÐÑÔÕË,ÒÑÅÎÑÜÂÇÏÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, Ë ÓÂÔØÑÆÇ ÓÂÃÑÚÇÅÑ ÅÂÊÂ?� ¬ÂÍËÇ ÄÐÇÛÐËÇ ×ÂÍÕÑÓÞ ÒÑÊÄÑÎâáÕ ÒÑÎÖÚËÕß

ÊÂÆÂÐÐÑÇ ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐÐÑÇ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕËÒÎÂÊÏÞ Ë/ËÎË ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐÐÑÇ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÒÎÑÕÐÑ-ÔÕË ÕÑÍÂ Ä ÒÖÚÍÇ ËÑÐÑÄ?

°ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÐÂÌÕË ÑÕÄÇÕÞ Ð ÒÑÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇÄÑÒÓÑÔÞ ÏÑÉÐÑ ÕÑÎßÍÑ Ð ÑÔÐÑÄÇ ×ÖÐÆÂÏÇÐÕÂÎßÐÞØÊÐÂÐËÌ Ñ ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÒÓÑÙÇÔÔÂØ, ÒÓÑÕÇÍÂáÜËØ Ä ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ [21 ë 38]. ²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÑÔÐÑÄÐÞÇ ÒÓÇÆ-

ÔÕÂÄÎÇÐËâ Ñ ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÒÓÑÙÇÔÔÂØ, ÒÓÑËÔØÑÆâÜËØ ÄËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ,  ÊÂÕÇÏ ÄÓÂÊÆÇÎÇ 6 ÒÑÔÕÂÓÂÇÏÔâ ÐÂÌÕË ÑÕÄÇÕÞ Ð ÒÑÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇÄÞÛÇ ÄÑÒÓÑÔÞ.

2. ±ÑÅÎÑÜÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÑÌËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ

ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ £¹-ÓÂÊÓâÆ ì àÕÑ ÓÂÊÓâÆ, ÄÑÊÃÖÉÆÂÇÏÞÌÕÑÍÑÏ, ÕÇÍÖÜËÏ ÒÑ ËÐÆÖÍÕÑÓÖ, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÑÏÖ ÐÂÃÑÍÑÄÑÌ ËÎË ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, ÍÂÍ ÒÓÂÄËÎÑ, ÙËÎËÐ-ÆÓËÚÇÔÍÑÅÑ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ (ÓËÔ. 1Â, Ã). ¸ÇÐÕÓÂÎßÐÞÏÄÑÒÓÑÔÑÏ ×ËÊËÍË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇ-ÐËâ âÄÎâÇÕÔâ ÄÑÒÓÑÔ Ñ ÏÇØÂÐËÊÏÂØ Ë à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕËÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÑÌ. ¦ÜÇ ÔÑ ÄÓÇÏÇÐ¥É. ¥É. ´ÑÏÔÑРËÊÄÇÔÕÐÑ [39], ÚÕÑ ÒÓË ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÑÏ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËË £¹-ÓÂÊÓâÆ ÇÅÑ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÖá ÔØÇÏÖÏÑÉÐÑ ÒÓÇÆÔÕÂÄËÕß Ä ÄËÆÇ, ËÊÑÃÓÂÉÇÐÐÑÏ Ð ÓËÔ. 1Å. £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÐÂÅÓÖÉÇРРÕÓÂÐÔ×ÑÓÏÂÕÑÓ, ÒÇÓÄËÚÐÂâÑÃÏÑÕÍ ÍÑÕÑÓÑÅÑ ÔÑÔÕÑËÕ ËÊ ÂÐÕÇÐÐÞ, ÒÑ ÍÑÕÑÓÑÌ ÕÇÚÇÕÕÑÍ, ÔÑÊÆÂÄÂÇÏÞÌ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ,  ÄÕÑÓËÚÐÑÌ ÑÃÏÑÕÍÑÌâÄÎâÇÕÔâ ÕÑÍ, ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÞÌ Ä ÒÎÂÊÏÇ. ±ÇÓÄËÚÐÂâ ËÄÕÑÓËÚÐÂâ ÑÃÏÑÕÍË ÕÓÂÐÔ×ÑÓÏÂÕÑÓ ÔÄâÊÂÐÞ ÍÑà××Ë-ÙËÇÐÕÑÏ ÄÊÂËÏÐÑÌ ËÐÆÖÍÙËË M. ´ÓÂÐÔ×ÑÓÏÂÕÑÓÐÖáÔØÇÏÖ ÏÑÉÐÑ ÎÇÅÍÑ ÔÄÇÔÕË Í ÔØÇÏÇ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÜÇÌÔÑÃÑÌ ÒÑÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑ ÔÑÇÆËÐÇÐÐÞÇ ÂÍÕËÄÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄ-ÎÇÐËÇ Ë ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÔÕß ÂÐÕÇÐÐÞ, àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÞÇ ÔÑÒÓÑ-ÕËÄÎÇÐËâ Ë ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÔÕß ÒÎÂÊÏÞ (ÓËÔ. 1Æ), ÕÂÍ ÚÕÑÏÑÜÐÑÔÕß £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Pgen ÑÍÂÊÞÄÂÇÕÔâ ÔÄâÊÂÐÐÑÌ ÔÏÑÜÐÑÔÕßá Pant, ÄÞÆÇÎâÇÏÑÌ Ä ÂÐÕÇÐÐÇ, Ë ÏÑÜÐÑÔÕßáPpl, ÄÞÆÇÎâÇÏÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÇ, ÄÞÓÂÉÇÐËâÏË

Pgen � Pant � Ppl ; �1�Pgen � 1

2I 2�Rant � Rpl� ; �2�

ÅÆÇ I ì ÕÑÍ, ÕÇÍÖÜËÌ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ, Rant ì ÂÍÕËÄÐÑÇÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÂÐÕÇÐÐÞ, Rpl ì àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄ-ÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ.

ªÊ ×ÑÓÏÖÎ (1) Ë (2) ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÍÑÅÆ ÐÂÅÓÖÊÍÂÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÂ Ô ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ, ÂÍÕËÄÐÂâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕßPgen, ÑÕÆÂÄÂÇÏÂâ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ ÄÑ ÄÐÇÛÐáá ÙÇÒß, ÓÂÔÒÓÇ-ÆÇÎâÇÕÔâ ÏÇÉÆÖ ÆÄÖÏâ ÍÂÐÂÎÂÏË,  ËÏÇÐÐÑ: ÑÆРÚÂÔÕß

 à Ä

Pgen

Rant R

Lant L1 L2

M

Å

Pgen

RantLant

Rpl

Lpl

Æ

²ËÔ. 1. ³ØÇÏÞ (Â, Ã) ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ Ë (Ä) ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÑÅÑ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ Ô ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÌ, (Å, Æ) àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÞÇ ÔØÇÏÞ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ.

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 521

Page 4: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÏÑÜÐÑÔÕË ËÆÇÕ Ð ÐÂÅÓÇÄ ÂÐÕÇÐÐÞ,  ÆÓÖÅÂâ ÚÂÔÕßÒÑÅÎÑÜÂÇÕÔâ ÒÎÂÊÏÑÌ. ²ÂÐÇÇ Ä ÒÑÆÂÄÎâáÜÇÏ ÚËÔÎÇÓÂÃÑÕ a priori ÒÑÎÂÅÂÎÑÔß, ÚÕÑ Ä ÖÔÎÑÄËâØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ

Rpl 4Rant �3�Ë ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÒÓÇÆÇÎâáÕÔâ ÏÑÜÐÑÔÕßá £¹-ÅÇÐÇ-ÓÂÕÑÓÂ, ÒÑÎÐÑÔÕßá ÒÑÅÎÑÜÂÇÏÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ. £ ÔÇÓÇÆËÐÇ1990-Ø ÅÑÆÑÄ £. ¤ÑÆâÍ Ô ÔÑÕÓÖÆÐËÍÂÏË ÖÃÇÆËÕÇÎßÐÑÒÑÍÂÊÂÎË [40], ÚÕÑ Ä ÓÂÊÓâÆÂØ ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËÌ ÔÑÑÕÐÑÛÇ-ÐËÇ (3) ÏÑÉÇÕ ÐÂÓÖÛÂÕßÔâ. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÒÓË ÖÔÎÑÄËË

Rpl 4Rant �4�ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÍÂÓÆËÐÂÎßÐÑÏÇÐâÇÕÔâ. ´ÇÒÇÓß ÒÂÓÂÏÇÕÓÞ ÒÎÂÊÏÞ ÊÂÄËÔâÕ ÐÇ ÕÑÎßÍÑÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÐÑ Ë ÑÕ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ, ÍÑÕÑÓÑÇ, Ä ÔÄÑá ÑÚÇÓÇÆß, ÊÂÄË-ÔËÕ ÑÕ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ Ë ÖÔÎÑÄËÌ ÇÇ ÒÑÆÆÇÓÉÂÐËâ.¿ÕÑ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÒÑâÄÎÇÐËá ÐÑÄÞØ à××ÇÍÕÑÄ, ÔÄâÊÂÐÐÞØ ÔÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÞÏ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇÏ ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÑÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË ÓÂÊÓâÆÂ. ±ÑÔÎÇÆÐÇÇ ÏÑÉÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÔÍÂÊÞÄÂÕßÔâ Рà××ÇÍÕËÄÐÑÔÕË ÓÂÃÑÕÞ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄÒÎÂÊÏÞ. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÍÎáÚ Í ÒÑÐËÏÂÐËá ÒÑÄÇÆÇÐËâÓÂÊÓâÆÂ Ä ÓÇÉËÏÂØ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËØ ÐÇÓÂÄÇÐÔÕÄÖ (4), ÂÕÂÍÉÇ Í ÑÒÕËÏËÊÂÙËË ÓÂÃÑÕÞ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÖÔÕÓÑÌÔÕÄÎÇÉËÕ Ä ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕâØ ËÊÏÇÐÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄÒÎÂÊÏÞ Ë ÖÔÎÑÄËÌ ÒÑÆÆÇÓÉÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ.

3. ¿ÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ

3.1. °ÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ Ë ÏÇÕÑÆÞ ÓÂÔÚÇÕ£ ÑÃÜÇÏ ÔÎÖÚÂÇ ÄÇÎËÚËР£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÂÇÏÑÌÒÎÂÊÏÑÌ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÄÞÓÂÉÇÐËÇÏ [22]

Ppl � Lo4

�R0

r�e 00?jErj2 � e 00?jEjj2 � e 00jj jEzj2�

� g 00�EjE�r ÿ ErE

�j��dr ; �5�

ÅÆÇ Ej, Er, Ez ìÂÊËÏÖÕÂÎßÐÂâ, ÓÂÆËÂÎßÐÂâ Ë ÒÓÑÆÑÎßÐÂâÍÑÏÒÑÐÇÐÕÞ £¹-àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÅÑ ÒÑÎâ Ä ÒÎÂÊÏÇ ÔÑÑÕÄÇÕ-ÔÕÄÇÐÐÑ, e 00?, e

00jj , g

00 ì ÏÐËÏÞÇ ÚÂÔÕË ÍÑÏÒÑÐÇÐÕ ÕÇÐÊÑÓÂÆËàÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÌ ÒÓÑÐËÙÂÇÏÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ. ªÐÕÇÅÓËÓÑÄÂ-ÐËÇ ÄÇÆÇÕÔâ ÒÑ ÄÔÇÏÖ ÑÃÝÇÏÖ ÒÎÂÊÏÞ. £ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏÓÂÊÓâÆÇ £¹-àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÇ ÒÑÎâ ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÞ ÕÑÍÖ,ÕÇÍÖÜÇÏÖ Ä ÂÐÕÇÐÐÇ, ÒÑàÕÑÏÖ (5) ÏÑÉÐÑ ÒÇÓÇÒËÔÂÕß ÄÄËÆÇ

Ppl � 1

2RplI

2 ; �6�

ÅÆÇ ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÑÔÕË Rpl ËÏÇÇÕ ÓÂÊÏÇÓ-ÐÑÔÕß ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Ë ÊÂÄËÔËÕ ÕÑÎßÍÑ ÑÕ ÔÄÑÌÔÕÄÒÎÂÊÏÞ.

³ÓÂÄÐÇÐËÇ (6) Ô ÄÞÓÂÉÇÐËÇÏ (2), ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏ ÐÂÑÔÐÑÄÇ ÕÓÂÐÔ×ÑÓÏÂÕÑÓÐÑÌ ÏÑÆÇÎË ÓÂÊÓâÆÂ, ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ,ÚÕÑ ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÑÔÕË Ä (6) Ë ÒÓÇÆÔÕÂÄ-ÎâÇÕ ÔÑÃÑÌ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ.

ªÊ ×ÑÓÏÖÎ (5) Ë (6) ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ×ËÊËÚÇÔÍËÌ ÔÏÞÔÎàÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÔÑÔÕÑËÕ Ä ÕÑÏ,ÚÕÑ àÕÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ âÄÎâÇÕÔâ ÏÇÓÑÌ ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕËÒÎÂÊÏÞ ÒÑÅÎÑÜÂÕß £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß. £ÇÎËÚËРàÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÊÂÄËÔËÕ ÍÂÍ ÑÕ ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕÇÌÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ÒÑÎÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ, ÕÂÍ Ë ÑÕ ÏÇØÂÐËÊÏÂÒÑÅÎÑÜÇÐËâ ÏÑÜÐÑÔÕË, Õ.Ç. ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÑÔÐÑÄÐÞÏË

×ÖÐÆÂÏÇÐÕÂÎßÐÞÏË ÔÄÑÌÔÕÄÂÏË ÒÎÂÊÏÞ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑÓÂÊÓâÆÂ.

ªÊ ×ÑÓÏÖÎÞ (5) ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÆÎâ ÓÂÔÚÇÕ àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÆÑÎÉÐÞ ÃÞÕß ËÊÄÇÔÕÐÞ £¹-ÒÑÎâ ÄÑÃÝÇÏÇ ÒÎÂÊÏÞ. ¿ÕË ÒÑÎâ ÏÑÅÖÕ ÃÞÕß ÐÂÌÆÇÐÞ Ð ÑÔÐÑÄÇÕÇÑÓÇÕËÚÇÔÍËØ ÏÑÆÇÎÇÌ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ [41 ë 45].

3.2. ®ÇÕÑÆÞ ËÊÏÇÓÇÐËâ¬ÑÅÆ ÓÂÊÓâÆ âÄÎâÇÕÔâ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÏ Ë ÐÂÅÓÖÊÍÂÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÂ Ô ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ, £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß Pgen, ÑÕÆÂÄÂÇ-ÏÂâ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ ÄÑ ÄÐÇÛÐáá ÙÇÒß, ÓÂÔÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâÏÇÉÆÖ ÆÄÖÏâ ÍÂÐÂÎÂÏË,  ËÏÇÐÐÑ: ÚÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË ËÆÇÕРÐÂÅÓÇÄ ÂÐÕÇÐÐÞ,  ÚÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÑÅÎÑÜÂÇÕÔâÒÎÂÊÏÑÌ [25, 40]. £ ÆÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑÔÕË ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÂÐÕÇÐÐÞ Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ ÄÍÎáÚÂÇÕ Ä ÔÇÃâ ÒÑÕÇÓË ÐÂÐÂÅÓÇÄ àÎÇÏÇÐÕÑÄ ÔËÔÕÇÏÞ ÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐËâ, ÔÂÏÑÌÂÐÕÇÐÐÞ, ÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ ÚÂÔÕÇÌ ÖÔÕÂÐÑÄÍË, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐ-ÐÞØ ÄÃÎËÊË ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ, ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÄÐËØ ËÐÆÖÍÙËÑÐÐÞØ ÕÑÍÑÄ, £¹-ÓÂÊÝÇÏÑÄ Ë Õ.Æ. £ ÔÄâÊË ÔàÕËÏ ÏÇÕÑÆ ËÊÏÇÓÇÐËâ Rpl ÔÑÔÕÑËÕ ËÊ ÔÎÇÆÖáÜËØ àÕÂÒÑÄ.³ÐÂÚÂΠÒÑ ËÊÏÇÓÇÐÐÞÏ ÊÐÂÚÇÐËâÏ ÕÑÍ I0, ÕÇÍÖÜÇÅÑ ÒÑÂÐÕÇÐÐÇ ÃÇÊ ÓÂÊÓâÆÂ, Ë ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ à××ÇÍÕËÄÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÂÐÕÇÐÐÞ:

Rant � 2Pgen

I 20: �7�

©ÂÕÇÏ ÒÑ ËÊÏÇÓÇÐËâÏ ÒÓË ÓÂÊÓâÆÇ ÕÑÍ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ ËÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÄÞÚËÔÎâÇÕÔâ ÒÑÎÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄ-ÎÇÐËÇ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË R:

R � 2Pgen

I 2: �8�

ªÊ ÒÑÎÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË ÄÞÚËÕÂÇÕÔâÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÂÐÕÇÐÐÞ Ë ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ:

Rpl � 2Pgen

I 2ÿ Rant : �9�

±Ñ ËÊÄÇÔÕÐÑÏÖ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÏÖ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËáÒÎÂÊÏÞ ÎÇÅÍÑ ÄÞÚËÔÎâÇÕÔâ ÆÑÎâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑ-ÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ:

Ppl � 1

2Rpl I

2 : �10�

3.3. ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆÃÇÊ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 2 ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ [46,47], ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ Ô ËÔÕÑÚÐËÍÂÏË ÒÎÂÊÏÞÓÂÊÎËÚÐÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË ÂÓÅÑÐÂ, ÃÎËÊÍÑÏ Í2 ÏÕÑÓÓ. £ ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÐÇÊÂÄËÔËÏÑÌ ÒÇÓÇÏÇÐÐÑÌ ÒÑ ÑÔËÂÃÔÙËÔÔ ÑÕÎÑÉÇРÏÑÜÐÑÔÕß Ppl, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÂâ ÒÎÂÊÏÑÌ.¦ÔÕÇÔÕÄÇÐÐÑ ÒÓÇÆÒÑÎÑÉËÕß, ÚÕÑ ÒÎÑÕÐÑÔÕß ÒÎÂÊÏÞ neÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßРPpl, ÑÆÐÂÍÑ ÔÎÇÆÖÇÕ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÆÎâÓÂÊÎËÚÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÞ ÒÓÑÒÑÓ-ÙËÑÐÂÎßÐÑÔÕË ÏÇÉÆÖ Ppl Ë ne ÃÖÆÖÕ ÓÂÊÎËÚÂÕßÔâ. ¬ÂÍÄËÆÐÑ, ÑÃÜÇÌ ÕÇÐÆÇÐÙËÇÌ ÒÑÄÇÆÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Rpl âÄÎâÇÕÔâ ÇÅÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ Ä ÑÃÎÂÔÕËÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐÇÃÑÎßÛËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑ-ÔÕË,  ÊÂÕÇÏ ÇÅÑ ÐÂÔÞÜÇÐËÇ.

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 2à ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÑÕ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÓÂÔ-

522 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 5: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÔÚËÕÂÐÐÞÇ Ä ÓÂÏÍÂØ ÍËÐÇÕËÚÇÔÍÑÌ ÏÑÆÇÎË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ£¹-ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ [42, 45]. ²ÂÔÚÇÕÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑ-ÕËÄÎÇÐËâ ÒÑ ÂÃÔÑÎáÕÐÑÌ ÄÇÎËÚËÐÇ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÏÇÐßÛÇËÊÏÇÓÇÐÐÞØ [46]. ¯ÇÔÏÑÕÓâ РÍÑÎËÚÇÔÕÄÇÐÐÑÇ ÓÂÔØÑÉÆÇ-ÐËÇ, ÍÂÚÇÔÕÄÇÐÐÑ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ Ë ÓÂÔÚÇÕÐÞÇ ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË Rpl�ne� ÃÎËÊÍË ÆÓÖÅ Í ÆÓÖÅÖ. £ ÑÃÎÂÔÕË ÏÂÎÞØÒÎÑÕÐÑÔÕÇÌ ÒÎÂÊÏÞ ne ÓÂÔÚÇÕÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ Rpl, ÕÂÍ ÉÇÍÂÍ Ë àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ, ÄÑÊÓÂÔÕÂáÕ ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÑne,  ÊÂÕÇÏ ÐÂÔÞÜÂáÕÔâ. £ ÑÃÎÂÔÕË ÃÑÎßÛËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÐÇ ÆÑÔÕËÅÐÖÕÞØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÑ, ÓÂÔ-ÚÇÕÐÞÇ Rpl, ÒÓÑÌÆâ ÚÇÓÇÊ ÏÂÍÔËÏÖÏ, ÐÂÚËÐÂáÕ ÏÇÆÎÇÐÐÑÖÃÞÄÂÕß.

±ÓË ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËâØ ÑÃÎÂÔÕß ÏÂÎÞØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÔÎÖÚÂá ÔÎÂÃÑÌ ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕ-ÄÇÐÐÑÌ ÆËÔÒÇÓÔËË, ÒÑàÕÑÏÖ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß Rpl�ne� ØÑÓÑÛÑÂÒÒÓÑÍÔËÏËÓÖÇÕÔâ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË ÓÂÔÚÇÕÑÄ, ÄÞÒÑÎÐÇÐÐÞØÔ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ ÄÞÓÂÉÇÐËâ ÆÎâ ÆËàÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÌ ÒÓÑ-ÐËÙÂÇÏÑÔÕË, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏ ÆÎâ ÔÓÇÆÞ ÃÇÊ ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐ-

ÐÑÌ ÆËÔÒÇÓÔËË [42, 45]. ¯ÂÒÓÑÕËÄ, Ä ÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÅÆÇ ÒÓÇÑÃÎÂÆÂÇÕ ÃÇÔÔÕÑÎÍÐÑ-ÄËÕÇÎßÐÑÇ ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ, Õ.Ç. Ä ÑÃÎÂÔÕË ÂÐÑÏÂÎßÐÑÅÑ ÔÍËÐ-à××ÇÍÕÂ, ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß Rpl�ne� ÃÎËÊÍÂ Í ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÌ ÆÎâÔÓÇÆ Ô ÔËÎßÐÑÌ ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐÐÑÌ ÆËÔÒÇÓÔËÇÌ [42, 45]. £ÙÇÎÑÏ, ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕß ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÑÕ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÑÃÝâÔÐâÇÕÔâ ÍÑÐÍÖ-ÓÇÐÙËÇÌ ÆÄÖØ ×ÂÍÕÑÓÑÄ: Ô ÑÆÐÑÌ ÔÕÑÓÑÐÞ, ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, Ô ÆÓÖÅÑÌ ÔÕÑÓÑÐÞ, ÅÎÖÃËРÔÍËÐ-ÔÎÑâ, ÑÒÓÇ-ÆÇÎâáÜÂâ ÛËÓËÐÖ ÑÃÎÂÔÕË ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË,ÖÃÞÄÂÇÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ne.

´ÇÑÓÇÕËÚÇÔÍÂâ ÏÑÆÇÎß ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ [42, 45],ÄÑÊÃÖÉÆÂÇÏÑÅÑ ÔÒËÓÂÎßÐÑÌ ÂÐÕÇÐÐÑÌ, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÑÌРÇÅÑ ÄÇÓØÐÇÌ ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, ÒÓÇÆÔÍÂÊÞÄÂÇÕÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÆÎËÐÞ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÖÔÎÑÄËË, ÚÕÑÅÎÖÃËРÔÍËÐ-ÔÎÑâ ÏÇÐßÛÇ, ÚÇÏ ÆÎËРËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ.¶ËÊËÚÇÔÍË àÕÑÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕ ÑÚÇÄËÆÇÐ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓÑËÔØÑÆËÕ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÔÍËÐ-ÔÎÑâ. £ ÖÔÎÑ-ÄËâØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ ÅÎÖÃËРÔÍËÐ-ÔÎÑâ ÊÂÄÇÆÑÏÑ ÏÇÐßÛÇÆÎËÐÞ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ, ÒÑàÕÑÏÖ ÐÇÖÆËÄËÕÇÎßÐÑ, ÚÕÑàÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ, ÑÔÐÂ-ÜÇÐÐÞØ ÄÇÓØÐÇÌ ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÂÐÕÇÐÐÑÌ, ÐÇ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ËØÆÎËÐÞ. ¯ÂÒÓÑÕËÄ, Ä ÔÎÖÚÂÇ ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐËâ ÂÐÕÇÐÐÞ ÐÂÃÑÍÑÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÆÎËÐÞËÔÕÑÚÐËÍÂ, ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂáÜÇÇÔâ ÑÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÞÏ ÖÄÇÎËÚÇ-ÐËÇÏ ÆÎËÐÞ ÂÐÕÇÐÐÞ, ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÑÃÎÂÔÕË, ÄÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, Õ.Ç. ÍÖÆÎËÐÇÐËá ÔÍËÐ-ÔÎÑâ, ÒÑàÕÑÏÖ Ä ÔÎÖÚÂÇ ÃÑÍÑÄÑÌÂÐÕÇÐÐÞ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ ÔÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ÆÎËÐÞ ËÔÕÑÚÐËÍ (ÓËÔ. 2Â).

