FV-aligner Catalog

위치결정 화상처리장치 FV-aligner

주식회사 소 닉 스

주 소 (우)133-123 서울특별시 성동구 성수 2 가 277-40 센츄리 프라자 706 호

TEL : (02)465-9020(代) FAX : (02) 465-9022

E-mail shonics1@chollian.net

Home page http://www.shonics.com/

FV-aligner Catalog

FV-aligner 고속 • 고정밀 위치 결정 Vision Aligner

FV-aligner

Align 과정

위치 결정 대상물과 그 위의 2 개의 마크

장치 (중앙 십자는 장치의 XYθ 이동축)

STEP 1 타겟 위치 등록

STEP 2 얼라이먼트 실행

STEP 3 장치의 XYθ 보정량을 계산해 위치 결정

FV-aligner 시리즈는 고기능ㆍ고정밀도 위치 결정용 화상 처리 장치입니다. 화상

정보를 기초로, 워크를 기준 위치에 맞추기 위한 XYθ 보정량을 계산하여 테이블의

축제어를 합니다. 특히 판넬 워크등의 위치 결정에 최적인 장치로, 3축 테이블을

이용한 자동 구축 시스템이 개발기간 없이 간단하게 구축 할 수 있습니다.

또, 도입부터 운용에 이를 때까지의 기간을 최대한 단축해, Spec 변경으로 인한

카메라의 위치 변경, 혹은 축구성이 변경되어도 장치를 바꾸는 일 없이 바로

대응 할 수 있어 비용을 큰폭으로 절약 됩니다.

FV-aligner Catalog

FV-aligner 의 특징

● 다양한 카메라 설치의 대응

2~4 대의 카메라면 OK 카메라가 임의의 위치에 있어도 OK

광축을 중심으로 카메라를 회전 설치해도 OK 카메라가 기울어져도 OK

※ 수직에 설치했을 때보다 정밀도는 저하될수 있습니다.

카메라가 위아래로 설치되어도 OK 카메라의 시야가 조금 차이가 있어도 OK

FV-aligner Catalog

X Y θ

좌표축의 구성·방향·회전에 상관없이, 여러가지 좌표축 구성의 테이블에

대응할 수 있습니다. 좌표축의 방향이나 회전 방향에도 자동적으로 대처 합니다.

θ X Y

U V W X θ + Y

● 다양한 Table 에 축구성에

FV-aligner Catalog

Alignment Mark (여기가 기준위치)

카메라 시야

Table

장치 X ＋방향 : 오른쪽

장치 Y ＋방향 : 아래쪽

장치 θ ＋ : 우회전(시계방향)

장치 θ － : 좌회전(반시계방향)

회전중심 : ＋자 중심

기준위치 기준위치

기준위치 기준위치

X 방향 이동 Y 방향 이동

+θ 방향 회전 -θ 방향 회전

● AUTO Calibration

Calibration은 카메라에서 입력 받은 화상이 실제의 어느 위치에 있는지,

실제의 1mm가 몇 화소에 해당하는지를 알기 위한 작업 입니다.

사용자가 Calibration Data를 입력할 필요없이 자동으로 실행 합니다.

FV-aligner Catalog

카메라 시야

● 반복 Alignment

FV-aligner 는 Auto Calibration 뿐만 아니라 정밀도를 높이기 위해서 실제의 위치결정

처리에도 중요시하였습니다. 일반적으로는 aliner 에서의 명령과 함께 위치결정동작을

1 회만 하는 것이 보통이지만 어떠한 이유인지 모르지만 사용자가 윈하는 정도가 잘

나오지 않습니다. FV-aligner 에서는 이동후의 Mark 위치를 다시 검출해서 Target

위치(최종적으로 위치 결정하고자 하는 위치)와의 차이를 계산해서 그 결과를 FV-aligner

에 Feedback 하는 것에 의해 그 위치까지 계속 이동하여 위치결정동작을 하는 기능을

탑재하고 있습니다. 그래서 사용자가 원하는 정밀도를 만족할 때까지 이러한 처리로

반복할 수 있습니다. 이것을 반복 Alignment 라고 합니다.

