초미세 오염 제어

Aeronex® HX 시리즈 가스 정제 시스템낮은 소유 비용으로 지속적인 고유량, 초고순도 공정과 캐리어 가스 제공

첨단 고유량 가스 정제 기술Entegris HX 시리즈 Aeronex® 가스 정제 시스템(AGPS)은 끊임없이

개발된 가스 정제 시스템 중 가장 최근 제품인 고유량 가스 정제

시스템입니다. Aeronex® 가스 정제 시스템은 첨단 고유량의 가스 정제

기술을 사용하여, 퍼지 가스, 공정 가스 및 캐리어 가스를 효율적이고

저비용으로 처리가능하게 합니다.

AGPS는 Entegris가 15년 동안 축적한 가스 정제 및 이송 기술의

결정체입니다. AGPS는 반도체, 태양전지 웨이퍼, LED 산업 등 필수 응용

분야에서 초고순도 수소, 아르곤 및 질소로 이루어진 퍼지 또는 캐리어

가스를 제공합니다.

최신 정제 기술을 보유한 Entegris의 신제품 HX 시리즈는 PPB 및

PPT 수준 미만의 정제된 가스를 제공합니다. HX 시리즈는 상온에서

정제하므로 정제를 위한 가열이 필요 없습니다. 따라서 HX 시리즈를

사용하면 자원을 절약하고 에너지 비용을 낮출 수 있습니다. AGPS는

수소, 아르곤 또는 질소 가스에 포함된 H2O, O2, CO, CO2 및 비메탄

탄화수소와 같은 오염물질을 효과적이고 효율적으로 제거합니다.

AGPS는 아르곤 재활용 시스템에도 사용할 수 있습니다.

응용 분야—• 유기 금속 화학 증착(MOCVD)

• 원자층 증착(ALD)

• 저온 에피택시(LTE)

• 포토리소그래피(Photolithography)

• 태양전지 잉곳 성장

• 아르곤 가스 재활용

• 태양전지 셀 제조

• 실리콘 잉곳 생산

• 초고순도 수소, 아르곤 또는 질소

가스가 필요한 기타 응용 분야

특징 및 장점—• 전원이 끊겨도 정제 시스템이

손상되지 않음

• 완전 자동화로 시간 절약 및 신뢰성

증가

• PPB 및 PPT 수준 미만까지 정제

• 압력 강하가 적어 유입구 압력을

변경할 필요가 없음

• 유입구 및 유출구 공정

가스압력센서 제공

• 소유 비용을 최소한으로 낮춘 자가

재생 퓨리파이어(purifier)

• 상온 정제를 통한 에너지 비용 절감

및 자원 절약

• CE 및 SEMI® 인증

• 유닛을 쉽게 통합할 수 있도록 제품

설치 서비스 제공

• 이더넷 연결을 통한 원격 모니터링

기능

• 현장 유지 보수 및 업그레이드가

용이한 설계

2

판매 모델—

모델 설명

AGPS2CHX 최대 2,000 SLM의 유량을 요구하는 응용 분야용 밀폐 모델

AGPS2EHX 최대 5,000 SLM의 유량을 요구하는 응용 분야용 밀폐 모델

안전 기능—

기능 설명 AGPS2CHX AGPS2EHX

누전 차단기 시스템에 전기적인 보호 기능을 추가로 제공합니다. 지원 지원

기준 온도보다 높은 온도 상태

써모커플(thermocouple)에 의해 감시되어 히터들이 제어 불능 상태로

가는 것을 막아주며, 두 번째 대비책으로서 고온에서 하드웨어 인터락이 모든

시스템에 적용되어 있음.

지원 지원

수소 검출기 시스템 인클로저 내부에서 수소 가스가 유출되면 EMO 경보가 울리고 시스템이

멈춥니다.

지원 지원

상승 속도 검출기 시스템 인클로저 내부 온도가 갑자기 증가하면 검출기가 EMO 경보를 작동하고

시스템을 멈춥니다.

지원 지원

EMO 버튼 버튼을 누르면 메인 인클로저의 전원이 분리됩니다. 전방 패널과 컨트롤러에는

계속 전력이 공급되지만 공정 가스의 흐름은 멈춥니다.

지원 지원

원격 EMO EMO를 원격으로 활성화할 수 있습니다. EMO가 작동하여 시스템이 멈추면

해당 시설 전체에 경보를 보내는 외부 감지 장치로 출력 신호를 전송합니다.

