ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

П.А.ЦыганковМГТУ им. Н.Э.Баумана

В.В.Крикотин«Экструзионные машины»

М.А.Попов«Экструзионные машины»

ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ

Ирвинг Ленгмюр

«Просветление» оптики – снижение RНанесение мономолекулярных слоев из раствора – метод Ленгмюра-Блоджетт

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Промышленная технология и Массовый продукт

Кэтрин Блоджетт

ОПТИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ

Термо-вакуумные способы нанесения тонких пленок

НЕПРОСВЕТЛЕННАЯ

5%

ОДНОСЛОЙНОЕ ПРОСВЕТЛЕНИЕ

1.7%

МНОГОСЛОЙНОЕПРОСВЕТЛЕНИЕ

0.2%«Мокрые» технологии

Интерференционные фильтры

“There's Plenty of room at the Bottom”

Ричард Фейнман

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

РАСПЫЛЕНИЕ. ИОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

Энергия ионов ~ 1keVПлотность тока > 1 mА/cm2

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

Мишень – катод разряда!

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

СТРУКТУРА ТОНКОЙ ПЛЁНКИ

Термическое испарение Магнетронное напыление Ионно-лучевое распыление

Структурно-зонная модель

Мовчан-Демчишин, 1969Ea/Es

ПЛЕНКА

ПОДЛОЖКА

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

ТЕНДЕНЦИЯ

НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ: ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ РАВНОМЕРНОСТЬ

«Утонение»

ПЛЕНКА

ПОДЛОЖКА

GMR

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

ТЕНДЕНЦИЯ

«Утолщение»

ПЛЕНКА

ПОДЛОЖКА

НАНОСТРУКТУРА

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

СОВРЕМЕННЫЕ УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

Эффект Холла-Петча (Hall-Petch) HV~d-0,5

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

ТЕМПЕРАТУРОПРОВОДНОСТЬ ПОКРЫТИЙ

Термобарьер – Thermal Barrier Coatings

Термо-интерфейс – Thermal Interface Coatings

1700 0C

k= ke+kphMe Д Me Д

-gradT

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

ВЫСОКОЭНТАЛЬПИЙНЫЕ СИСТЕМЫ. СОЗДАНИЕ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ

СВАРКА:МЕТАЛЛ, КЕРАМИКА, УГЛЕРОДНЫЕ КОМПОЗИТЫ

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ПЕРЕНОСА МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ

МНОГОСЛОЙНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ: ПРОИЗВОДСТВО И ПРИМЕНЕНИЕ

НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК: ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ РАВНОМЕРНОСТЬ

ВАКУУМНО-ПЛАЗМАТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

ВАКУУМНО-ДУГОВЫЕ ИСПАРИТЕЛИ

МАГНЕТРОНЫ С НЕЭКВИПОТЕНЦИАЛЬНЫМ КАТОДОМ

МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

ИМПУЛЬСНЫЕ МАГНЕТРОНЫ

КРИТИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, которая может обеспечить качественный скачок в различных отраслях промышленности и способствовать

появлению на рынке новых массовых продуктов

КОНСОЛИДАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ – для развития которой необходимо сотрудничество специалистов разных направлений – от физики плазмы до материаловедения. Наукоемкая, дорогостоящая…

ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