¿ÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÞ Ë ÓÂÔÚÇÕÞ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ÒÓË ÐËÊÍËØÆÂÄÎÇÐËâØ ÂÃÔÑÎáÕÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑ-ÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÐÇÄÇÎËÍË. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ ÓÂÃÑ-ÚÇÅÑ ÅÂÊ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÏÖ ÒÑÄÞÛÇÐËá àÍÄËÄÂ-ÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ. ¿ÕÑÕ à××ÇÍÕ ÏÐÑÅÑÍÓÂÕÐÑÑÕÏÇÚÂÎÔâ ÍÂÍ Ä ÕÇÑÓÇÕËÚÇÔÍËØ, ÕÂÍ Ë Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎß-ÐÞØ ÓÂÃÑÕÂØ [40, 42, 46 ë 48]. ¶ËÊËÚÇÔÍÂâ ÒÓËÚËРÖÄÇÎË-ÚÇÐËâ ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÅÎÑÜÂÕß £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß ÒÓËÄÑÊÓÂÔÕÂÐËË ÆÂÄÎÇÐËâ ÎÇÉËÕ Ä ÏÇØÂÐËÊÏÇ ÒÑÅÎÑÜÇÐË⣹-ÏÑÜÐÑÔÕË.¬ÂÍ ÄËÆÐÑËÊ ÓËÔ. 2Ã, ÒÓËÏËÐËÏÂÎßÐÑÏËÊ

0 40 80 120 160 200 240 280 32010ÿ1

100

1

Ar, p � 2 ÏÕÑÓÓ

Ppl, £Õ

Rpl, °ÏÂ

108

10ÿ2

10ÿ1

100Ã

109 1010 1011 1012 1013 1014

5

4

3

2

1

ne, ÔÏÿ3

Rpl, °Ï

²ËÔ. 2. (Â) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞRpl ÑÕÄÇÎËÚËÐÞ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕËPpl, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ ÒÓË ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËËÓÂÊÓâÆ ÔÒËÓÂÎßÐÞÏË ÂÐÕÇÐÐÂÏË, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÞÏË Ð ÃÑÍÑÄÑÌ ËÕÑÓÙÇÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕâØ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ. ¥ÂÐÐÞÇ ÓÂÃÑÕÞ [46](ÂÓÅÑÐ, ÆÂÄÎÇÐËÇ 2 ÏÕÑÓÓ) ÒÓË R � 7;5 ÔÏ Ô "ÄÇÓØÐÇÌ" ÂÐÕÇÐÐÑÌ ÒÓËL � 10 ÔÏ (&), L � 15 ÔÏ (*), L � 20 ÔÏ (~) Ë Ô "ÃÑÍÑÄÑÌ" ÂÐÕÇÐÐÑÌÒÓË L � 10 ÔÏ (!),L � 20 ÔÏ (&); ÒÓËR � 11 ÔÏ Ô "ÄÇÓØÐÇÌ" ÂÐÕÇÐÐÑÌÒÓË L � 20 ÔÏ (�) Ë Ô "ÃÑÍÑÄÑÌ" ÂÐÕÇÐÐÑÌ ÒÓË L � 20 ÔÏ (6); 1 ìÆÂÐÐÞÇ ÓÂÃÑÕÞ [47] (ÂÓÅÑÐ, ÆÂÄÎÇÐËÇ 1 ÏÕÑÓÓ, "ÄÇÓØÐââ ÂÐÕÇÐÐÂ",R � 10 ÔÏ). (Ã) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞÑÕ ÇÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË. ²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÓÂÔÚÇÕ ÆÎâ ÒÎÑÔÍËØ ÆËÔÍÑÑÃÓÂÊÐÞØËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÓÂÆËÖÔÑÏ 7,5 Ë 11 ÔÏ ÒÑ ×ÑÓÏÖÎÂÏ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏ Ä [42, 45].¬ÓËÄÂâ 1 ì ÓÂÔÚÇÕ ÃÇÊ ÖÚÇÕ àÎÇÍÕÓÑÐ-ËÑÐÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ, 2 ì ÔÖÚÇÕÑÏ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ, 3 ë 5 ì Ô ÖÚÇÕÑÏ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËâØ2, 10 Ë 30 ÏÕÑÓÓ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ, ÍÓÖÉÍË ì àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇÆÂÐÐÞÇ [46] ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË ÂÓÅÑР2 ÏÕÑÓÓ.

100

101

108 109 1010 1011 1012 1013 1014

1

2

3 4

5

Rpl=R0pl

ne, ÔÏÿ3

²ËÔ. 3. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÑÕÐÑÛÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Rpl,ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÑÅÑ Ô ÖÚÇÕÑÏ ÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÑÅÑ Ë ÃÇÔÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÑÅÑÏÇØÂÐËÊÏÑÄ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ, Í àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÏÖ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËá R0

pl,ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÑÏÖ ÕÑÎßÍÑ Ô ÖÚÇÕÑÏ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ, ÑÕ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊ-ÏÞ. ²ÂÔÚÇÕ ÄÞÒÑÎÐÇÐ ÆÎâ ÒÎÑÔÍËØ ÆËÔÍÑÑÃÓÂÊÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÓÂÆËÖ-ÔÑÏ 10 ÔÏ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË ÐÇÌÕÓÂÎßÐÑÅÑ ÅÂÊ 0,3 ÏÕÑÓÓ (1), 1 ÏÕÑÓÓ (2),10 ÏÕÑÓÓ (3), 100 ÏÕÑÓÓ (4), 300 ÏÕÑÓÓ (5).

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 523

Page 6: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÞØ ÆÂÄÎÇÐËÌ, p � 0;1 ÏÕÑÓÓ, ÒÓÇÑÃÎÂÆÂá-ÜËÏ âÄÎâÇÕÔâ ÚÇÓÇÐÍÑÄÔÍËÌ ÏÇØÂÐËÊÏ ÆËÔÔËÒÂÙËË.¿ÎÇÍÕÓÑÐ-ÂÕÑÏÐÞÇ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËâ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÐÇ ÑÍÂÊÞ-ÄÂáÕ ÄÎËâÐËâ РÄÇÎËÚËÐÖ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇ-ÐËâ,  àÎÇÍÕÓÑÐ-ËÑÐÐÞÇ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËâ ÒÓËÄÑÆâÕ ÎËÛß ÍÐÇÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÏÖ ÒÑÄÞÛÇÐËá àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕË-ÄÎÇÐËâ ÒÓË ne > 3� 1011 ÔÏÿ3. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ, Õ.Ç.ÚÂÔÕÑÕÞ àÎÇÍÕÓÑÐ-ÂÕÑÏÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ, ÒÓËÄÑÆËÕ ÍÄÑÊÓÂÔÕÂÐËá àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇÒÑÄÞÛÇÐËâ ÓÑÎË ÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÑÅÑ ÏÇØÂÐËÊÏ ÒÑÅÎÑ-ÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË. ¿ÕÑ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 3, РÍÑÕÑÓÑÏÒÑÍÂÊÂÐÑ ÑÕÐÑÛÇÐËÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ,ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÑÅÑ Ô ÖÚÇÕÑÏ ÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÑÅÑ Ë ÃÇÔÔÕÑÎ-ÍÐÑÄËÕÇÎßÐÑÅÑ ÏÇØÂÐËÊÏÑÄ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ, Í àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÏÖ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËá, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÑÏÖ ÕÑÎßÍÑ Ô ÖÚÇÕÑÏÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ.

3.4. ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆÔ ÄÐÇÛÐËÏ ÏÂÅÐËÕÐÞÏ ÒÑÎÇϯ ÓËÔÖÐÍÇ 4 ÒÑÍÂÊÂÐÞ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÊÂÄËÔËÏÑ-ÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÄÎÑ-ÉÇÐÐÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÏÑÜÐÑÔÕË [46]. £ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎËÔß ËÔÕÑÚÐËÍË ÒÎÂÊÏÞ, ÑÔÐÂÜÇÐÐÞÇ ÔÒË-ÓÂÎßÐÞÏË ÂÐÕÇÐÐÂÏË, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÞÏË Ð ÃÑÍÑÄÑÌ ËÕÑÓÙÇÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕâØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ,  ÕÂÍÉÇ ÂÐÕÇÐÐÂÏËNagoya III. ¥Îâ ÓÂÃÑÚÇÌ ÚÂÔÕÑÕÞ 13,56 ®¤Ù ÑÃÎÂÔÕßÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ B � 0;4ÿ1 Ï´Î ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖÇÕ ÖÔÎÑ-ÄËâÏ ¿¸²,  ÑÃÎÂÔÕß B > 1 Ï´Î ì ÖÔÎÑÄËâÏ ÄÑÊÃÖÉÆÇ-ÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ÄÑÎÐ ´ÓÂÌÄÇÎÒËÔ ë¤ÑÎÆ [41, 44].

±ÓË ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËâØ ÓÂÃÑÚÇÅÑ ÅÂÊ (p4 5 ÏÕÑÓÓ)àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÏÇÐßÛÇ ÒÑ ÄÇÎËÚËÐÇ, ÚÇÏ Ä "ÅÇÎËÍÑÐ-ÐÑÌ" ÑÃÎÂÔÕË. £ÇÎËÚËÐÞ Rpl, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ÆÎâ ÑÃÎÂÔÕË¿¸², ÊÂÐËÏÂáÕ ÒÓÑÏÇÉÖÕÑÚÐÑÇ ÒÑÎÑÉÇÐËÇ, ÒÓËÚÇÏÊÆÇÔß àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÏÑÐÑÕÑÐÐÑ ÖÄÇÎËÚË-ÄÂÇÕÔâ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ¥Îâ "ÅÇÎËÍÑÐ-ÐÑÌ" ÑÃÎÂÔÕË ØÂÓÂÍÕÇÓРÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÂâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß

àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÒÓË-ÚÇÏ ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕß Rpl�B� Ä ÔÎÖÚÂÇ ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÔÒËÓÂÎß-ÐÑÌ ÂÐÕÇÐÐÞ Ë ÂÐÕÇÐÐÞNagoya III ÄÞÓÂÉÇРÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÔËÎßÐÇÇ, ÚÇÏ Ä ÔÎÖÚÂÇ ÃÑÍÑÄÑÌ ÔÒËÓÂÎßÐÑÌ ÂÐÕÇÐÐÞ.±ÑÎÑÉÇÐËÇ Ë ÍÑÎËÚÇÔÕÄÑ ÎÑÍÂÎßÐÞØ ÏÂÍÔËÏÖÏÑÄ ÍÓË-ÄÑÌ Rpl�B� ÊÂÄËÔâÕ ÑÕ ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÆÎËÐÞ ËÓÂÆËÖÔ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ, ÓÑÆ ÅÂÊÂ Ë ÇÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ.

µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, Õ.Ç. ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ne, ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËá àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Ë ÔÏÇÜÇÐËá ÑÔÐÑÄÐÑÅÑ ÏÂÍÔËÏÖÏÂ×ÖÐÍÙËË Rpl�B� Ä ÑÃÎÂÔÕß ÃÑÎßÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ,  ÄÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄ Ë Í ÒÑâÄÎÇÐËá ÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÞØ ÎÑÍÂÎßÐÞØÏÂÍÔËÏÖÏÑÄ. ³ØÑÆÐÞÌ à××ÇÍÕ ÐÂÃÎáÆÂÇÕÔâ Ë ÒÓË ÖÄÇÎË-ÚÇÐËË ÆÎËÐÞ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ [46].

£ÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ Ä ÆËÂÒÂÊÑÐÇ 2 ë 5 ÏÕÑÓÓ, ÍÂÍÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 4Ã, ÐÇ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÞÏ ËÊÏÇÐÇ-ÐËâÏ ØÂÓÂÍÕÇÓ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË Rpl�B�, ÑÆÐÂÍÑ ÒÓË ÆÂÄÎÇ-ÐËâØ, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ 10 ÏÕÑÓÓ, ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕß ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ËÔÚÇÊÂÇÕ, ÂÃÔÑÎáÕÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÂÆÂáÕ Ë ÔÕÂÐÑÄâÕÔâ ÏÇÐßÛÇ ÊÐÂÚÇÐËÌ,ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

¡ÐÂÎËÊ ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÏÇØÂÐËÊÏÑÄ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÑÌ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÒÓË ÖÔÎÑÄËâØ¿¸² Ë ÖÔÎÑÄËâØ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐÒÓÑÄÑÆËÎÔâ ÄÑ ÏÐÑÅËØ ÕÇÑÓÇÕËÚÇÔÍËØ ÓÂÃÑÕÂØ [26 ë 29,33 ë 37, 41, 44 ë 46]. ¡ÐÂÎËÕËÚÇÔÍÑÇ ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐËÇ ÊÂÆÂÚËÑ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËË ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐ Ä ÑÃÜÇÏ ÔÎÖÚÂÇÔÄâÊÂÐÑ ÔÑ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÞÏË ÕÓÖÆÐÑÔÕâÏË, ÕÂÍ ÍÂÍ ÐÇÑÃ-ØÑÆËÏÑ ÑÒËÔÂÕß ÆÄÇ ÔÄâÊÂÐÐÞÇ ÏÇÉÆÖ ÔÑÃÑÌ ÄÑÎÐÞ.¯ÂÒÑÏÐËÏ, ÚÕÑ ÅÇÎËÍÑÐ ì àÕÑ ÃÞÔÕÓÂâ ÒÑÒÇÓÇÚÐÂâÄÑÎÐÂ,  ´¤-ÄÑÎРì ÏÇÆÎÇÐÐÂâ ÒÓÑÆÑÎßÐÂâ. ¤ÇÎËÍÑÐÞË ´¤-ÄÑÎÐÞ ÑÍÂÊÞÄÂáÕÔâ ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏË ÕÑÎßÍÑ Ä ÔÎÖÚÂÇÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐÐÑ ÐÇÑÅÓÂÐËÚÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÞ, Ä ÍÑÕÑÓÑÌ ÑÐËÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕ ÔÑÃÑÌ ÔÑÃÔÕÄÇÐÐÞÇ ÏÑÆÞ ÍÑÎÇÃÂÐËÌÊÂÏÂÅÐËÚÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÞ. £ ÔÎÖÚÂÇ ÑÅÓÂÐËÚÇÐÐÑÅÑ ÙËÎËÐ-ÆÓËÚÇÔÍÑÅÑ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÊÂÆÂÚÖ ÖÆÂÇÕÔâ ÓÇÛËÕßÎËÛß ÚËÔÎÇÐÐÑ. °ÆÐÂÍÑ ÑÔÐÑÄÐÞÇ ÚÇÓÕÞ ×ËÊËÚÇÔÍÑÅÑ

 Ã

Rpl,°Ï

0,8

1,0

0,6

0,4

0,2

0

¡ÐÕÇÐÐÂ Nagoya III

Ar

B, Ï´Î1 2 3 4 5

Ar

Rpl,°Ï

B, Ï´Î

¡ÐÕÇÐÐÂ Nagoya III0,8

1,0

0,6

0 1 2 3 4 5

Ar

Rpl,°Ï

B, Ï´Î

´ÑÓÙÇÄÂâ ÔÒËÓÂÎß

0

8

6

4

2

1 2 3 4 5

12108642

¢ÑÍÑÄÂâ ÔÒËÓÂÎß Ar

Rpl,°Ï

B, Ï´Î0 1 2 3 4 5 0

108642

12

1 2 3 4 5

He

¢ÑÍÑÄÂâ ÔÒËÓÂÎß

Rpl,°Ï

B, Ï´Î

0

1

2

4

3He

´ÑÓÙÇÄÂâ ÔÒËÓÂÎß

Rpl,°Ï

B, Ï´Î1 2 3 4 5

²ËÔ. 4. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ (Â) ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÏÑÜÐÑÔÕâØ, ÄÎÑÉÇÐÐÞØ Ä ÒÎÂÊÏÖÂÓÅÑРÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË 5 ÏÕÑÓÓ (R � 7;5 ÔÏ, L � 20 ÔÏ); 100 £Õ (ÍÄÂÆÓÂÕÞ), 150 £Õ (ÍÓÖÉÍË), 200 Ë 250 £Õ (ÕÓÇÖÅÑÎßÐËÍË Ô ÄÇÓÛËÐÑÌ ÄÄÇÓØ Ë ÄÐËÊÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ), (ÒÓÇÓÞÄËÔÕÞÏË ÎËÐËâÏË ÑÕÏÇÚÇÐ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ), Ë (Ã) ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÆÂÄÎÇÐËâØ ËÐÇÓÕÐÑÅÑ ÅÂÊ (R � 7;5 ÔÏ L � 20 ÔÏ,Ppl � 250 £Õ): 2 ÏÕÑÓÓ (ÍÄÂÆÓÂÕÞ), 5 ÏÕÑÓÓ (ÍÓÖÉÍË), 10 Ë 100 ÏÕÑÓÓ (ÕÓÇÖÅÑÎßÐËÍË Ô ÄÇÓÛËÐÑÌ ÄÄÇÓØ Ë ÄÐËÊ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ).

524 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 7: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÏÇØÂÐËÊÏ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓË B > 1 Ï´ÎÏÑÉÐÑ ÒÓÑËÎÎáÔÕÓËÓÑÄÂÕß Ô ÒÑÏÑÜßá ÓÂÊÄËÕÑÅÑ Ä [44,45] ÅÇÎËÍÑÐÐÑÅÑ ÒÓËÃÎËÉÇÐËâ, ÑÒËÔÞÄÂáÜÇÅÑ ÒÓÑÙÇÔÔÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÄÑÎÐ Ä ÒÎÂÊÏÇ ÒÓË ÖÔÎÑÄËË ÄÞÒÑÎÐÇÐËâÐÇÓÂÄÇÐÔÕÄ

c 2k 2

o 2Le

5 1 ;oOe

<o 2

c 2k 2z

e? � o 2Leo

2

O 2e c

2k 2z

5 1 : �11�

©ÆÇÔß o ì ÚÂÔÕÑÕ ÒÑÎâ, kz � 1=L Ë k? � 1=R ì ÒÓÑ-ÆÑÎßÐÂâ Ë ÒÑÒÇÓÇÚÐÂâ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÞ ÄÑÎÐÑÄÑÅÑ ÄÇÍÕÑÓÂ,Oe

Ë oLe ì ÙËÍÎÑÕÓÑÐÐÂâ Ë ÎÇÐÅÏáÓÑÄÔÍÂâ ÚÂÔÕÑÕÞ,k 2 � k 2

z � k 2?, kz � pn=L, k? � mn=R, n � 1; 2; 3; . . . ; mn ì

ÍÑÓÐË ×ÖÐÍÙËË ¢ÇÔÔÇÎâ.£ ÅÇÎËÍÑÐÐÑÏ ÒÓËÃÎËÉÇÐËË, Õ.Ç. Ä ÒÓÇÆÇÎÇ ÆÑÔÕÂ-

ÕÑÚÐÑ ÒÎÑÕÐÑÌ ÒÎÂÊÏÞ, ÖÆÂÇÕÔâ ÓÂÔÜÇÒËÕß ÔËÔÕÇÏÖÖÓÂÄÐÇÐËÌ ®ÂÍÔÄÇÎΠÆÎâ £¹-ÒÑÎÇÌ, ÄÑÊÃÖÉÆÂÇÏÞØ ÄÒÎÂÊÏÇ ÂÊËÏÖÕÂÎßÐÞÏ ÕÑÍÑÏ ÂÏÒÎËÕÖÆÞ I0, ÕÇÍÖÜËÏ ÒÑÂÐÕÇÐÐÇ, ÓÂÔÒÑÎÑÉÇÐÐÑÌ Ð ÃÑÍÑÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ËÔÕÑÚ-ÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ:

qqr

1

r

qqr

rEj ÿ a 2Ej ÿ boc

qqr

Ez � 0 ;

1

r

qqr

rqqr

Ez ÿ ek 2z

ejje?

Ez � kzg

e?1

r

qqr

rEj ; �12�

ÅÆÇ

ek 2z � k 2

z ÿo 2

c 2e? ; a 2 � ek 2

z ÿo 4g 2

c 4 ek 2z

; b � ocgkzek 2z

:

¤ÓÂÐËÚÐÞÇ ÖÔÎÑÄËâ ËÏÇáÕ ÄËÆ

Ej�z���z�0 � 0 ;

qEj

qz�z�����z�0� 4pi

oc 2R

qI0 : �13�

¥ÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑ, ÒÓË ÄÞÒÑÎÐÇÐËË ÐÇÓÂÄÇÐÔÕÄ (11) ÄÎÇÄÑÌ ÚÂÔÕË ÒÇÓÄÑÅÑ ËÊ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ (12) ÒÑÔÎÇÆÐËÏ ÚÎÇ-ÐÑÏ, ÔÑÆÇÓÉÂÜËÏ ÒÓÑÆÑÎßÐÖá ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÖ àÎÇÍÕÓËÚÇÔ-ÍÑÅÑ ÒÑÎâ, ÏÑÉÐÑ ÒÓÇÐÇÃÓÇÚß, ÕÑÅÆ ÒÇÓÄÑÇ ÖÓÂÄÐÇÐËÇÔÑÄÏÇÔÕÐÑ Ô ÅÓÂÐËÚÐÞÏ ÖÔÎÑÄËÇÏ ÆÂÇÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕßÓÂÔÔÚËÕÂÕß ÂÊËÏÖÕÂÎßÐÑÇ àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍÑÇ ÒÑÎÇ ÅÇÎËÍÑÐÂ.°ÒÖÔÍÂâ ÏÂÕÇÏÂÕËÚÇÔÍËÇ ÄÞÍÎÂÆÍË, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÞÇ Ä ÓÂÃÑ-ÕÂØ [44, 45], ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÆËÔÒÇÓÔËÑÐÐÑÇ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇ ÆÎâÅÇÎËÍÑÐÑÄ:

k1J01�k1R�K1�kzR� ÿ kzJ1�k1R�K 01�kzR� � 0 ; �14�

ÊÆÇÔß J Ë Kì×ÖÐÍÙËË ¢ÇÔÔÇÎâ Ë ®ÂÍÆÑÐÂÎßÆÂ.¥Îâ ØÂÓÂÍÕÇÓÐÞØ ÓÂÊÏÇÓÑÄ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ

L5 10 ÔÏ, R4 5 ÔÏ ÓÇÛÇÐËÇ ÖÓÂÄÐÇÐËâ (14) Ô ØÑÓÑÛÇÌÔÕÇÒÇÐßá ÕÑÚÐÑÔÕË ÄÞÓÂÉÂÇÕÔâ Ä ÄËÆÇ

k 21R

2 � p 2

�n� 1

2

�2

; gde n � 1; 2; 3; . . . �15�

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËÇ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ä ÒÎÂÊÏÇÐÑÔËÕ ÓÇÊÑÐÂÐÔÐÞÌ ØÂÓÂÍÕÇÓ,  ÓÇÊÑÐÂÐÔÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ (ËÎË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ) ÏÑÅÖÕ ÃÞÕßÐÂÌÆÇÐÞ ËÊ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËâ

o 2o 2LeR

2

O 2e c

2k 2z

� p 2R 2

L 2� p 2

�n� 1

2

�2

: �16�

±ÓË ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËË ÑÃÝÇÏÐÞØ ÅÇÎËÍÑÐÐÞØ ÄÑÎÐ ÄÖÆÎËÐÇÐÐÑÏ ËÔÕÑÚÐËÍÇ ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÎâ Eh

j Ë Ehr Ä ÓÇÊÑÐÂÐÔÇ

ÔÕÂÐÑÄâÕÔâ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÃÑÎßÛËÏË ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÔÎÂÃÑÌÆËÔÔËÒÂÙËË àÐÇÓÅËË ÅÇÎËÍÑÐÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ä ÒÎÂÊÏÇ. ¿ÕÑ, ÄÔÄÑá ÑÚÇÓÇÆß, ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÕÑÏÖ, ÚÕÑ ÅÇÎËÍÑÐÐÑÇ ÒÑÎÇ, ÄÚÂÔÕÐÑÔÕË ÒÑÎÇ E h

j , ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ËÔÕÑÚÐËÍÑÏ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâÄ ÒÎÂÊÏÇ ÒÑÕÇÐÙËÂÎßÐÑÅÑ ÒÑÎâ ´¤-ÄÑÎÐÞ. ©ÂÏÇÕËÏ, ÚÕÑÄÕÑÓÑÇ ÖÓÂÄÐÇÐËÇ ÔËÔÕÇÏÞ (12) ÒÑ ÔÖÕË âÄÎâÇÕÔâ ÆË××Ç-ÓÇÐÙËÂÎßÐÞÏ ÖÓÂÄÐÇÐËÇÏ ÍÑÎÇÃÂÐËÌ Ô ÄÞÐÖÉÆÂáÜÇÌÔËÎÑÌ. £ ÓÂÃÑÕÇ [45] ÑÕÏÇÚÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÐÂÓâÆÖ Ô ÅÇÎËÍÑÐ-ÐÞÏ ÓÇÊÑÐÂÐÔÑÏ, ÑÒËÔÞÄÂÇÏÞÏ ÆËÔÒÇÓÔËÑÐÐÞÏ ÔÑÑÕÐÑ-ÛÇÐËÇÏ (14), Ä ÒÓËÐÙËÒÇ ÄÑÊÏÑÉÇÐ Ë ÓÇÊÑÐÂÐÔ ´¤-ÄÑÎÐÞ.°ÆÐÂÍÑ ÒÓË ÖÔÎÑÄËâØ (11), Õ.Ç. Ä ÓÂÏÍÂØ ÅÇÎËÍÑÐÐÑÅÑÒÓËÃÎËÉÇÐËâ, ÓÇÊÑÐÂÐÔ ´¤-ÄÑÎÐÞ ÑÍÂÊÞÄÂÇÕÔâ ÐÇÄÑÊ-ÏÑÉÐÞÏ [45].

±ÑÎÐÞÇ ÒÑÎâ Ä ÒÎÂÊÏÇ âÄÎâáÕÔâ ÔÖÏÏÑÌ ÅÇÎËÍÑÐÐÑÅÑË ÒÑÕÇÐÙËÂÎßÐÑÅÑ ÒÑÎÇÌ ´¤-ÄÑÎÐÞ:

Ez � ELz ; Er � Eh

r � ELr � Eh

r ; Ej � E hj : �17�

±ÓË ÒÑÆÔÕÂÐÑÄÍÇ ÄÞÓÂÉÇÐËÌ ÆÎâ ÒÑÎÇÌ Ä ÖÓÂÄÐÇÐËÇ ÆÎâÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, Ä [45] ÒÑÎÖÚÇÐÑ, ÚÕÑÅÇÎËÍÑÐÐÂâ ÄÑÎÐÂ Ä ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂÇÏÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÑÚÇÐßÔÎÂÃÑ ÒÑÅÎÑÜÂÇÕÔâ Ä ÒÎÂÊÏÇ (ËÊ-Ê ÏÂÎÑÔÕË Im g),  ÒÑÎÇ´¤-ÄÑÎÐÞ, ÐÂÒÓÑÕËÄ, ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÔËÎßÐÑ ÆËÔÔËÒËÓÖÇÕ ËÐÂÅÓÇÄÂÇÕ ÒÎÂÊÏÖ.