Work

장치

Target Mark위치의 취득

Object Mark위치의 취득

장치의 XYθ 보정량을 산출

장치 이동

종료

Yes

No

Alignment 규격

FV-aligner Catalog

①2치 화상 중심 계측(Binary Search)

고속 처리가 요구되고 크게 회전되고 Mark의 크기가 변화하는 어떠한 경우도 유효합니다.

단,『모양 자체의 변화가 없다』『 밝기의 변동이 없다』『 Mark와 배경의 농담차가 확실하다』

『Mark는 1개의 덩어리로 되어 있다』『Mark에 훼손된 부분이 없다』라는 조건이 있습니다.

②Gray Search

2치 화상에서는 곤란한 『화면의 밝기의 변화한다』,『농담차가 적다』의 경우에 유효합니다. 2치

화상에 비해 조명의 조정이 용이합니다.

단,『회전이 거의 없다』『크기의 변화가 없다』『훼손 및 흠집이 없다』라는 조건이 있습니다.

③고기능 Search (회전 Search)

Gray Search에서는 곤란한 『화면의 밝기가 비균일하게 변동한다』『경우에 따라 Mark의 일부가

차폐된다』『크게 회전한다』『Mark의 크기가 변동한다』의 경우에 유효합니다.

Gray Search 이상의 정도가 얻어지고 게다가 다양한 패턴 변화에 대응합니다.

등록 Pattern 회전 크기 변화

등록 Pattern 밝기의 변화 작은 농담차 초점 불일치

회전 크기 변화 등록 Pattern

밝기의 변화

조명의 비균일

노이즈 화상 은폐ᆞ흠집ᆞ겹침초점 불일치

● Mark Search 방법

FV-aligner Catalog

● Off-line 조작은 트랙볼에 의한 메뉴ㆍ클릭 방식으로 간단합니다.

● 메뉴 조작은 Environment Mode, Manager Mode, Operator Mode로 분리되며 최소한의 조작과

동시에 불필요한 조작은 미연에 방지하고 조작사의 트러블을 최소한으로 방지합니다.

● 4대의 카메라로 위치결정 Mark를 등록하는 경우 4대의 카메라의 영상이 1대의 모니터에 동시에

표시되어지므로 Mark의 위치와 형체가 한번에 확인할 수 있으며 조정이 대단히 편리합니다.

또 영상표시는 좌우 상하의 반전이 가능합니다.

● Error가 일어난 화면을 저장하는 기능이 있기 때문에 Alignment 실패 시의 화상을 확인하는 것이

가능합니다.

● Target Mark• Obect Mark Search, Align XYθ 보정량 취득, XYθ 보정량을 통한 Align등

1회 Align을 하기 위한 동작에 약 100 ~ 500ms (테이블 이동시간을 포함합니다.) 정도 소요됩니다.

※처리속도는 Camera의 대수, Mark의 품질, Mark의 개수, Search 방법, Parameter

설정 내용에 따라 변동이 있습니다.

● 위치결정 Mark의 좌표 검출은 2치 화상 중심 계측, Gray Search, 고기능 Search의 어느 것이나

Sub-pixel 처리에 의한 화상 분해능 이상의 고정도 검출을 합니다. 특히 고기능 Search에는

Mark 와 영상의 품질이 좋으면 1/40 화소 정도를 검출하는 것도 가능합니다.

● 카메라에 Mark가 표시되고 Search할 수 있는 크기와 화상 품질이 유지되어지면 위치결정

Mark의 형체ㆍ크기ㆍ인쇄위치는 문제되지 않습니다.

● 카메라 간의 거리에 제한이 없으므로 Work의 크기는 문제되지 않습니다.

● 등록할 수 있는 품종수(Work 크기와 위치결정 Mark가 다른 각 Work 수)에 특별히 제한이

없습니다. 단 Flash File 장치의 용량, RAM 용량의 제한 범위 내에서 제한됩니다

● Parallel I/O (Photo Coupler 절연형 I/O)와 Serial I/O(RS232C(EIA-232))가 내장되어 있습니다.