지원 지원

원격 경보 EMO 기능으로 시스템을 멈출 필요가 없는 사소한 경보가 발생하면 해당 시설

전체에 경보를 보내는 외부 감지 장치로 출력 신호를 전송합니다.

지원 지원

시각 경보 전기 인클로저 상부를 보면 경보 상태를 육안으로 확인할 수 있습니다. 지원 지원

청각 경보 경보가 발생하면 경보음을 통해 이를 알립니다. 지원 지원

독립된 전기장치 전자 부품은 메인 퓨리파이어(purifier) 캐비넷에 부착된 전자 인클로저로부터

분리되어 있습니다.

지원 지원

3

제품 사양—

모델 AGPS2CHX AGPS2EHX

정제 가능한 가스 수소, 아르곤 또는 질소

미디어 유형 무기

제거 가능한 오염물질H2O CO CO2 O2 H2

비메탄

탄화수소(C5 이상)

질소 <50 ppt <1 ppb <100 ppt <400ppt <1 ppb <1 ppt

수소 <100 ppt <1 ppb <100 ppt <400ppt – <1 ppt

아르곤 <50 ppt <1 ppb <100 ppt <400ppt <1 ppb <1 ppt

운전압 범위 5.51–10.34 bar (80–150 psig)

압력 강하 100 psig, 최대 정격 유량에서 7 psi 미만 100 psig, 최대 정격 유량에서 10 psi 미만

최대 유량 2000 SLM (120 Nm³/hr) 5000 SLM (300 Nm³/hr)

가스 운전 온도 15°C–40°C (60°F–104°F)

유출구 여과 ISO Class 1 (<0.1 µm에서 1입방 미터당 입자 10개 미만, 0.2 µm에서 1입방 미터당 입자 2개 미만)

누출 등급 1 × 10-9 atm cc/sec

4

설비 사양—

AGPS2CHX AGPS2EHX

공정 가스 입력단 연결 1� 튜브 스터브 1.5� 튜브 스터브

공정 가스 출력단 연결 1� 튜브 스터브 1.5� 튜브 스터브

벤트(Ventilation) 연결 4� 덕트

배기 300 cfm

전력 사양 연결 3핀 기계적 차단

전력 사양 단상 200–240 VAC

소비 전력 정상작동 시 150W, 재생 시 2,000W

재생 시간(기간) 퓨리파이어(purifier) 베드당 24시간

재생 가스 입력 1 연결 1⁄4� 튜브 스터브

가스* 65–100 psig

압력 N2: 4.00–4.27 bar (58–62 psig)

재생 가스 입력 2 연결 1⁄4� 튜브 스터브

가스 H2: 65–100 psig

재생 가스 출력 연결 1⁄4� 튜브 스터브

(밸브)구동 가스 연결 1⁄4� 압축 피팅

가스 및 압력 90–125 psig에서 CDA 또는 N2

물리적 요구사항 설치장소 바닥

필요 유지 보수 공간 최소한의 유지 보수 작업 시 필요한 공간은 사방

3피트(약 91 cm)

운송 중량 363 kg (850 lb) 544 kg (1200 lb)

사용 조건 15°–40°C 실내(60°–104°F 실내)

습도 비응축 상대습도 10–90%

* 질소 또는 수소 시스템으로 사용하는 경우 N2, 아르곤 시스템으로 사용하는 경우 아르곤 사용.

주의 사항: 장비 설치 시 때 현지 건축 규정 준수는 고객의 책임입니다.

5

914.4 mm (36.0”)

679.5 mm (26.8”)

1808.0 mm(71.2”)

1894.4 mm(74.6”)

679.5 mm (26.8”)

치수—모든 모델의 특정 정보는 요청 시에만 제공합니다.

AGPS2CHX 모델

1

2

5

4

6

7

3

9

1 배기 벤트(Exhaust vent) 벤트용(Allows ventilation)

2 공정 가스 입력단 고객이 공급하는 비정제 수소, 아르곤 또는 질소 라인

3 공정 가스 출력단 정제된 수소, 아르곤 또는 질소 라인

4 시스템 스위치 시스템 온/오프 스위치(비상용)

5 터치 스크린 시스템 상태 및 인터페이스용

6 기기 패널 USB 인터페이스, 시동/지우기 버튼 및 EMO 버튼 포함

7 재생 벤트(Regeneration vent) 재생 가스 배기구

8 재생 가스 입력 고객이 공급하는 수소, 아르곤 또는 질소용 재생 가스 라인

9 바퀴 내장형 평형조절기가 부착된 바퀴. 방진 받침대 포함

시스템 특징

8

6

1808.0 mm(71.2”)

1889.8 mm(74.4”)

889.0 mm (35.0”)1168.4 mm (46.0”)

889.0 mm (35.0”)

치수(계속)—모든 모델의 특정 정보는 요청 시에만 제공합니다.