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ËÊ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐÐÑÅÑ ÒÓËÃÎËÉÇÐËâÔÎÇÆÖÇÕ, ÚÕÑ ÂÐÕÇÐÐÂ Ô ÂÊËÏÖÕÂÎßÐÞÏ ÕÑÍÑÏ jj Ä ÒÎÑÕÐÑÌÒÎÂÊÏÇ ÓÇÊÑÐÂÐÔÐÑ ÄÑÊÃÖÉÆÂÇÕ ÅÇÎËÍÑÐÐÑÇ ÒÑÎÇ, ÍÑÕÑÓÑÇÔÎÂÃÑ ÒÑÅÎÑÜÂÇÕÔâ ÒÎÂÊÏÑÌ. ¤ÇÎËÍÑÐÐÑÇ ÒÑÎÇ ÒÓË ÖÚÇÕÇÔÎÂÃÑÌ ÔÄâÊË Ô ´¤-ÄÑÎÐÑÌ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ËÔÕÑÚÐËÍÑÏ ÄÑÊ-ÃÖÉÆÇÐËâ Ä ÊÂÏÂÅÐËÚÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÇ ÒÑÕÇÐÙËÂÎßÐÑÌ ´¤-ÄÑÎÐÞ, ÍÑÕÑÓÂâ ÔËÎßÐÑ ÒÑÅÎÑÜÂÇÕÔâ ÒÎÂÊÏÑÌ.

¹ËÔÎÇÐÐÞÇ ÓÂÔÚÇÕÞ, ÄÞÒÑÎÐÇÐÐÞÇ Ä ÑÃÜÇÏ ÔÎÖÚÂÇ ÄÓÂÏÍÂØ ÅËÆÓÑÆËÐÂÏËÚÇÔÍÑÌ ÏÑÆÇÎË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ, ÒÑÆÕÄÇÓÆËÎË ÔÆÇ-ÎÂÐÐÞÇ ÄÞÛÇ ÄÞÄÑÆÞ [41, 45] Ñ ÏÇØÂÐËÊÏÇ ÒÑÅÎÑÜÇÐË⣹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÑÌ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 5 ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞÕËÒËÚÐÞÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË Rpl ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ Ä ÅÇÎËÍÑÐÐÑÌ ÑÃÎÂÔÕË, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÞÇ ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËËÂÓÅÑР1 ÏÕÑÓÓ Ë ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËÒÎÂÊÏÞ. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ, ×ÖÐÍÙËË Rpl ËÏÇáÕ ÔÇÓËá ÎÑÍÂÎß-ÐÞØ ÏÂÍÔËÏÖÏÑÄ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËØ ÖÔÎÑÄËâÏ ÓÇÊÑÐÂÐÔ-ÐÑÅÑ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë´¤-ÄÑÎÐ.®ÂÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËÇ ÆÂÇÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÒÓÑÂÐÂÎËÊËÓÑÄÂÕß ÒÑÑÕÆÇÎßÐÑÔÕË ÄÍÎÂÆ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐ Ä ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÑÌ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 5Ã, Ä ÒÓËÄÇÆÇÐÞÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÓÂÔÚÇÕÑÄ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ,ÄÞÒÑÎÐÇÐÐÞØ Ð ÑÔÐÑÄÇ ÕÑÎßÍÑ £¹-ÒÑÎÇÌ ÅÇÎËÍÑРËÕÑÎßÍÑ ÒÑÎÇÌ ÄÑÎÐÞ ´¤. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 5Ã, Ä, ÒÓËÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâØ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ 1011 ÔÏÿ3 Ë ÏÇÐßÛËØ ÑÔÐÑÄ-ÐÑÌ ÄÍÎÂÆ Ä ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ ÄÐÑÔËÕ ´¤-ÄÑÎÐÂ.±ÑÔÍÑÎßÍÖ´¤-ÄÑÎРâÄÎâÇÕÔâ ÍÄÂÊËÒÓÑÆÑÎßÐÑÌ ÄÑÎÐÑÌ, ÇÇ ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÅÎÂÄÐÞÏ ÑÃÓÂÊÑÏ ÃÇÔÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÞÏÚÇÓÇÐÍÑÄÔÍËÏ ÏÇØÂÐËÊÏÑÏ. ³ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ (ÓËÔ. 5Ã, Ä) ÄÍÎÂÆ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ä ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇÄ ÑÃÎÂÔÕË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ, ÐÇ ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ 200 ¤Ô,ÔÓÂÄÐËÏ ÔÑ ÄÍÎÂÆÑÏ ´¤-ÄÑÎÐÞ. £ ÑÃÎÂÔÕË ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍËØÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ ÒÑÅÎÑÜÇÐËÇ ´¤-ÄÑÎÐÞ ÆÑÏËÐËÓÖÇÕÄÔáÆÖ ÍÓÑÏÇ ÖÊÍËØ ÑÃÎÂÔÕÇÌ, Ä ÍÑÕÑÓÞØ ÂÏÒÎËÕÖÆ ´¤-ÄÑÎÐ ËÏÇÇÕ ÎÑÍÂÎßÐÞÇ ÏËÐËÏÖÏÞ.

·ÂÓÂÍÕÇÓ ËÊÏÇÐÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÔÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ1011 ÔÏÿ3 ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÑÕÎËÚÂÇÕÔâ ÑÕ ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÅÑ ÒÓË

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 525

Page 8: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ne � 3� 1012 ÔÏÿ3. ¿ÕÑ ÔÄâÊÂÐÑ Ô ÄÎËâÐËÇÏ àÎÇÍÕÓÑÐ-ËÑÐÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ. £ ÙÇÎÑÏ, ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÚÂÔÕÑÕÞÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ, ÄÞÊÄÂÐÐÑÇ ÒÑÄÞÛÇÐËÇÏ ÆÂÄÎÇÐËâ ÅÂÊÂËÎË ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ àÎÇÍÕÓÑÐ-ËÑÐÐÞØ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌ Ô ÄÑÊÓÂ-ÔÕÂÐËÇÏ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ, ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÅÎÂÉËÄÂÐËáÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÂÏÒÎËÕÖÆ ÒÑÎÇÌ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÚÂÔÕÑÕÞ ÔÕÑÎÍÐÑÄÇÐËÌÂÏÒÎËÕÖÆ ´¤-ÄÑÎÐÞ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ Ë ÄÑÎРËÊ ÑÃÝÇÏÐÑÌÒÓÇÄÓÂÜÂÇÕÔâ Ä ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÖá [41]. £ ÔÄâÊË Ô àÕËÏàÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÐËÉÂÇÕÔâ.°ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÂÏÒÎËÕÖÆÂ Ë ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËÇ ÅÇÎËÍÑРÄÒÎÂÊÏÖ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÆÂÄÎÇÐËâ ÐÇ ËÊÏÇÐâáÕÔâ.

ªÊ ÓËÔÖÐÍ 5 ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÑÔÐÑÄÐÑÌ ÏÂÍÔËÏÖÏ ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ (ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ ÄÒÎÂÊÏÖ ÏÑÜÐÑÔÕË) ÔÏÇÜÂÇÕÔâ Ä ÑÃÎÂÔÕß ÃÑÎßÛËØ ÏÂÅ-ÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ. ¿ÕÑ ÑÊÐÂÚÂÇÕ, ÚÕÑ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß Rpl ÑÕÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÑÏ ÊÐÂÚÇÐËËB0 âÄÎâÇÕÔâ ÖÃÞÄÂáÜÇÌ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ. ¿ÕÑÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕ ×ËÊËÚÇÔÍË ÑÚÇÄËÆÇÐ, ÕÂÍ ÍÂÍÒÓË ÄÞØÑÆÇ ËÊ ÓÇÊÑÐÂÐÔÂ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËÒÎÂÊÏÞ ÂÏÒÎËÕÖÆÞ ÒÑÎÇÌ ÖÏÇÐßÛÂáÕÔâ Ë ËØ ÒÓÑÐËÍÐÑ-ÄÇÐËÇ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÓÇÊÍÑ ÖØÖÆÛÂÇÕÔâ. ¹ÇÏ ÃÑÎßÛÇ ËÐÆÖÍÙËâÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÕÇÏ ÃÑÎßÛÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ ÍÓËÕËÚÇÔÍÑÌÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ, ÒÓË ÒÓÇÄÞÛÇÐËË ÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓÑËÔØÑ-ÆËÕ ÒÂÆÇÐËÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ.

£ ÊÂÍÎáÚÇÐËÇ ÓÂÊÆÇΠÒÇÓÇÚËÔÎËÏ ÑÔÐÑÄÐÞÇ ÊÂÍÑÐÑ-ÏÇÓÐÑÔÕË ËÊÏÇÐÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâÒÎÂÊÏÞ:

1) Rpl ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ; ÄÑÃÎÂÔÕË ÐËÊÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Rpl ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕÔ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ne, Ä ÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕß ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÅÎÑÜÂÕß ÏÑÜÐÑÔÕßÒÑÐËÉÂÇÕÔâ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÖØÖÆÛÇÐËâ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ £¹-ÒÑÎÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ;

2) ÒÓË ÑÕÔÖÕÔÕÄËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÖáÓÑÎß Ä ÒÑÅÎÑÜÇÐËË £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ËÅÓÂÇÕ ÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎß-ÐÞÌ ÏÇØÂÐËÊÏ, ÒÑàÕÑÏÖ ÒÑÄÞÛÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ Ë ÍÑÐÙÇÐÕ-ÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÄÇÎËÚÇÐËá Rpl;

3) Ä ÅÇÎËÍÑÐÐÑÌ ÑÃÎÂÔÕË ØÂÓÂÍÕÇÓ ËÊÏÇÐÇÐËâ Rpl ÒÓËËÊÏÇÐÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ä ÔÎÖÚÂÇ ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËÌÐÑÔËÕ ÔËÎßÐÑ ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÞÌ ÓÇÊÑÐÂÐÔÐÞÌ ØÂÓÂÍÕÇÓ;

4) ÒÓË ÐÂÎËÚËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ä ÑÃÎÂÔÕâØ ÓÇÊÑÐÂÐÔ-ÐÑÅÑ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÖá ÓÑÎßËÅÓÂÇÕ ÃÇÔÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÞÌ ÚÇÓÇÐÍÑÄÔÍËÌÏÇØÂÐËÊÏ, ÒÑ-àÕÑÏÖ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÏÇÐßÛÇÐËáRpl.

4. °ÔÑÃÇÐÐÑÔÕË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ,ÅÑÓâÜÇÅÑ Ä ÓÇÉËÏÇ Rpl4Rant

²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇ Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 3 ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ,ÚÕÑ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ë ÖÔÎÑÄËÌÒÑÆÆÇÓÉÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ, Ä ÚÂÔÕÐÑÔÕË ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÆÂÄÎÇ-ÐËâ Ë ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ¿ÕÑ ÆÑÎÉÐÑ ÒÓËÄÑÆËÕßÍ ÒÑâÄÎÇÐËá ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕÇÌ (ÐÇ ÄÔÇÅÆ ÉÇÎÂÕÇÎßÐÞØ)ÒÑÄÇÆÇÐËâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ Ä ËÔÕÑÚÐËÍÂØÒÎÂÊÏÞ, ÓÂÃÑÕÂáÜËØ Ä ÓÇÉËÏÇ Rpl 4Rant. ¯ËÉÇ ÓÂÔ-ÔÏÑÕÓÇÐÞ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ, ÒÑÔÕÂÄÎÇÐÐÞØ ÔÙÇÎßá ÄÞâÄÎÇÐËâ ÕÂÍËØ ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕÇÌ [46],  ÕÂÍÉÇÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÚËÔÎÇÐÐÑÅÑ ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ, ÒÓÑâÔ-ÐâáÜËÇ ×ËÊËÍÖ ÐÂÃÎáÆÂÇÏÞØ à××ÇÍÕÑÄ. ³ÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑ-ÄÂÐÐÂâ ÏÑÆÇÎß ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ËÔÕÑÚÐËÍ ËÊÎÑÉÇРÄÓÂÃÑÕÂØ [41, 46]. ²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÞÇ ÐËÉÇ, ÒÑÎÖ-ÚÇÐÞ Ä ÒÓËÃÎËÉÇÐËË ÎËÐÇÌÐÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË [41, 46]:

ne � aPpl : �18�²ÂÔÔÏÑÕÓÇÐËÇ ÐÂÚÐÇÏ Ô ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ

ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ.

4.1. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ¯ ÓËÔÖÐÍÇ 6 ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÕËÒËÚÐÞÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ËÐÕÇÐ-ÔËÄÐÑÔÕË ÔÄÇÚÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ.

Rpl, °Ï

0 10 20 30 40 50

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

10ÿ2

10ÿ1

100

101

Â

ne � 1010 ÔÏÿ3

ne � 1011 ÔÏÿ3

ne � 1012 ÔÏÿ3

0 10 20 30 40

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

H

Ã

10ÿ2

10ÿ1

100

101

Rpl, °Ï

010ÿ2

10ÿ1

100

101

10 20 30 40

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

H H

Ä

Rpl, °Ï

²ËÔ. 5. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÞÇ ÒÓË (Â) ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâØ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ1010, 1011 Ë 1012 ÔÏÿ3 ÆÎâ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ Ô R � 5 ÔÏ, L � 20 ÔÏ.(Ã, Ä) Ë ÒÓË (Ã) ne � 1011 ÔÏÿ3, (Ä) ne � 3� 1012 ÔÏÿ3 (p � 1 ÏÕÑÓÓ) ÆÎâËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ Ô R � 5 ÔÏ, L � 15 ÔÏ ÒÓË ÖÚÇÕÇ ÕÑÎßÍÑ ´¤-ÄÑÎÐÞ(´¤) Ë ÒÓË ÖÚÇÕÇ ÕÑÎßÍÑ ÅÇÎËÍÑР(H).

526 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 9: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

·ÑÆ ÍÓËÄÑÌ Ä ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄËË Ô ÔÑÄÓÇÏÇÐÐÞÏË ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇ-ÐËâÏË [38, 49 ë 50] ËÐÕÇÓÒÓÇÕËÓÖÇÕÔâ ÔÎÇÆÖáÜËÏ ÑÃÓÂ-ÊÑÏ: ÓÂÊÓâÆ ÒÑÆÉËÅÂÇÕÔâ Ë ÅÑÓËÕ ÒÓËÏÂÎÞØÏÑÜÐÑÔÕâØ ÄÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÏÑÆÇ, ÊÂÕÇÏ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇ-ÓÂÕÑÓÂ, ÒÑÔÎÇ ÆÑÔÕËÉÇÐËâ ÐÇÍÑÕÑÓÑÅÑ ÍÓËÕËÚÇÔÍÑÅÑ ÕÑÍÂÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ [38] ÒÑâÄÎâáÕÔâ ÖÔÎÑÄËâ ÆÎâ ÒÇÓÇØÑÆÂÓÂÊÓâÆÂ Ä ËÐÆÖÍÕËÄÐÖá ÏÑÆÖ. ±ÓË àÕÑÏ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ,  ÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑ, Ë ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕß ÔÄÇÚÇÐËâÒÎÂÊÏÞ ÓÇÊÍÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂáÕ. ¥ÂÎÇÇ ÓÂÊÓâÆ ÅÑÓËÕ Ä ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÑÌ ÏÑÆÇ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ.

²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ (ÓËÔ. 6Ã, Ä) ÒÑÊÄÑÎâáÕÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÖÕÑÚÐËÕß ×ËÊËÍÖ ÒÓÑÙÇÔÔÑÄ. ²ÇÛÇÐËâÔËÔÕÇÏÞ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËÇ ÄÑÊÏÑÉÐÞÏ ÓÇÉË-ÏÂÏ ÓÂÊÓâÆÂ, ÔÖÜÇÔÕÄÖáÕ ÒÓË ÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ,ÒÓÇÄÞÛÂáÜÇÌ ÐÇÍÑÕÑÓÖá ÒÑÓÑÅÑÄÖá ÄÇÎËÚËÐÖ Pmin,ÍÑÕÑÓÂâ ÊÂÄËÔËÕ ÍÂÍ ÑÕ ÖÔÎÑÄËÌ ÒÑÆÆÇÓÉÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ,ÕÂÍ Ë ÑÕ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÂÐÕÇÐÐÞ. ±ÓË ÐËÊÍÑÏ ÔÑÒÓÑÕËÄ-ÎÇÐËË ÂÐÕÇÐÐÞ ÔÓÂÊÖ ÒÑÔÎÇ ÒÓÇÄÞÛÇÐËâ ÒÑÓÑÅÑÄÑÌ ÏÑÜ-ÐÑÔÕË ÓÂÊÓâÆ ÓÇÊÍÑ ÒÇÓÇØÑÆËÕ Ä ÓÇÉËÏ ÏÑÆÞ Ô ÄÞÔÑÍÑÌÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ (ÆÂÎÇÇ ì ÄÞÔÑÍÂâ ÏÑÆÂ).°ÆÐÂÍÑ ÒÑ ÏÇÓÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÂÐÕÇÐÐÞÒÑâÄÎâáÕÔâ ÓÇÛÇÐËâ, ÖÍÂÊÞÄÂáÜËÇ Ð ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕßÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÏÑÆÇ Ô ÐËÊÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ (ÆÂÎÇÇ ì ÐËÊÍÂâ ÏÑÆÂ). ±ÓË ÅÑÓÇÐËË ÓÂÊÓâÆÂ

Ä ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÇ ÑÔÐÑÄÐÂâ ÚÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂÕÇÓâÇÕÔâ Ä ÂÐÕÇÐÐÇ,  ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÂâ Ä ÓÂÊÓâÆ ÏÑÜÐÑÔÕßÑÃÇÔÒÇÚËÄÂÇÕ ÒÑÆÆÇÓÉÂÐËÇ ÎËÛß ÐÇÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÃÎËÊÍÑÌ ÒÑ ÄÇÎËÚËÐÇ Í ÔÖÜÇÔÕÄÖáÜÇÌ ÄÇÏÍÑÔÕÐÑÏ £¹-ÓÂÊÓâÆÇ. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇ-ÓÂÕÑÓ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËá ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ËÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ.¬ÑÅÆ ÄÍÎÂÆ ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÓÂÊÓâÆ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÊÐÂÚËÏÞÏ,ÄÑÊÐËÍÂÇÕ "ÙÇÒÐÂâ ÓÇÂÍÙËâ": ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ,  ÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎßÐÑ, Ppl, ÒÓËÄÑÆËÕ ÍÒÑÄÞÛÇÐËá ne, ÍÑÕÑÓÑÇ, Ä ÔÄÑá ÑÚÇÓÇÆß, ÄÇÆÇÕ Í ÖÄÇÎËÚÇ-ÐËá Rpl Ë Ppl. ¿ÕË ÒÓÑÙÇÔÔÞ ÑÃÖÔÎÑÄÎËÄÂáÕ ÓÇÊÍËÌ,ÔÍÂÚÍÑÑÃÓÂÊÐÞÌ ÒÇÓÇØÑÆ ÓÂÊÓâÆ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ ÄÄÞÔÑÍÖá. ¬ÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ä ÄÞÔÑÍÑÌ ÏÑÆÇÓÂÊÓâÆ ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÄÇÎËÍ ì ÒÑÓâÆÍ 1011 ÔÏÿ3. £ÓÂÊÆÇÎÇ 3 ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍËØÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ì ÒÑÓâÆÍ 1011 ÔÏÿ3, ÐÂÃÎá-ÆÂÇÕÔâ ÐÂÔÞÜÇÐËÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑ-ÕËÄÎÇÐËâ ÑÕ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ. £ ÔÄâÊË Ô àÕËÏ Ä ÄÞÔÑÍÑÌÏÑÆÇ ÓÂÊÓâÆ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ô ÖÄÇÎËÚÇ-ÐËÇÏ ÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÊÂÏÇÆÎâÇÕÔâ, Â Ä ÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÐÂÔÞÜÇÐËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ. ¿ÕÑ ÑÅÓÂÐË-ÚËÄÂÇÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÖÒÓÂÄÎÇÐËâ ÒÂÓÂÏÇÕÓÂÏË ÓÂÊÓâÆ ÄÏÑÆÇ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ.

50 100 150 200 250 300

5

4

3

2

1

0

®ÑÜÐÑÔÕß ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, £Õ

ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pf2 Pf3 Pf1

Â

1

32

109

1011

1012

1010

0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200

®ÑÜÐÑÔÕß £¹ - ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

ÔÏÿ3

4321

Ã

109

100

101f

ne, ÔÏÿ31010 1011 1012

12

3

4

Å

109

1011

1010

400300 500 600 700 800 900 1000 1200 1400

®ÑÜÐÑÔÕß £¹ - ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

ÔÏÿ3

32

1

Ä

²ËÔ. 6. (Â) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕË ÔÄÇÚÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ Ô ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÔÒËÓÂÎßÐÑÌ ÂÐÕÇÐÐÑÌ: 1ìÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌÓÂÊÓâÆ, 2 ì ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÌ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ, ÏÑÜÐÑÔÕß £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒËÕÂáÜÇÅÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ, 100 £Õ, 3 ì ÅËÃÓËÆÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ; Pf1, Pf2,Pf3 ì ÒÑÓÑÅÑÄÞÇ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÇÓÇØÑÆËÕ ËÊ ÏÑÆÞ Ô ÐËÊÍÑÌËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕßá ÔÄÇÚÇÐËâ Ä ÏÑÆÖ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕßá. (Ã, Ä) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÄËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ Ä ËÔÕÑÚÐËÍÇ ÒÎÂÊÏÞ ÓÂÆËÖÔÑÏ 5 ÔÏ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ²ÇÛÇÐËÇ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÌ ÊÂÆÂÚË (Ã) ÆÎâ ÓÂÊÎËÚÐÞØÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÌ ÂÐÕÇÐÐÞ: 0,3 °Ï (1), 1 °Ï (2), 2 °Ï (3), 3 °Ï (4) ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËË 0,3 ÏÕÑÓÓ, Ë (Ä) ÆÎâ ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÆÂÄÎÇÐËÌ ÐÇÌÕÓÂÎßÐÑÅÑ ÅÂÊÂ:0,3 ÏÕÑÓÓ (1), 0,2 ÏÕÑÓÓ (2), 0,1 ÏÕÑÓÓ (3), ÒÓË ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËË ÂÐÕÇÐÐÞ 0,5 °Ï. (Å) ¤ÓÂ×ËÚÇÔÍÑÇ ÓÇÛÇÐËÇ ÖÓÂÄÐÇÐËâ (19) ÒÓË ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÑÜÐÑÔÕË£¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ: 700 £Õ (ÍÓËÄÂâ 1), 800 £Õ (ÍÓËÄÂâ 2), 900 £Õ (ÍÓËÄÂâ 3) Ë 1100 £Õ (ÍÓËÄÂâ 4).

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 527

Page 10: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

·ÑÓÑÛÑ ËÊÄÇÔÕÐÑ, ÚÕÑ Ä ÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄ Ä ÑÃÎÂÔÕËÒÇÓÇØÑÆ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá ÒÑâÄÎâÇÕÔâÅËÔÕÇÓÇÊËÔ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑ-ÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. ²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÚËÔÎÇÐÐÑÅÑ ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂ-ÐËâ ÒÑÍÂÊÂÎË [41, 46] (ÓËÔ. 6Ä), ÚÕÑ Ä ÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄ ÄÑÃÎÂÔÕË ÒÇÓÇØÑÆ ÏÇÉÆÖ ÏÑÆÂÏË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂÒÑâÄÎâÇÕÔâ ÐÇÑÆÐÑÊÐÂÚÐÑÔÕß ÓÇÛÇÐËÌ, ÍÑÕÑÓÂâ ÏÑÉÇÕâÄÎâÕßÔâ ÒÓËÚËÐÑÌ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ, ÐÂÃÎáÆÂÇÏÑÅÑ àÍÔÒÇÓË-ÏÇÐÕÂÎßÐÑ. ¥Îâ ÂÐÂÎËÊ ÖÔÎÑÄËÌ ÒÑâÄÎÇÐËâ ÏÐÑÅÑÊÐÂÚ-ÐÑÔÕË ÓÇÛÇÐËÌ ÄÞÒÑÎÐËÏ ÒÓÑÔÕÞÇ ÂÎÅÇÃÓÂËÚÇÔÍËÇ ÒÓÇ-ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËâ Ë ÔÄÇÆÇÏ ÔËÔÕÇÏÖ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ (1), (2), (18) ÍÑÆÐÑÏÖ ÖÓÂÄÐÇÐËá:

1 � ane�1� Rant=Ppl�Pgen

� f �ne� : �19�

°ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÒÓË Rpl 4Rant ÄÔâ ÏÑÜÐÑÔÕß ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂÄÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ Ä ÒÎÂÊÏÖ Ë ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÑ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓÂ. °ÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÒÓË àÕÑÏ ÔÄâÊß ÏÇÉÆÖ ne Ë Pgen

âÄÎâÇÕÔâ ÑÆÐÑÊÐÂÚÐÑÌ. £ ÒÓÑÕËÄÑÒÑÎÑÉÐÑÏ ÔÎÖÚÂÇRpl < Rant ÕÂÍÉÇ ÄÑÊÏÑÉÐÑ ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÓÇÛÇÐËÌ, ÒÓËÚÇÏËØ ÏÑÉÇÕ ÃÞÕß ÐÇÔÍÑÎßÍÑ, ÇÔÎË ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß Rpl ÑÕÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ âÄÎâÇÕÔâ ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÌ ÄÑÃÎÂÔÕË Rpl < Rant.

