目次
2
終了
3 準備・始動 4 試料の準備 挿入
7 二次電子像の観察
6 電子線の発生
11 反射電子像の観察 10 STEM 像の観察
11 画像の調整 12 非点収差補正 13 画像の保存
14 試料交換の方法 15 観察の終了
18 MENU階層1
16 装置の停止
17 フラッシングとメニューボタン変更
21 停電時および装置完全停止
22 停電復帰後および装置立ち上げ時
19 MENU階層2
23 試料室に空気を導入時の操作
準備・始動
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1 . DISPLAY SW を ON にして 装置を立ち上げる
2 . SU-8000 をクリック
3 . パスワードは無く リターンを押す
4 . HV 表示部をクリックして HV 設定 メニューを表示させる
5 . フラッシングをするよう表示されたら、フラッシング 強度が2であることを確認して実行する
PC-SEM が起動
試料の準備 挿入
4
1 試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする
2 試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう 調整して、ローレットがきってあるネジで固定する
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3 オペレーションパネル / ステージで試料サイズを 2inches で試料の横幅を設定する 試料高さは Standard を選択
4 加速電圧が OFF であることを確認する 原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する Zは8 mm も確認
Standard
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5 AIR を押し試料交換室が大気になるとブザー が鳴る6 試料交換室を手前に引き、試料交換室 を押さえながら交換棒を押し出すUNLOCK にした交換棒の先端に試料ホル ダーをセットし、交換棒をLOCK にして試料ホルダーを セットする7 交換室を押さえながら交換棒を引き、カチッと音がするまで引く
8 交換室を押し、 EVAC ボタンを押して真空が 上がるとブザーが鳴る9 OPEN ボタンを押して試料交換室のガラス 窓から覗き、ゆっくり交換棒を押してXc ランプがつくまで押し込んで試料をセット する
10 交換棒を UNLOCK にし、 交換棒がカチッと音が するまで引く
11 CLOSE ボタンを押すと ブザー音が鳴る
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電子線の発生1.ステージで試料サイズ・高さを入力する
2.基本 / 電子光学系条件 プローブ電流 Norm EDSで感度が弱いときは High にする WD 8.0mm 検出器 SE
3.加速電圧を ON 通常は 15kV
試料は時計方向に90 ° 回転して観察される
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二次電子像の観察
オート画像調整
スキャンスピード
スキャンの開始・停止 オートフォーカス
アパーチャーアライメント ダイレクトセーブ
クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブ
キャプチャーボタン右のアルファベットがスピード
フォーカス
Fine Coarse
明るさ
コントラスト
倍率
イメージシフト
非点補正・軸調整
低倍 高倍切り替え
オートブライトコントロール
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反射電子像の観察1.ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入 するこの際Zは必ず7 mm以上にする
2.ステージタブの BSE がオレンジになっていることを確認する
3.ステージタブの信号選択で PDBSE を選択する
4.詳細設定から検出器の設定をする5.素子の組み合わせで3つの 構成が選べる
非点収差補正
12
非点収差がない場合 フォーカスで均一にぼやける
非点収差がある場合 フォーカスで不均一にぼやける
アンダーフォーカス 最良点 オーバーフォーカス
ぼけの方向が違ってくる
AUTO(STIGM)自動で非点補正をする
STIGMA/ALIGNMENT X Y
注:非点補正をするときはフォーカスをあわせながら調整する
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信号による特質
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信号電子 性質 場面
SE 信号量が多く、検出効率も高い
最表面で発生し高分解能
エッジコントラストが強い
電位コントラストが得られる
チャージアップの影響を受けやす
い
チャージアップしない試料の一般観察
試料最表面の超高分解能形態観察に有利
LA-BSE 信号量は少ない
組成情報と形状情報が混在
内部情報が得られる
エッジコントラストが弱い
チャージアップの影響が小さい
チャージアップする試料の一般観察
組成情報の強調
エッジコントラストの低減
適用可能分野が比較的広い
HA-BSE 信号量は少ない
組成情報多く、形状情報は少ない
内部情報が得られる
エッジコントラストが弱い
チャージアップの影響が小さい
組成コントラストの強調
内部情報の観察
材料によっては、信号の発生率が極めて
小さい
画像の保存
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1.スキャンスピード Slow で画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影
2.画像リスト内の必要な画像を 選択(黄色の枠内)し、 保存ボタンを押す
クイックセーブのときは ファイル / クイックセーブから保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を自動でつけて保存してくれる
試料交換の方法
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1.加速電圧を OFF
2.試料位置を原点に戻す
3. OPEN ボタンを押しブザー音がなる
4.交換棒を UNLOCK にして試料室内に止まる までの挿入する
5.交換棒を LOCK にして鏡体内を覗きながら 交換棒をストッパーがかかるまで引く
6. CLOSE ボタンを押しブザー が鳴ったら AIR ボタンを押して、 ブザーが鳴るまで待つ
7.交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 交換棒を UNLOCK(時計回り)にして試料を外す
観察の終了
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1.加速電圧を OFF
2.試料位置を原点に戻す
3. OPEN ボタンを押しブザー音がなる
4.交換棒を UNLOCK にして試料室内に止まる までの挿入する
5.交換棒を LOCK にして鏡体内を覗きながら 交換棒をストッパーがかかるまで引く6. CLOSE ボタンを押しブザー
が鳴ったら AIR ボタンを押して、 ブザーが鳴るまで待つ7.交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 交換棒を UNLOCK(時計回り)にして試料を外す
8.交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けて EVAC を押す
装置の停止
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3.コンソール右の DISPLAY スイッチを OFF にする チラーの電源と連動しているので、忘れない ように
1.交換室パネルのEVACが点灯していることを 確認する
2. PC-SEM と Windows を終了する
OFF
停電時および装置完全停止時の操作
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1.日常停止操作を行う2.排気系操作パネルのEVAC POWER スイッチを OFF にする
3.対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ35分後に停止する 排気系操作パネルの表示部に POFF が表示されれば停止完了です4.排気系操作パネルのイオンポンプの電源 スイッチ (IP 1—3) を OFF にする ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、 IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE の各ブレーカーを OFF にした後、 MAIN ブレーカーを OFF にする5.配電盤のブレーカーを OFF にする
停電復帰後および装置立ち上げ時
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1.配電盤の電源ブレーカーを投入する。 冷却水を流し(本体背面の流量 メーターが 1.0~ 1.5L/min であることを確認2.ディスプレイ背面の電源ブレーカーのMAIN ブレーカーを ON にする停電で停止した場合、ブレーカーが OFF になっていない場合はいったんすべてのブレーカーを OFF にしてから電源を投入して下さい
3. IP,EVAC,DISPLAY の各ブレーカーを ON にする。 (OUTER BAKE は通常は OFF)
4.排気系操作パネルの STAGE POWER,EVAC POWER, イオンポンプ電源 SW(IP 1---3) を ON にするリセットSWのランプが点灯しないときはリセットSWを押す