«Исследование дефектности тонких пленок алюминия»

Группа: ИУ4-112

Студент: Сухов П.Е.

Руководитель: Миронов Ю.М.

1

Цель работы

Изучение теоретических основ высоковакуумной сканирующей туннельной микроскопии высокого разрешения. Освоение работы сверхвысоковакуумного сканирующего зондового микроскопа JSPM4610A. Получение топографии поверхности исследуемого образца в режиме постоянного туннельного тока.

6

Теоретические основы сканирующей туннельной микроскопии

7

Туннелирование электронов

8

Теория туннелирования электронов

9

Подход Бардина – Терсоффа – Хамана к описанию туннельного тока

10

Диаграмма туннелирования

11

Микроскоп JSPM 4610A

12

Камера обмена образцов в открытом виде

12

Необходимо

После нажатия кнопки «Stop» давление в камере сохраняется в течении 5 секунд, после чего автоматически открывается напускной клапан - и давление в камере повышается до атмосферного. При этом необходимо отследить повышение давления по стрелке датчика и открыть камеру ТОЛЬКО после того как в ней установится атмосферное давление (через 3-5 сек после открытия напускного клапана).

12

Результат

Изображение поверхности образца в режиме СТМ

12

Выводы

12