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 6Å ÒÑÍÂÊÂР×ÖÐÍÙËâ f �ne�, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÂâÆÎâ ÔÎÖÚÂâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÄÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 6Å, ÒÓËÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ 700 £Õ f �ne� > 1 ÄÑ ÄÔÇÏÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÑÏ ÆËÂÒÂÊÑÐÇ àÎÇÍÕÓÑÐÐÞØ ÒÎÑÕÐÑÔÕÇÌ.¿ÕÑ ÑÊÐÂÚÂÇÕ, ÚÕÑ ÓÇÛÇÐËÌ ÐÇ ÔÖÜÇÔÕÄÖÇÕ Ë £¹-ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ ÒÓË ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂÄÑÊÐËÍÐÖÕß ÐÇ ÏÑÉÇÕ. ±ÓË ÏÑÜÐÑÔÕâØ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ800 ë 900 £Õ ÄÑÊÏÑÉÐÑ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËÇ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ, ÑÆÐÂÍÑ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ,ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÇ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑ ÄÑÊÏÑÉÐÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÏÂÎo ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏÂÐÕÇÐÐÞ Ë ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕ-ÓÑÐÑÄ. ¿ÕÑ âÄÎâÇÕÔâ ÒÓËÚËÐÑÌ ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕË ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË f �ne� ÑÕ ne Ë ÒÑâÄÎÇÐËâ ÆÄÖØ ËÎË ÕÓÇØ ÓÇÛÇÐËÌÔËÔÕÇÏÞ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ, ÑÒËÔÞÄÂáÜÇÌ ÓÂÊÓâÆ, ÒÓË ÏÑÜÐÑ-ÔÕâØ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ 800 ë 900 £Õ. ¥ÂÎßÐÇÌÛÇÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓËÄÑÆËÕ Í ËÔÚÇÊÐÑÄÇÐËá ÏÐÑÅÑÊÐÂÚÐÑÔÕË ËÒÑâÄÎÇÐËá ÇÆËÐÔÕÄÇÐÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ,ÖÆÑÄÎÇÕÄÑÓâáÜÇÅÑ ÔËÔÕÇÏÇ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ (1), (2), (18).

²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÄÎËâÐËÇ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÐÂÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ËÅËÔÕÇÓÇÊËÔ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 7 ÒÑÍÂÊÂÐÞ ËÊÏÇÓÇÐÐÞÇ ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕË ÔÄÇÚÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ J ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË£¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Pgen ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÂÅ-ÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ´ËÒËÚÐÞÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË J �Pgen� ÒÓË ÏÂÅ-ÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ, ÏÇÐßÛËØ 1 Ï´Î, ÔØÑÉË Ô ÊÂÄËÔËÏÑÔÕâÏË,ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏË Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ²ÂÊÓâÆÊÂÉËÅÂÇÕÔâ Ä ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÇ, Ë ÒÑ ÏÇÓÇ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËâÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÍÂÚÍÑÑÃÓÂÊÐÞÌÒÇÓÇØÑÆ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá ÏÑÆÖ. ±ÓË ÖÏÇÐßÛÇÐËËÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÔÍÂÚÑÍ ËÊ ÄÞÔÑÍÑÌ ÏÑÆÞ ÄÐËÊÍÖá ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÓË ÊÐÂÚÇÐËË Pgen � Pb, ÓÂÄÐÑÏÊÐÂÚÇÐËá Pgen � Pf, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÏ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÍÂÚÑÍ ËÊÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ Ä ÄÞÔÑÍÖá ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Pf. ³ËÕÖÂÙËâ ÏÇÐâÇÕÔâ ÒÓË ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËËÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÇÅÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÄÞÛÇ 1 Ï´Î.©ÆÇÔß ÒÑâÄÎâÇÕÔâ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔ, Ë Pb ÑÍÂÊÞÄÂáÕÔâ ÏÇÐßÛÇPf, ÒÓËÚÇÏ ÓÂÊÐËÙ ÏÇÉÆÖ Pb Ë Pf ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇ-

ÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. °ÃÓÂÜÂÇÕ Ð ÔÇÃâ ÄÐËÏÂÐËÇÕÂÍÉÇ ÕÑÕ ×ÂÍÕ, ÚÕÑ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâÑÃÎÂÔÕß ÒÇÓÇØÑÆ ÔÏÇÜÂÇÕÔâ Ä ÑÃÎÂÔÕß Ão ÎßÛËØ ÏÑÜÐÑÔ-ÕÇÌ. ´ÂÍ, ÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ 1,4 Ï´Î,ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐÐÂâ Ä ÓÂÃÑÕÇ ÏÑÜÐÑÔÕß £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Pgen � 300 £Õ ÑÍÂÊÞÄÂÇÕÔâ ÐÇÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑÌÆÎâ ÒÇÓÇØÑÆ ÓÂÊÓâÆ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ Ä ÄÞÔÑÍÖá.

¬ÂÚÇÔÕÄÇÐÐÑ ÔØÑÉËÇ ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕË ÐÂÃÎáÆÂáÕÔâË ÒÓË ÚËÔÎÇÐÐÑÏ ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊ-ÓâÆ ÄÑ ÄÐÇÛÐÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÏ ÒÑÎÇ [41]. ¬ÂÍ Ë Ä ÔÎÖÚÂÇÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ ÄÑÊ-ÏÑÉÇÐ ÎËÛß ÒÓË ÏÑÜÐÑÔÕâØ, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ ÒÑÓÑÅÑÄÖáÄÇÎËÚËÐÖ Pmin, ÒÓËÚÇÏ ÓÂÔÚÇÕÞ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑ Ä ÆÑ-ÒÑÎÐÇÐËÇ Í ÖÉÇ ÒÇÓÇÚËÔÎÇÐÐÞÏ ÄÞÛÇ ×ÂÍÕÑÓÂÏ, ÄÎËâá-ÜËÏ Ð ÊÐÂÚÇÐËÇ Pmin, ÒÑâÄÎâÇÕÔâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÕÂÍÉÇ ÑÕÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ B. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 8, ÒÓËÐÇÃÑÎßÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ, B4 2 Ï´Î, ÔÓÂÊÖ ÒÑÔÎÇÒÑâÄÎÇÐËâ ÖÔÎÑÄËÌ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ÓÇÛÇÐËÌ ÔËÔÕÇÏÞÖÓÂÄÐÇÐËÌ ÓÂÊÓâÆ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÓÇÊÍÑÏÖ ÒÑÄÞÛÇÐËá ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ (ÒÇÓÇØÑÆÖ Ä ÄÞÔÑÍÖá ÏÑÆÖ), ÒÓËÚÇÏ ËÏÇÇÕÔâÑÆÐÑÊÐÂÚÐÑÇ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄËÇ ÏÇÉÆÖ ÒÎÑÕÐÑÔÕßá ÒÎÂÊÏÞ ËÏÑÜÐÑÔÕß᣹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. ±ÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ÍÂÓÕËРÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÄËÆÑËÊÏÇÐâÇÕÔâ. £ ÑÃÎÂÔÕËÓÇÊÍÑÅÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ ÒÑâÄÎâÇÕÔâÄÕÑÓÑÇ ÓÇÛÇÐËÇ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÇ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÇ ÓÂÊÓâÆÂ.µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÒÑâÄ-ÎÇÐËá ÏÐÑÅÑÊÐÂÚÐÑÔÕË ÓÇÛÇÐËÌ Ë ÓÂÔÛËÓÇÐËá ËÐÕÇÓ-ÄÂΠÏÑÜÐÑÔÕÇÌ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÏÑÆ ÓÂÊÓâÆÂ. ±ÓËÚËРÒÑâÄ-ÎÇÐËâ ÏÐÑÅÑÊÐÂÚÐÑÔÕË ÓÇÛÇÐËÌ ÔÑÔÕÑËÕ Ä ÐÇÏÑÐÑÕÑÐ-ÐÑÔÕË (ÑÔÙËÎÎËÓÖáÜÇÏ ØÂÓÂÍÕÇÓÇ) ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂ-ÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕ-ÓÑÐÑÄ, ÚÕÑ âÄÎâÇÕÔâ ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÓÇÊÑÐÂÐÔÐÑÅÑ ØÂÓÂÍÕÇÓÂÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐ Ä ÓÂÊÓâÆÇ (ÔÏ. [46]).

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÓÇÛÇÐËâ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÌ ÊÂÆÂÚËÆÎâ ÓÂÊÓâÆ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ØÂÓÂÍÕÇÓÐÞÌ ÄËÆ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕËÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÑÃÖÔÎÑ-ÄÎÇÐ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÞÏÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇÏÏÑÜÐÑÔÕËÏÇÉÆÖ ÂÐÕÇÐÐÑÌ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ [41, 46]. ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÏÑÉÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÕß Ä ÆÄÖØ ÏÑÆÂØ: Ô ÐËÊÍÑÌ ËÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ. £ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÇÒÑÆÂÄÎâáÜÂâ ÚÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÕÇÓâÇÕÔâÄ ÂÐÕÇÐÐÇ, Ä ÄÞÔÑÍÑÌ ÏÑÆÇ ÊÐÂÚËÏÂâ ÚÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË Pgen

ÄÞÆÇÎâÇÕÔâ Ä ÒÎÂÊÏÇ. £ ÄÞÔÑÍÑÌ ÏÑÆÇ ÓÂÊÓâÆ ÐÂÃÎáÆÂ-ÇÕÔâ ÊÂÏÇÆÎÇÐËÇ ÒÑÄÞÛÇÐËâ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ä ÔÄâÊË ÔÐÂÔÞÜÇÐËÇÏ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇ-ÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ne ÒÓË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâØ ÒÑÓâÆÍ 1011 ÔÏÿ3.£ ÒÇÓÇØÑÆÐÑÌ ÑÃÎÂÔÕË ÏÇÉÆÖ ÏÑÆÂÏË ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÍÂÚ-ÍÑÑÃÓÂÊÐÑÇ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ë ÄÑÊÏÑÉÐÑÒÑâÄÎÇÐËÇ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ. ¤ËÔÕÇÓÇÊËÔ ÄÑÊÐËÍÂÇÕ Ä ÔÎÖÚÂÇ,ÍÑÅÆ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ, ÄÑ-ÒÇÓÄÞØ,âÄÎâÇÕÔâ ÏÂÎÞÏ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏÂÐÕÇÐÐÞ,  ÄÑ-ÄÕÑÓÞØ, ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÒÎÑÕÐÑ-ÔÕË ÒÎÂÊÏÞ.

4.2. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞÑÕ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ¿ÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÞ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇ Ä àÕÑÏ ÓÂÊÆÇÎÇ, ÃÞÎËÄÞÒÑÎÐÇÐÞ Ô ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÔÒËÓÂÎßÐÑÌ ÂÐÕÇÐÐÑÌ, à××ÇÍÕËÄ-ÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÍÑÕÑÓÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâÎÑ 3,6 °Ï [46], ÚÕÑÒÑÊÄÑÎâÎÑ ÓÇÂÎËÊÑÄÂÕß ÓÇÉËÏ Rpl 4Rant Ä ÛËÓÑÍÑÏÆËÂÒÂÊÑÐÇ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ Ë ÏÑÜÐÑÔÕÇÌ £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓÂ.

528 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 11: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 9Â, à ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ËÊÏÇÐÇÐËâÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË Ë à××ÇÍÕËÄÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÄÙÇÐÕÓÇ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÄÇÎËÚËÐÞÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ³ÑÅÎÂÔÑÄÂÐËÇ ÐÂÅÓÖÊÍË Ô £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓÑÏ ÑÔÖÜÇÔÕÄÎâÎÑÔß ÒÓË ÍÂÉÆÑÏ ËÊ ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÞØÊÐÂÚÇÐËÌ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÕÂÍ ÚÕÑ ÄÇÎËÚËР£¹-ÏÑÜ-ÐÑÔÕË, ÑÕÆÂÄÂÇÏÑÌ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ ÄÑ ÄÐÇÛÐáá ÙÇÒß,âÄÎâÎÂÔß ÒÑÔÕÑâÐÐÑÌ. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ, ÒÓË ÑÕÔÖÕÔÕÄËË ÏÂÅ-ÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÏÂÎÂ. µÄÇÎËÚÇ-ÐËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ B ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÓÇÊÍÑÏÖ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËáÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ, ÊÂÕÇÏ ÒÓË ÒÓÇÄÞÛÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÞÏÒÑÎÇÏ ÐÇÍÑÕÑÓÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ Bmax ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑ-ÐÑÄ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ Ë ÒÓË ÆÑÔÕËÉÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÞÏ ÒÑÎÇÏÍÓËÕËÚÇÔÍÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ Bcr ÔÎÇÆÖÇÕ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ. °ÆÐÑ-

ÄÓÇÏÇÐÐÑ Ô ËÊÏÇÐÇÐËÇÏ ÂÃÔÑÎáÕÐÑÌ ÄÇÎËÚËÐÞ ÒÎÑÕÐÑ-ÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ Ë ÇÇ ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐÐÑÇ ÒÇÓÇÓÂÔ-ÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ (ÓËÔ. 9Ä, Å). µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâÔÐÂÚÂΠÒÓËÄÑÆËÕ Í ÑÃÜÇÏÖ ÒÑÄÞÛÇÐËá ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËàÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÑÔÑÃÇÐÐÑ Ä ÙÇÐÕÓÂÎßÐÞØ ÑÃÎÂÔÕâØ ÓÂÊÓâÆÂ,ÊÂÕÇÏ ÒÇÓÇÆ ÔÓÞÄÑÏ ÓÂÊÓâÆ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ ÒÎÂÊÏÞ ÄÑÄÔÇÏ ÔÇÚÇÐËË ÔÐËÉÂÇÕÔâ Ë ÐÂËÃÑÎÇÇ ÊÐÂÚËÏÞÏË ÔÕÂÐÑ-ÄâÕÔâ ÒÇÓË×ÇÓËÌÐÞÇ ÑÃÎÂÔÕË ÓÂÊÓâÆÂ. ¯ÇÔÏÑÕÓâ ÐÂÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÇ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ,à××ÇÍÕËÄÐÂâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÔÎÂÃÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ë ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. µÄÇÎËÚÇ-ÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ Ë ÆÂÄÎÇÐËâ ÓÂÃÑÚÇÅÑ ÅÂÊÂÒÓËÄÑÆâÕ Í ÔÏÇÜÇÐËá ÔÓÞÄÑÄ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÑÃÎÂÔÕß Ão Îß-ÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ, Õ.Ç. Í ÖÄÇÎËÚÇÐËá Bcr. £ ÓâÆÇ

50 100 150 200 2500

1

2

3

4

5ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pgen

a

Pf Pb

50 100 150 200 2500

1

2

3

4

5

ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pgen

Ã

PfPb

50 100 150 200 250 3000

1

2

3

4

5

ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pgen

Ä

PfPb

50 100 150 200 250 3000

1

2

3

4

5

ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pgen

Å

PfPb

50 100 150 200 250 3000

1

2

3

4

5

ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pgen

Æ

PfPb

50 100 150 200 250 3000

1

2

3

4

5

ªÐÕÇÐÔËÄÐ

ÑÔÕßËÊÎÖÚ

ÇÐËâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Pgen

Ç

Pf Pb

²ËÔ. 7. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕË ÔÄÇÚÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒËÕÂáÜÇÅÑ ÂÐÕÇÐÐÖ, ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË (ÍÄÂÆÓÂÕÞ) ËÖÏÇÐßÛÇÐËË (ÍÓÖÉÍË) ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ (Â) 1 Ï´Î, (Ã) 1,2 Ï´Î, (Ä) 1,3 Ï´Î, (Å ë Ç) 1,4 Ï´Î. ( ë Å) ªÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ,(Æ) ÅËÃÓËÆÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ, (Ç) ÓÂÊÓâÆ Ô ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏË ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÏ Ë ÇÏÍÑÔÕÐÞÏ ÍÂÐÂÎÂÏË; ÏÑÜÐÑÔÕß £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒËÕÂáÜÇÅÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌÍÂÐÂÎ 100 £Õ. ¥ÂÄÎÇÐËÇ ÂÓÅÑР2 ÏÕÑÓÓ.

6 µ¶¯, Õ. 178, å 5

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 529

Page 12: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÔÎÖÚÂÇÄ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÓËÄÑÆËÕÍ ÒÑâÄÎÇÐËá ÄÕÑÓÑÅÑ,  ËÐÑÅÆÂ Ë ÕÓÇÕßÇÅÑ ÎÑÍÂÎßÐÑÅÑÏÂÍÔËÏÖÏ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÏÇÐßÛËØÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ. °ÃÎÂÔÕß ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ÄÔÇØ ÏÂÍÔË-ÏÖÏÑÄ ÓÇÊÍÑ ÑÅÓÂÐËÚÇРÔÑ ÔÕÑÓÑÐÞ ÃÑÎßÛËØ ÏÂÅÐËÕ-ÐÞØ ÒÑÎÇÌ.

¦ÔÕÇÔÕÄÇÐÐÑ ÒÓÇÆÒÑÎÑÉËÕß, ÚÕÑ ÒÓËÚËÐÑÌ ÐÇÏÑÐÑ-ÕÑÐÐÑÅÑ ËÊÏÇÐÇÐËâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ËÊÏÇÐÇ-ÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ âÄÎâÇÕÔâ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÏÑÜ-ÐÑÔÕË ÏÇÉÆÖ ÂÐÕÇÐÐÑÌ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ Ä ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄËË Ô×ÑÓÏÖÎÂÏË (1) Ë (2). £ ÔÄâÊË Ô àÕËÏ ÃÞÎË ÑÒÓÇÆÇÎÇÐÞÊÐÂÚÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, ÒÓË

ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÄÇÎËÚËÐÂØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ [46] Ä àÍÔÒÇÓË-ÏÇÐÕÂØ Ô ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÏ ÓÂÊÓâÆÑÏ Ð ÑÔÐÑÄÇ ËÊÏÇÓÇ-ÐËÌ ÕÑÍ Iant, ÕÇÍÖÜÇÅÑ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ, ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËËÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ªÊÏÇÓÇÐËâ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑÒÑÆÉËÅ ÓÂÊÓâÆ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÐÇÃÑÎßÛÑÏÖ ÖÏÇÐßÛÇÐËáÕÑÍÂ, ÕÇÍÖÜÇÅÑ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ,  ÆÂÎßÐÇÌÛÇÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ì Í ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÓÂÊÐËÙÞ ÏÇÉÆÖÕÑÍÂÏË, ÕÇÍÖÜËÏË ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ ÒÓË ÓÂÊÓâÆÇ Ë Ä ÇÅÑÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ. ¿ÕÑ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÖÇÕ Ñ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËË ÆÑÎËÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ. µÄÇ-ÎËÚÇÐËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË B > Bmax ÒÓËÄÑÆËÕ ÍÄÑÊÓÂÔÕÂÐËá ÕÑÍ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ. ±ÑÔÎÇ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ

1010

1011

60 ¤Ô

40 ¤Ô

0 200100 300 400 500 600 700 800108

109

®ÑÜÐÑÔÕß £¹ - ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, £Õ

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

ÔÏÿ3 Ã

0 200 400 600 800 1000108

109

1010

1011

10 ¤Ô

30 ¤Ô20 ¤Ô

®ÑÜÐÑÔÕß £¹ - ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, £Õ

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

ÔÏÿ3

Â

²ËÔ. 8. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

2

4

6

8

ne, 1010 ÔÏÿ3

0

10

0,5 1,0 1,5 2,0

B, Ï´Î

Â

12

0

1

2

3

4

5

6T eff

e , à£7

0,5 1,0 1,5 2,0

B, Ï´Î

Ã

1

2

103

4

5

2 3 4 5 6r, ÔÏ

´ÇÏ

ÒÇÓÂÕ

ÖÓÂàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

à£

3

1

4

2 Å

0

8

7

6

5

4

3

2

1

3

4

2

1

1 2 3 4 5 6r, ÔÏ

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

1010ÔÏÿ3

Ä

²ËÔ. 9. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ne (Â) Ë à××ÇÍÕËÄÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ T effe (Ã) ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ B ÒÓË

ÏÑÜÐÑÔÕâØ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ 150 £Õ (1) Ë 200 £Õ (2); ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÓÅÑР2 ÏÕÑÓÓ, ÓÂÊÓâÆ Ô ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÂÐÕÇÐÐÑÌ. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ne (Ä) Ë T effe (Å) ÑÕ

ÓÂÔÔÕÑâÐËâ r ÆÑ ÑÔË ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÓËB � 0 (1), 0,5 Ï´Î (2), 1,1 Ï´Î (3), 1,4 Ï´Î (4); ÓÂÊÓâÆ ÊÂÉËÅÂÎÔâ Ä ËÔÕÑÚÐËÍÇ ÒÎÂÊÏÞÓÂÆËÖÔÑÏ 7,5 ÔÏ Ë ÆÎËÐÑÌ15 ÔÏ; ÏÑÜÐÑÔÕß £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ 150 £Õ; ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÓÅÑР4 ÏÕÑÓÓ.

530 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 13: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÕÑÍ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ ÄÑÊÄÓÂÜÂÇÕÔâ Í ÊÐÂÚÇÐËâÏ, ËÏÇÄÛËÏÏÇÔÕÑ ÆÑ ÒÑÆÉËÅ ÓÂÊÓâÆÂ.

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 10 ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÊÐÂÚÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ppl,ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÞÇ Ð ÑÔÐÑÄÇ ËÊÏÇÓÇÐ-ÐÞØ Iant. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ, ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâÄÒÎÑÕß ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËâ Bmax ÏÑÜÐÑÔÕß Ppl ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ, ÊÂÕÇÏÒÓË B > Bmax ÐÂÚËÐÂÇÕ ÖÏÇÐßÛÂÕßÔâ ÆÑ ÕÇØ ÒÑÓ, ÒÑÍ ÐÇÆÑÔÕËÅÐÇÕ ÄÇÎËÚËÐ, ÐÇÆÑÔÕÂÕÑÚÐÞØ ÆÎâ ÒÑÆÆÇÓÉÂÐËâÓÂÊÓâÆÂ. ©ÆÇÔß ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ.

ªÊÏÇÐÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÇÔÕÇÔÕÄÇÐÐÑ ÔÑÒÑÔÕÂÄËÕß ÔÆËÐÂÏËÍÑÌ ËÊÏÇÐÇÐËâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ. ¬ÂÍÑÕÏÇÚÂÎÑÔß ÄÞÛÇ, ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÑÃÝÇÏÖ ËÔÕÑÚÐËÍÂ. £ àÕÑÏ ÔÎÖÚÂÇ Ä ÓÂÃÑÕÇ [46] ÆÎâÂÐÂÎËÊ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎËÔß ÔÓÇÆÐËÇ ÒÑ ÔÇÚÇÐËá ÊÐÂÚÇÐËâÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ne.

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 11 ÒÓËÄÇÆÇÐÞ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÆÂÐÐÞÇ[46], ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇ Ä ÄËÆÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË Ne=�Ppl p� ÑÕÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, ÅÆÇ p ì ÆÂÄÎÇÐËÇÂÓÅÑÐÂ Ä ÓÂÊÓâÆÐÑÌ ÍÂÏÇÓÇ. ®ÑÉÐÑ ÄËÆÇÕß, ÚÕÑ ÍÑÅÆ ÄÒÎÂÊÏÖ ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ ÏÑÜÐÑÔÕß, ÒÓÇÄÞÛÂáÜÂâ 40 £Õ,ÄÔÇ ÕÑÚÍË Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÒÑÅÓÇÛÐÑÔÕË àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕ ÎÑÉÂÕÔâРÒÓâÏÖá, ÒÂÓÂÎÎÇÎßÐÖá ÑÔË ÂÃÔÙËÔÔ. ¿ÕÑ ÑÊÐÂÚÂÇÕ, ÚÕÑÔÓÇÆÐââ ÒÑ ÑÃÝÇÏÖ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ä ÒÎÂÊÏÇ

ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßРÄÎÑÉÇÐÐÑÌÄ ÒÎÂÊÏÖ ÏÑÜÐÑÔÕË,  ÑÔÑÃÇÐÐÑÔÕË ËÊÏÇÐÇÐËâ ÒÎÑÕÐÑÔÕËÒÎÂÊÏÞ Ô ËÊÏÇÐÇÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÔÄâÊÂÐÞ Ô ÒÇÓÇ-ÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇÏ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÏÇÉÆÖ ÂÍÕËÄ-ÐÞÏ à××ÇÍÕËÄÐÞÏ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏ ÂÐÕÇÐÐÞ Ë àÍÄËÄÂ-ÎÇÐÕÐÞÏ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏ ÒÎÂÊÏÞ. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÑÕÐÑÛÇ-ÐËâ Ne=�Ppl p� Ä ÑÃÎÂÔÕË ÏÂÎÞØ (Ppl < 40 £Õ) ÏÑÜÐÑÔÕÇÌ,ÄÎÑÉÇÐÐÞØ Ä ÒÎÂÊÏÖ, ÔÄâÊÂÐÑ, ÒÑ-ÄËÆËÏÑÏÖ, Ô ÐÂÎËÚËÇÏÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÞ ÓÂÊÓâÆÂ.