AGPS2EHX 모델

8

5

4

6

2

9

1 배기 벤트(Exhaust vent) 벤트용(Allows ventilation)

2 공정 가스 입력단 고객이 공급하는 비정제 수소, 아르곤 또는 질소 라인

3 공정 가스 출력단 정제된 수소, 아르곤 또는 질소 라인

4 시스템 스위치 시스템 온/오프 스위치(비상용)

5 터치 스크린 시스템 상태 및 인터페이스용

6 기기 패널 USB 인터페이스, 시동/지우기 버튼 및 EMO 버튼 포함

7재생 벤트

(Regeneration vent)재생 가스 배기구

8 재생 가스 입력 고객이 공급하는 수소, 아르곤 또는 질소용 재생 가스 라인

9 바퀴 내장형 평형조절기가 부착된 바퀴. 방진 받침대 포함

시스템 특징

17 3

7

옵션—다음 옵션은 모든 Aeronex HX 시리즈 시스템에서 사용할 수 있습니다.

시스템 특징 AGPS2CHX AGPS2EHX

수동 우회 밸브 지원 지원

자동 우회 밸브 지원 지원

GateKeeper® 백업 퓨리파이어(purifier)를 내장한 자동 우회 밸브 지원 지원

습도 표시기 지원 지원

총량 기록 장치를 갖춘 공정 가스 질량 유량계 지원 지원

Aeronex AGPS2CHX 모델 외관

인클로저 정보—Aeronex HX 시리즈 인클로저는 실내 응용 분야에만 사용할 수

있습니다. 인클로저에는 시스템을 바닥에 고정하기 위해 방진

받침대 및 내장형 바퀴를 갖춘 수평 조절 피트가 포함됩니다.

패널은 인클로저의 모든 면에서 제거할 수 있습니다. 인클로저

앞에 달린 문을 열면 백업 퓨리파이어(purifier) 구획에 접근할

수 있습니다.

경기도 수원시 영통구 광교로 109, 한국나노기술원 13F

대표 번호: 031-8065-8300 | 대표 팩스: 031-8065-8301

인테그리스코리아 유한회사

www.entegris.com/

보증 제한

Entegris 제품은 Entegris, Inc. 일반 제한 보증의 적용을 받습니다. 이와 관련된 정보를 확인하고 인쇄하려면 Entegris 웹사이트 entegris.com을

방문하여 하단에 있는 "법적 사항 및 상표 고지" 링크를 선택하십시오. 인가되지 않은 타사 부품을 사용하는 고객의 경우 Entegris에서 오작동에 관한

보증을 제공할 수 없습니다.

추가 정보

지금 현지 고객 서비스 센터에 연락하여 Entegris가 제공하는 서비스를 확인해 보시기 바랍니다. Entegris 웹사이트 entegris.com을 방문하여

"문의" 링크를 클릭하면 가장 가까운 고객 서비스 센터를 확인하실 수 있습니다.

판매 규정 및 조건

모든 구매는 Entegris의 "판매 규정 및 조건"을 따릅니다. 이와 관련된 정보를 확인하고 인쇄하려면 Entegris 웹사이트 entegris.com을 방문하여

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주문 정보—Aeronex HX 시리즈 가스 정제 시스템: 제품 번호

AGPS 2 HX 1 0 01

가스

1 = 수소2 = 질소4 = 아르곤

예비

01 = 기본설정

센서

0 = 센서 없음3 = 총량 기록 장치를 갖춘 질량 유량계

온라인 검출0 = 온라인 검출 없음1 = 습도 표시기

우회

0 = 우회 없음1 = 수동 우회 밸브2 = 자동 우회 밸브4 = GateKeeper 백업 퓨리파이어(purifier)를 내장한 자동 우회 밸브

영역

1 = 표준

미디어 시리즈HX = HX 시리즈

유량

C = 2000 SLME = 5000 SLM

캐비넷

2 = 독립형 인클로저

세대

AGPS = 3세대 Aeronex 가스 정제 시스템

주의 사항: 제품 구성에 따라 사용할 수 없는 옵션도 있습니다. 해당 지역 판매 대리점에 문의하면 자세한 정보와 함께 제품 번호를 선택할 때 도움을 드립니다. 모든 사양은 변경될 수 있습니다.