Настоящее и будущее микротехнологий или как...

Настоящее и будущее микротехнологий или как подковать робота-блоху

МИЭТ, кафедра "Микроэлектроника"

Зеленоград, 2010

Поговорим:Поговорим:о техникео тульском Левшео роботахо микроэлектроникео микромеханике о будущем

Человек и техникаЧеловек и техника

БыстрееБыстрее

www.images.yandex.ru

www.images.yandex.ru

ВышеВыше

www.images.yandex.ru

www.images.yandex.ru

СильнееСильнее

www.russian.people.com.cn

Тульский ЛевшаТульский Левша

www.liveinternet.ru

Николай Алдунин

Тульская блохаТульская блоха

www.nik-aldunin.narod.ru

www.nik-aldunin.narod.ru

• 1 подкова = 0,00000004419 г (44 нг)

золота• 1 г золота = 22 629 544 подковы• 22 629 544 подковы = 5 млн. блох

50 мкм

РуководствоРуководствоо высоких технологияхо высоких технологиях

www.images.yandex.ru

Д. Медведев о блохеД. Медведев о блохе

www.nik-aldunin.narod.ru

Круто!

В. Путин о роботе из МИЭТаВ. Путин о роботе из МИЭТа

Здорово!

Проектирование в Autodesk Inventor

Программируемая резка

Высокое мастерствоВысокое мастерствоилиили

высокие технологии?высокие технологии?

Создание миниатюрСоздание миниатюрзависит от субъективных факторов

ручной трудтребует специализированных

навыковтребует таланта исполнителя

Создание роботовСоздание роботовне зависит от субъективных

факторов воспроизводимость автоматизированное

проектированиеавтоматизированное производство

диаметр человеческого волоса

75-100 мкм

диаметр "подковы"

50 мкм

уровень технологиисовременных ИС

0,045-0,13 мкм

Для сравненияДля сравнения

Intel dual core

410 000 000 транзисторов

300 000 000 000 операций в секунду

MANIAC•Создатель: лаборатория "Los Alamos"•Год: 1952•Стоимость: 200 000 ﹩•Память: 40 Кбит•Скорость: 12 000 операций в секунду

транзистор(1947 г.)

интегральная схема (1958 г.)

лампа((1904 г.) г.)

1 0 бинарный код

0101000110101010101110100011011100110111111111111100010101000000000100000011111110001010100000101010100000001110001110110111010101011000000111101101111110000000011011000000011010000000011110000110101010101101001010101001011000111101000000101111100000000000011110001101001010101010101100000101000000000000111100000000101111010110000111100000000011111100010100010100101001000011101000000101010101000001010100001010101010100100100101101010101010001111111110000001001000100000000010001

Год 1993 1999 2002 2005 2006 2007

Уровень технологии

800 нм 250 нм 130 нм 90 нм 65 нм 45 нм

Процессор Intel® Pentium®

Intel® Pentium® III

Intel® Pentium® 4

Intel® Pentium®D

Intel® Core™ 2 Duo

Intel® Core™ 2 Duo

Развитие технологийГод 1971 1978 1989 1999 2002 2007

Количествотранзисторов

2 300 29 000 1 200 000 9 500 000 42 000 000 410 000 000

Процессор Intel® 4004 Intel® 8086 Intel® 486 Intel® Pentium® III

Intel® Pentium® 4

Intel® Core™ 2 Duo

Кремний (Кремний (SiSi)) – – основа микроэлектроникиоснова микроэлектроники

0,543 нм0,543 нм

МЭМСМЭМСММикроикро

ЭЭлектролектро

ММеханическиееханические

ССистемыистемы

микромеханика электроника

МЭМС – ...МЭМС – ...

Применение...Применение...

датчики ускорения (акселерометры)датчики угловой скорости (гироскопы)датчики давлениямикроболометры (тепловидение)микроактюаторы (микроприводы,

микродозаторы)

Классы МЭМСКлассы МЭМС

Johns Hopkins University

...что это?

Johns Hopkins University

гироскопыакселерометрыдатчики давленияинклинометрымикроактюаторы

МИЭТКафедра микроэлектроники

МИЭТКафедра микроэлектроники

Жидкостное травление Плазмохимическое травление

Кафедра микроэлектроники МИЭТ+7(499)720-87-68e-mail: spt@miee.ru

Лаборатория роботов+7(499)720-87-68e-mail: b _i_m@mail.ru