¥Îâ ÖÕÑÚÐÇÐËâ ×ËÊËÚÇÔÍÑÌ ÍÂÓÕËÐÞ âÄÎÇÐËÌ, ÑÒËÔÂÐ-ÐÞØ ÄÞÛÇ, ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÏÂÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÅÑÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ [41, 46]. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 12 ë Ä ËÊÑÃÓÂÉÇÐÞÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÕÑÍ ÚÇÓÇÊÂÐÕÇÐÐÖ Ë à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕË ÄÎÑÉÇÐËâ ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ B ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÑÌÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. ´ÂÍ ÉÇ ÍÂÍ Ë Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÇ,Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÕÑÍ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖÔÐÂÚÂΠÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ, ÊÂÕÇÏ ÒÓË B > Bmax ÐÂÚËÐÂÇÕÄÑÊÓÂÔÕÂÕß Ë ÐÂÍÑÐÇÙ ÄÑÊÄÓÂÜÂÇÕÔâ Í ÊÐÂÚÇÐËâÏ, ÍÑÕÑ-ÓÞÇ ËÏÇÎ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÓÂÊÓâÆÂ. £ÎÑÉÇÐÐÂâ Ä ÒÎÂÊÏÖÏÑÜÐÑÔÕß Ë ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÄÑÊÓÂÔÕÂáÕ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÄÒÎÑÕß ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËâB � Bmax,  ÊÂÕÇÏ ÖÏÇÐßÛÂáÕÔâ. ±ÓË ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÂÅÐËÕ-ÐÑÅÑ ÒÑÎâ B > Bcr ÔËÔÕÇÏ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ, ÑÒËÔÞÄÂáÜÂâÓÂÊÓâÆ, ÐÇ ËÏÇÇÕ ÓÇÛÇÐËÌ. ¶ËÊËÚÇÔÍË àÕÑ ÑÊÐÂÚÂÇÕ ÐÇ-ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ. ±ÓËÚËÐÑÌ ÑÕ-ÔÖÕÔÕÄËâ ÓÇÛÇÐËâ ÒÓË ÃÑÎßÛËØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ âÄÎâÇÕÔâ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÇ ÒÂÆÇÐËÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÖØÖÆÛÇÐËâ ÒÓÑÐËÍÐÑ-ÄÇÐËâ £¹-ÒÑÎÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ Ë ÒÑÐËÉÇÐËÇ ÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË,ÒÑÅÎÑÜÂÇÏÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, ÆÑ ÄÇÎËÚËÐ, ÐÇÆÑÔÕÂÕÑÚÐÞØ ÆÎâÒÑÆÆÇÓÉÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ. ±ÑÄÞÛÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇ-ÓÂÕÑÓÂ, ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂáÜÇÇÔâ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÒÎÑÕÐÑÔÕËÒÎÂÊÏÞ Ë àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ, ÕÂÍ ÉÇ ÍÂÍ ËÒÑÄÞÛÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ, Ä ÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄ ÒÓËÄÑÆâÜÇÇ ÍÖÄÇÎËÚÇÐËá àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Ä ÑÃÎÂÔÕËÃÑÎßÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ, ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÔÏÇÜÇÐËÇÏÒÓÂÄÑÌ ÅÓÂÐËÙÞ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ÓÇÛÇÐËâ Ä ÑÃÎÂÔÕßÃÑÎßÛËØ B [46].

µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÂÐÕÇÐÐÞ (ÓËÔ. 12Å) ÒÓË-ÄÑÆËÕ Í ÓÂÔÛËÓÇÐËá ÆËÂÒÂÊÑРÄÇÎËÚËÐ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ Rpl 4Rant. ©ÂÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÒÓË àÕÑÏ ÆÎâÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâØÂÓÂÍÕÇÓÐÑ ÐÂÎËÚËÇ ÎÑÍÂÎßÐÞØ ÏÂÍÔËÏÖÏÑÄ, ÄÇÎËÚËÐÂÍÑÕÑÓÞØ ÖÃÞÄÂÇÕ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÃÑÎßÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ. £ÓÂÊÆÇÎÇ 3 ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÆÎâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕËRpl ÑÕB Ä ÔÎÖÚÂÇËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ Ô ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÃÑÎßÛËÏË ÓÂÆËÖÔÑÏË ÆÎËÐÑÌ ØÂÓÂÍÕÇÓÐÑ ÐÂÎËÚËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÎÑÍÂÎßÐÞØÏÂÍÔËÏÖÏÑÄ, ÔÄâÊÂÐÐÞØ Ô ÒÑÎÑÉÇÐËâÏË ÓÇÊÑÐÂÐÔÑÄÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ÄÑÎÐ ´¤. £ÞØÑÆ ËÊ ÑÃÎÂÔÕËÓÇÊÑÐÂÐÔ ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÓÇÊÍËÏ ÒÂÆÇÐËÇÏ àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ, ÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌÒÎÂÊÏÑÌ, Ë ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ. ±ÂÆÇÐËÇÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ, Ä ÔÄÑá ÑÚÇÓÇÆß, ÄÞÊÞÄÂÇÕ ÖÏÇÐßÛÇ-ÐËÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Ë ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ ÄÒÎÂÊÏÖ ÏÑÜÐÑÔÕË. ±ÓË àÕÑÏ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÓÇÊÍÑÅÑ ÖÏÇÐß-ÛÇÐËâ Rpl ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÍÂÚÍÑÑÃÓÂÊÐÑÇ ÒÂÆÇÐËÇ ÒÎÑÕÐÑ-ÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ³ÓÂÄÐÇÐËÇÓËÔ. 12Å Ô ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÔÆÇ-ÎÂÕß ÄÞÄÑÆ, ÚÕÑ ÐÂÃÎáÆÂÄÛËÇÔâ Ä àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÇ ÓÇÊÍËÇÔÍÂÚÍË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÔÄâÊÂÐÞ Ô ÐÂÎËÚËÇÏ ÓÇÊÑÐÂÐ-ÔÑÄ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐ, ÒÓÑâÄÎâáÜËØÔâ ÄÓÇÊÍÑÏ ËÊÏÇÐÇÐËË ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÅÎÑÜÂÕß £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß.

80

100

180

160

140

120

60

40

20

0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

Ppl, £Õ

3

4

2

1

²Ëc. 10. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ, ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ÒÓË ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ: 1 ì 100 £Õ, 2 ì 150 £Õ, 3 ì200 £Õ, 4 ì 300 £Õ. ¥ÂÄÎÇÐËÇ ÂÓÅÑР2 ÏÕÑÓÓ. ²ÂÊÓâÆ Ô ÕÑÓÙÇÄÑÌÂÐÕÇÐÐÑÌ.

0 20 40 60 80 100 120

Ppl, £Õ

Ne=�Pplp�,ÑÕÐ

.ÇÆ.

140 160 180 200

0,2

0,4

0,6

0,8

1,0

²ËÔ. 11. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕßNe=�Ppl p� ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ.

6*

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 531

Page 14: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

£ ÙÇÎÑÏ, ÔÓÂÄÐÇÐËÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ ÓÂÔÚÇÕÂ Ë àÍÔÒÇÓË-ÏÇÐÕÑÄ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÔÆÇÎÂÕß ÄÞÄÑÆ, ÚÕÑ ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕËËÊÏÇÐÇÐËâ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÑÒÓÇÆÇÎâáÕÔâÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÞÏ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇÏ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕËÏÇÉÆÖ ÒÎÂÊÏÑÌ Ë ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒßá, ÊÂÍÑÐÑÏÇÓÐÑÔÕËÍÑÕÑÓÑÅÑ ÐÂÒÓâÏÖá ÔÄâÊÂÐÞ Ô ×ËÊËÚÇÔÍËÏË ÏÇØÂÐËÊ-ÏÂÏË ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ÒÑÎÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ Ë ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË.

±ÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÇ ÄÞÛÇ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ ÓÇÊÖÎß-ÕÂÕÞ ÃÞÎË ÒÑÎÖÚÇÐÞ Ä [46] ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑ-ÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÓË ÖÔÎÑÄËË, ÚÕÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ ÖÄÇÎË-ÚËÄÂÎÑÔß ÑÕ ÐÖÎâ ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ Bfin, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ ÊÐÂÚÇ-ÐËâ ÒÑÎâ B, ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØ ÐÂÃÎáÆÂÇÕÔâ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ. £ÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄ, ÍÑÅÆ ÏÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ ÔÐÂÚÂΠÖÄÇÎËÚËÄÂ-ÎÑÔß ÑÕ 0 ÆÑ Bfin,  ÊÂÕÇÏ ÖÏÇÐßÛÂÎÑÔß ÆÑ 0, ÐÂÃÎáÆÂÎÔâÅËÔÕÇÓÇÊËÔ Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ªÊÏÇÓÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÇÐ-ÐÑÌ ÒÎÂÊÏÑÌ, ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ÒÓË ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ÏÂÅÐËÕÐÞØÒÑÎâØ ÒÓË ÑÆÐÑÌ Ë ÕÑÌ ÉÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂÓÇÂÎËÊÖáÕÔâ ÆÄ ÓÇÉËÏÂ: Ä ÑÆÐÑÏ ÓÇÉËÏÇ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍËÄÔâ ÏÑÜÐÑÔÕß ÓÂÔØÑÆÖÇÕÔâ ÄÑ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË Ë ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËâ ÒÎÂÊÏÞ ÏÂÎÂ, Ä ÆÓÖÅÑÏ ÓÇÉËÏÇ ÒÑÚÕË ÄÔâ ÏÑÜÐÑÔÕßÒÑÅÎÑÜÂÇÕÔâ ÒÎÂÊÏÑÌ Ë ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄÄÇÎËÍÂ.

®ÂÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËÇ ÒÑÍÂÊÂÎÑ [41, 46] (ÔÏ.ÓËÔ. 12), ÚÕÑ Ä ÓâÆÇ ÔÎÖÚÂÇÄ ÒÓË ÑÆÐËØ Ë ÕÇØ ÉÇ ÊÐÂÚÇÐËâØËÐÆÖÍÙËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ B Ë ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Pgen ËÏÇÇÕÔâ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÄÇÕÄÇÌ ÓÇÛÇÐËÌ, Õ.Ç.

ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÒÓË ÍÑÕÑ-ÓÞØ ÔÖÜÇÔÕÄÖÇÕ ÓÇÛÇÐËÇ ÔËÔÕÇÏÞ ÖÓÂÄÐÇÐËÌ, ÑÒËÔÞÄÂá-ÜÇÌ ÓÂÊÓâÆ. ²ÂÐÇÇ ÓÂÔÔÏÂÕÓËÄÂÎÂÔß ÄÇÕÄß ÓÇÛÇÐËÌ Ô ÄÞ-ÔÑÍËÏË ÊÐÂÚÇÐËâÏË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÑÆÐÂÍÑÐÂÚËÐÂâ Ô ÐÇÍÑÕÑÓÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ B � ÒÑâÄÎâÇÕÔâ ÄÕÑÓÑÇÓÂÄÐÑÄÇÔÐÑÇ ÓÇÛÇÐËÇ ÔÑ ÊÐÂÚÇÐËâÏË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËËÒÎÂÊÏÞ, ÒÓËÏÇÓÐÑ Ð ÒÑÓâÆÑÍ ÏÇÐßÛËÏË, ÚÇÏ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕ-ÄÖáÜËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÒÇÓÄÑÅÑ ÓÇÛÇÐËâ. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÐÂÎË-ÚËÇ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÒÓËÑÆÐËØ Ë ÕÇØ ÉÇ ÊÐÂÚÇÐËâØ B Ë Pgen ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ ÐÂÄÑÊÏÑÉÐÑÇ ÐÂÎËÚËÇ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË Ë ÖÏÇÐß-ÛÇÐËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÒÓË ÅÑÓÇÐËË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÓÇÉËÏÇRpl 4Rant ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐ-ÐÑÇ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË ÏÇÉÆÖ ÒÎÂÊÏÑÌ ËÂÍÕËÄÐÞÏ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË, ÍÑÕÑÓÑÇ ÒÓÑ-âÄÎâÇÕÔâ Ä ÔÎÇÆÖáÜÇÏ:

1) ÐÂÎËÚËÇ ÆÄÖØ ÏÑÆ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÔÔËÎßÐÑ ÓÂÊÎËÚÂáÜËÏËÔâ ÊÐÂÚÇÐËâÏË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ;

2) ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔ ÒÓË ÒÇÓÇØÑÆÇ ËÊ ÐËÊÍÑÌÏÑÆÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá Ë ÑÃÓÂÕÐÑ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ ÒÓËÖÄÇÎËÚÇÐËË Ë ÖÏÇÐßÛÇÐËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ;

3) ÐÂÔÞÜÇÐËÇ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ne;

4) ÑÅÓÂÐËÚÇÐËÇ ÒÓË ÐÂÎËÚËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ÑÃÎÂÔÕË ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆ ÔÑ ÔÕÑÓÑÐÞ ÃÑÎß-ÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ;

5) ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕß ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞÑÕ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

0 10

10

20

30

40

50

20 30 40 50 60

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

´ÑÍÚÇÓÇÊ

ÂÐÕÇÐÐÖ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

Ã

0,5

1,0

1,5

2,0

2,5

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

1011ÔÏÿ3

0 10 20 30 40 50 60

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

Â

Bmax

Bcr

B�

0

0,2

0,4

0,6

0,8

1,0

1,2

1,4

1,6

4 8 12 20 24 28 32 3616 40

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

Å

10 °Ï

5 °Ï

3,6 °Ï

1 °Ï

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

1011ÔÏÿ3

30 40 500

0,8

1,0

Ppl=Pgen

0,6

0,4

0,2

10 20 60

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

Ä

²ËÔ. 12. ( ë Ä) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÕÑÍ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ Ë à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕË ÄÎÑÉÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ Ppl=Pgen ÑÕÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ; ÏÑÜÐÑÔÕß ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ 500 £Õ, ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÂÐÕÇÐÐÞ 0,2 °Ï, ÓÂÆËÖÔ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ 5 ÔÏ, ÆÎËР15 ÔÏ.(Å) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâØ ÂÐÕÇÐÐÞ.

532 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 15: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

5. °ÔÑÃÇÐÐÑÔÕË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂÔ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÌ

²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÕÇÒÇÓß ÄÎËâÐËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÄâÊË ÏÇÉÆÖÂÐÕÇÐÐÑÌ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ Ð ØÂÓÂÍÕÇÓËÔÕËÍË ÓÂÊÓâÆÂ. ¥ÎâËÊÖÚÇÐËâ ÄÎËâÐËâ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÓÂÊÓâÆ ÄàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ [46] РÄÐÇÛÐÇÌ ÃÑÍÑÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕËËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ ÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑ Í ÔÒËÓÂÎË, ÓÂÔÒÑÎÑ-ÉÇÐÐÑÌ Ð ÕÑÓÙÇÄÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, ÓÂÊÏÇÜÂÎËÔß ÑÃÍÎÂÆÍËÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓ (ÓËÔ. 1Ä). ¿ÕÑ ÒÑÊÄÑÎâÎÑ ÑÓÅÂÐËÊÑÄÂÕßÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ ÄÄÑÆ ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓË ÖÔÎÑÄËË, ÚÕÑËÐÆÖÍÕËÄÐÂâ ÔÄâÊß ÏÇÉÆÖ ÂÐÕÇÐÐÑÌ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ ÑÔÕÂ-ÄÂÎÂÔß ÐÇËÊÏÇÐÐÑÌ. ªÔÒÑÎßÊÑÄÂÎËÔß ÆÄÇ ÔØÇÏÞ ÒÑÆÍÎá-ÚÇÐËâ ÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓÂ. £ ÒÇÓÄÑÏ ÔÎÖÚÂÇ ÍÑÐÙÞ ÂÐÕÇÐÐÞ ËÑÃÍÎÂÆÍË ÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓ ÚÇÓÇÊ ÑÕÆÇÎßÐÞÇ ÔËÔÕÇÏÞ ÔÑÅÎÂ-ÔÑÄÂÐËâ ÒÑÆÍÎáÚÂÎËÔß Í ÆÄÖÏ ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏ £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓÂÏ. ±ÓË àÕÑÏ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß ÏÑÅΠÄÍÎÂÆÞÄÂÕßÔâÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ Ë ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎÞ ÐÇÊÂÄËÔËÏÑ. £ÑÄÕÑÓÑÏ ÔÎÖÚÂÇ ÆÎâ ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ ÓÇÂÎßÐÑÅÑ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ, ÑÃÎÂÆÂáÜÇÅÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÌ(ÆÂÎÇÇ ì ÅËÃÓËÆÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ), ËÐÆÖÍÕÑÓ Ë ÍÑÐÆÇÐÔÂ-ÕÑÓ, ÔÑÇÆËÐÇÐÐÞÇ ÒÂÓÂÎÎÇÎßÐÑ, ÒÑÆÍÎáÚÂÎËÔß Í ÑÆÐÑÏÖ£¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÖ.

5.1. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÞÔÑÍÑÚÂÔÕÑÕÐÑÅÑ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ²ÂÔÔÏÑÕÓÇÐËÇ ÄÎËâÐËâ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÞ Ð ÒÂÓÂ-ÏÇÕÓÞ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐÂÚÐÇÏ ÔÑ ÔÎÖÚÂâ ÃÇÊÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ªÊ ÓËÔÖÐÍ 6 ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÐÂÎËÚËÇÐÇÊÂÄËÔËÏÑÅÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂΠÒÓËÄÑÆËÕ Í ÒÑÐËÉÇ-ÐËá ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ ÍÓËÕËÚÇÔ-ÍÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË Pf, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÓÂÊÓâÆ ÒÇÓÇØÑÆËÕ Ä ÏÑÆÖ ÔÄÞÔÑÍÑÌ ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕßá ÔÄÇÚÇÐËâ. ¹ÇÏ Ão ÎßÛÂâ ÆÑÎ⣹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ, ÕÇÏÏÇÐßÛÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ Pf. °ÆÐÑÄÓÇÏÇÐÐÑ Ô ÒÑÐËÉÇÐËÇÏ Pf

ÒÇÓÇØÑÆ ËÊ ÏÑÆÞ Ô ÐËÊÍÑÌ ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕßá ÔÄÇÚÇÐËâ ÄÏÑÆÖ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ËÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕßá ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÃÑÎÇÇ ÒÎÂÄ-ÐÞÏ. ³ÎÖÚÂÌ ÒÂÓÂÎÎÇÎßÐÑÅÑ ÒÑÆÔÑÇÆËÐÇÐËâ ÂÐÕÇÐÐÞ ËÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÕÇÏ ÉÇ ÍÂÚÇÔÕÄÇÐÐÞÏ ÓÇÊÖÎß-ÕÂÕÂÏ, ÑÆÐÂÍÑ ËÊÏÇÐÇÐËÇ Pf ÄÞÓÂÉÇÐÑ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÔÎÂÃÇÇ.

±ÓË ÐÂÎËÚËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓËÔÖÕÔÕÄËÇÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ËÊÏÇÐÇÐËâÏ ÐÇÕÑÎßÍÑ Pf, ÐÑ Ë Pb [46]. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 7Æ, Ç, ÒÓËÒÂÓÂÎÎÇÎßÐÑÏ ÒÑÆÔÑÇÆËÐÇÐËË ÂÐÕÇÐÐÞ Ë ÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓÂÓÂÊÐËÙ ÏÇÉÆÖ Pf Ë Pb ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÏÇÐßÛÇ, ÚÇÏ Ä ÔÎÖÚÂÇÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ,  ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË £¹-ÏÑÜ-ÐÑÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÌ ÇÏ-ÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ, ÓÂÊÐËÙ ÏÇÉÆÖ Pf Ë Pb ÔÕÓÇÏËÕÔâ Í ÐÖÎáË ÅËÔÕÇÓÇÊËÔ ËÔÚÇÊÂÇÕ. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÐÂÎËÚËÇ ÇÏÍÑÔÕ-ÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÕÂÃËÎËÊÂÙËË ÓÂÊÓâÆ ËËÔÚÇÊÐÑÄÇÐËá ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄÒÎÂÊÏÞ ÑÕ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ë ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

°ÕÏÇÕËÏ ÇÜÇ ÑÆËÐ ÄÂÉÐÞÌ ÓÇÊÖÎßÕÂÕ. ±ÓË ÒÂÓÂÎ-ÎÇÎßÐÑÏ ÒÑÆÔÑÇÆËÐÇÐËË ÂÐÕÇÐÐÞ Ë ÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓÂ Ä ÄÞÔÑ-ÍÑÌ ÏÑÆÇ ÓÂÊÓâÆ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÕÑÍ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ ÒÑÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÕÑÍÑÏ ÒÓË ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÐÇÒÓÇÄÞÛÂÇÕ 10% ÄÑ ÄÔÇØ ÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ àÍÔÒÇ-ÓËÏÇÐÕÂ. ªÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕß ÔÄÇÚÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ Ä ÄÞÔÑÍÑÌÏÑÆÇ ÓÂÊÓâÆ ÕÂÍÉÇ ÔÎÂÃÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÐÂÎËÚËâ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌÍÑÏÒÑÐÇÐÕÞ ÓÂÊÓâÆ (ÓËÔ. 6Â).

²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÕÇÒÇÓß ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÏÂÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÅÑÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÐÇÊÂÄËÔËÏÑÌ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏ-

ÒÑÐÇÐÕÑÌ, ÒÑÊÄÑÎâáÜËÇ ÒÓÑâÔÐËÕß ×ËÊËÚÇÔÍËÇ ÒÓËÚËÐÞÐÂÃÎáÆÂÄÛËØÔâ à××ÇÍÕÑÄ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 13 ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÂÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ne Ä £¹-ÓÂÊÓâÆÇ ÑÕÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ P ind

gen , ÒËÕÂáÜÇÅÑ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÞÌ ÍÂÐÂÎ Ä ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ,  ÕÂÍÉÇ ÒÓËÖÔÎÑÄËË, ÚÕÑ Ä ÓÂÊÓâÆ ÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑ ÄÄÑÆËÕÔâ ÏÑÜ-ÐÑÔÕß ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ, ÒÓË ÐÂÎËÚËËÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂΠÓÂÊÓâÆ ÏÑÉÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÕß Ä ÏÑÆÂØÔÑ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÓÂÊÎËÚÂáÜËÏËÔâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâÏË ÒÎÂÊ-ÏÞ. £ ÔÎÖÚÂÇ ÏÑÆÞ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ ÒÑÆÂÄÎâá-ÜÂâ ÚÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒËÕÂáÜÇÅÑ ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ Ä ÒÎÂÊÏÖ. £ ÏÑÆÇ Ô ÐËÊÍÑÌÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÄÔâ ÏÑÜÐÑÔÕßËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ËÆÇÕ Ð ÐÂÅÓÇÄ ÂÐÕÇÐÐÞ, ÂÒÎÑÕÐÑÔÕß ÒÎÂÊÏÞ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕßá, ÍÑÕÑ-ÓÂâ ÒÑÔÕÖÒÂÇÕ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ. £àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ "ÄÞÃÑÓ" ÏÑÆÞ ÅÑÓÇÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ, ÒÑ-ÄËÆË-ÏÑÏÖ, ÑÔÖÜÇÔÕÄÎâÇÕÔâ Ô ÒÑÏÑÜßá ÔËÔÕÇÏÞ ÔÑÅÎÂÔÑÄÂ-ÐËâ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÂÍÕËÄÐÂâ Ë ÓÇÂÍÕËÄÐÂâ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜËÇËÏÒÇÆÂÐÔ ÒÎÂÊÏÞ, ÔÖÜÇÔÕÄÖáÜÇÅÑ Ä ÄÞÔÑÍÑÌ Ë ÐËÊÍÑÌÏÑÆÂØ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÓÂÊÎËÚÂáÕÔâ. ³ÍÂÊÂÐÐÑÇ ÒÑÆÕÄÇÓÉ-ÆÂáÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÓÂÃÑÕÞ [49], Ä ÍÑÕÑÓÑÌ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎß-ÐÑ ÒÓÑÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÑÄÂРÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ËÊÏÇÐÇÐËâ ÏÑÆÞÅÑÓÇÐËâ ÓÂÊÓâÆ ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÔËÔÕÇÏÞÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐËâ.

¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 14 ÒÑÍÂÊÂÐÑ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË,ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, Ä ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË P ind

gen ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ P capgen .

¬ÂÍ ÄËÆÐÑ, ÏÑÜÐÑÔÕß, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÂâ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÚÇÓÇÊÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ. ±ÓË ÐÇÃÑÎßÛËØ ÊÐÂÚÇÐËâØ P ind

gen ÏÑÜ-ÐÑÔÕß, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÂâ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ P ind ÄÑÊ-ÓÂÔÕÂÇÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ P cap

gen , ÊÂÕÇÏ ÒÓËÃÎËÉÂÇÕÔâ Í ÊÐÂ-ÚÇÐËâÏ, ËÏÇáÜËÏ ÏÇÔÕÑ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄ-ÎâáÜÇÌ, Ë ÐÂÍÑÐÇÙ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÏÇÐßÛÇ, ÚÇÏ Ä ÚËÔÕÑËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ. µÏÇÐßÛÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË P ind

pl ÄÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ P ind

gen ÕÇÏ ÔËÎßÐÇÇ, ÚÇÏ ÃÑÎßÛÇ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕß, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÂâ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ.

±ÓÑÂÐÂÎËÊËÓÖÇÏ ÍÂÚÇÔÕÄÇÐÐÑ ÄÊÂËÏÐÑÇ ÄÎËâÐËÇ ÆÄÖØÍÂÐÂÎÑÄ ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÎßÊÖâÔß àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÌÔØÇÏÑÌ, ÒÓËÄÇÆÇÐÐÑÌ Ð ÓËÔ. 15Â. ³ÐÂÚÂΠÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ

200

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

1011ÔÏÿ3

400 600 800 10000

0,5

1,0

1,5

2,0

2,5

3,0

®ÑÜÐÑÔÕß "ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ" ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, £Õ

B � 40 ¤Ô

31

2

²ËÔ. 13. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË "ËÐ-ÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ" £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ (B � 40 ¤Ô) ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØÏÑÜÐÑÔÕË "ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ" ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ: 1 ì ÃÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâá-ÜÇÌ, 2ì ÇÏÍÑÔÕÐÂâ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÂâ 50 £Õ, 3ì ÇÏÍÑÔÕÐÂâ ÔÑÔÕÂÄÎâá-ÜÂâ 100 £Õ.