● Parallel I/O에서는 Bit 배열에 의한 통신, Serial I/O에서는 Command Character에 의한 통신이

가능합니다.

● Mitsubishi 전용 Protocal(MELSEC)을 사용해서 통신이 가능 합니다.

● 사용하기 쉬운 인터페이스

● 고속, 초정밀 Alignment

● 다양한 대응

● 표준 I/O 에 대응

FV-aligner Catalog

1．Probe 를 이용한 검사장치

Table 은 XYθ 또는 UVW Table

＜고정목표위치＞

카메라는 위 방향 또는 아래 방향 어느 것이라도 가능합니다.

예) ・PCB 기판 시험장치 ・LCD 패널 점등시험기

공 정

① 기판 또는 패널을 Table 위에 공급한다.

② Probe Pin 이 기판 상의 패턴 부와 접촉하는 최적의 위치를 조정한다.

③ 카메라에서 기판 상의 Alignment Mark 를 검출하고 Target 으로 등록한다.

④ Table 에 본 기판을 공급하고 Alignment Mark 를 검출하고 Target 에 Alignment 를 한다.

⑤ 위로부터 Probe 가 하강하고, 기판의 패턴 부에 Probe Pin 을 접촉시켜 검사한다.

⑥ 검사종료 후 Probe 를 상승시켜 기판을 배출한다.

⑦ Table 을 기판공급위치로 보낸다.

⑧ ④∼⑦을 반복한다.

FV-aligner 적용 사례

카메라

(설치 방향은 상하 임의)

기판

Table

Probe Unit

FV-aligner Catalog

2．스크린 인쇄 (1)

긴 구동 １축 Table 상에 3 축 Table 이 구성되어 있고, Alignment 후에

스크린 범위 아래로 이동하는 경우

＜고정목표위치＞

카메라는 2 대 또는 4 대를, 위 방향 또는 아래 방향 혹은 상하방향의 조합으로 해도 가능합니다.

예) ・핸더 인쇄 ・실크 인쇄 ・접착제인쇄

공 정

① Dummy 기판을 1 매 인쇄하고, 그림의 위치에서 인쇄 Mark 를 Target 으로 등록한다.

② 본 기판을 공급하고, 기판 위의 Alignment Mark 를 검출해서 ①의 Target 에

Alignment 한다.

③ 1 축 Table 을 스크린 범위 아래로 이동해서 인쇄한다.

④ 1 축 Table 을 그림의 위치(기판공급위치)로 되돌리고 기판을 배출한다.

⑤ ②∼④를 반복한다.

긴 구동 1 축 Table

UVW Table

PCB,LCD 기판

스크린 범위

FV-aligner Catalog

3．스크린 인쇄 (2)

Table 위에 스크린 범위가 있고, 상하시야렌즈를 사용하는 경우

＜가변목표위치＞

카메라에 상하시야렌즈를 설치해, Alignment 시에는 그림의 위치로 이동하고

인쇄 시에는 Table 범위 밖으로 이동한다.

공 정

① 기판을 Table 위로 공급한다.

② 상하 렌즈를 그림의 위치로 이동한다.

③ 위 렌즈로 스크린 측의 Mark 를 검출해서 Target 으로 한다.

④ 아래 렌즈로 기판의 Mark 를 검출해서 Object 로 한다.

⑤ ③의 Target 에 Alignment 한다.

⑥ 상하 렌즈를 Table 범위 밖으로 이동하고, Table 의 Z 축을 상승시켜 인쇄한다.

⑦ Table 을 하강시켜, 기판공급위치로 되돌리고 기판을 배출한다.

⑧ ①∼⑦을 반복한다.

UVW Table(Z 이동 축을 별도 준비）

PCB, LCD 기판

스크린 범위

상하시야렌즈

(인쇄시 Table 밖으로 이동) 上 Lens

下 Lens

카메라

FV-aligner Catalog

4．스크린 인쇄 (3)

Table 위에 스크린 범위가 있어, 스크린을 위의 2 개의 카메라로 검출하고, 기판을

아래의 2 개의 카메라로 검출해서 Alignment 를 하는 경우.

＜고정목표위치/가변목표위치＞

공 정

① 4 개의 카메라가 스크린 범위 아래로 이동한다.

② PCB 를 실은 UVW Table 이 카메라 아래로 긴 축이 이동한다.

③ 카메라 0, 카메라 1 에서 스크린 범위의 Mark 를 Search 한다. (Target 위치 취득)

④ 카메라 2, 카메라 3 에서 PCB 의 Mark 를 Search 한다. (Object 위치 취득)

⑤ ③에서 취득한 Target 위치로 PCB 를 Alignment 한다.

⑥ 4 개의 카메라가 대피 이동시킨다.

⑦ Table 의 Z 축을 이동해서 인쇄한다.

⑧ Table 을 되돌리고 기판을 배출한다.

⑨ ①∼⑧을 반복한다.

스크린 범위

(메쉬, 메탈)

0 1

2 3

PCB

Z 이동

긴 1 축 Table

V U

W

FV-aligner Catalog

5．ACF 부착기

PCB, LCD 에의 도전 테이프의 부착

＜고정목표위치＞

(정면도)

(위면도)

공 정

① 미리 ACF 테이프를 붙인 기판의 최적의 위치를 조정하고, 그 상태로 기판을 카메라

시야까지 Table 을 이동해서(그림의 위치), 기판 위의 Alignment Mark 를 Target 으로

등록한다.

② 본 기판을 놓고 Mark 를 검출하고, Target 에 Alignment 후, Table 을 가열 Head 부로

이동시켜, Tape 를 붙인다.

③ 기판 공급 위치로 되돌리고 배출한다.

④ ②∼③를 반복한다.

카메라 2 대

가열가압헤드

실리콘 히터

巻取 공급 Back Sheet

巻取

LCD, PCB

ＸＹθ

Table 이동

공급 릴

XYθ Table

FV-aligner Catalog

6．기판 천공기

＜고정목표위치＞

공 정

① PCB 를 Table 에 실어 천공 위치로 이동해 최적의 위치를 조정한다.

② Table 을 카메라 아래로 이동하고, PCB Mark 를 Target 으로 등록한다.

③ 본 기판을 싣고 Table 을 카메라 아래로 이동한 후, Mark 를 검출해서 Target 에

Alignment 한다.

④ Table 을 천공위치에 Shift 이동해서 천공한다.

⑤ Table 을 기판공급위치로 되돌리고 배출한다.

⑥ ③∼⑤를 반복한다.

카메라

PCB

XYθ Table

XY Table(드릴 부착)

(시퀀스에서 제어한다)

천공 위치

FV-aligner Catalog

7．LCD Glass 접합기

UVW Table

＜가변목표위치＞

공 정

① Glass A 를 상부 HEAD 에 흡착시켜, UVW Table 에 공급한 Glass B 의 Mark B 를 카메라

시야 내에 들어가도록 한다.

② Mark A 를 검출해서 Target 으로 하고, Mark B 를 검출해서 Mark A 에 Alignment 한다.

③ Glass A 를 하강시켜 접합한다.

④ UVW Table 을 공급위치로 되돌리고 Glass 를 배출한다.

⑤ ①∼④를 반복한다.

상부 HEAD(상하이동)

LCD Glass A (Mark A)

LCD Glass B (Mark B)

UVW Table

(카메라 시야부는 Hole)

동축낙사렌즈

FV-aligner Catalog

8．COG Bonder

LCD 에서의 드라이버 IC Mount

＜가변목표위치＞

공 정

① IC 를 피킹한 코렛트를 카메라 상에 이동시킨다.

(Table 은 LCD 공급위치로 이동되어 있다.)

② IC 의 Mark 를 검출하고, Target 으로 한다.

③ IC 를 상승시켜, XYθ Table 위에서 Pre-Alignment 시켜 LCD 를 카메라

시야로 들어오게 해서 Mark 를 검출하고, Target 위치에 Alignment 한다.

④ Alignment 후, IC 를 하강시켜 압착한다.

⑤ XYθ Table 을 공급위치로 되돌린다.