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 533

Page 16: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÔÎÖÚÂÌ ÏÂÎÞØ P indgen Ë ÐËÊÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ ÒÎÂÊÏÞ. ¬ÂÍ

ËÊÄÇÔÕÐÑ ËÊ ÎËÕÇÓÂÕÖÓÞ [38, 49 ë 51] Ë ÍÂÍ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕÓÂÔÚÇÕÞ, Ä ÛËÓÑÍÑÏ ÆËÂÒÂÊÑÐÇ ÖÔÎÑÄËÌ ÇÏÍÑÔÕÐÂâ ×ÂÊÂÓÂÊÓâÆ ÏÑÉÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÕß ÒÓË ÏÇÐßÛËØ ÏÑÜÐÑÔÕâØ£¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÚÇÏ ËÐÆÖÍÕËÄÐÂâ, ÒÓË àÕÑÏ Ä ÓÂÊÓâÆÇÖÔÕÂÐÂÄÎËÄÂÇÕÔâ ÐÇÍÑÕÑÓÂâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄn �e . ¯ÂÒÑÏÐËÏ, ÚÕÑ ØÑÕâ ÂÐÕÇÐРÒÑÆÍÎáÚÇÐÂ Í "ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÑÏÖ" ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÖ, ÑÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ Ô ÒÑâÄÎÇÐËÇÏ ÒÎÂÊ-ÏÞ ÄÑ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË "ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ" ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÄÑÊÐË-ÍÂÇÕ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ, ÄÇÎËÚËРÍÑÕÑÓÑÅÑÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ n �e , Õ.Ç. ×ÂÍÕËÚÇÔÍË £¹-ÏÑÜÐÑÔÕßá, ÒÑÔÕÖ-ÒÂáÜÇÌ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ. £ ÔÎÖÚÂÇ, ÍÑÅÆ ÍÑÐÙÇÐÕ-ÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÏÂâ ÇÏÍÑÔÕÐÞÏ ÍÂÐÂÎÑÏ,ÃÑÎßÛÇ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ n ind

e , ÍÑÕÑÓÂâ ÔÖÜÇÔÕ-ÄÑÄÂÎÂ ÃÞ Ä ËÔÕÑÚÐËÍÇ ÒÎÂÊÏÞ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑÍÂÐÂÎÂ, ÄÍÎÂÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌÍÂÐÂÎ ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÕÂÍÑÄÞÏ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂÎÂ. ¿ÕÑ Ë ÒÑÍÂÊÂÎË ÓÇÛÇÐËâ, ÒÓÇÆÔÕÂÄ-ÎÇÐÐÞÇ ÐÂ ÓËÔ. 13, 14.

´ÇÒÇÓß ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÑÃÎÂÔÕß ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌÒÎÂÊÏÞ. ¥ÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÞÌ ÄÄÑÆ ÏÑÜÐÑÔÕË ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕ-ÐÑÌ ÍÂÐÂÎ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ,ÑÆÐÂÍÑ Ä ÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄàÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓÑØÑÆËÕ ÚÇÓÇÊÏÂÍÔËÏÖÏ Ë ÐÂÚËÐÂÇÕ ÖÃÞÄÂÕß (ÔÏ. ÓÂÊÆÇÎ 3). ¶ËÊËÚÇÔÍËàÕÑ ÔÄâÊÂÐÑ Ô ÖØÖÆÛÇÐËÇÏ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕËÄ ÒÎÂÊÏÖ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ. ±ÑÎÑ-ÉÇÐËÇ ÏÂÍÔËÏÖÏ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÑÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÄÇÎË-ÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÒÑàÕÑÏÖ Ë ÑÃÎÂÔÕß P ind

gen , ÄÍÑÕÑÓÑÌ ÐÂÚËÐÂÇÕÔâ ÒÂÆÇÐËÇ ÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÎÑÉÇÐÐÑÌÄ ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ B [46].

µÏÇÐßÛÇÐËÇ ÆÑÎË £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ ÄÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÇÔÕÇÔÕÄÇÐÐÑ, ÒÓËÄÑÆËÕÍ ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÒÑÎÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÄÒÎÂÊÏÖ (ÓËÔ. 14Ã). ±ÓË àÕÑÏ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÏÑÜÐÑÔÕË£¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒËÕÂáÜÇÅÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÄÇÎË-ÚËРÒÑÎÐÑÌÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓËÃÎËÉÂÇÕÔâ Í ÄÇÎËÚËÐÇ ÏÑÜÐÑ-ÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ Ä ÚËÔÕÑËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ. ¯ÇÖÆËÄËÕÇÎßÐÑ, ÚÕÑ ÒÂÓÂÏÇÕÓÞÒÎÂÊÏÞ, àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÑ ÐÂÃÎáÆÂÄÛËÇÔâ Ä ÄÞÔÑÍÑÌÏÑÆÇ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ Ë ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÇÏÍÑÔÕÐÑÌÍÑÏÒÑÐÇÐÕÑÌ, ÑÍÂÊÂÎËÔß ÃÎËÊÍË ÆÓÖÅ Í ÆÓÖÅÖ.

£ÇÓÐÇÏÔâ Í ÑÃÎÂÔÕË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐÇÃÑÎßÛËØ P indgen , Ä

ÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÇÓÇØÑÆ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ ÅÑÓÇÐËâÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 16, Ä ÔÎÖÚÂÇ, ÍÑÅÆÂP capgen � 0, ÆÎâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ne�P ind

gen� ÒÓË ÒÇÓÇØÑÆÇ ËÊ ÏÑÆÞÔ ÐËÊÍËÏË ÊÐÂÚÇÐËâÏË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ Ä ÏÑÆÖ ÔÄÞÔÑÍËÏË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâÏË ØÂÓÂÍÕÇÓÐÑ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËÇÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÓÇÛÇÐËÌ, ÚÕÑ ÑÃÞÚÐÑ ÔÄâÊÞÄÂÇÕÔâ Ô ÐÂÎË-ÚËÇÏ ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ. °ÆÐÂÍÑ, ÒÑ ÏÇÓÇ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËâ P cap

gen

ÑÃÎÂÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕÇÌ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, Ä ÍÑÕÑ-ÓÑÌ ÔÖÜÇÔÕÄÖÇÕ ÏÐÑÅÑÊÐÂÚÐÑÔÕß ÓÇÛÇÐËÌ, ÔÐÂÚÂÎÂÔÖÉÂÇÕÔâ, Â ÊÂÕÇÏ ËÔÚÇÊÂÇÕ. ¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, ÒÑÐËÉÂÇÕÔâÒÑÓÑÅÑÄÂâ ÏÑÜÐÑÔÕß, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÒÇÓÇØÑÆ

200

100

200

300

400

400 600 800 10000

Â

P indgen , £Õ

P indpl , £Õ

P capgen � 0

P capgen � 50 £Õ

P capgen � 100 £Õ

500

500

1000

1000 1500 2000 2500 3000

2500

2000

1500

0

ÃP indpl , £Õ R � 5 ÔÏ L � 15 ÔÏ

P capgen � 0

P capgen � 50 £Õ

P capgen � 500 £Õ

±ÑÎÐÂâ ÏÑÜÐÑÔÕß

P indgen , £Õ

²ËÔ. 14. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÎÑÉÇÐÐÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ,  ÕÂÍÉÇ ÒÑÎÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË "ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ" £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÑÜÐÑÔÕË "ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ" ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ: (Â) B � 40 ¤Ô, (Ã) B � 150 ¤Ô.

P capgenP ind

gen

Rant

Lant L1

C1

C2

R

L2

M

Â

L1

C1

C2

L2

R

M

Pgen

Rant

Lant

Ã

²ËÔ. 15. ¿ÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÞÇ ÔØÇÏÞ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ, ÒÑÆÆÇÓÉËÄÂÇÏÑÅÑ ÐÇÊÂ-ÄËÔËÏÞÏË ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÏ Ë ÇÏÍÑÔÕÐÞÏ ÍÂÐÂÎÂÏË (Â), Ë ÅËÃÓËÆÐÑÅÑÓÂÊÓâÆ (Ã).

0 200 400 600 800 1000

±ÎÑÕÐ

ÑÔÕßàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

1010ÔÏÿ3

2

4

6

8

43

21

P indgen , £Õ

²ËÔ. 16. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ P ind

gen , ÒËÕÂáÜÇÅÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ P cap

gen :1ì 0, 2ì 1 £Õ, 3ì 5 £Õ, 4ì 10 £Õ.

534 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 17: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ,ÏÂÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇ ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËÇ ÒÑÆÕÄÇÓÆËÎÑ, ÚÕÑ ÐÂÎË-ÚËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂΠÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÓËÄÑÆËÕ ÍËÔÚÇÊÐÑÄÇÐËá ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ne�P ind

gen�. ¿ÕÑÔÄâÊÂÐÑ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÏÂÎÞØ ne Ä ÔÎÖÚÂÇ, ÍÑÅÆ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâÒÎÂÊÏÞ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÏÑÜÐÑÔÕßá, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÚÇÓÇÊÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ.

±ÑÆÄÑÆâ ËÕÑÅ ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏ, ÏÑÉÐÑ ÔÆÇ-ÎÂÕß ÄÞÄÑÆ Ñ ÕÑÏ, ÚÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÂâ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÂâÓÂÊÓâÆ âÄÎâÇÕÔâ ÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑÌ Ê ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÔÍÂÚÍÑ-ÑÃÓÂÊÐÑÅÑ ÒÇÓÇØÑÆ ËÊ ÏÑÆÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÐËÊÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕ-ÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ä ÏÑÆÖ Ô ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ.¦ÏÍÑÔÕÐÂâ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÂâ ÓÂÊÓâÆ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÏÇÐßÛÇ-ÐËá ÒÑÓÑÅÑÄÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ ÒÓÑËÔØÑÆËÕÔÍÂÚÑÍ, Ë Í ÃÑÎÇÇ ÒÎÂÄÐÑÏÖ ÒÇÓÇØÑÆÖ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá. ¯ÂÎËÚËÇ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâÐÇ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÍÂÚÇÔÕÄÇÐÐÞÏ ËÊÏÇÐÇÐËâÏ ÔÆÇÎÂÐÐÞØÄÞÄÑÆÑÄ.

5.2. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞÑÕ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÄÎËâÐËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÑÏÒÑÐÇÐÕÞ Ð ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË ×ËÍ-ÔËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 17ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÕÑÍ ËÑÐÑÄ ÂÓÅÑРÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ÒÓË ÓÇÂÎËÊÂÙËË Ä ËÔÕÑÚÐËÍÇ ËÑÐÑÄÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ, ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏËËÐÆÖÍÕËÄÐÞÏ Ë ÇÏÍÑÔÕÐÞÏ ÍÂÐÂÎÂÏË Ë ÅËÃÓËÆÐÑÅÑÓÂÊÓâÆÂ. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ ËÊ ÓËÔ. 17, Ä ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏËÔÕÑÚÐËÍÇ ËÑÐÑÄ ÓÂÊÓâÆ ÄÑÊÐËÍÂÇÕ ÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÑÏ ÒÑÎÇÒÑÓâÆÍ 0,5 Ï´Î Ë ÕÑÍ ËÑÐÑÄ ÒÓË ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËË ÄÇÎËÚËÐÞÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÄÒÎÑÕß ÆÑ 1,3 Ï´Î ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ, ÊÂÕÇÏÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÑÏ ÒÑÎÇ 1,6 Ï´Î ÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ. £ÔÎÖÚÂÇ, ÍÑÅÆÂ Ä ÓÂÊÓâÆ ÆÑÒÑÎÐËÕÇÎßÐÑ ÄÄÑÆËÕÔâ ÏÑÜ-ÐÑÔÕß ÚÇÓÇÊ ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÌ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ, ÔËÕÖÂÙËâ ÐÇ-ÔÍÑÎßÍÑ ÄËÆÑËÊÏÇÐâÇÕÔâ. ²ÂÊÓâÆ ÒÑÆÉËÅÂÇÕÔâ ÃÇÊ ÄÐÇÛ-ÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ë Ä ÑÃÎÂÔÕË ÔÓÞÄ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐÇ ÅÂÔÐÇÕ,  ÒÇÓÇØÑÆËÕ Ä ÏÑÆÖ, ØÂÓÂÍÕÇÓÐÖáÆÎâ ÚËÔÕÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ, ÒÓËÚÇÏ ÑÃÎÂÔÕß ÒÇÓÇØÑÆÂÑÍÂÊÞÄÂÇÕÔâ ÕÇÏ ÃÑÎÇÇ ÒÎÂÄÐÑÌ, ÚÇÏ ÃÑÎßÛÇ ÄÇÎËÚËУ¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌÍÂÐÂÎ, Ë ÚÇÏ ÄÞÛÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÓÅÑÐÂ. £ ÒÇÓÇØÑÆÐÞØÑÃÎÂÔÕâØ (ÒÓË ÏÂÎÞØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ Ë ÄÃÎËÊË ÔÓÞÄÂÓÂÊÓâÆÂ) ÊÐÂÚÇÐËÇ ÕÑÍ ËÑÐÑÄ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÇ Ä ÅËÃÓËÆÐÑÏÓÂÊÓâÆÇ, ÃÎËÊÍÑ Í ÊÐÂÚÇÐËá ÕÑÍÂ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÏÖ Ä ÓÂÊÓâÆÇÔ ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏ ÇÏÍÑÔÕÐÞÏ ÍÂÐÂÎÑÏ Ë ÏÑÜÐÑÔÕßá 60 £Õ.£ ÑÃÎÂÔÕË ÏÂÍÔËÏÖÏ ËÑÐÐÑÅÑ ÕÑÍ (ÏÂÅÐËÕÐÞÇ ÒÑÎâ1,0 ë 1,5 Ï´Î) ÕÑÍ ËÑÐÑÄ Ä ÓÂÊÓâÆÇ Ô ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏÇÏÍÑÔÕÐÞÏ ÍÂÐÂÎÑÏ ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÃÑÎßÛÇ ÕÑÍÂ, ØÂÓÂÍÕÇÓ-ÐÑÅÑ ÆÎâ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ,  ÕÑÍ ËÑÐÑÄ ÄÅËÃÓËÆÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ, ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÏÇÐßÛÇ. °ÆÐÂÍÑ ÐÇÑÃØÑ-ÆËÏÑ ÑÕÏÇÕËÕß, ÚÕÑ ÖÍÂÊÂÐÐÂâ ÓÂÊÐËÙÂ Ä ÊÐÂÚÇÐËâØ ÕÑÍÂÐÇ ÒÓÇÄÞÛÂÇÕ 10 ë 15%.

¯ÂÓËÔÖÐÍÇ 17Ä ÒÑÍÂÊÂÐÑËÊÏÇÐÇÐËÇ ÕÑÍ Iant, ÕÇÍÖÜÇÅÑÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ, ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÄÇÎËÚËÐÞ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅ-ÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÔÒÑÔÑÃÂØ ÓÇÂÎËÊÂÙËË ÓÂÊ-ÓâÆÂ. ¬ÂÍ Ë ÔÎÇÆÑÄÂÎÑ ÑÉËÆÂÕß, ÐÂËÃÑÎßÛËÇ ÓÂÊÎËÚËâÐÂÃÎáÆÂáÕÔâ Ä ÒÇÓÇØÑÆÐÞØ ÑÃÎÂÔÕâØ, Ä ÑÃÎÂÔÕË ÏÂÍÔË-ÏÖÏ ËÑÐÐÑÅÑ ÕÑÍ ÊÐÂÚÇÐËâ Iant, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ Ä ÓÂÊÐÞØÓÂÊÓâÆÂØ, ÔÑÄÒÂÆÂáÕ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÑÌÑÛËÃÍË. ¿ÕÑ ÐÇÖÆËÄËÕÇÎßÐÑ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÒÓË ÄÔÇØ ÓÂÔÔÏÑÕ-ÓÇÐÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ ÕÑÍ Ä ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÄÇÕÄË ÔÑÔÕÂÄÎâÎ ÏÇÐÇÇ10% ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÕÑÍÂ, ÕÇÍÖÜÇÅÑ ÚÇÓÇÊ ÂÐÕÇÐÐÖ.

²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÄÎËâÐËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÐÂÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕ-ÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑ-ÓÑÄ, ÒËÕÂáÜËØ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ Ë ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎÞ. ²Ç-ÊÖÎßÕÂÕÞ ÓÂÔÚÇÕ ÒÑÍÂÊÂÐÞ Ð ÓËÔ. 18. £ËÆÐÑ, ÚÕÑ ÒÓËÐÂÎËÚËË ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂΠÓÂÊÓâÆ ÏÑÉÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÕßÄ ÏÑÆÂØ, ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ ÓÂÊÎËÚÂáÜËØÔâ ÒÑ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

0

120

100

80

60

40

20

0,50 1,00 1,50 2,00 2,50 3,00

ªÑÐÐÞÌÕÑ

Í,Ï¡

Â

0

100

80

60

40

20

1 2 3 4 5

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

ªÑÐ

ÐÞÌÕÑ

Í,Ï¡

Ã

10

8

6

4

2

0 0,50 0,75 1,00 1,25 1,50 1,750,25

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

´ÑÍÂÐ

ÕÇÐÐÞ,Ï

¡

Ä

²ËÔ. 17. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ÕÑÍ ÒÖÚÍ ËÑÐÑÄ (Â, Ã) Ë ÕÑÍ ÂÐÕÇÐÐÞ (Ä) ÑÕÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ¬ÄÂÆÓÂÕÞ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÕ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏÆÎâ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ, ÕÓÇÖÅÑÎßÐËÍË ÄÇÓÛËÐÑÌ ÄÄÇÓØ ËÄÐËÊ ì ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏ ÆÎâ ÐÇÊÂÄËÔËÏÑÅÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂΠÒÓËÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÒËÕÂáÜÇÅÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ, 60 Ë 200 £ÕÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ, ÊÄÇÊÆÑÚÍË ì ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏ ÆÎâ ÅËÃÓËÆÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ,ÍÓÖÉÍË ì ÆÎâ ÚËÔÕÑ ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ. ªÔÕÑÚÐËÍ ËÑÐÑÄ ÓÂÆËÖÔÑÏ5 ÔÏ Ë ÆÎËÐÑÌ 10 ÔÏ (ÂÓÅÑÐ). ¯Â ÓËÔÖÐÍÂØ (Â, Ä) ÓÂÔØÑÆ 10 ÔÏ3 ÏËÐÿ1,РÓËÔ. (Ã) ÓÂÔØÑÆ 30 ÔÏ3 ÏËÐÿ1.

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 535

Page 18: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÒÎÂÊÏÞ. £ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÑÔÕÂÐÑÄËÏÔâ ÒÑÆÓÑÃÐÑ Ð ÏÑÆÇÔ ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ. ªÊ ÓËÔÖÐÍ 18ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÒÓË ÑÕÔÖÕÔÕÄËË ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÓÂÊ-ÓâÆ ÔÓÞÄÂÇÕÔâ ÒÓË ÄÇÎËÚËÐÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÑÓâÆÍÂ8 Ï´Î. ¯ÂÎËÚËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÒÓÇÆÑÕÄÓÂ-ÜÂÇÕ ÔÓÞÄ ÓÂÊÓâÆÂ Ë ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÒÑâÄÎÇÐËá ÓÇÛÇÐËÌ ÄÑÃÎÂÔÕË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ, ÅÆÇ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÓÂÊ-ÓâÆ ÐÇÄÑÊÏÑÉÇÐ. ªÐÕÇÓÇÔÐÑ, ÚÕÑ ÐÂÎËÚËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓËÒÑÎâØ, Ão ÎßÛËØ 8 Ï´Î, Ô ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÏÑÌÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ, ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËáÄÍÎÂÆ ÏÑÜÐÑÔÕË Ë ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÒÓËÚÇÏP ind ÄÑÊÓÂÔÕÂÇÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ P cap

gen . ¥Îâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËâØ ØÂÓÂÍÕÇÓ-РÑÔÙËÎÎËÓÖáÜÂâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.°ÔÙËÎÎËÓÖáÜËÌ ØÂÓÂÍÕÇÓ àÕÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕß ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÆÑÎË£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ Ä ÓÂÊÓâÆ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÚÕÑ Ä ÍÑÐÙÇ ÍÑÐÙÑÄ ÑÃÖÔÎÑÄÎËÄÂÇÕ ÐÇÏÑÐÑ-ÕÑÐÐÑÔÕß ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÄÇÎË-ÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. °ÆÐÂÍÑ ÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØÃo ÎßÛËØ 8 Ï´Î ÒÑÆÆÇÓÉÂÐËÇ ÓÂÊÓâÆÂ Ë ÄÄÑÆ ÏÑÜÐÑÔÕËÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ ÄÑÊÏÑÉÐÞ ÕÑÎßÍÑ ÃÎÂÅÑÆÂÓâÔÖÜÇÔÕÄÑÄÂÐËá ÇÏÍÑÔÕÐÑÅÑ ÍÂÐÂΠÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË.

5.3. ¤ËÃÓËÆÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ£ ÊÂÄÇÓÛÇÐËÇ ÍÂÚÇÔÕÄÇÐÐÑ ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÅËÃÓËÆÐÞÌÓÂÊÓâÆ, Õ.Ç. ÔÎÖÚÂÌ, ÍÑÅÆ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ Ë ÇÏÍÑÔÕÐÑÌÍÂÐÂÎÞ ÒÑÆÍÎáÚÇÐÞ Í ÑÆÐÑÏÖ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÖ. £ àÕÑÏÔÎÖÚÂÇ ÏÑÆÇÎËÓÖÇÕÔâ ÓÇÂÎßÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÏÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ ÑÃÓÂÊÖÇÕÔâ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÐÂÎËÚËá ÒÂÓÂ-ÊËÕÐÞØ ÇÏÍÑÔÕÇÌ ÏÇÉÆÖ ÂÐÕÇÐÐÑÌ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ.

±ÑÐËÏÂâ ÄÔá ÖÔÎÑÄÐÑÔÕß ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐËâ ÓÂÊÓâÆ ÄÄËÆÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÌ ÔØÇÏÞ, ÕÇÏ ÐÇ ÏÇÐÇÇ ÑÃÓÂÕËÏÔâ ÍÓÂÔÔÏÑÕÓÇÐËá ÒÓËÄÇÆÇÐÐÑÌ Ð ÓËÔ. 15à àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÌÔØÇÏÞ ÓÂÊÓâÆÂ. ±ÎÂÊϠРàÕÑÌ ÔØÇÏÇ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâÇÕÔâ ÄÄËÆÇ ÂÍÕËÄÐÑÌ R Ë ÓÇÂÍÕËÄÐÞØ ÐÂÅÓÖÊÑÍ L1 Ë L2,ÄÍÎáÚÇÐÐÞØ ÍÂÍ Ä ËÐÆÖÍÕËÄÐÖá, ÕÂÍ Ë Ä ÇÏÍÑÔÕÐÖá ÙÇÒËÓÂÊÓâÆÂ. £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß ÑÕ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ËÆÇÕ Ð ÐÂÅÓÇÄÂÐÕÇÐÐÞ, РÐÂÅÓÇÄ ÒÎÂÊÏÞ ËÐÆÖÙËÓÑÄÂÐÐÞÏ ÕÑÍÑÏ, ÂÕÂÍÉÇ Ð ÐÂÅÓÇÄ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÒÓÑØÑÉÆÇÐËË ÕÑÍ ÚÇÓÇÊÙÇÒß, ÔÑÔÕÑâÜÖá ËÊ ÇÏÍÑÔÕÇÌ C1, C2 Ë ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ R,ÄÇÎËÚËРÍÑÕÑÓÑÅÑ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÑÏËÚÇÔÍËÏ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇ-

ÐËÇÏ ÒÎÂÊÏÞ. £ÇÎËÚËÐÞ ÇÏÍÑÔÕÇÌ C1, C2 ÑÒÓÇÆÇÎâáÕÔâÒÎÑÜÂÆßá ÑÃÍÎÂÆÑÍ ÍÑÐÆÇÐÔÂÕÑÓÂ Ë ÓÂÔÔÕÑâÐËÇÏ ÏÇÉÆÖÑÃÍÎÂÆÍÂÏË Ë ÒÎÂÊÏÑÌ, ÍÑÕÑÓÑÇ ÔÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ ËÊ ÕÑÎ-ÜËÐÞ ÔÕÇÐÑÍ Ë ÕÑÎÜËÐÞ ÔÎÑâ ÏÇÉÆÖ ÒÎÂÊÏÑÌ Ë ÔÕÇÐÍÂÏËÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÑÌ ÍÂÏÇÓÞ. ¥Îâ ÒÓÑÔÕÑÕÞ Ä ÔØÇÏÇ ÒÓÇÆÒÑÎÂ-ÅÂÇÕÔâ, ÚÕÑ ÚÂÔÕß £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÊÂÏÞÍÂÇÕÔâ ÚÇÓÇÊ ÍÑÐ-ÆÇÐÔÂÕÑÓ, ÕÑÅÆ ÍÂÍ Ä ÓÇÂÎßÐÑÏ ÓÂÊÓâÆÇ ÓÂÃÑÕÂÇÕ ÇÏ-ÍÑÔÕß ÏÇÉÆÖ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕßá ÂÐÕÇÐÐÞ Ë ÒÎÂÊÏÑÌ.

°ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÒÑÔÕÂÐÑÄÍ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÌ ÊÂÆÂÚËÅËÃÓËÆÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÑÃÜÇÏ ÔÎÖÚÂÇ âÄÎâÇÕÔâ ÑÚÇÐßÔÎÑÉÐÑÌ. ¥ÇÌÔÕÄËÕÇÎßÐÑ, Ä ÔÎÖÚÂÇ ÅËÃÓËÆÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂËÊÏÇÐÇÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÂÏÑ-ÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÏÖ ËÊÏÇÐÇÐËá ÐÇ ÕÑÎßÍÑ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊ-ÏÞ, ÐÑ Ë ÆÑÎÇÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊÇÏÍÑÔÕÐÑÌ Ë ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎÞ. °ÆÐÂÍÑ ÏÑÉÐÑ ÍÂ-ÚÇÔÕÄÇÐÐÑ ÑÙÇÐËÕß ÄÊÂËÏÐÑÇ ÄÎËâÐËÇ àÕËØ ÆÄÖØ ÍÂÐÂÎÑÄ.