⑥ ①∼⑤를 반복한다.

드라이버 IC

LCD(ACF Tape 부착)

XYθ Table(Mark 부에 Hole)

광축변환 프리즘 부착 렌즈

(IC Chip 크기에 따라)

카메라

진공 코렛트 (상하이동)

FV-aligner Catalog

9．FPC 기판 접합기

LCD 기판(ACF Tape 부착)에 FPC(Flexible 기판)을 접합시킨다.

2 카메라 + 2 카메라에서의 Alignment

＜가변목표위치＞

공 정

예-1 (카메라 4 대 사용)

① 카메라 (A)에서 FPC 의 Mark 를 검출하고 Target 으로 한다.

② FPC 를 조금 상승시켜, LCD Mark 를 카메라 (B)의 시야에 들어오게 하고,

Mark 를 검출해서 Alignment 한다.

③ LCD 를 FPC 의 아래 쪽에 이동하고 FPC 를 하강해서, 가열 HEAD 에서 가압한다.

④ Table 을 공급위치로 되돌린다.

⑤ ①∼④를 반복한다.

예-2 (카메라 2 대를 사용해서 고기능 Search)

① FPC 와 LCD 를 중복해서 카메라 시야로 이동한다.

② 카메라 (A)에서 FPC 의 Mark 를 검출해서 Target 으로 하고, 계속해서

LCD 의 Mark 를 검출해서 Alignment 한다.

③ 가열 HEAD 에서 가압한다.

④ Table 을 공급위치로 되돌린다.

⑤ ①∼④를 반복한다.

가열 HEAD

FPC

카메라 2 대(A)

LCD(ACF Tape 부착)

XYθ Table + 1 축 이동

카메라 2 대(B)

FV-aligner Catalog

10．노광기

＜고정목표위치＞

●기판의 Alignment Mark 는 구명(Hole)로 해서, Mask 의 Alignment Mark 가 보이도록 할 것.

공 정

① Table 에 기판을 공급한다.

② Mask 에 붙여진 Alignment Mark 를 검출해서 Target 으로 한다.

③ Table 상의 기판의 Alignment Mark 를 검출해서 Target 에 Alignment 한다.

④ Table 이 상승해 마스크와 거의 밀착한 상태에서 다시 Mark 를 검출해서

최종 정밀도를 확인한다.

⑤ 카메라를 대피시켜, UV 조사시켜 노광한다.

⑥ Table 로부터 기판을 배출한다.

⑦ ①∼⑥을 반복한다.

※카메라가 있으면 노광시 방해가 되므로, 매번 카메라를 이동시킬 필요가 있다.

※조명은 감광 필름이 노광시키지 않는 것을 선택(LED 조명, 황색 형광등)

UV Lamp

기판

Table

마스크

카메라

(로보트 핸드로 XY 이동제어)

FV-aligner Catalog

11．PDP 접합기

＜가변목표위치＞

공 정

카메라 4 대 사용

① Table 에 PDP Glass B 를 공급한다.

② PDP Glass A 를 상부에 공급한다.

③ PDP Glass B 에 있는 Target Mark 를 검출하고 PDP Glass A 에 있는

Obect Mark 를 검출한다.

④ Alignment 하고 Glass A 가 하강하여 Glass B 와 접합한다.

상부 HEAD

카메라

PDP Glass A

PDP Glass B

UVW

FV-aligner Catalog

12．유기 EL 증착기

＜가변목표위치＞

13．Multi Tab Bonder

＜가변목표위치＞

Table

가열 Head

LCD Glass

카메라

Object Target

유기 EL Glass Mask

UVW Table 카메라

FV-aligner Catalog

1．SYSTEM 구성도

FV-aligner ENG 의 경우

FV-aligner UNT 의 경우

모니터

XYθ 또는 UVW Table

시퀀스 FV-aligner

트랙볼 카메라 (2 대 또는 4 대)

구동신호 Pulse 신호

Motor Driver

(3 축 또는 4 축)

Limit Sensor 신호 100 Pin Cable

100Pin 분배기

ＤＩ／ＤＯ

ＲＳ２３２Ｃ

트랙볼

FV-aligner

카메라(2 대 또는 4 대)

구동신호 Pulse 신호

Motor Driver XYθ 또는 UVW Table

Limit Sensor 신호 DI/DO

RS-232c

시퀀스

모니터

FV-aligner SYSTEM 구성

FV-aligner Catalog

2．SYSTEM 구성 상세도 (2 카메라) 예

FV-aligner ENG

FV-aligner UNT

9 인치 모니터

9 인치 카메라

BNC(3m)

DI/DO

BNC(3m)×2

귀사에서 준비할 케이블 ● DI/DO Cable

● 축 Pulse Cable

● 축 Sensor Cable

● RS-232c Cable

시퀀스 BNC(1m)×4

FV

aligner

(UNT) RS232c

Pulse

Sensor

Motor Driver

CCD 카메라×2

동축낙사렌즈×2

12Pin Cable(2m)×2

Fiber Light Guide

(2m)×2

할로겐 조명(100W) ×2

트랙볼

(1.3m)

연장 Cable (1.8m)

1

UVW

Table

2

100Pin Cable(2m) 분배 유니트

U 축 센서

V 축 센서

W 축 센서

U 축 펄스

V 축 펄스

W 축 펄스

Sync

분배기

BNC(3m)

DI/DO

BNC(3m)×2

귀사에서 준비할 케이블 ● DI/DO Cable

● 축 Pulse Cable

● 축 Sensor Cable

● RS-232c Cable

시퀀스

BNC(1m)×4

Sync

분배기

FV

aligner

(ENG) RS232c

Pulse

Sensor

Motor Driver

CCD 카메라×2

동축낙사렌즈×2

12Pin Cable(2m)×2

Fiber Light Guide

(2m)×2

할로겐 조명(100W) ×2

트랙볼

(1.3m)

(1.8m)

연장 Cable

1

UVW

Table

2

FV-aligner Catalog

3. SYSTEM 구성상세도 (4 카메라)

FV-aligner ENG

FV-aligner UNT

RS232

12Pin Cable(2m)×4

CCD 카메라×4

동축낙사렌즈×4

Fiber Light Guide

50W 할로겐×4

BNC(3m)×4

DI/DO

Table

Motor Driver

시퀀스

9 인치 모니터

BNC(3m)

FV-aligner

(UNT)

트랙볼

(1.3m)

연장 Cable 100Pin Cable(2m)

분배 유니트

U 축 센서

V 축 센서

W 축 센서

U 축 펄스

V 축 펄스

W 축 펄스

귀사에서 준비할 케이블 ● DI/DO Cable

● 축 Pulse Cable

● 축 Sensor Cable

● RS-232c Cable

1 2 3 4

RS232c

BNC(3m)×4

BNC(1m)×4

DI/DO

Table

Motor DriverPulse

Sensor

시퀀스

9 인치 모니터

BNC(3m)

FV-aligner

(ENG)

트랙볼

(1.3m)

(1.8m)

연장 Cable

귀사에서 준비할 케이블 ● DI/DO Cable

● 축 Pulse Cable

● 축 Sensor Cable

12Pin Cable(2m)×4

CCD 카메라×4

동축낙사렌즈×4 Fiber Light Guide

50W 할로겐×4

1 432

Sync

분배기

Sync

분배기

FV-aligner Catalog

분해능 512×480 화소×8 비트 (256 bit)

영상 입력 채널수 4 채널 EIA-170 (RS-170 )

입력 신호 1.0Vp-p/75Ω composite 비디오

영상 입력

수평/수직 15.734KHz/59. 94 Hz (2:1 인터레이스)

표시 영상 출력 채널수 1 채널 EIA-170 (RS-170 )

출력 신호 1.0Vp-p/75Ωcomposite 비디오

영상 출력

수평/수직 주사 주파수 15.734KHz/59. 94 Hz (2:1 인터레이스)

채널수 1 채널

전송 스피드 1200∼19,200bps

EIA-232 (RS232C)