±ÓË ÐËÊÍËØ ÏÑÜÐÑÔÕâØ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÍÑÅÆ ÄÑÊÐËÍ-ÐÑÄÇÐËÇ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÐÇÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÓÂÊ-ÓâÆ ÊÂÅÑÓÂÇÕÔâ Ä ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÏÑÆÇ. ¹ÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎÄ ÒÎÂÊÏÖ ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ ÏÑÜÐÑÔÕß, ÓÂÄÐÂâ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Ê ËÔÍÎáÚÇÐËÇÏ ÒÑÕÇÓß Ð ÐÂÅÓÇÄ ÂÐÕÇÐÐÞ.¿ÕÑ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÄÑÊÐËÍÐÑÄÇÐËá Ä ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÌ ÙÇÒËÑÕÎËÚÐÑÅÑ ÑÕ ÐÖÎâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ Ë ÍÒÑâÄÎÇÐËá ÄÍÎÂÆÂ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÏÑÜÐÑÔÕË ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÞÌ ÍÂÐÂÎ. ±ÑÆÚÇÓÍÐÇÏ, ÚÕÑ ÄÇÎËÚËРÄÍÎÂÆ ÏÑÜÐÑÔÕËÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÏÑÜÐÑÔÕßá,ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ. ¬ÑÐÙÇÐÕ-ÓÂÙËâ ÒÎÂÊÏÞ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÔÖÏÏÂÓÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÔÕÖ-ÒËÄÛÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÑàÍÂÐÂÎÂ. £ àÕÑÏ ÔÎÖÚÂÇ,ÑÚÇÄËÆÐÑ, ×ËÊËÚÇÔÍË ÐÇ ÑÒÓÂÄÆÂÐÑ ÔÚËÕÂÕß ÏÑÆÖ ÔÖÜÇÔÕ-ÄÑÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÐËÊÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ ÚËÔÕÑ ÇÏÍÑÔÕ-ÐÑÌ, ÕÂÍ ÍÂÍ ÔÖÏÏÂÓÐÂâ ÏÑÜÐÑÔÕß, ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÂâ ÄÒÎÂÊÏÖ, ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÐÇ ÕÑÎßÍÑ ÇÏÍÑÔÕÐÞÏ, ÐÑ Ë ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÞÏ ÍÂÐÂÎÑÏ.

±ÓË ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍËØ ÏÑÜÐÑÔÕâØ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ, ÍÑÅÆÂÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâ ÆÑÎÇÌ ÏÑÜÐÑ-ÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ, ÍÂÚÇÔÕ-ÄÇÐÐÑ ÒÑÄÇÆÇÐËÇ ÅËÃÓËÆÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÃÎËÊÍÑ Í ÒÑÄÇÆÇ-ÐËá ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÐÇÊÂÄËÔËÏÞÏË ÍÂÐÂÎÂÏË ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË. £ ÑÃÎÂÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ àÎÇÍÕÓÑ-ÐÑÄ, ÅÆÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÐÂÚËÐÂÇÕÖÏÇÐßÛÂÕßÔâ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ne, ÓÑÎß ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂ-ÄÎâáÜÇÌ ÔÕÂÐÑÄËÕÔâ ÊÐÂÚËÏÑÌ. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÏÑÉÐÑÔÆÇÎÂÕß ÄÞÄÑÆ, ÚÕÑ ÏÑÆ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÄÞÔÑ-ÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÐÇ âÄÎâÇÕÔâ ÚËÔÕÑ ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÑÌ. ¦ÏÍÑÔÕÐÂâ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÂâ ÑÍÂÊÞÄÂÇÕ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐ-ÐÑÇ ÄÎËâÐËÇ Ð ÄÇÎËÚËÐÖ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ ÄÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ.

´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÐÂÎËÚËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌÓÂÊÓâÆ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ËÊÏÇÐÇÐËá ÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÄÑÆË-ÏÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ. ¿ÕÑ ÒÓËÄÑÆËÕ ÍÔÏÇÜÇÐËá ÒÑÎÑÉÇÐËâ ÒÇÓÇØÑÆ ÓÂÊÓâÆ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞÄ ÄÞÔÑÍÖá, Ä ÑÃÎÂÔÕß ÏÇÐßÛËØ ÏÑÜÐÑÔÕÇÌ £¹-ÅÇÐÇÓÂ-ÕÑÓÂ. ±ÓË ÒÇÓÇØÑÆÇ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖáÐÂÎËÚËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÒÓÑâÄÎâÇÕÔâ Ä ÃÑÎÇÇÒÎÂÄÐÑÏ ËÊÏÇÐÇÐËË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ Ë Ä ËÔÚÇÊÐÑÄÇÐËË ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ.±ÓÇÄÞÛÇÐËÇ Ê ÔÚÇÕ ÄÍÎÂÆ ÏÑÜÐÑÔÕË ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌÍÂÐÂÎ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÄÇÎËÚËÐÞ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌàÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ ÏÂÍÔËÏÖÏÂ,ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÄÍÎÂÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÚÇÓÇÊËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ. £ ÔÄâÊË Ô àÕËÏ ×ËÊËÚÇÔÍË ÐÇ ÑÒÓÂÄ-ÆÂÐÑ ÔÑÒÑÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÏÑÆ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÔÐËÊÍÑÌ Ë ÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâÏË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ô ÇÏÍÑÔÕ-

0 50 100 150 200

0

0,2

0,4

0,6

0,8

1,0

1,2

®ÂÅÐËÕÐÑÇ ÒÑÎÇ, Ï´Î

¬ÑÐÙÇÐÕÓ

ÂÙËâàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

1011ÔÏÿ3

1

2

²ËÔ. 18. ©ÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÂÅÐËÕ-ÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓË ×ËÍÔËÓÑÄÂÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ Pind

gen

(200 £Õ), ÒËÕÂáÜÇÅÑ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ ÒÓË ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÑÜÐÑÔÕË,ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÏÑÌ ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ P cap

gen : 1ì 0, 2ì 50 £Õ.

536 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 19: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÐÑÌ Ë ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÌ ÏÑÆÂÏË, ÕÂÍ ÍÂÍ ÐÂÎËÚËÇ ÑÆÐÑÅÑÍÂÐÂΠÄÄÑÆ ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ËÊÏÇÐÇÐËáÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÆÓÖÅÑÌÍÂÐÂÎ.

6. ° ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÑÒÕËÏËÊÂÙËË ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ

£ÑÔÒÑÎßÊÑÄÂÄÛËÔß ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞÏË ÄÓÂÊÆÇÎÂØ 2 ë 5, ÒÑÒÞÕÂÇÏÔâ ÐÂÌÕË ÑÕÄÇÕÞ Ð ÒÑÔÕÂÄÎÇÐ-ÐÞÇ ÄÑ ÄÄÇÆÇÐËË ÄÑÒÓÑÔÞ, ÍÂÔÂáÜËÇÔâ ÓÂÊÓÂÃÑÕÍË ÐÑÄÞØ£¹-ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ. ±ÓÇÉÆÇ ÄÔÇÅÑ ÒÓÑÂÐÂÎËÊËÓÖÇÏÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÑÒÕËÏËÊÂÙËË ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÒÎÂÊÏÖ. ¢ÖÆÇÏ ÒÓÇÆÒÑÎÂÅÂÕß, ÚÕÑ Ô ÒÑÏÑÜßá ÔËÔÕÇÏÞÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐËâ ÄÔâ ÏÑÜÐÑÔÕß ÑÕ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÇÓÇ-ÆÂÇÕÔâ ÄÑ ÄÐÇÛÐáá ÙÇÒß, ÔÑÔÕÑâÜÖá ËÊ ÂÐÕÇÐÐÞ ËÒÎÂÊÏÞ. ¬ÂÍ ÒÑÍÂÊÂÐÑ Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 4, Ä ÓÇÂÎßÐÞØ àÍÔÒÇÓË-ÏÇÐÕÂØ ÏÑÜÐÑÔÕß £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎâÇÕÔâÏÇÉÆÖ ÆÄÖÏâ ÍÂÐÂÎÂÏË: ÒÎÂÊÏÑÌ Ë àÎÇÏÇÐÕÂÏË ÄÐÇÛÐÇÌÙÇÒË, ÑÃÎÂÆÂáÜËÏË ÂÍÕËÄÐÞÏ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇÏ, ÒÓËÚÇÏÆÑÎâ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÅÎÑÜÂÇÏÂâ ÒÎÂÊÏÑÌ, ÊÂÄËÔËÕ ÑÕÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÔÂÏÑÅÑ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ. ¿ÕÑ ÏÑÉÇÕâÄËÕßÔâ ÒÓËÚËÐÑÌ ÐËÊÍÑÌ à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕË,  ÕÂÍÉÇÐÇÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÓÂÃÑÕÞ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓËËØ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËË Ä ÖÔÕÂÐÑÄÍÂØ Ô ÓÂÊÎËÚÐÞÏË ÔËÔÕÇÏÂÏËÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐËâ, ÖÔÕÂÐÑÄÑÚÐÞÏË ×ÎÂÐÙÂÏË Ë Õ.Æ. °ÚÇ-ÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÆÎâ ÑÃÇÔÒÇÚÇÐËâ à××ÇÍÕËÄÐÞØ Ë ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑ-ÆËÏÞØ ÓÇÉËÏÑÄ ÓÂÃÑÕÞ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÐÇÑÃØÑ-ÆËÏÑ, ÚÕÑÃÞ

Pgen � Ppl 4Pant ; �20�

ÚÕÑ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑ ÕÓÇÃÑÄÂÐËá

Rpl 4Rant : �21�

¯ÂËÃÑÎÇÇ ÒÓÑÔÕÞÏ ÓÇÛÇÐËÇÏ ÒÓÑÃÎÇÏÞ âÄÎâÇÕÔâÖÏÇÐßÛÇÐËÇ à××ÇÍÕËÄÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÂÐÕÇÐÐÞ.°ÆÐÂÍÑ ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÇ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ Rant ÐÇ ÄÔÇÅÆ ÄÑÊ-ÏÑÉÐÑ. ²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂÎßÐÞØ ÓÂÃÑÕ [33, 52,53], ÒÑÔÄâÜÇÐÐÞØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËá à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕË ÄÄÑÆ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ, ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑ à××ÇÍÕËÄÐÑÇÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË Rant, ËÊÏÇÓÇÐÐÑÇ ÒÓËÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÑÔÕÂÐÑÄÍÂØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂ, ËÊÏÇÐâÇÕÔâ ÄÒÓÇÆÇÎÂØ 0,2 ë 3 °Ï, ÒÓËÚÇÏ ÐËÊÍËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ Rant ØÂÓÂÍ-ÕÇÓÐÞ ÆÎâ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ, ÒÓÑÄÑÆËÏÞØ ÔÑ ÔÕÇÍÎâÐÐÞÏËÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÞÏË ÕÓÖÃÍÂÏË, ÆÑÔÕÂÕÑÚÐÑ ÖÆÂÎÇÐÐÞÏË ÑÕÏÇÕÂÎÎËÚÇÔÍËØ àÎÇÏÇÐÕÑÄ ÖÔÕÂÐÑÄÑÍ.

²ÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÕÇÒÇÓß ÂÃÔÑÎáÕÐÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂ-ÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ. ¯ÂÚÐÇÏ Ô ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ²ÂÔÚÇÕÞ ÒÑÍÂÊÂÎË [54], ÚÕÑ ÂÃÔÑÎáÕÐÞÇÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÕÇÏ ÃÑÎßÛÇ,ÚÇÏ ÃÑÎßÛÇ ÓÂÆËÖÔ ËÔÕÑÚÐËÍÂ, ÑÆÐÂÍÑ ÆÂÉÇ ÏÂÍÔËÏÂÎß-ÐÑÇ ÊÐÂÚÇÐËÇ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞËÔÕÑÚÐËÍ ÓÂÆËÖÔÑÏ 50 ÔÏ ÐÇ ÐÂÏÐÑÅÑ ÒÓÇÄÑÔØÑÆËÕ 1 °Ï.¿ÕÑ ÑÊÐÂÚÂÇÕ, ÚÕÑ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ, ÔÑÊÆÂÄÂÇ-ÏÖá ËÔÕÑÚÐËÍÂÏË ÓÂÆËÖÔÑÏ 2,5 ÔÏ ÒÓË ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËËÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË 1 °Ï, ÏÑÉÐÑ ÄÎÑÉËÕß ÏÂÍÔËÏÖÏ 30%ÏÑÜÐÑÔÕË, ÑÕÆÂÄÂÇÏÑÌ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ ÄÑ ÄÐÇÛÐááÙÇÒß, ÒÓË àÕÑÏ 70% ÏÑÜÐÑÔÕË ÒÑÌÆÖÕ Ð ÐÂÅÓÇÄÂÐÕÇÐÐÞ, àÎÇÏÇÐÕÑÄ ÔËÔÕÇÏÞ ÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐËâ Ë Õ.Æ. µÄÇÎË-ÚÇÐËÇ ÓÂÆËÖÔ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÖÎÖÚÛËÕß ÓÇÊÖÎßÕÂÕ,ÑÆÐÂÍÑ Ë ÊÆÇÔß ÆÑÃËÕßÔâ ÄÎÑÉÇÐËâ ØÑÕâ ÃÞ 80% ÏÑÜÐÑ-ÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÐÇÄÑÊÏÑÉÐÑ.

¥Îâ ÕÑÅÑ ÚÕÑÃÞ ÐÂÌÕË ÒÖÕË ÒÑÄÞÛÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕ-ÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÏ ÄÑÊÃÖÉÆÇ-ÐËË ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, ÃÞÎË ÄÞÒÑÎÐÇÐÞÓÂÔÚÇÕÞ Rpl ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÓÅÑРÆÎâ ÓÂÊÎËÚ-ÐÞØ ÚÂÔÕÑÕ [54]. ²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÆÂÄÎÇÐËâ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÏÖ ÒÑÄÞÛÇÐËá àÍÄË-ÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ. °ÒÕËÏÂÎßÐÂâ ÓÂÃÑÚÂâÚÂÔÕÑÕ £¹-ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÊÐÂÚÇÐËÌÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞØ ÆÎâ ÓÇÂÎËÊÂ-ÙËË ÕÇØÐÑÎÑÅËÚÇÔÍÑÌ ÊÂÆÂÚË. ±ÓË ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÕË ÓÂÊÓÂ-ÃÑÕÍË ÖÔÕÓÑÌÔÕÄ, ÓÂÃÑÕÂáÜËØ ÒÓË ÒÎÑÕÐÑÔÕâØ ÒÎÂÊÏÞ1010 4 ne 4 1011 ÔÏÿ3, ÑÒÕËÏÂÎßÐÞÌ ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕËÄ ÒÎÂÊÏÖ ÏÑÉÐÑ ÑÃÇÔÒÇÚËÕß, ÓÂÃÑÕÂâ РÚÂÔÕÑÕÂØ 6 ë13 ®¤Ù, Ä ÕÑ ÄÓÇÏâ ÍÂÍ ÒÓË ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÕË ÒÑÎÖÚÇÐËâÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ ÒÎÂÊÏÞ, 1011 4 ne 44 1012 ÔÏÿ3 Ë ne > 1012 ÔÏÿ3 , ØÂÓÂÍÕÇÓÐÞØ ÆÎâ ÒÎÂÊÏÇÐ-ÐÞØ ÓÇÂÍÕÑÓÑÄ, ÒÓËÏÇÐâÇÏÞØ ÆÎâ ÕÓÂÄÎÇÐËâ ÒÑÎÖÒÓÑ-ÄÑÆÐËÍÑÄ, ÙÇÎÇÔÑÑÃÓÂÊÐÑ ÒÑÄÞÔËÕß ÚÂÔÕÑÕÖ ÆÑ 27 ®¤Ù Ë40 ®¤Ù ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ.

´ÇÒÇÓß ÓÂÔÔÏÑÕÓËÏ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ÆÎâÓÂÊÓâÆÂ Ô ÄÐÇÛÐËÏ ÏÂÅÐËÕÐÞÏ ÒÑÎÇÏ. ±ÓË ÐËÊÍËØÆÂÄÎÇÐËâØ ÄÇÎËÚËÐÞ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâÒÎÂÊÏÞ ÊÆÇÔß ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑ ÄÞÛÇ, ÚÇÏ ÊÐÂÚÇÐËâ, ÒÑÎÖÚÇÐ-ÐÞÇ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ´ÂÍ ÉÇ ÍÂÍ Ë Ä ÔÎÖÚÂÇ£¹-ËÐÆÖÍÕËÄÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ, ÊÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÄÑÊÓÂ-ÔÕÂáÕ Ô ÖÄÇÎËÚÇÐËÇÏ ÓÂÆËÖÔ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ Ë ÒÓËR5 10 cÏ ÑÃÇÔÒÇÚËÄÂáÕ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ÒÑÎÐÑÇ ÒÑÅÎÑÜÇ-ÐËÇ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÑÕÆÂÄÂÇÏÑÌ ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÑÏ ÄÑ ÄÐÇÛ-Ðáá ÙÇÒß. ¦ÔÎË Ä ÔÎÖÚÂÇ ÆËÔÍÑÑÃÓÂÊÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄÒÎÂÊÏÞ Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÄÇÎË-ÚËÐÞ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ ÐÇ ÊÂÄËÔâÕ ÑÕ ÆÎËÐÞËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ, ÕÑ Ä ÔÎÖÚÂÇ ÖÆÎËÐÇÐÐÑÅÑ ÙËÎËÐÆÓË-ÚÇÔÍÑÅÑ ËÔÕÑÚÐËÍ ÄÑÊÏÑÉÐÑ ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇ Rpl ÒÓË ÖÄÇÎË-ÚÇÐËË ÆÎËÐÞ ÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÑÌ ÍÂÏÇÓÞ. ²ÂÔÚÇÕÞ ÒÑÍÂÊÂÎË,ÚÕÑ àÕÑ ÏÑÉÇÕ ÑÍÂÊÂÕßÔâ ÒÑÎÇÊÐÞÏ ÒÓË ÓÂÊÓÂÃÑÕÍÇÖÔÕÓÑÌÔÕÄ Ô ÏÂÎÞÏ ÓÂÆËÖÔÑÏ, ÆÎâ ÍÑÕÑÓÞØ ÊÐÂÚÇÐËâ Rpl

ÏÂÎÞ, ÕÂÍ ÉÇ ÍÂÍ Ë Ä ÔÎÖÚÂÇ £¹-ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕ-ÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

¦ÜÇ ÑÆÐËÏ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÏ, ÒÑÊÄÑÎâáÜËÏ ÖÄÇÎËÚËÕßRpl, âÄÎâÇÕÔâ ÓÂÃÑÚÂâ ÚÂÔÕÑÕ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ o. ²ÂÔÚÇÕÞÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ o ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÏÖÄÑÊÓÂÔÕÂÐËá Rpl, ÑÆÐÂÍÑ ÒÓË àÕÑÏ ÏÂÍÔËÏÖÏ ×ÖÐÍÙËËRpl�B� ÔÏÇÜÂÇÕÔâ Ä ÑÃÎÂÔÕß Ão ÎßÛËØ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ.¬ÓÑÏÇ ÕÑÅÑ, ÐÂÃÎáÆÂáÕÔâ ÔËÎßÐÞÇ ÑÔÙËÎÎâÙËË ÔÑÒÓÑ-ÕËÄÎÇÐËâ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

²ÂÐÇÇ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔß, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ ÓÂÃÑÚÇÅÑÅÂÊ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËá àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄ-ÎÇÐËâ ÒÎÂÊÏÞ £¹-ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ. £ ÔÎÖÚÂÇ ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎÇÌ, ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜËØÑÃÎÂÔÕË ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ´¤-ÄÑÎÐ, ÍÂÍ ÑÕÏÇÚÂ-ÎÑÔß Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 3, ÔËÕÖÂÙËâ ÒÓâÏÑ ÒÓÑÕËÄÑÒÑÎÑÉÐÂâ ìÒËÍÑÄÞÇ ÊÐÂÚÇÐËâ Rpl ÖÃÞÄÂáÕ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÏÂÅÐËÕ-ÐÑÅÑ ÒÑÎâ. ¿ÕÑÕ ×ÂÍÕ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÖÇÕ Ä ÒÑÎßÊÖ ÙÇÎÇÔÑ-ÑÃÓÂÊÐÑÔÕË ÖÚÇÕ "ÅÇÎËÍÑÐÐÞØ" ÓÇÉËÏÑÄ £¹-ÓÂÊÓâÆÂÒÓË ÓÂÊÓÂÃÑÕÍÇ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ.

©ÐÂÚÇÐËâ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÅÑ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËâ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÔÒÑÔÑÃÂØ Ë ÖÔÎÑÄËâØ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâÒÎÂÊÏÞ, ÒÑÊÄÑÎâáÕ Ô×ÑÓÏÖÎËÓÑÄÂÕß ÓâÆ ÄÞÄÑÆÑÄ ÑÄÑÊÏÑÉÐÞØ ÒÖÕâØ ÒÑÄÞÛÇÐËâ à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕË ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ. ¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 19ÒÑÍÂÊÂÐÞ ÑÃÎÂÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØÖÆÂÇÕÔâ ÄÄÇÔÕË ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÆÑÎá £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÒÎÂÊÏÖ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÔÒÑÔÑÃÂØ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ËÐÆÖÍÕËÄ-

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 537

Page 20: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÐÑÅÑ ÓÂÊÓâÆ ÒÓË ÓÂÃÑÕÇ Ð ÚÂÔÕÑÕÇ 13,6 ®¤Ù. ¬ÂÍÑÕÏÇÚÂÎÑÔß ÄÞÛÇ, ÒÓË ÆÂÄÎÇÐËâØ, Ão ÎßÛËØ 10ÿ2 ÕÑÓÓ,ÐÂËÎÖÚÛËÌ ÔÒÑÔÑà ÑÓÅÂÐËÊÂÙËË ÓÂÊÓâÆÂì àÕÑ ËÐÆÖÍÕËÄ-ÐÞÌ ÓÂÊÓâÆ ÃÇÊ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÒÓÇÄÂÎËÓÖÇÕÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÞÌÏÇØÂÐËÊÏ ÒÑÅÎÑÜÇÐË⣹-ÏÑÜÐÑÔÕË.±ÑÐËÉÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ Ë ÕÇÏ ÔÂÏÞÏ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÓÑÎËÔÕÑÎÍÐÑÄËÕÇÎßÐÞØ ÏÇØÂÐËÊÏÑÄ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑ-ÔÕË ÒÓËÄÑÆâÕ Í ÐÇÑÃØÑÆËÏÑÔÕË ÖÔËÎÇÐËâ ÃÇÔÔÕÑÎÍÐÑÄË-ÕÇÎßÐÑÅÑ ÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË, ÚÕÑ Ä ÑÃÎÂÔÕËÐËÊÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÄÑÊÏÑÉÐÑ ÒÓË ¿¸², ÂÄ ÑÃÎÂÔÕË ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍËØ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÌ ì ÒÓË ÄÑÊÃÖÉÆÇ-ÐËË ÅÇÎËÍÑÐÑÄ Ë ÄÑÎÐ ´¤. £ ÑÃÎÂÔÕË ÐËÊÍËØ ÆÂÄÎÇÐËÌ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕß ÎÖÚÛÇ ÄÍÎÂÆÞÄÂÇÕÔâ Ä ËÔÕÑÚÐËÍË Ô ÃÑÎßÛËÏÓÂÆËÖÔÑÏ; ÒÑÄÞÔËÕß à××ÇÍÕËÄÐÑÔÕß ÄÄÑÆ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕËÄ ËÔÕÑÚÐËÍË Ô ÏÂÎÞÏ ÓÂÆËÖÔÑÏ ÏÑÉÐÑ, ÖÄÇÎËÚËÄÂâ ËÎËÆÎËÐÖ ËÔÕÑÚÐËÍÂ, ËÎË ÓÂÃÑÚÖá ÚÂÔÕÑÕÖ.

ªÔÕÑÚÐËÍË ÒÎÂÊÏÞ, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÞÇ Ð ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍËÇÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÆÑÎÉÐÞ ÃÞÕß ÑÔÐÂÜÇÐÞ ÏÂÅ-ÐËÕÐÑÌ ÔËÔÕÇÏÑÌ, ÔÑÊÆÂáÜÇÌ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÃÑÎÇÇ ÔËÎß-ÐÞÇ ÏÂÅÐËÕÐÞÇ ÒÑÎâ, ÚÇÏ ËÔÕÑÚÐËÍË, ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÞÇ ÐÂÃÑÎÇÇ ÐËÊÍËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ.

°ÚÇÄËÆÐÑ, ÚÕÑ ÔÓÞÄÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ë ÅËÔÕÇÓÇÊËÔ ÊÂÄËÔËÏÑ-ÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÄÐÇÛÐËØ ×ÂÍÕÑÓÑÄ ÔÖÜÇÔÕÄÑ-ÄÂÐËâ ÓÂÊÓâÆ âÄÎâáÕÔâ ÍÓÂÌÐÇ ÐÇÉÇÎÂÕÇÎßÐÞÏË à××ÇÍ-ÕÂÏË, Ô ÕÑÚÍË ÊÓÇÐËâ ÑÓÅÂÐËÊÂÙËË ÓÂÃÑÚËØ ÓÇÉËÏÑÄËÐÆÖÍÕËÄÐÞØËÔÕÑÚÐËÍÑÄÒÎÂÊÏÞ.£ ÔÎÖÚÂâØ, ÍÑÅÆ à××ÇÍ-ÕËÄÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÂÐÕÇÐÐÞ ÄÇÎËÍÑ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâÇÕÔâÙÇÎÇÔÑÑÃÓÂÊÐÞÏ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâá-ÜÇÌ ÓÂÊÓâÆÂ, ÒÑÊÄÑÎâáÜÇÌ ÔÕÂÃËÎËÊËÓÑÄÂÕß ÒÎÂÊÏÖ.

£ÑÊÏÑÉÐÞÇ ÓÇÛÇÐËâ ÊÂÆÂÚË ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÄÑÊÏÑÉÐÑÌ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÊÂÆÂÐÐÑÌ ÄÎÑÉÇÐÐÑÌÏÑÜÐÑÔÕË ØÑÓÑÛÑ ËÊÄÇÔÕÐÞ ËÊ ×ËÊËÍË Ë ÕÇØÐËÍË ËÔÕÑÚ-ÐËÍÑÄ ËÑÐÑÄ Ë ÒÎÂÊÏÞ, ÓÂÃÑÕÂáÜËØ ÑÕ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄÒÑÔÕÑâÐÐÑÅÑ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ [55]. ±ÑÄÞÛÇÐËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕËÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÊÂÆÂÐÐÑÏ ÖÓÑÄÐÇ ÏÑÜÐÑÔÕË ÏÑÉÇÕ ÃÞÕßÆÑÔÕËÅÐÖÕÑ Ê ÔÚÇÕ ÄÞÃÑÓ ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÅÑ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËâÏÇÉÆÖ ÆÎËÐÑÌ Ë ÆËÂÏÇÕÓÑÏ ËÔÕÑÚÐËÍ ÒÎÂÊÏÞ,  ÕÂÍÉÇÍÑÐ×ËÅÖÓÂÙËË Ë ÄÇÎËÚËÐÞ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.°ÆÐÂÍÑ Ä ÔÎÖÚÂÇ Ô £¹-ËÔÕÑÚÐËÍÂÏË ÒÎÂÊÏÞ àÕË ÖÔÎÑÄËâÆÑÎÉÐÞ ÃÞÕß ÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÞ Ô ÖÔÎÑÄËâÏË à××ÇÍÕËÄÐÑÅÑÒÑÅÎÑÜÇÐËâ £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË. ¬ÂÍ ÒÓÂÄËÎÑ, àÕÑ ÒÓËÄÑÆËÕ ÍÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÏÖ ËÊÏÇÐÇÐËá ÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ ÍÑÐÔÕÓÖÍÕËÄ-ÐÞØ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ [54].

¬ÂÍ ÑÕÏÇÚÂÎÑÔß Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 4, ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÄÇÎËÚËÐÞÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕÄÇÐ-ÐÑÏÖ ÒÇÓÇÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËá ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ. ¯Â ÓËÔÖÐ-ÍÇ 20 ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÓÂÔÔÚËÕÂÐÐÞÇ ÓÂÆËÂÎßÐÞÇ ÊÂÄËÔË-ÏÑÔÕË £¹-àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËØ ÒÑÎÇÌ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ ÒÓË ÓÂÊÎËÚ-ÐÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ [46]. ¬ÂÍ ÄËÆÐÑ, ÒÓËÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ, ÃÎËÊÍËØ ÒÑ ÄÇÎËÚËÐÇ Í ÊÐÂÚÇÐËá Bmax,ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÖáÜÇÏÖ ÏÂÍÔËÏÖÏÖ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË àÎÇÍÕÓÑ-ÐÑÄ, àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÇ ÒÑÎâ ÄÑÎÐ ÒÓÑÐËÍÂáÕ Ä ÑÃÝÇÏ ÒÎÂÊ-ÏÞ, Ä ÕÑ ÄÓÇÏâ ÍÂÍ ÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ, ÔÖÜÇÔÕÄÇÐÐÑÏÇÐßÛËØ Ë Ão ÎßÛËØ Bmax, ÄÑÎÐÞ âÄÎâáÕÔâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕ-ÐÞÏË. °ÕÏÇÚÇÐÐÂâ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ØÂÓÂÍÕÇÓРÆÎâ ÑÕÐÑÔË-ÕÇÎßÐÑ ÆÎËÐÐÞØ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄ ÒÎÂÊÏÞ [46]. £ ÍÑÓÑÕÍËØËÔÕÑÚÐËÍÂØ ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÎáÃÞØ ÊÐÂÚÇÐËâØ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑÒÑÎâ ÄÑÎÐÞ âÄÎâáÕÔâ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÞÏË [46]. °ÙÇÐÍÂÎÂÓÏÑÓÑÄÔÍÑÅÑ ÓÂÆËÖÔ ÒÓË ÏÂÅÐËÕÐÞØ ÒÑÎâØ, Ão ÎßÛËØ1 Ï´Î, ÆÎâ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ô àÐÇÓÅËÇÌ, ÏÇÐßÛÇÌ 10 à£,ÔÑÔÕÂÄÎâáÜËØ ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÑ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ, ÐÇÒÓÇÄÞÛÂÇÕ 1 ÔÏ. ¿ÕÑ ÆÂÇÕ ÑÔÐÑÄÂÐËÇ ÒÑÎÂÅÂÕß, ÚÕÑ ÄÄÑÆ£¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ Ä ÓÂÆËÂÎßÐÑÏ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËËÑÔÖÜÇÔÕÄÎâÇÕÔâ ÎÑÍÂÎßÐÑ. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÒÓÑÔÕÓÂÐÔÕ-ÄÇÐÐÑÇ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÏÑÉÐÑ ËÊÏÇ-ÐâÕß, ÄÂÓßËÓÖâ ÄÇÎËÚËÐÖ ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ËÆÎËÐÖ ÅÂÊÑÓÂÊÓâÆÐÑÌ ÍÂÏÇÓÞ. ¯ÂËÃÑÎÇÇ ÑÆÐÑÓÑÆÐÖáÒÎÂÊÏÞ ÏÑÉÐÑ ÒÑÎÖÚËÕß, ËÔÒÑÎßÊÖâ ÏÂÅÐËÕÐÞÇ ÒÑÎâ,ÃÎËÊÍËÇ ÒÑ ÄÇÎËÚËÐÇ Í Bmax, ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÒÎÂÊÏÞ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ ÏÂÍÔËÏÖÏÂ.

7. ©ÂÍÎáÚÇÐËÇ

²ÇÊÖÎßÕÂÕÞ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ Ä ÒÑÔÎÇÆÐËÇ ÅÑÆÞ, ÍÂÍ àÍÔÒÇÓË-ÏÇÐÕÂÎßÐÞÇ, ÕÂÍ Ë ÕÇÑÓÇÕËÚÇÔÍËÇ, ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑÒÂÓÂÏÇÕÓÞ ÒÎÂÊÏÞ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆ ÊÂÄËÔâÕÑÕ ÒÑÕÇÓß ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÑ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË Ë ÄÇÎËÚËÐ ÏÑÜÐÑ-ÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ Ä ÓÂÊÓâÆ ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ Ë ÇÏÍÑÔÕ-ÐÑÌ ÍÂÐÂÎÞ. ±ÂÓÂÏÇÕÓÞ ÒÎÂÊÏÞ, Ô ÑÆÐÑÌ ÔÕÑÓÑÐÞ,ÑÒÓÇÆÇÎâáÕÔâ ÄÇÎËÚËÐÂÏË ÒÑÅÎÑÜÇÐÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË,  ÔÆÓÖÅÑÌ ÔÕÑÓÑÐÞ, ÔÂÏË ÑÒÓÇÆÇÎâáÕ ÍÂÍ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇÏÑÜÐÑÔÕÇÌ, ÒÑÔÕÖÒÂáÜËØ Ä ÓÂÊÐÞÇ ÍÂÐÂÎÞ, ÕÂÍ Ë ÄÍÑÐÇÚÐÑÏ ÔÚÇÕÇ ÏÑÜÐÑÔÕß, ÒÑÅÎÑÜÂÇÏÖá ÒÎÂÊÏÑÌ. ¿ÕÑÑÃÖÔÎÑÄÎËÄÂÇÕ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÞÌ ØÂÓÂÍÕÇÓ ÓÂÊÓâÆÂ.¯ÂËÃÑÎÇÇ âÓÍÑ ÔÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÔÕß ÒÓÑâÄÎâÇÕÔâ Ä ÔËÎß-ÐÑÌ ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÑÔÕË ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ

¤ÇÎËÍÑÐÐÞÌÓÂÊÓâÆ

10ÿ4109

1010

1011

1012

1013

10ÿ3 10ÿ2 10ÿ1 100 101

²ÂÊÓâÆ ÃÇÊÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ

ÒÑÎâ

¤ÇÎËÍÑÐÐÞÌÓÂÊÓâÆ

¿¸²

¥ÂÄÎÇÐËÇ, ÕÑÓÓ

±ÎÑÕÐ

ÑÔÕßàÎÇÍÕÓ

ÑÐÑÄ,

ÔÏÿ3

²ËÔ. 19. °ÃÎÂÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ, ÒÓË ÍÑÕÑÓÞØ ÖÆÂÇÕÔâ ÄÄÇÔÕËÏÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÆÑÎá £¹-ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ ÒÓË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÔÒÑÔÑ-ÃÂØ ÄÑÊÃÖÉÆÇÐËâ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÊÓâƠРÚÂÔÕÑÕÇ 13 ®¤Ù.

00,,11 00,,22 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0

r=R

0

1,0

0,8

0,6

0,4

0,2

L � 15 ÔÏ

¡ÏÒÎËÕÖ

Æ£¹-ÒÑÎâ,

ÑÕÐ

.ÇÆ.

²ËÔ. 20. ²ÂÔÚÇÕÐÑÇ ÓÂÆËÂÎßÐÑÇ ÓÂÔÒÓÇÆÇÎÇÐËÇ ÂÏÒÎËÕÖÆÞ £¹-ÒÑÎÇÌÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ËÐÆÖÍÙËË ÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ ÆÎâ ËÔÕÑÚÐËÍÑÄÒÎÂÊÏÞ ÓÂÆËÖÔÑÏ R � 7;5 ÔÏ Ë ÆÎËÐÑÌ 15 ÔÏ; * ì B � 1 Ï´Î, * ìB � 2;5 Ï´Î, & ì B � 3;5 Ï´Î, & ì B � 5 Ï´Î, ! ì B � 10 Ï´Î.

538 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008

Page 21: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

ÑÕ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ Ë ÔÓÞÄÂØ ÓÂÊÓâÆÂ. ©ÐÂÚËÕÇÎßÐÞÇÒÑÕÇÓË ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÑ ÄÐÇÛÐÇÌ ÙÇÒË Ë ÐÇÏÑÐÑÕÑÐÐÂâÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÔÒÑÔÑÃÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÑÅÎÑÜÂÕß £¹-ÏÑÜ-ÐÑÔÕß ÑÕ ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÓËÄÑÆâÕ Í ÐÂÔÞÜÇÐËáÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇ-ÓÂÕÑÓÂ Ë ÒÑâÄÎÇÐËá ÅËÔÕÇÓÇÊËÔ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÒÂÓÂÏÇÕ-ÓÑÄ ÒÎÂÊÏÞ ÑÕ ÄÇÎËÚËÐÞ ÏÑÜÐÑÔÕË £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ËÄÐÇÛÐÇÅÑ ÏÂÅÐËÕÐÑÅÑ ÒÑÎâ.

¯ÂÎËÚËÇ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÓÂÊÓâÆ ÑÃÖÔÎÑÄ-ÎËÄÂÇÕ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÆÑÎË ÏÑÜÐÑÔÕË, ÄÄÑÆËÏÑÌ Ä ÒÎÂÊÏÖÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ. ¿ÕÑ ÄÞÊÞÄÂÇÕ ÔÏÇÜÇÐËÇÒÑÎÑÉÇÐËâ ÒÇÓÇØÑÆ ÓÂÊÓâÆ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ Ä ÄÞÔÑÍÖáÄ ÑÃÎÂÔÕß ÏÇÐßÛËØ ÏÑÜÐÑÔÕÇÌ £¹-ÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ. ±ÓËÒÇÓÇØÑÆÇ ËÊ ÐËÊÍÑÌ ÏÑÆÞ ÓÂÊÓâÆÂ Ä ÄÞÔÑÍÖá ÐÂÎËÚËÇÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÔÑÔÕÂÄÎâáÜÇÌ ÒÓÑâÄÎâÇÕÔâ Ä ÃÑÎÇÇ ÒÎÂÄÐÑÏËÊÏÇÐÇÐËË ÒÎÑÕÐÑÔÕË ÒÎÂÊÏÞ Ô ÄÑÊÓÂÔÕÂÐËÇÏ ÏÑÜÐÑÔÕËÅÇÐÇÓÂÕÑÓÂ Ë Ä ËÔÚÇÊÐÑÄÇÐËË ÅËÔÕÇÓÇÊËÔÂ. µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÊÂÔÚÇÕ ÄÍÎÂÆ ÏÑÜÐÑÔÕË ÚÇÓÇÊ ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ÍÂÐÂÎ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂ-ÙËË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ, ÒÓÇÄÞÛÂáÜËØ ÄÇÎËÚËÐÖ,ÒÓË ÍÑÕÑÓÑÌ àÍÄËÄÂÎÇÐÕÐÑÇ ÔÑÒÓÑÕËÄÎÇÐËÇ ÆÑÔÕËÅÂÇÕÏÂÍÔËÏÖÏÂ, ÒÓËÄÑÆËÕ Í ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÄÍÎÂÆ £¹-ÏÑÜÐÑ-ÔÕË ÚÇÓÇÊ ËÐÆÖÍÕËÄÐÞÌ ÍÂÐÂÎ. ¶ËÊËÚÇÔÍË ÐÇ ÑÒÓÂÄÆÂÐÑÔÑÒÑÔÕÂÄÎÇÐËÇ ÏÑÆ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑÅÑ £¹-ÓÂÊÓâÆÂ Ô ÐËÊÍÑÌ ËÄÞÔÑÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËâÏË àÎÇÍÕÓÑÐÑÄ Ô ÇÏÍÑÔÕÐÑÌ ËËÐÆÖÍÕËÄÐÑÌ ÏÑÆÂÏË, ÕÂÍ ÍÂÍ ÐÂÎËÚËÇ ÑÆÐÑÅÑ ÍÂÐÂÎÂÄÄÑÆ ÏÑÜÐÑÔÕË Ä ÒÎÂÊÏÖ ÒÓËÄÑÆËÕ Í ËÊÏÇÐÇÐËá ÆÑÎËÏÑÜÐÑÔÕË, ÒÑÔÕÖÒÂáÜÇÌ Ä ÒÎÂÊÏÖ ÚÇÓÇÊ ÆÓÖÅÑÌ ÍÂÐÂÎ.

µÕÑÚÐÇÐËÇ ÍÂÓÕËÐÞ ×ËÊËÚÇÔÍËØ ÒÓÑÙÇÔÔÑÄ Ä ËÐÆÖÍ-ÕËÄÐÑÏ£¹-ÓÂÊÓâÆÇ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÒÑÊÄÑÎâÇÕ ÑÒÕËÏË-ÊËÓÑÄÂÕß ÒÂÓÂÏÇÕÓÞ ÒÎÂÊÏÇÐÐÞØ ÖÔÕÓÑÌÔÕÄ, ÓÂÃÑÕÂá-ÜËØ Ð ÇÅÑ ÑÔÐÑÄÇ.

¢ÎÂÅÑÆÂÓÐÑÔÕË. ¡ÄÕÑÓ ÒÓËÐÑÔËÕ ÅÎÖÃÑÍÖá ÃÎÂÅÑÆÂÓ-ÐÑÔÕß ¡ÐÓË ¡ÏÄÓÑÔËÇÄËÚÖ ²ÖØÂÆÊÇ Ë ¡ÐÆÓÇá ¶ÇÆÑÓÑ-ÄËÚÖ ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄÖ Ê ËÐÕÇÓÇÔ Í ÓÂÃÑÕÇ, ÏÐÑÅÑÚËÔÎÇÐÐÞÇÑÃÔÖÉÆÇÐËâ Ë ÒÑÎÇÊÐÞÇ ÊÂÏÇÚÂÐËâ, ÔÆÇÎÂÐÐÞÇ ÒÓË ÒÓÑ-ÚÕÇÐËË ÓÖÍÑÒËÔË.

³ÒËÔÑÍ ÎËÕÇÓÂÕÖÓÞ

1. Thomson J J Philos. Mag. 32 321 (1891)

2. Hittorf W Ann. Phys. Chem. 21 90 (1884)

3. Townsend J S, Donaldson R H Philos. Mag. 5 178 (1928)

4. Townsend J S, Donaldson R H Philos. Mag. 7 600 (1929)

5. MacKinnon K A Philos. Mag. 8 605 (1929)

6. Godyak V A "Plasma phenomena in inductive discharges", in

Invited Papers from the 30th European Physical Soc. Conf. on

Controlled Fusion and Plasma Physics (St. Petersburg), Russia, 7 ±

11 July 2003; Plasma Phys. Control. Fusion 45 A399 (2003)

7. Hopwood J Plasma Sources Sci. Technol. 1 109 (1992)

8. Loeb H W "Recent work on radio frequency ion thrusters" J.

Spacecraft Rockets 8 494 (1971)

9. Godyak V A, Alexandrovich BM, Piejak R B,US Patent 5,834,905

(November 19, 1998)

10. Stevens J E "Electron cyclotron resonance plasma sources", inHigh

Density Plasma Sources: Design, Physics, and Phenomena (Ed.

O A Popov) (Park Ridde, NJ: Noyes Publ., 1995) p. 312

11. Uchida T Jpn. J. Appl. Phys. 33 L43 (1994)

12. Tsuboi H et al. Jpn. J. Appl. Phys. 34 2476 (1995)

13. Yoshida Z, Uchida T Jpn. J. Appl. Phys. 34 4213 (1995)

14. Uchida T J. Vac. Sci. Technol. A 16 1529 (1998)

15. Uchida T, Jpn. Patents 07-090632, 08-078188, 07-263190 (1994)

16. ¡ÓÔÇÐËÐ ¡ £, ­ÇÌÏÂÐ £ ¤, ´ÂÓÂÍÂÐÑÄ £ ± ¬ÓÂÕÍËÇ ÔÑÑÃÜÇÐËâ

ÒÑ ×ËÊËÍÇ ¶ª¡¯ (4) 19 (2003) [Arsenin A V, Leiman V G,

Tarakanov V P Bull. Lebedev Phys. Inst. (4) 15 (2003)]

17. Boswell R W,US Patent 4,810,935 (March 7, 1989)

18. Chen F F, "Helicon plasma sources", in High Density Plasma

Sources: Design, Physics, and Phenomena (Ed. O A Popov) (Park

Ridde, NJ: Noyes Publ., 1995) p. 1

19. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶ Ë ÆÓ. ¨´¶ 64 (11) 53 (1994) [Aleksandrov A F

et al. Tech Phys. 39 1118 (1994)]

20. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶ Ë ÆÓ., ±ÂÕÇÐÕ ²¶ 2095877

21. ³ËÎËÐ £±, ²ÖØÂÆÊÇ ¡¡¿ÎÇÍÕÓÑÏÂÅÐËÕÐÞÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÎÂÊÏÞ Ë

ÒÎÂÊÏÑÒÑÆÑÃÐÞØ ÔÓÇÆ (®.: ¤ÑÔÂÕÑÏËÊÆÂÕ, 1961)

22. ¤ËÐÊÃÖÓÅ £ ­, ²ÖØÂÆÊÇ ¡ ¡ £ÑÎÐÞ Ä ÏÂÅÐËÕÑÂÍÕËÄÐÑÌ ÒÎÂÊÏÇ

(®.: ¯ÂÖÍÂ, 1970)

23. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶, ¢ÑÅÆÂÐÍÇÄËÚ ­ ³, ²ÖØÂÆÊÇ ¡ ¡ °ÔÐÑÄÞ

àÎÇÍÕÓÑÆËÐÂÏËÍË ÒÎÂÊÏÞ (®.: £ÞÔÛÂâ ÛÍÑÎÂ, 1978) [Trans-

lated into English: Aleksandrov A F, Bogdankevich L S, Ru-

khadze A A Principles of Plasma Electrodynamics (Berlin: Springer-

Verlag, 1984)]

24. ¬ÑÐÆÓÂÕÇÐÍÑ ¡ ¯ ±ÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËÇ ÒÑÎâ Ä ÒÎÂÊÏÖ (®.: ¡ÕÑÏËÊ-

ÆÂÕ, 1979)

25. Lieberman M A, Lichtenberg A J Priniciples of Plasma Discharges

and Materials Processing (New York: Wiley, 1994)

26. Boswell R W Phys. Lett. A 33 457 (1970)

27. Boswell R W Plasma Phys. Control. Fusion 26 1147 (1984)

28. Boswell R W, Henry D Appl. Phys. Lett. 47 1095 (1985)

29. Chen F F "Helicon plasma sources", in High Density Plasma

Sources: Design, Physics, and Phenomena (Ed. O A Popov) (Park

Ridde, NJ: Noyes Publ., 1995) p. 1

30. Kolobov V I, Economou D J Plasma Sources Sci. Technol. 6 R1

(1997)

31. Chen F F Phys. Plasmas 8 3008 (2001)

32. Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich B M Plasma Sources Sci.

Technol. 11 525 (2002)

33. Miljak D G, Chen F F Plasma Sources Sci. Technol. 7 61 (1998)

34. Blackwell D D, Chen F F Plasma Sources Sci. 10 226 (2001)

35. Chen F F Plasma Phys. Control. Fusion 33 339 (1991)

36. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶ Ë ÆÓ. ¨´¶ 64 (11) 53 (1994) [Aleksandrov A F

et al. Tech Phys. 39 1118 (1994)]

37. Shamrai K P, Taranov V B Plasma Sources Sci. Technol. 5 474

(1996)

38. Turner M M, Lieberman M A Plasma Sources Sci. Technol. 8 313

(1999)

39. Thomson J J Philos. Mag. 4 1128 (1927)

40. Piejak R B, Godyak V A, Alexandrovich B M Plasma Sources Sci.

Technol. 1 179 (1992)

41. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶ Ë ÆÓ. ¶ËÊËÍ ÒÎÂÊÏÞ 30 434 (2004) [Aleksan-

drov A F et al. Plasma Phys. Rep. 30 398 (2004)]

42. £ÂÄËÎËÐ ¬ £ Ë ÆÓ. ¨´¶ 74 (5) 44 (2004) [Vavilin K V et al. Tech.

Phys. 49 565 (2004)]

43. £ÂÄËÎËÐ ¬ £ Ë ÆÓ. ¨´¶ 74 (6) 25 (2004) [Vavilin K V et al. Tech.

Phys. 49 686 (2004)]

44. £ÂÄËÎËÐ ¬ £ Ë ÆÓ. ¨´¶ 74 (6) 29 (2004) [Vavilin K V et al. Tech.

Phys. 49 691 (2004)]

45. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶ Ë ÆÓ. ¶ËÊËÍ ÒÎÂÊÏÞ 30 434 (2004) [Aleksan-

drov A F et al. Plasma Phys. Rep. 30 398 (2004)]

46. ¡ÎÇÍÔÂÐÆÓÑÄ ¡ ¶ Ë ÆÓ. ±ÓËÍÎÂÆÐÂâ ×ËÊËÍ (4) 70; (5) 72 (2005);

(1) 36; (2) 41; (4) 54; (5) 33; (5) 39 (2006)

47. Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich B M J. Appl. Phys. 85 703

(1999)

48. Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich B M Plasma Sources Sci.

Technol. 3 169 (1994)

49. Cunge G et al. Plasma Sources Sci. Technol. 8 576 (1999)

50. El-Fayoumi I M, Jones I R, Turner MM J. Phys. D: Appl. Phys. 31

3082 (1998)

51. Suzuki K et al. Plasma Sources Sci. Technol. 7 13 (1998)

52. Godyak V Plasma Phys. Control. Fusion 45 A399 (2003)

53. Lee H-J, Yang I-D,WhangK-WPlasma Sources Sci. Technol. 5 383

(1996)

´. 178, å 5] ª¯¥µ¬´ª£¯½« £½³°¬°¹¡³´°´¯½« ²¡©²Á¥ ¯ª©¬°¤° ¥¡£­¦¯ªÁ 539

Page 22: Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы

54. Alexandrov A F et al. "On the possibilities of RF ion thrusters

optimization", in 29th Intern. Electric. Propulsion Conf. (IEPCO5),

Princeton, NJ, October 31 ±November 4, 2005

55. ±ÎÂÊÏÇÐÐÞÇ ÖÔÍÑÓËÕÇÎË Ë ËÑÐÐÞÇ ËÐÉÇÍÕÑÓÞ (°ÕÄ. ÓÇÆ.

¯ ± ¬ÑÊÎÑÄ, ¡ ª®ÑÓÑÊÑÄ) (®.: ¯ÂÖÍÂ, 1984)

Plasma sources using RF low pressure inductive discharge: optimization aspects

E.A. Kral'kina

M.V. Lomonosov Moscow State University, Physics Department,

Vorob'evy gory, 119992 Moscow, Russian Federation

Tel. (7-495) 939-47 73

E-mail: [email protected]

Although plasma reactors and ions sources operating on the principle of RF inductive discharge have been a vital component tomodernearth and space technologies for several decades, the ever increasing and changing requirements on the part of plasma technologies callfor improving old and developing new and promising device models. A crucial factor in developing inductive plasma sources is to createproper conditions for RF power to be absorbed by plasma. In recent years it has become evident that in the case of RF low pressureinductive discharge the power of the RF generator is distributed between the external circuit and plasma and that there are two channelsof power input to plasma: and inductive one, which exists due to the current through the inductor or the antenna; and a capacitive one,due to the antenna- to-plasma capacitive coupling. Those aspects of the behavior of the RF inductive discharge that are due to the RFpower distribution between the channels are examined. Absorption mechanisms for RF power are reviewed. Optimization possibilitiesfor plasma sources operating on the RF inductive discharge are discussed.

PACS numbers: 52.40.Fd, 52.50. ± b, 52.80.Pi DOI: 10.3367/UFNr.0178.200805f.0519

Bibliography Ð 55 references Received 25 June 2007, revised 12 November 2007

Uspekhi Fizicheskikh Nauk 178 (5) 519 ± 540 (2008) Physics ±Uspekhi 51 (5) (2008)

540 ¦.¡. ¬²¡­¾¬ª¯¡ [µ¶¯ 2008


Recommended