데이터 bit 데이터 bit, 패리티, stop bit

표준 I/F

Photo-coupler 절연형 I/O 입력 16 점, 출력 16 점, 인터럽트 입력 1 점

사용 프로세서 Pentium3 CPU

메인 메모리 표준 64 MB (128,256 MB 의 증설 옵션 )

파일 장치 플래시 파일 장치(구별 별매)

200(가로폭)×398.5(깊이)×147.4(높이) mm 외형 치수

고무 다리(높이) 6mm

중 량 약 4.5kg

전 압 AC100V±10%

주파수 50/60Hz

전 원

소비 전력 150 W 이하

동작 주위 온도 0∼40℃

동작 주위 습도 30∼85%RH

보존 주위 온도 -20℃∼60℃

일반 사항

보존 주위 습도 95%RH 이하

마우스 I/F PS/2 사양

FV-aligner ENG

FV-aligner UNT

공통 사양

그외

한자 표시 JIS 제일 수준 한자 폰트

입력 형식 photo-coupler 절연형태 입력

외부 전원 DC24V, 5 mA∼10mA

축제어 입력

신호 내용 원점, 원점 근방, Z 상, 오버 Limit,

위치 결정 완료 신호, 드라이버 이상,

즉시 정지(photo-coupler 절연형태 I/O 인터럽트 입력 사용)

출력 형식 오픈 콜렉트 출력(MAX80mA)

신호 내용 서보 ON, 카운터 클리어, 펄스 구동(CW(정회전)

펄스/CCW(반전) 펄스 조합 방향 전환/펄스 조합)

FV-aligner UNT

고유 사양

축출력 형식

최고속 펄스수 4.9 MPPS(시판 스텝 모터/써보모터의 대부분에 대응 가능)

● FV-aligner 하드웨어 사양

FV-aligner Catalog

FV-aligner Catalog

FAX 송신 용지 FAX : 02-465-9022

E-mail : shonics1@chol.com

http://www.shonics.com

주식회사 소 닉 스 기술영업부

고객님의 Theme 및 고민하고 있는 문제를 말씀해 주십시오.

이 페이지를 Copy 해서 필요한 사항을 기입한 후 좌측의

FAX 로 보내주시면, 상담 및 솔루션에 대해서 폐사 담당자가

답변해 드리겠습니다. 일반적인 질문과 카다로그 신청에도

이 용지를 이용하셔도 좋습니다. E-mail 을 이용하는 경우는

이 용지와 동일한 항목을 기재한 후 송신해 주십시오.

회사명 :

주 소 :

성 명 :

소 속 : 직 급:

TEL : 내선 ( ) FAX :

E-mail :

해당하는 □ 에 체크를, 박스 안에 문장을 기입해 주십시오.

Alignment 목적 용도는

Alignment 정도 ± μm

Work 명과 재질 Work 명 : 재 질 :

Work 의 크기 세로 mm 가로 mm 두께 mm

work 의 공급정도 ± mm

Mark 의 재질과 처리방법 재 질 : 처리방법 :

카메라의 종류 □ 일반 카메라(512×480 화소) □ 고분해능 카메라

카메라 수와 시야 대 약 mm

조명의 종류 □ 할로겐 □ LED □ 기타

조명의 방법 □ 링조명 □ 투과조명 □ 동축낙사조명 □ 기타

Table 의 Type □ XYθ □ UVW □ Xθ＋Y □ XY＋Lineθ □ 기타

Table 의 구동분해능 X, Y＝± μm / pulse θ＝± deg / pulse

Table 의 제조업체 □ THK □ Hephaist □ 中央精機 □ 駿河精機 □ 자체제작 □ 기타

Table 의 크기 세로 mm 가로 mm

Motor 의 종류 □ Servo Motor □ Stepping Motor

Aligner 제어 방식 □ FV-aligner ENG (Engine) □ FV-aligner UNT (Unit)

시퀀스의 종류 □ PC □ PLC (제조업체: )

SYSTEM 의 희망범위 □ Aligner 만 □ 카메라・조명까지 □ Table・카메라・조명까지

도입시기와 수량 도입시기 : 수량 : 대

자유기입란 □ 기술자료희망

＜Alignment 의 예＞